印刷電子設(shè)備 接觸式印刷剛性母版 第二部分：印版圖案尺寸的測量方法 征求意見稿

1印刷電子設(shè)備接觸式印刷剛性母版第二部分：印版圖案尺寸測量本文件規(guī)定了與剛性印版上特征的關(guān)鍵尺寸3.13.23.33.43.53.623.73.8電子設(shè)備/電路制造過程中能夠形成的、且對后3.9注：一般情況下，特征寬度是針對線條和間隔3.102-D合格特征2-Dqualifi33.11橫截面合格特征cross-sectionalqualificationfe3.12參考標記相對于參考邊的套準精度registrationaccuracyo3.133.14本文件的坐標系xyz如圖1所示。該坐標系是以帶有圖案的掩模面朝上為準。橫向與x軸對齊，縱向與y軸對齊。z軸是垂直于xy平面的方向；在參考平面處z值為零，而（x，y）=（0,0）的設(shè)定則取決于度方向沿y軸，其特征寬度則在x軸方向上進行測量。套準精度通過4——具有足夠分辨率的顯微鏡或測量儀器：?重復(fù)性：小于寬度公差規(guī)格的10%；?精度：小于寬度公差規(guī)格的10%；?校準：宜按照儀器制造商的指南定期進行校準。5.2特征類型——特征寬度和中心距；方法可由客戶/供應(yīng)商協(xié)議確定。由于圖案邊緣檢測方法及其參數(shù)設(shè)置會影響測量結(jié)果，所以應(yīng)在報告5dy·························································5)根據(jù)信號強度分布I′(X)計算左右邊緣位置(XL,i,XR,i)。下標L和R緣。下標i指代線條編號。6)計算左右邊緣點之間的距離，以獲得特征寬度 (2)7)計算兩條相鄰線條中心之間的距離，以獲得中心距(p··············································5.4.2報告——提供用于測量的采集圖像。5.5線邊緣粗糙度（LER）和線寬粗糙度（LWR）4)對y軸方向的信號強度求平均值，并構(gòu)建n個長度等于?y的平均區(qū)間。dy···············································65)根據(jù)信號強度分布I,,(X,yK)來計算左右邊緣位置(XL,ik,XR,ik)。下標L和R分別表示左邊緣和右邊緣。下標i指代線條編號，上標k表示第4）項中y軸上的第kth個平均區(qū)間。6)計算第i條線左邊緣的LER。?根據(jù)數(shù)據(jù)集{(XL,i1,y1),(XL,i2,y2),…,(XL,in,yn)}獲取一條擬合直線（使用最小二乘法的最佳 (5) ?計算LER。2··········································7)計算第i條線的LWR。?根據(jù)左右邊緣位置(XL,ik,XR,ik)來計算平均寬度(wi)的數(shù)據(jù)集。 (8)2························································5.5.2報告——以0.01μm為單位提供測量的LER和LWR，并——注明圖案邊緣檢測方法及其參數(shù)設(shè)置。5.6討論特征的重復(fù)測量來檢驗合格參數(shù)在母版整個區(qū)域內(nèi)的一致性。待測量的特征以及每種類型特征的測量——具有足夠分辨率的顯微鏡或測量儀器。?測量儀器能夠?qū)⒛赴胬L圖文件（如dwg和gds格式）中目標區(qū)域轉(zhuǎn)換為圖像文件（如jpg、），?重復(fù)性：小于該區(qū)域公差規(guī)格的10%；?精度：小于該區(qū)域公差規(guī)格的10%；?校準：宜按照儀器制造商的指南定期進行校準。7對于特征的2-D合格判定，所測量的圖像應(yīng)與同一區(qū)域的標稱圖像對齊。兩張圖像的對齊可通過以下方式實現(xiàn)。該方法可由客戶/供應(yīng)商協(xié)議確定。推薦使用基于區(qū)域的方法。用于圖像對齊的方法應(yīng)在——重心（COG）法：將實際特征和標稱特征的——基于線邊緣的方法：使多個實際邊緣與標稱邊緣之間的距離最小化。6.4特征類型——線端縮短。6.5觸點含單個感興趣觸點的整個區(qū)域，并且不受其他無關(guān)觸點8——以0.1μm2為單位提供測得的面積增益、面積損失、面積差值——注明測量儀器?！f明測量溫度和測量期間的溫度變化。——提供獲取的圖像以及與標稱圖像對齊后的用于測量的圖像?！?.1μm2為單位提供測得的面積增益、面積損失、面積差值——注明測量儀器?！⒚鲌D像對齊方法?！f明測量溫度和測量期間的溫度變化。9——提供獲取的圖像以及與標稱圖像對齊后的用于測量的圖像。6.7線端縮短——以0.1μm2為單位提供測量面積增益、面積損失、面積差值和——提供用于測量所獲取的圖像。6.8討論版的整個區(qū)域內(nèi)對同一類型特征進行重復(fù)測量來測試合格判定參數(shù)的一致性。待測量的特征以及每種圖案對準情況會影響獲得的合格判定參數(shù)。建議在為2-D束圖像對準的x軸和y軸的特征，以提高特征2-D合格圓角和線端縮短會受到特征線寬誤差的影響（見圖5和圖6）。為了?基于光學觸針的測量儀器，如共聚焦掃描顯微鏡；?基于機械觸針的測量儀器，如原子力顯微鏡（AFM）?！貜?fù)性：?橫向（XY）重復(fù)性：小于橫截面上最小線寬的10%；?軸向（Z）重復(fù)性：小于橫截面輪廓深度的10%。?橫向（XY）精度：小于橫截面上最小線寬的10%；?軸向（Z）精度：小于橫截面輪廓深度的10%?！剩簯?yīng)根據(jù)儀器制造商的指南定期進行校準。5)從測量的橫截面高度輪廓中獲取最佳擬合特注：有多種類型的特征模型，如矩形、梯形和半球形。特征模型的選擇取擇。模型越復(fù)雜，可利用的自由度就越多，以便更好地6)根據(jù)最佳擬合特征模型計算測量輪廓的殘余誤差(R?)。R?=√··················································注：?(x)是測量的橫截面高度輪廓，f(x)為最佳擬合特征模型。7)根據(jù)最佳擬合特征模型計算橫截面積和特征高度。印版母版上的大多數(shù)特征可適用于梯外，還可確定兩個側(cè)壁角(αβ)、頂部A=(a+b)??/2·························如果選擇目標區(qū)域（ROI）包含浮雕圖案，則可以使用上述相同步驟測量浮雕圖案的橫截面輪廓及測量位置、評估長度、應(yīng)用的特征模型和特征模型的殘余誤差（——說明測量溫度和測量期間的溫度變化?！峁┧@取的三維高度分布以及橫截面高度輪廓，通過將最佳擬合特征模型與之重疊來展示7.4討論寸特征的重復(fù)測量來檢驗合格參數(shù)在母版整個區(qū)域內(nèi)的一致性。待測量的特征以及每種類型特征的測——配備精密載物臺系統(tǒng)、具有足夠分辨率的顯微鏡或測量儀器：?隨著精密載物臺的移動獲取套準標記的圖像；?套準標記的位置可通過將獲取圖像時精密載物臺的位置與所獲取圖像中套準標記在第4——顯微鏡：?分辨率：小于定義套準標記的最小線寬的10%。優(yōu)選更高的分辨率；——精密載物臺：?重復(fù)性：小于套準精度規(guī)范的10%；?精度：小于套準精度規(guī)范的10%?！剩阂烁鶕?jù)儀器制造商的指南定期進行校準。——此標記不用于確定印版印刷層與同一基板上任何后續(xù)印刷層之間的套準精度。——本規(guī)范是關(guān)于套準標記便捷應(yīng)用的一項建議。供應(yīng)商和客戶可以自行定義其實用的套準標?水平線和垂直線相交部分的面積應(yīng)由“用戶自行定義”；5μm至200μm50μm至1000μm?內(nèi)圓和外圓的直徑因印版制造工藝以及套準測量系統(tǒng)的不同而變化，如表2所示。(Ro)(Rb)5μm至200μm50μm至1000μm——基于邊緣的算法：套準標記的位置是通過水平線——套準標記的位置：通過將先前已登記的模版標記與每張獲取到的圖像進行最佳相關(guān)匹配的位置來計算的。主標記可以是獲取到的圖像之一，也可以是套準標記的標稱設(shè)計圖案。8.4步驟每條參考邊上兩個測量點之間的距離應(yīng)大于各邊緣長度3)在測量系統(tǒng)的坐標中計算兩條參考邊緣的直4)將載物臺移動到參考套準標記相對于各參考邊緣的設(shè)計位置處，并測量參考套準標記的