半導(dǎo)體潔凈室溫度異常分析改善

組裝西區(qū)潔凈室溫濕度異常

分析與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善2目錄1.事件描述2.問題分析3.糾正與改善4.糾正措施與效果確認(rèn)5.水平展開6.持續(xù)追蹤組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---事件描述2廠務(wù)值班室2016年4月以來（When）接組裝西區(qū)產(chǎn)線（Where）抱怨電話,反饋個別區(qū)域溫度偏高(What)。值班人員（Who）分別作以下動作：進(jìn)線調(diào)節(jié)風(fēng)閥；調(diào)整AHU送風(fēng)溫度；調(diào)整AHU頻率；檢查回風(fēng)等動作（How）?，F(xiàn)對改善效果及日常潔凈室溫濕度控制問題分析方法及節(jié)能運行狀況進(jìn)行匯總分析，以提升運行值班人員處理問題效率和節(jié)約潔凈室空氣調(diào)節(jié)運行能耗（Why）。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---事件描述2實際狀況1黃色和紅色溫濕度局部超標(biāo):影響產(chǎn)品品質(zhì);引起產(chǎn)線員工抱怨.以下相同組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---事件描述2實際狀況2組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---事件描述2實際狀況3組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---問題分析2如上述統(tǒng)計可以看出位于組裝西區(qū)靠近組裝辦公室的區(qū)域溫濕度比較差一直處于超標(biāo)狀態(tài)，并且之前的溫濕度調(diào)節(jié)改善動作有效性比較差。該問題在滁州廠區(qū)潔凈室環(huán)境控制具有代表性,故作分析如下供參考:組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---問題分析2原因分析效果確認(rèn)影響責(zé)任人A外氣溫度偏高\低外氣溫濕度無劇烈變化小B熱水溫度熱水溫度35-40℃小運行值班C冷凍水溫度冷凍水溫度7-12℃小運行值班D高效濾網(wǎng)待測試風(fēng)速確認(rèn)是否堵塞,無風(fēng)量大TXWE調(diào)節(jié)MAU濕度設(shè)定送風(fēng)溫度14℃，濕度94%小運行值班F調(diào)節(jié)AHU溫度設(shè)定送風(fēng)溫度16.5℃小運行值班G溫濕度傳感器定期比對小運行值班H送風(fēng)閥門需要通過風(fēng)速測試后確認(rèn)是否開啟正確大運行值班IAHU/MAU組裝區(qū)域AHU/MAU已經(jīng)全部開啟至滿負(fù)荷狀態(tài)，存在容量缺口大工程改造J回風(fēng)濾網(wǎng)定期檢查清洗大運行值班K回風(fēng)是否通暢1.回風(fēng)墻側(cè)無堵塞2.產(chǎn)線中部區(qū)域遠(yuǎn)離回風(fēng)口，確實有空氣流通不暢狀況小大運行值班維修M溫濕儀量測使用廠務(wù)現(xiàn)有溫濕儀進(jìn)行量測，小運行值班N員工技能溫濕度調(diào)節(jié)由值班長和能管員進(jìn)行調(diào)節(jié)小運行值班組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---問題分析組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2針對影響大的4種原因的確認(rèn)和糾正措施：一.送風(fēng)閥門的開啟確認(rèn)：經(jīng)過在夾層檢查確認(rèn)目前送風(fēng)閥門有以下幾種狀況：狀況1．風(fēng)閥開啟狀況不在開的位置，閥芯開啟狀況待確認(rèn)風(fēng)量。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2狀況2.開啟過度：從外觀來看閥門處于過度開啟位置，閥芯狀況如何需要量測風(fēng)量確認(rèn)組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2狀況3.閥門表觀看上去是在關(guān)閉位置，先調(diào)整到開啟位置，再確認(rèn)送風(fēng)量。狀況4.主風(fēng)管送風(fēng)管閥門未開啟(排除)組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2二.高效濾網(wǎng)堵塞：現(xiàn)象:在確認(rèn)風(fēng)閥開啟正常狀況下，用風(fēng)速儀測試風(fēng)速比較低，或沒有風(fēng)速，此種狀況多數(shù)為高效堵塞或吊柜機(jī)組運行異常。詳細(xì)數(shù)據(jù)參考下頁組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2針對以上四種狀況糾正措施：請購風(fēng)速儀對潔凈室的高效出風(fēng)口逐臺測試風(fēng)速。找出風(fēng)速低的風(fēng)口，通過對講機(jī)通知夾層的人員確認(rèn)風(fēng)閥的開啟狀況。調(diào)整后做好標(biāo)識，便于后續(xù)的檢查操作。存在另一種狀況：風(fēng)閥開啟調(diào)節(jié)沒有效果。產(chǎn)生此狀況原因分兩種：A風(fēng)閥閥芯脫落，改善措施：需要拆卸閥門維修。B高效堵塞，需要拆卸后檢查更換確認(rèn)。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2二.高效濾網(wǎng)堵塞：通過高效風(fēng)速檢測發(fā)現(xiàn)西區(qū)北側(cè)區(qū)域部分高效堵塞,部分高效無風(fēng)速(吊柜),組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2二.高效濾網(wǎng)堵塞：糾正措施：通過更換高效并對比更換前后風(fēng)速并做好記錄保存作為資料供后續(xù)參考。三．回風(fēng)是否通暢

現(xiàn)象1：

建廠初期設(shè)計的回風(fēng)通道因設(shè)備布局和房間的布局調(diào)整，已經(jīng)影響或堵塞導(dǎo)致回

風(fēng)不順暢。導(dǎo)致局部區(qū)域溫度調(diào)節(jié)能力減弱。影響環(huán)境溫度和潔凈度。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2三．回風(fēng)是否通暢

現(xiàn)象2：回風(fēng)濾網(wǎng)堵塞,回風(fēng)不暢導(dǎo)致區(qū)域溫濕度異常.現(xiàn)場測試發(fā)現(xiàn)組裝西北側(cè)回風(fēng)堵塞嚴(yán)重,正?；仫L(fēng)風(fēng)速:>2.5m/s;詳細(xì)測試數(shù)據(jù)參考下頁組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2三．回風(fēng)是否通暢回風(fēng)濾網(wǎng)堵塞,回風(fēng)不暢導(dǎo)致區(qū)域溫濕度異常.現(xiàn)場測試發(fā)現(xiàn)組裝西北側(cè)回風(fēng)堵塞嚴(yán)重,正常回風(fēng)風(fēng)速:>2.3m/s;組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2三.回風(fēng)是否通暢糾正措施：A定期檢查清洗回風(fēng)濾網(wǎng)B不影響生產(chǎn)情況下移開擋塞物或設(shè)備C確認(rèn)是否有預(yù)留回風(fēng)地道，安裝調(diào)整回風(fēng)地板D必要時改建安裝回風(fēng)道四.AHU/MAU現(xiàn)象：組裝西區(qū)空調(diào)箱由AHU-2-28；AHU-2-29；AHU-2-30；AHU-2-31；AHU-2-32；AHU-2-34；AHU-2-38及新風(fēng)機(jī)組MAU-2-15組成，風(fēng)機(jī)頻率已經(jīng)全部開啟到滿頻。系統(tǒng)容量已經(jīng)滿負(fù)荷運轉(zhuǎn)對潔凈室環(huán)境溫度調(diào)節(jié)只能依靠調(diào)整冷凍水溫度維持，增加了冷凍機(jī)運行能耗。為此組裝西區(qū)安裝了吊柜式空調(diào)箱彌補AHU/MAU容量不足。從實際效果來看略有改善沒有徹底解決組裝西區(qū)冷負(fù)荷容量不足問題。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2改善措施：AHU/MAU調(diào)節(jié)檢查確認(rèn)內(nèi)容如下：A冷凍水閥門開啟狀況,冷凍水閥門開啟不足將導(dǎo)致冷盤溫度調(diào)節(jié)能力下降.B冷凍水過濾器是否堵塞C冷盤是否結(jié)垢,結(jié)構(gòu)影響制冷量D初中效是否堵塞,堵塞影響送風(fēng)量,導(dǎo)致空調(diào)箱體靜壓過高,增加風(fēng)機(jī)負(fù)荷浪費電力E空調(diào)箱進(jìn)回風(fēng)閥門開啟確認(rèn)FMAU表冷、加熱、預(yù)熱、再熱溫度設(shè)定是否合理（在后面另單獨分析），如設(shè)定有沖突將導(dǎo)致加濕效果差，同時增加電力、蒸汽能耗。G吊柜式空調(diào)箱風(fēng)閥開啟狀況；冷凍水閥門開啟裝開啟狀況；冷凍水Y過濾器是否堵塞。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能A組裝西區(qū)潔凈室溫度調(diào)節(jié)是：AHU循環(huán)機(jī)組將潔凈室的空氣通過回風(fēng)通道回收至總管進(jìn)入AHU混合U處理過的新風(fēng)，通過表冷器翅片和經(jīng)過表冷器的冷凍水進(jìn)行冷熱交換，通過風(fēng)機(jī)加壓后經(jīng)送風(fēng)管、高效過濾器（HEPA）送入潔凈室。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能B組裝西區(qū)濕度調(diào)節(jié)：依靠MAU-2-15對外氣加濕（噴淋）、除濕處理（表冷器）后經(jīng)過中效過濾器、新風(fēng)管分配至AHU循環(huán)空調(diào)箱與回風(fēng)混合后經(jīng)過處理送入潔凈室。組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能系統(tǒng)建廠設(shè)計如下:組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能系統(tǒng)建廠設(shè)計如下:組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能系統(tǒng)建廠設(shè)計如下:組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善2五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能組裝西區(qū)溫濕度異常分析與改善---糾正與改善確認(rèn)2序號糾正措施改善前改善后完成日期責(zé)任人確認(rèn)結(jié)果1高效濾網(wǎng)風(fēng)量測試部分風(fēng)速無或<0.4m/s待更換2016/5/10陶曉偉楊勁松2送風(fēng)閥門開啟狀況確認(rèn)部分故障或未開啟已開啟2016/5/10楊勁松3回風(fēng)是否通暢部分堵塞回風(fēng)風(fēng)速<2.5m/s回風(fēng)風(fēng)速>2.5m/s2016/5/10楊勁松4AHU/MAU狀況檢查待進(jìn)行2