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1半導(dǎo)體設(shè)備用全氟醚橡膠密封制品本文件適用于半導(dǎo)體設(shè)備用全氟醚橡膠密封制品的制GB/T528硫化橡膠或熱塑性橡膠拉伸應(yīng)力應(yīng)變性能的測(cè)定GB/T531.1硫化橡膠或熱塑性橡膠壓入硬度試驗(yàn)方法第1部分：邵氏硬度計(jì)法（邵爾硬GB/T2828.1計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分：GB/T2941橡膠物理試驗(yàn)方法試樣制備和調(diào)節(jié)GB/T3452.1—2005液壓氣動(dòng)用Ο形橡GB/T3452.2—2007液壓氣動(dòng)用Ο形橡GB/T3512硫化橡膠或熱塑性橡膠熱空氣加速老化和耐GB/T3672.1橡膠制品的公差第1部GB/T5721橡膠密封制品標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存的一GB/T7759.1硫化橡膠或熱塑性橡膠壓縮永久變形的測(cè)定第1部分：在常溫及高溫GB/T7762硫化橡膠或熱塑性橡膠耐臭氧龜裂靜態(tài)拉GB/T15256硫化橡膠或熱塑性橡膠低溫脆性的測(cè)定（多試樣法）HG/T3090模壓和壓出橡膠制品外觀質(zhì)量的一般JB/T10706—2022機(jī)械密封用氟塑料全包4工作溫度產(chǎn)品工作溫度范圍為-45℃~320℃。25.1.2非Ο型圈模壓制品、壓出制品、壓延膠板的外觀質(zhì)量應(yīng)符合HG/T3090的要求。5.2尺寸公差5.2.1Ο型圈的尺寸和公差應(yīng)符合GB/T345.2.2非Ο型圈模壓制品、壓出制品、壓延膠板的尺寸和公差應(yīng)符合GB/T3672.1的相關(guān)要求。5.3材料物理性能拉斷伸長(zhǎng)率/%壓縮回彈率/%壓縮率5%壓縮率10%壓縮率15%壓縮永久變形（B型試樣）/%拉伸強(qiáng)度變化率/%拉斷伸長(zhǎng)率變化率/%ASTM1#標(biāo)準(zhǔn)油體積變化率/%ASTM1#標(biāo)準(zhǔn)油體積變化率/%ASTM3#標(biāo)準(zhǔn)油體積變化率/%％，37.3.4全部檢驗(yàn)項(xiàng)目合格，則判定該試樣為合格品；若47.4型式檢驗(yàn)7.4.3材料物理性能第一次檢驗(yàn)不合格時(shí)，允許另取雙倍數(shù)量的試樣進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)，重復(fù)試驗(yàn)結(jié)果全期、規(guī)格、數(shù)量、制造廠名稱、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)、檢驗(yàn)員代號(hào)b)樣品、檢測(cè)單位、分析日期、報(bào)告日期等所有必要的信息；）；9

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