半導(dǎo)體semi F81 中文版

SEMIF81-1103半導(dǎo)體制造應(yīng)用中流體分配系統(tǒng)中氣體鎢?。╣ta）焊縫的目視檢查和驗(yàn)收規(guī)范該規(guī)范在技術(shù)上得到了全球氣體委員會(huì)的批準(zhǔn)，并由北美氣體委員會(huì)直接負(fù)責(zé)。當(dāng)前版本由北美地區(qū)標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)于2003年9月3日批準(zhǔn)。最初可在2003年10月；將于2003年11月出版。1.目的1.1本規(guī)范的目的是提供目視檢查和。半導(dǎo)體制造應(yīng)用中流體（液體或氣體）配電系統(tǒng)中不銹鋼和其他耐腐蝕金屬和合金（CRAs）的氣體鎢弧（GTA）焊縫的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)旨在確保焊縫具有足夠的質(zhì)量，以提供半導(dǎo)體制造應(yīng)用中所需的系統(tǒng)純度、焊縫完整性和焊接強(qiáng)度。2.范圍2.1本規(guī)范規(guī)定了流體分配系統(tǒng)中不銹鋼和其他cra的GTA自動(dòng)對接焊縫的檢驗(yàn)和驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。流體分配系統(tǒng)包括油管。包含和分配流體的管道、配件、閥門、組件和部件。注意：本標(biāo)準(zhǔn)不旨在解決與使用相關(guān)的安全問題（如果有的話）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐，并確定法規(guī)或其他限制的適用性。3.局限3.1本規(guī)范所涵蓋的不銹鋼僅限于奧氏體和超奧氏體等級(jí)的不銹鋼。3.2本規(guī)范所涵蓋的耐腐蝕金屬和合金僅限于鎳合金的固溶體等級(jí)和鈦合金的固溶體等級(jí)。3.3本規(guī)范僅適用于在直徑小于等于6英寸（150毫米）的流體分配系統(tǒng)部件上進(jìn)行的自生GTA環(huán)向?qū)雍附印?.4本規(guī)范僅適用于自動(dòng)、機(jī)械化或機(jī)器GTA焊接工藝。3.5本規(guī)范僅適用于無填料和無助焊劑的焊接。3.6本規(guī)范不適用于壓力容器或工藝室的焊接。4.參考標(biāo)準(zhǔn)注1：以下文件在本指南中所包含的范圍內(nèi)成為本指南的一部分。4.1SEMl標(biāo)準(zhǔn)SEMlF78-半導(dǎo)體制造應(yīng)用中流體分配系統(tǒng)的氣體鎢極電弧（GTA）焊接規(guī)程4.2ASME標(biāo)準(zhǔn)bpe-生物加工設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)4.3AWS標(biāo)準(zhǔn)AWSQC-1-焊接檢驗(yàn)員認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)AWSa3.0-標(biāo)準(zhǔn)焊接術(shù)語和定義4.4asntsstandardASNTSNT-TC-1A-無損檢測人員資格和認(rèn)證指南注意：除非另有說明，引用的所有文件應(yīng)是最新的發(fā)布版本。1.美國機(jī)械工程師學(xué)會(huì)，紐約，NY10016-5990，電話：800.8432763（美國/加拿大），95.800.8432763（墨西哥），973.882.1167（北美以外），網(wǎng)址：2.美國焊接學(xué)會(huì)，550NWLeJeuneRoad，P.O.邁阿密,Florid33135信箱351040號(hào)5術(shù)語5.1定義5.1.1斜向錯(cuò)位——在焊接處無意中改變了油管的角度。5.1.2自焊(2)——無填充金屬的熔焊。5.1.3自動(dòng)弧焊下坡——焊接電流從最終電平持續(xù)降低直至電弧熄滅的時(shí)間。5.1.4軸向錯(cuò)位-由于油管在直線上但沒有在焊縫中心而造成的偏移。5.1.5背襯氣體-焊接接頭內(nèi)部的惰性氣體（或氣體混合物），用于防止或減少焊接過程中氧化物和其他有害表面物質(zhì)的形成，并為焊縫輪廓提供壓力。5.1.6焊頭(2)——焊接頭的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語5.1.7焊頭重疊-在脈沖焊接中，一個(gè)焊接脈沖對前一個(gè)焊接脈沖的覆蓋量，通常用脈沖直徑的百分比來測量。5.1.8珠寬變化——內(nèi)徑珠寬從一個(gè)區(qū)域到另一個(gè)區(qū)域的變化量。5.1.9焊頭寬度-內(nèi)徑上焊頭的寬度，通常以T為單位測量，其中T為公稱管壁厚度。5.1.10中心線收縮-通常在凝固過程中由于收縮而形成的降低輪廓的缺陷或不連續(xù)。5.1.11色線——焊縫或相鄰表面允許的最大變色量的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。5.1.12顏色——焊縫或相鄰表面氧化的暗度。變色的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.13凹(3)——焊縫表面相對于管或管表面凹陷的情況。凹度是指與焊縫外徑或內(nèi)徑表面之間的最大距離。該術(shù)語來源于以下來源：(1)韋氏新世界大學(xué)詞典第四版(2)ANSI/AWSA3.0標(biāo)準(zhǔn)焊接術(shù)語和定義(3)ASMEBPE生物加工設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)，沿著與連接焊縫的線垂直的線。5.1.14comexin(3)——焊縫表面相對于管道表面伸展的情況。凸度是指從焊縫外徑或內(nèi)徑表面沿垂直于連接焊縫腳趾的直線的最大距離。5.1.15試樣——打開以檢驗(yàn)焊縫是否符合規(guī)范的焊縫試樣。5.1.16對焊接頭生產(chǎn)焊接前的首聯(lián)焊。5.1.17對焊接頭末端生產(chǎn)焊接后的最后一票。5.1.18變色(3)—表面顏色與母材顏色的任何變化。通常與焊接過程中金屬加熱導(dǎo)致焊縫和焊接接頭外徑和內(nèi)徑的熱影響區(qū)發(fā)生的氧化有關(guān)。顏色可以從淺藍(lán)灰色到深藍(lán)色，從淺稻草色到黑色硬皮涂層。5.1.19下坡-參見自動(dòng)弧焊下坡。5.1.20gross(2)-非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語/ag。5.1.21電極(2)-鎢電極的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.22封閉焊頭-焊接頭，其中焊接接頭被固定并焊接在含有保護(hù)吹掃氣體的封閉室中。5.1.23侵占——標(biāo)識(shí)一致性的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.24審查員——對特定物品進(jìn)行檢查或評估操作是否符合既定標(biāo)準(zhǔn)的人員。審查員對制造商、制造商或安裝商進(jìn)行質(zhì)量控制。5.1.25/uid(1)-liquidorgas5.1.26氣體(1)——物質(zhì)的流體形式，它可以無限膨脹并完全填滿其容器；既不是液體也不是固體的形態(tài)。5.1.27氣體鎢極電弧焊（GT4W(3)）——在鎢極（非消耗品）和焊池之間使用電弧的電弧焊工藝。該過程在保護(hù)氣體的作用下進(jìn)行。5.1.28光暈——焊接過程引起的變色的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.29霧霾——焊接過程中產(chǎn)生的變色的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.30熱色調(diào)/顏色——焊接過程引起的變色的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.31熱影響區(qū)(HAZ)-母材的機(jī)械性能或微觀結(jié)構(gòu)因焊接熱而改變的部分。5.1.32夾雜物(2)——夾雜的外來固體物質(zhì)，如礦渣、熔劑、鎢或氧化物。5.1.33惰性氣體-通常不與物質(zhì)發(fā)生化學(xué)結(jié)合的氣體。保護(hù)性的大氣層。5.1.34檢驗(yàn)員——確認(rèn)所需的檢查和試驗(yàn)已經(jīng)完成，并對裝配進(jìn)行必要程度的檢查以確保其符合所有適用的檢查要求的人員。檢驗(yàn)員為業(yè)主進(jìn)行質(zhì)量保證。檢驗(yàn)員由船東指定，并應(yīng)是船東、船東的雇員、工程或科學(xué)組織的雇員，或作為船東代理人的公認(rèn)保險(xiǎn)或檢驗(yàn)公司的雇員。5.1.35自動(dòng)焊接-焊條靜止而焊縫轉(zhuǎn)動(dòng)的管子或管道的自動(dòng)或機(jī)器焊接。這里定義的車床焊接是一種沒有添加填料的熔合過程。5.1.36液體(1)——與固體不同，由于內(nèi)聚力的作用，其分子相對自由運(yùn)動(dòng)，因而易于流動(dòng)，而不像氣體那樣無限膨脹。5.1.37液體瓶——通常被稱為杜瓦瓶，一種用于儲(chǔ)存液體的絕緣和壓力控制的金屬瓶。5.1.38彎曲(3)-屬于或關(guān)于在焊接接頭上從一邊到另一邊偏離而不是精確地跟蹤接頭的焊頭。5.1.39軌道焊接(3)——焊條繞工件旋轉(zhuǎn)（或繞工件旋轉(zhuǎn)）對管道進(jìn)行自動(dòng)或機(jī)器焊接。軌道焊接。適用于本標(biāo)準(zhǔn)，是一種不添加填料的熔合工藝。5.1.40氧化(3)——在金屬表面形成氧化層。當(dāng)過度氧化發(fā)生的焊接結(jié)果，它是可見的變色。5.1.41氧化島——礦渣的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.42壓力瓶-用于在壓力下儲(chǔ)存氣體的金屬瓶。5.1.43型材缺陷-使壁厚低于母材厚度的任何缺陷或不連續(xù)。5.1.44脈沖氣鎢焊接。電流按一定間隔變化的一種鎢氣弧焊工藝變化。5.1.45吹掃氣體一種惰性氣體（或氣體混合物），用于從焊接接頭內(nèi)部（ID）排出周圍空氣。5.1.46吹掃——將惰性氣體（或氣體混合物）應(yīng)用于焊接接頭的外徑或內(nèi)徑表面，以取代非惰性大氣氣體。5.1.47屋頂——根表面的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語5.1.48根面(2)-與進(jìn)行焊接的一側(cè)相對的焊縫暴露的表面。5.1.49旋轉(zhuǎn)延遲——電弧啟動(dòng)到轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動(dòng)之間的時(shí)間延遲。5.1.50保護(hù)氣體-惰性氣體（或氣體混合物），保護(hù)電極和熔池不受大氣影響，并提供所需的電弧特性。5.1.51渣(2)——在某些焊接過程中非金屬雜質(zhì)相互溶解而產(chǎn)生的非金屬產(chǎn)物。5.1.52固定焊(2)-在最終焊縫完成之前，為使焊件各部分保持正確的對齊而進(jìn)行的焊接。5.1.53tail-ou(2)-自動(dòng)弧焊下坡非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.54鎢——鎢電極的非標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。5.1.55鎢電極(2)——電路的元件，在電弧、熔化的導(dǎo)電渣或賤金屬處終止。一種非填充電極，主要由鎢制成，用于電弧焊。5.1.56udercu(2)-焊縫邊緣與母材相鄰的未被焊縫金屬填充的凹槽。5.1.57焊縫(2)——焊縫面或焊縫根面低于母材相鄰表面的坡口焊接狀態(tài)。5.1.58焊頭(2)-由焊道形成的焊縫。5.1.59焊接水平——一個(gè)或多個(gè)焊接參數(shù)可以獨(dú)立改變的焊接計(jì)劃的一段或部分；焊接順序的一部分。5.1.60焊接順序——由焊接電源執(zhí)行的一系列步驟，以進(jìn)行特定的軌道焊接。5.1.61焊工——從事焊接工作的人（有時(shí)指焊機(jī)或電源）。5.1.62焊接設(shè)備——用于焊接的電源、焊頭、焊槍及相關(guān)電纜和附件。5.1.63焊接操作工——使用軌道或機(jī)器焊接系統(tǒng)進(jìn)行焊接的人員。6訂購信息6.1按照本規(guī)范提供服務(wù)的采購訂單應(yīng)包括以下信息：6.1.1采購訂單號(hào)6.1.2參考相關(guān)規(guī)范6.1.3文件和認(rèn)證要求文件和憑證的處理不合格品的處理檢驗(yàn)員/審查員資格，如ASNTSNT-TC-1A或AWSQC-%質(zhì)量保證或質(zhì)量控制水平檢驗(yàn)7.要求7.1焊縫的生產(chǎn)應(yīng)符合SEMlF78《半導(dǎo)體制造應(yīng)用中輸配電系統(tǒng)的氣體鎢極電?。℅TA）焊接規(guī)范》中概述的程序和要求。所有焊珠應(yīng)符合以下規(guī)范：7.1.1所有焊縫應(yīng)在整個(gè)內(nèi)表面呈現(xiàn)完整的滲透。焊透和焊頭寬度在整個(gè)焊縫中應(yīng)均勻。7.1.2放大后焊縫表面無明顯裂紋、氣孔或夾雜物。（參見本標(biāo)準(zhǔn)第8.1節(jié)）參見第7.1.9節(jié)。7.1.3在焊縫的任何地方都不允許有使最小壁厚Tmi低于母材壁厚的型材缺陷（圖1）。不允許有下切和中心線收縮。不允許iD凹。7.1.4油管外徑（OD）凹凸度不得超過公稱管壁厚度T的10%。（25mm）及以上。1英寸以下的油管不允許有外徑凹陷。（25mm）外徑凸度不得超過公稱壁厚T的10%（圖2）。7.1.5內(nèi)徑（ID）凸度不得超過公稱壁厚T的10%（圖3）。7.1.6最小內(nèi)徑焊頭寬度應(yīng)為公稱壁厚T的1.0倍，最大內(nèi)徑焊頭寬度應(yīng)為公稱壁厚T的2.5倍。7.1.7在任何單個(gè)焊縫中，最大內(nèi)徑焊頭寬度不得超過最小焊頭寬度的1.25倍（圖4）。7.1.8內(nèi)徑和外徑焊縫撓度不得超過公稱壁厚T的35%（圖5）。7.1.9內(nèi)徑焊縫根部表面未經(jīng)放大觀察不得有氣孔、夾雜物和熔渣。下坡端有少量夾雜渣，直徑小于公稱壁厚T的10%，但不影響焊縫完整性，是可以接受的。7.1.10外徑焊縫面寬度應(yīng)至少為公稱壁厚t的兩(2)倍。7.1.11焊縫焊縫重疊部分（第一次焊縫脈沖被隨后的焊縫脈沖覆蓋的百分比）在除下坡外的整個(gè)長度上，在外徑上應(yīng)至少為80%，在內(nèi)徑上應(yīng)至少為70%（圖6）。7.1.12在外徑或內(nèi)徑焊縫內(nèi)或周圍，釘焊焊縫必須完全消耗，且不可檢測（圖7）。7.1.13外徑焊縫表面應(yīng)無氧化，但允許淺稻草色。輕微的外部氧化可以在焊接后立即用不銹鋼絲刷清除，除非最終用戶禁止。7.1.14在沒有放大的明亮熒光燈下（僅限HP和UHP系統(tǒng)）觀察時(shí)，管ID或焊縫ID上不應(yīng)有明顯的變色。大于2英寸。（50毫米）直徑，輕微的藍(lán)色是可以接受的。7.1.15軸向錯(cuò)位不應(yīng)超過公稱壁厚T的10%（圖8）。7.1.16角度錯(cuò)位不應(yīng)超過±%度（1/8英寸）。7.1.17焊縫下坡必須有足夠的長度，以防止在焊縫末端形成凹坑。內(nèi)徑下坡與外徑下坡之間的距離應(yīng)至少為公稱壁厚T的3倍（圖10）。8巡檢工具和方法8.1可接受的工具、放大率和照明應(yīng)根據(jù)本文件第6.1.4節(jié)規(guī)定并由供方和采購方商定。8.2可接受的工具、放大倍率和照明示例包括但不限于：8.2.1工具-瞄準(zhǔn)管、剛性管鏡、卡尺、v形塊、表盤指示器、比較器8.2.2放大倍率-放大鏡、光學(xué)顯微鏡（2至40倍）8.2.31/照明-手電筒、明亮熒光燈；自然(環(huán)境)光;8.3所有工具不得損壞或污染生產(chǎn)焊接件的潤濕表面。工具可能會(huì)接觸到票面濕潤的表面。9認(rèn)證9.1應(yīng)買方在合同或訂單中提出的要求，應(yīng)在裝運(yùn)時(shí)提供制造商或供應(yīng)商的證明，證明產(chǎn)品是按照本規(guī)范制造和測試的，并提供測試結(jié)果報(bào)告。9.2如有需要，供方和采購方可同意對產(chǎn)品進(jìn)行“能夠滿足”某些要求的認(rèn)證。在這種情況下，“能夠滿足要求”是指不要求供應(yīng)商進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑囼?yàn)。但是，如果買方進(jìn)行測試而產(chǎn)品不符合要求，則產(chǎn)品可能會(huì)被拒絕。咬邊咬邊中心線收縮中心線收縮內(nèi)焊縫凹度內(nèi)焊縫凹度外焊縫凹度外焊縫凹度外焊縫凸度咬邊外焊縫凸度咬邊內(nèi)焊縫凸度內(nèi)焊縫凸度焊縫寬度差異焊縫寬度差異焊縫彎曲焊縫彎曲ODConcavityandIDConcavity焊麟重疊焊麟重疊點(diǎn)焊