六西格瑪改進(jìn)項(xiàng)目的測(cè)量系統(tǒng)分析【M階段】設(shè)計(jì)案例3200字

六西格瑪改進(jìn)項(xiàng)目的測(cè)量系統(tǒng)分析(M階段)設(shè)計(jì)案例綜述 2 6作為DMAIC六西格瑪管理的第二個(gè)步驟，測(cè)量階段承上在定義階段的基礎(chǔ)上，圍繞項(xiàng)目指標(biāo)Y,收集分類相關(guān)輸入因子x的數(shù)據(jù)，在輸因素，以便確定出對(duì)Y有影響的所有輸入因素變量x,并過(guò)濾掉那些不重要的因素。TFTArraySD(Source線，即S線)干蝕刻制程的基本流程工藝的基本過(guò)程性并識(shí)別可改進(jìn)的機(jī)會(huì)，如圖1.6所示為形成的動(dòng)線流程圖。SDSD成脫前清洗童業(yè)重SDSD成膜換軌基板投入基板搬出JJJJ燥J卻JJ1.2C/E矩陣分析根據(jù)流程圖，使用頭腦風(fēng)暴法、魚骨圖和C/E矩陣深入分析與y目標(biāo)相關(guān)的輸入因子，C/E矩陣將流程的每個(gè)步驟與客戶需求緊密聯(lián)系在一起，需要從主要原因開始向下展開次要原因，劃分需求的重要性級(jí)別以及流程的每個(gè)步驟與需求之間的相關(guān)程度。根據(jù)頭腦風(fēng)暴提出問(wèn)題并做出假設(shè)，然后設(shè)置分?jǐn)?shù)比重以y3爬坡斷線的魚骨圖，如下圖1.7所示。單元水滴凝聚搬出CV機(jī)構(gòu)磨損發(fā)塵清洗設(shè)備密封性不佳氣流紊亂水洗室流量/壓力不夠日可控難控不可控刮傷 洗凈mistGate膜下密著性不足UV單元異常 基板滯留可控難控不可控C&E矩陣分析方法包括分析所有過(guò)程輸入變量對(duì)輸出變量的影響程度，根據(jù)影響的重要性，輸入和輸出變量的權(quán)重按照1到10的重要程度進(jìn)行打分，將表1.5C&EMetricsLi對(duì)客戶重要概權(quán)(1~10等級(jí))155設(shè)備穩(wěn)定性響易度耗影響估11234567水殘留PA殘留常AK單元Gap不均一氣流紊亂水洗室液刀角度不佳端部處理異常端部Bonding異常Rollercover氧化9333111393131911399311911139913939319333399933993111399313113113991199933931133333331193313099111199911333111193933913911333999909393331933131911393931133331199199333√√√對(duì)客戶重要概權(quán)(1~10等級(jí))81744566設(shè)備穩(wěn)定性響易度耗影響綜合評(píng)估Resist附著力FFU異常燒結(jié)物殘留O-ring磨損洗浄mist33391131119933313931199333139331933331393333331191399931131191399391193931911193109931333393939911330193391111099311393311911931139933919390993930119999391939111933133911333993313393193339√對(duì)客戶重要概權(quán)(1~10等級(jí))81744566穩(wěn)定性響改進(jìn)難成本消環(huán)境綜合評(píng)易度耗影響估191基板滯留1SCR水殘3333131通過(guò)C/E矩陣找出重點(diǎn)x因子，即y1的HM-S水汽比例不佳、FRSW流量洗浄mist、A/K流量、PhotoRework、基板預(yù)處理與否4個(gè)變量。否合適，保證測(cè)量系統(tǒng)能夠正確的衡量y,來(lái)確定測(cè)量系統(tǒng)誤差的主要成分。相同的測(cè)量結(jié)果。再現(xiàn)性(Reproducibility)是在不同測(cè)量條件下測(cè)量時(shí)，考察人員的變異性，例如不同的操作員使用相同的儀器，由于y1、y2、y3中連續(xù)數(shù)值均由大型設(shè)備自帶儀表定期測(cè)量，無(wú)需進(jìn)行分否具有相同標(biāo)準(zhǔn)、人員的判定一致性是否符合標(biāo)準(zhǔn)。S斷的判定涉及Array配線修正設(shè)備與MSL點(diǎn)燈裝置，所以主要針對(duì)上述兩個(gè)設(shè)備的MSA人員重復(fù)性和測(cè)量樣本：共25pcs,NG樣本11pcs,OK樣本14pcs測(cè)量人員：作業(yè)員6位測(cè)量設(shè)備：配線修正裝置測(cè)量方法：25pcs樣品隨機(jī)進(jìn)行盲測(cè)，每人3次判定基準(zhǔn)：整體有效性比率>90%a.操作者之間的一致性分析。在25次測(cè)量中，6位檢驗(yàn)者完全一致的有24次，一致性比率為96%,下表1.6為Minitab軟件的分析結(jié)果。表1.6操作者之間一次性分析檢驗(yàn)員之間百分比95%置信區(qū)間#相符數(shù)：所有檢驗(yàn)員的評(píng)估一致。響應(yīng)01ZP(與>0)00b.所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)的整體對(duì)比。在25次測(cè)量中，有24次體一致性比率為96%,下表1.7為Minitab軟件的分析結(jié)果。百分比#相符數(shù)：所有檢驗(yàn)員的評(píng)估與已知的標(biāo)準(zhǔn)一致。響應(yīng)Kappa標(biāo)準(zhǔn)誤ZP(與>0)0010本次Array配線修正設(shè)備測(cè)量系統(tǒng)分析的判定標(biāo)準(zhǔn)為整體有效性比率大于等于90%,結(jié)合以上分析結(jié)果，可以得出檢查員之間及所有檢查員與標(biāo)準(zhǔn)之間的Kappa均大于90%,則一致性可以接受，判定為合格。(2)MSL點(diǎn)燈裝置測(cè)量樣本：共25pcs,NG樣本15pcs,OK樣本10pcs測(cè)量人員：作業(yè)員6位測(cè)量設(shè)備：MSL手動(dòng)點(diǎn)燈機(jī)臺(tái)測(cè)量方法：25pcs樣品隨機(jī)進(jìn)行盲測(cè)，每人3次a.操作者之間的一致性分析。在25次測(cè)量中，6位檢驗(yàn)者完全一致的有21次，一致性比率為84%,下表1.8為Minitab軟件的分析結(jié)果。檢驗(yàn)員之間#檢驗(yàn)數(shù)#相符數(shù)百分比95%置信區(qū)間致。響應(yīng)ZP(與>0)0010b.所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)的整體對(duì)比。在25次測(cè)量中，有21次與標(biāo)準(zhǔn)一致，整體一致性比率為84%,下表1.9為Minitab軟件的分析結(jié)果。表1.9所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)之間一次性分析#檢驗(yàn)數(shù)#;相符數(shù)百分比95%置信區(qū)間#相符數(shù)：所有檢驗(yàn)員的評(píng)估與已知的標(biāo)準(zhǔn)一致。響應(yīng)