潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求_第1頁
潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求_第2頁
潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求_第3頁
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10萬級潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求監(jiān)測項目技術(shù)要求監(jiān)測方法監(jiān)測頻次溫度1828 OC（十萬級、三十萬級）JGJ71-901次/班濕度4565（十萬級、三十萬級）JGJ71-901次/班換氣次數(shù)十萬級15次/小時JGJ71-901次/月靜壓差5Pa（不同潔凈級別潔凈室（區(qū)）之間）JGJ71-901次/月10Pa（潔凈室（區(qū)）與室外）5Pa（潔凈室（區(qū)）之間與非潔凈室（區(qū)）塵埃粒子0.5m5mGB/T16292-19961次/季十萬級3500000個/m320000個/m3浮游菌十萬級500個/m3GB/T16293-19961次/季沉降菌十萬級10個/皿GB/T16294-19961次/周100級和10000級潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測要求監(jiān)測項目監(jiān)測儀器技術(shù)要求測 量 位 置監(jiān)測頻次100級10000級溫度()溫濕度計18-2818-28潔凈區(qū)各室1次/班濕度( %)溫濕度計45-6545-65潔凈區(qū)各室1次/班風(fēng)速(m/s)風(fēng)速儀水平層流04送風(fēng)口1次/月垂直層流0.3換氣次數(shù)(次/h)20靜壓差(Pa)微壓差計55不同潔凈區(qū)之間1 1次/月1010潔凈區(qū)與室外塵埃粒子數(shù)(個/M3 )塵埃粒子計數(shù)器0.5um3500 0.5um35000潔凈區(qū)內(nèi)關(guān)鍵操作點及100級超凈工作臺1次/季5um05um2000沉降菌落數(shù)(個/皿)培養(yǎng)皿13潔凈區(qū)內(nèi)關(guān)鍵操作點1次/周浮游菌落數(shù)（個/）浮游

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