電子顯微鏡PPT.ppt

1、電子顯微鏡,一、透射電子顯微鏡,（1）透射電子顯微鏡工作原理 透射電子顯微鏡在成像原理上與光學(xué)顯微鏡類(lèi)似。它們的根本不同點(diǎn)在于光學(xué)顯微鏡以可見(jiàn)光作照明束，透射電子顯微鏡則以電子為照明束。在光學(xué)顯微鏡中將可見(jiàn)光聚焦成像的玻璃透鏡，在電子顯微鏡中相應(yīng)的為磁透鏡。由于電子波長(zhǎng)極短，同時(shí)與物質(zhì)作用遵從布拉格方程，產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，使得透射電鏡自身在具有高的分辨率的同時(shí)兼有結(jié)構(gòu)分析的功能。,（2）透射電子顯微鏡構(gòu)造,透射電鏡的光路圖,電子光學(xué)系統(tǒng),電子顯微鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)的核心是磁透鏡。電子光學(xué)系統(tǒng)是一個(gè)透鏡組。上端是電子槍部分，下端是觀察和照相部分，中間則為成像系統(tǒng)和樣品室。,照明系統(tǒng)由電子槍和第一聚光鏡

2、、第二聚光鏡組成。它的作用是提供一個(gè)亮度高、尺寸小的電子束。電子束的亮度取決于電子槍?zhuān)娮邮睆降某叽鐒t取決于聚光鏡。電子槍又分為陰極燈絲、柵極、加速陽(yáng)極三部分，是電鏡的照明光源。燈絲通過(guò)電流后發(fā)射出電子，柵極電壓比燈絲負(fù)幾百伏，作用是使電子會(huì)聚，改變柵壓可以改變電子束尺寸。加速陽(yáng)極系統(tǒng)具有比燈絲高數(shù)十萬(wàn)伏的高壓，其作用是使電子加速，從而形成一個(gè)高速運(yùn)動(dòng)的電子束。,聚光鏡是使電子束聚焦到所觀察的試樣上，通過(guò)改變聚光鏡的激磁電流，可以改變聚光鏡的磁場(chǎng)強(qiáng)度，從而控制照明強(qiáng)度及照明孔徑角大小。 樣品室在照明系統(tǒng)下面，放置被觀察樣品，并使樣品沿x、y、z方向移動(dòng)。,樣品室下面是成像系統(tǒng)。它是由物鏡、中

3、間鏡和投影鏡組成。物鏡是電鏡的重要部分，它的作用是形成樣品的第一級(jí)放大像，并對(duì)像進(jìn)行聚焦。物鏡中還有一個(gè)可變光闌和物鏡消像散器，其作用是減少物鏡像散，提高分辨本領(lǐng)。物鏡所產(chǎn)生的任何缺陷都將被隨后的中間鏡和投影鏡放大，所以透射電鏡分辨本領(lǐng)的高低主要取決于物鏡。通常用強(qiáng)磁透鏡作為物鏡，其放大率為100200倍。,中間鏡的作用是把物鏡形成的第一級(jí)放大像再進(jìn)行二級(jí)放大。中間鏡一般用弱磁透鏡，要求電流的可調(diào)范圍比較大。改變中間鏡的激磁電流可以改變中間鏡磁場(chǎng)強(qiáng)度，從而改變中間鏡的放大倍數(shù)，進(jìn)而改變整個(gè)成像系統(tǒng)總的放大倍數(shù)。 投影鏡的作用是把上述所形成的電子圖象進(jìn)一步放大并投影到熒光屏上。要求熒光屏有較高的

4、放大倍數(shù)，一般用強(qiáng)磁透鏡。,設(shè)物鏡的放大倍數(shù)為M0，中間鏡的放大倍數(shù)為M1，投影鏡的放大倍數(shù)為Mp，這時(shí)成像系統(tǒng)的總的放大系數(shù)M為：M= M0 M1Mp 在電鏡的設(shè)計(jì)、制造中，采用改變中間鏡的放大倍數(shù)來(lái)改變總的放大倍數(shù)。,（3）透射電鏡分辨率與放大倍數(shù),分辨率 點(diǎn)光源通過(guò)理想透鏡（無(wú)像差）成像后，不能得到一個(gè)完整的點(diǎn)像，而是得到一個(gè)具有一定尺寸中央亮斑及其周?chē)靼迪嚅g的圓環(huán)所組成的所謂埃利斑（Airy）。通常埃利斑的大小以第一暗環(huán)的半徑r表示。根據(jù)衍射理論推導(dǎo)，點(diǎn)光源通過(guò)透鏡產(chǎn)生的埃利斑半徑r的表達(dá)式為： 式中：是照明束波長(zhǎng)，是透鏡孔徑半角，n是物方介質(zhì)折射率，nsin或NA稱為數(shù)值孔徑。,分

5、辨本領(lǐng) 孔徑越大，分辨率越高?？讖浇窃酱?，收集的信息越多，得到的圖像越少受衍射的影響，越接近點(diǎn)像。 波長(zhǎng)越短，分辨率越高。電子波長(zhǎng)取決于加速電壓V： 人眼睛的分辨本領(lǐng)0.10.2mm 光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)200nm 電子顯微鏡0.10.2nm,放大倍數(shù),電鏡最大的放大倍數(shù)等于肉眼分辨率（約0.2mm）除以電鏡的分辨率0.2nm，因而在106數(shù)量級(jí)上。,（4）透射電子顯微鏡圖像的襯度原理,每張電子顯微鏡照片都是用明暗不同而形成像的。當(dāng)電子束通過(guò)薄樣品時(shí)，由于電子與試樣的相互作用，電子通過(guò)樣品后即發(fā)生電子散射、電子衍射和干涉等物理過(guò)程。用于透射電子顯微鏡分析的樣品必須很薄，避免樣品被吸收。電子顯微

6、鏡照片的反差即襯度，有散射襯度、衍射襯度和相位襯度三種。, 散射襯度,由于樣品對(duì)入射電子的散射而引起的。它是非晶態(tài)物質(zhì)形成襯度的主要原因。,散射襯度的形成, 衍射襯度,這是樣品對(duì)電子的衍射引起的，是晶體樣品的主要襯度。,衍射襯度形成示意圖,位相襯度,由于散射波和入射波在像平面上干涉而引起的襯度。是超薄樣品和高分辨像的襯度來(lái)源。,（5）透射電子顯微鏡的樣品制備, 金屬載網(wǎng)和支持膜 支持膜應(yīng)具有良好的電子透明性，能經(jīng)受電子轟擊，并有較高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性，一般采用聚乙烯醇縮甲醛、硝酸纖維素、聚乙烯醇和醋酸纖維素的溶液在蒸餾水表面成膜。近來(lái)常用的是蒸鍍一層20nm厚的碳膜。因?yàn)樘嫉脑有驍?shù)低，碳

7、膜對(duì)電子束的透明度高，又耐電子轟擊，其強(qiáng)度、導(dǎo)電、導(dǎo)熱和遷移性均很好 。, 超薄切片技術(shù),用超薄切片機(jī)可獲得50nm左右的薄試樣。如果要用透射電子顯微鏡研究大塊聚合物樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可采用此法制樣。纖維、薄膜、顆粒狀或小塊試樣，須用樹(shù)脂包埋后進(jìn)行超薄切片。常用的包埋劑有鄰苯二甲酸二丙烯酯、甲基丙烯酸甲酯與甲基丙烯酸丁酯的混合單體及環(huán)氧樹(shù)脂等。經(jīng)包埋后再切片，就不會(huì)切削過(guò)程而使超微結(jié)構(gòu)發(fā)生變形。 一般來(lái)說(shuō)，由超薄切片得到的試樣還不能直接用來(lái)進(jìn)行透射電鏡的觀察。因?yàn)槠湟r度較低，需要通過(guò)染色或蝕刻的方法來(lái)改善切片試樣的圖像襯度。但不要采用投影的方法，因?yàn)榍衅谋砻婵傆械逗?，投影以后?huì)引入假象。,分散

8、聚四氟乙烯粉粒的超薄切片像, 蝕刻,蝕刻的目的是除去一部分結(jié)構(gòu)，從而可以突出需要的結(jié)構(gòu)。蝕刻方法主要有三種：溶劑蝕刻、酸蝕刻和等離子蝕刻。溶劑蝕刻是靠溶劑的溶解除去易溶性分子；酸蝕刻是用強(qiáng)酸選擇性氧化某一相，使高分子斷裂為碎片而被除去；等離子或離子蝕刻是用等離子或離子帶電體攻擊聚合物表面，除去表面的原子或分子，由于除去速度的差異而產(chǎn)生相之間的反差。,125結(jié)晶的等規(guī)聚丙烯薄膜的蝕刻表面的復(fù)型照片, 投影,利用真空鍍膜的方法把重金屬以一定的角度沉積到試樣表面上去當(dāng)試樣表面存在凹凸起伏的表面形貌時(shí)，面向蒸發(fā)源的區(qū)域沉積上一層重金屬，而背向蒸發(fā)源的區(qū)域會(huì)凸出部分擋掉，沉積不上重金屬，從而形成對(duì)電子束

9、透明的“陰影區(qū)”，使圖像反差大增，立體感加強(qiáng)。, 染色,所謂染色處理實(shí)質(zhì)上就是用一種含重金屬的試劑對(duì)試樣中的某一個(gè)相或某一組分進(jìn)行選擇性的化學(xué)處理，使其結(jié)合上或吸附上重金屬，而另一部分則沒(méi)有，從而導(dǎo)致它們對(duì)電子的散射能力的明顯差異。,SBS嵌段共聚物擠出條橫截面超薄切片的電子顯微像（OsO4）染色,1）OsO4染色，可染-C=C-雙鍵、-OH基、-NH2基。其染色反應(yīng)是：,2）RuO4染色： 克服了OSO4染色的局限性。對(duì)大部分聚合物都能染色，對(duì)PVC、PMMA、PAN、PVF不能染色。對(duì)不同的聚合物的染色速率不同。,用2%RuO4水溶液熏1540min。, 冷凍脆斷,除了切片以外，塊狀聚合物

10、樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)還可以通過(guò)冷凍脆斷的方法來(lái)顯示。具體做法是先將樣品在液氮或液態(tài)空氣中浸泡一段時(shí)間，待液氮表面不再有氣泡時(shí)，表明樣品內(nèi)外均已冷凍到液氮溫度。這時(shí)將樣品取出，迅速折斷。折斷后如果表面粗糙，可用掃描電鏡觀察。如果表面不太粗糙，也不能直接放入透射電鏡中觀察。只能先復(fù)型，后觀察。, 復(fù)型,先將試樣的一個(gè)表面打磨拋光，形成平整的表面，選擇適當(dāng)?shù)奈g鏤劑將試樣表面侵蝕，再用適當(dāng)?shù)姆椒▽⑽g鏤過(guò)的表面復(fù)制下來(lái)，復(fù)制物作透射電鏡觀測(cè)，從而了解試樣的形態(tài)結(jié)構(gòu)。,1） 塑料一級(jí)復(fù)型,樣品上滴濃度為1%的火棉 膠醋酸戍酯溶液或醋酸纖維 素丙酮溶液，溶液在樣品表 面展平，多余的用濾紙吸掉， 溶劑蒸發(fā)后樣品表面

11、留下一 層100nm左右的塑料薄膜。 分辨率低（1020nm），電子束照射下易分解和破裂。,碳一級(jí)復(fù)型,樣品放入真空鍍膜裝置中， 在垂直方向上向樣品表面蒸鍍 一層厚度為數(shù)十納米的碳膜。 把樣品放入配好的分離液中進(jìn) 行電解或化學(xué)分離。 分辨率高（25nm）， 電子束照射下不易分解和 破裂，樣品易遭到破壞。,2） 二級(jí)復(fù)型,先一次復(fù)型，然后進(jìn)行二 次碳復(fù)型，把一次復(fù)型溶去， 得到第二次復(fù)型。 為了增加襯度可在傾斜 15-45的方向上噴鍍一層 重金屬，如Cr、Au等。,塑料-碳二級(jí)復(fù)型,塑料-碳二級(jí)復(fù)型結(jié)合兩種一級(jí)復(fù)型的優(yōu)點(diǎn)。不破壞樣品原始表面；最終復(fù)型碳膜，穩(wěn)定性和導(dǎo)電導(dǎo)熱性都很好，電子束照射下不

12、易分解和破裂；分辨率和塑料一級(jí)復(fù)型相當(dāng)。 適于粗糙表面和斷口的復(fù)型。,二級(jí)復(fù)型照片,（6） 透射電子顯微鏡的應(yīng)用,1）結(jié)晶性高分子,(a),PE單晶的電子顯微像（a）和電子衍射譜（b） 0.01%的PE二甲苯稀溶液，80,型古塔膠單鏈單晶的形態(tài)及電子衍射圖,PEO球晶,PE球晶,PE串晶,尼龍66樹(shù)枝晶,2）多相高分子體系 共混物,高抗沖尼龍的相結(jié)構(gòu) （a）相差顯微鏡照片（450 x）；（b）TEM照片（5140 x）； （c） TEM照片（5790 x）TEM切片樣品都經(jīng)RuO4蒸汽染色,橡膠組分形成連續(xù)相，尼龍為分散相, 嵌段共聚物的結(jié)構(gòu)形態(tài),a,b1,b2,苯乙烯與異戊二烯、苯 乙烯與丁

13、二烯嵌段共聚， 按共組分含量不同，可 形成球狀、柱狀、層狀等各種聚集態(tài)。圖a為球狀形態(tài)，圖b1為雙螺旋形態(tài)圖b2為年輪型層狀形態(tài)。,3） 高分子乳液顆粒形態(tài),PMMA/SPS乳液粒子的TEM照片,三、掃描電子顯微鏡（SEM）,掃描電子顯微鏡（Scanning electron microscope-SEM）是以類(lèi)似電視攝影顯像的方式，通過(guò)細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描激發(fā)出的各種物理信號(hào)來(lái)調(diào)制成像的顯微分析技術(shù)。 掃描電子顯微鏡以較高的分辨率（3.5nm）和很大的景深清晰地顯示粗糙樣品的表面形貌，并以多種方式給出微區(qū)成份等信息，用來(lái)觀察斷口表面微觀形態(tài)，分析研究斷裂的原因和機(jī)理，以及其它方面的應(yīng)用

14、。,（1）電子束與固體樣品相互作用時(shí)產(chǎn)生的信號(hào) 具有高能量的入射電子束與固體樣品表面的原子核及核外電子發(fā)生作用，產(chǎn)生如下物理信號(hào)。,入射電子束轟擊樣品產(chǎn)生的信息, 背散射電子（backscattering electron)背散射電子是指被固體樣品中的原子核或核外電子反彈回來(lái)的一部分入射電子。 二次電子(secondary electron)在入射電子作用下被轟擊出來(lái)并離開(kāi)樣品表面的樣品原子的核外電子。它是一種真空自由電子 。 由于原子核和外層價(jià)電子間的結(jié)合能很小，因此，外層的電子較容易和原子脫離，使原子電離。 一個(gè)能量很高的入射電子射入樣品時(shí)，可以產(chǎn)生許多自由電子。其中90%來(lái)自于外層價(jià)電子

15、。, 吸收電子(absorption electron)入射電子進(jìn)入樣品后，經(jīng)多次非彈性散射，能量損失殆盡，最后被樣品吸收。 透射電子(transmission electron)如樣品足夠薄，則會(huì)有一部分入射電子穿過(guò)樣品而成透射電子。 俄歇電子(Auger electron)如果原子內(nèi)層電子在能級(jí)躍遷過(guò)程中釋放出來(lái)的能量E并不以X射線的形式發(fā)射出去，而是用這部分能量把空位層的另一個(gè)電子發(fā)射出去（或空位層的外層電子發(fā)射出去），這一個(gè)被電離的電子稱為俄歇電子。 每種原子都有自己的特定殼層能量，所以它們的俄歇電子能量也各有特征值。, 特征X射線(characteristic X-ray)指原子的內(nèi)

16、層電子受到激發(fā)后，在能級(jí)躍遷過(guò)程中直接釋放的具有特征能量和特征波長(zhǎng)的一種電磁波輻射。 特征X射線的波長(zhǎng)和原子序數(shù)間的關(guān)系服從莫塞萊定律。 Z原子序數(shù)， K、常數(shù) 原子序數(shù)和特征能量，特征波長(zhǎng)之間有對(duì)應(yīng)關(guān)系，據(jù)此可進(jìn)行成分分析。,（2）掃描電子顯微鏡的成像原理 由電子槍發(fā)射的能量最高可達(dá)30keV的電子束，經(jīng)會(huì)聚鏡和物鏡縮小、聚焦，在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度、斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場(chǎng)作用下，入射電子束在樣品表面上將按一定時(shí)間空間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。由于入射電子與樣品表面之間的相互作用，將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用，可將各方向發(fā)射的二次電子匯集起來(lái)，再經(jīng)

17、加速極加速射到閃爍體轉(zhuǎn)變成光信號(hào)，經(jīng)過(guò)光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管，使光信號(hào)再轉(zhuǎn)變成電信號(hào)。這個(gè)信號(hào)又經(jīng)視頻放大器放大，并將其輸出送至顯象管的柵極，調(diào)制顯象管的亮度。因而在熒光屏上便呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面起伏程度（形貌）的二次電子像。,掃描電鏡成像過(guò)程示意圖,入射電子束在樣品上的掃描和顯象管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器控制的，這樣就保證了入射電子束的掃描和顯象管中電子束的掃描完全同步，保證了樣品臺(tái)上的“物點(diǎn)”與熒光屏上的“像點(diǎn)”在時(shí)間和空間上一一對(duì)應(yīng)。,（3）掃描電鏡的構(gòu)造,掃描電鏡結(jié)構(gòu)原理圖,（a）電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒) 由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成

18、，它的作用是獲得一個(gè)細(xì)的掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源。為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和掃描像(尤其是二次像)分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。,掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖,1）電子槍發(fā)射電子束。 掃描電鏡中使用的電子槍有三種：場(chǎng)發(fā)射電子槍、發(fā)叉式鎢絲熱陰極電子槍及六硼化鑭陰極電子槍。 陰極發(fā)叉式鎢絲加熱后可發(fā)射熱電子。 柵極將發(fā)射的電子束會(huì)聚起來(lái)，在陽(yáng)極附近形成一個(gè)最小電子束。改變柵極的負(fù)偏壓，可改變電子束強(qiáng)度。 陽(yáng)極通過(guò)高壓電源在陰極與陽(yáng)極之間形成加速電場(chǎng)拉出熱電子。,2）電磁透鏡：聚焦電子束 A、會(huì)聚透鏡（強(qiáng)透鏡）： 作用：縮小電子束斑。 透鏡光闌可擋

19、掉無(wú)用的雜散電子以保證獲得微細(xì)的掃描電子束，還可防止絕緣物帶電。 B、物鏡（弱透鏡）： 作用：進(jìn)一步縮小束斑，并將其聚焦在試樣表面（調(diào)節(jié)圖像聚焦）。 物鏡光欄限制電子束張開(kāi)角，孔徑越小，焦深越大。,3）掃描線圈：使入射電子束與CRT同步掃描。 作用：使電子束在試樣表面掃描，從而獲取各種信號(hào)。改變掃描線圈電源鋸齒波的頻率可改變掃描速度，改變鋸齒波的振幅可改變放大倍數(shù)。 4）樣品室：大空間可安裝各種檢測(cè)器探頭和各種試樣臺(tái)?？蓪?duì)試樣除作X、Y方向的平移外，還可升降、傾斜和旋轉(zhuǎn)。 （b）電源電路系統(tǒng)： 提供掃描電鏡各部分所需的電源。 （c）信號(hào)檢測(cè)及放大系統(tǒng)： 檢測(cè)二次電子信號(hào)并放大。由收集極、閃爍體

20、、光導(dǎo)管、光電倍增管、視頻放大器組成。,（d）真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染提高高的真空度，一般情況下要求保持10-210-3Pa的真空度。 （e）顯示系統(tǒng) 圖像顯示和記錄系統(tǒng)的作用是將信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)輸出的調(diào)制信號(hào)轉(zhuǎn)換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像或數(shù)字圖像信號(hào)，供觀察或記錄，將數(shù)字圖像信號(hào)以圖形格式的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在硬盤(pán)中，可隨時(shí)編輯或用辦公設(shè)備輸出。,（4）掃描電子顯微鏡的主要性能 1）放大倍數(shù) 如果入射電子束在試樣表面的掃描幅度為A1，陰極射線管中電子束在熒光屏上的掃描幅度為A2，那么圖像的放大倍數(shù)就是 M= A2/ A1 目前大多數(shù)商品掃描電鏡的放大

21、倍數(shù)均可以從20倍連續(xù)調(diào)節(jié)到20萬(wàn)倍左右。,2）分辨率 具體的測(cè)定方法有兩種：一種是測(cè)量相鄰兩條亮線中心間的距離，所測(cè)得的最小值除以總放大倍數(shù)，就是分辨率；另一種是測(cè)量暗區(qū)的寬度，把測(cè)得的最小寬度除以總放大倍數(shù)定為分辨率。 影響分辨率的三大因素：1、電子束束斑大?。?、檢測(cè)信號(hào)類(lèi)型；3、檢測(cè)部位原子序數(shù),SEM的分辨率高低與檢測(cè)信號(hào)種類(lèi)有關(guān)。,3）景深：透鏡物平面允許的軸向偏差定義為透鏡的景深。 從原理上講，當(dāng)透鏡焦距、像距一定時(shí)，只有一層樣品平面與透鏡的理想物平面重合，能在透鏡像平面上獲得該層平面的理想圖像，而偏離理想物平面的物點(diǎn)都存在一定程度的失焦，它們?cè)谕哥R像平面上將產(chǎn)生具有一定尺寸的失

22、焦圓斑，如果失焦圓斑尺寸不超過(guò)由衍射效應(yīng)和像差引起的散焦斑，那么對(duì)透鏡像分辨本領(lǐng)并不產(chǎn)生影響。 焦深：透鏡像平面允許的軸向偏差定義為焦深。 當(dāng)透鏡焦距、物距一定時(shí)，像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng)，也會(huì)引起失焦。如果失焦尺寸不超過(guò)由衍射效應(yīng)和像差引起的散焦斑，那么像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng)，對(duì)透鏡像分辨率并不產(chǎn)生影響。,電磁透鏡的景深與焦深,（5）襯度原理 1）表面形貌襯度：利用與樣品表面形貌比較敏感的物理信號(hào)作為顯像管的調(diào)制信號(hào)，所得到的像襯度稱為表面形貌襯度。二次電子信號(hào)與樣品表面變化比較敏感，但與原子序數(shù)沒(méi)有明確的關(guān)系，其像分辨本領(lǐng)也比較高，所以通常用它來(lái)獲得表面形貌圖像。二次電子信號(hào)主要來(lái)自樣品表層510nm深度范圍，它的強(qiáng)度與原子序數(shù)沒(méi)有明確的關(guān)系，而僅對(duì)微區(qū)刻面相對(duì)于入射電子束的位向十分敏感，而且二次電子像分辨率比較高，特別適用于顯示形貌襯度。,二次電子到達(dá)電子檢測(cè)器的軌跡,在掃描電子顯微鏡中，二次電子檢測(cè)器一般安裝在與入射電子束軸線垂直的方向上。,2）原子序數(shù)襯度 原子序數(shù)襯度是由于試樣表面物質(zhì)原子序數(shù)（或化學(xué)成分）差別而形成的襯度。掃描電子束入射試樣時(shí)產(chǎn)生的背