特氣管道施工與檢查.ppt

1、特氣管道施工與檢查,GAS若遇到200A的大管無法使用自動焊時，可用手焊最后在用X光照射來檢驗焊接的質(zhì)量良否。,13,九、潔凈管道安裝之管線測試-1,目的：確保整個管路系統(tǒng)的安全以及純凈物污染，以達制程的需求。 步驟： 一、系統(tǒng)保壓的測試; 1. 儀器： a)Gauge刻度精密到0.5psi無記錄但方便安裝 b)Recorder記錄器有記錄紙記錄但安裝不便。 2.測試方法： a)在系統(tǒng)內(nèi)灌入被純化過的氮氣，灌入壓力=設(shè)計壓力*1.1倍，接測試儀器持續(xù)時間24小時。大于或等于15A之管路 保壓10Kg/cm2 試驗時間：60min;大于或等于15A之管路 保壓8Kg/cm2以上 試驗時間：24h

2、 小于15A之管路 保壓8Kg/cm2以上 試驗時間：24H。 b)若在任何溫度變化修正之后，沒有壓力衰減的現(xiàn)象、則注明該管路氣體名稱、管線壓力值、時間、時期和空氣溫度等數(shù)據(jù)，請業(yè)主代表見證測試的開始與結(jié)束。 c)完成測試后再將測試數(shù)據(jù)送請業(yè)主代表簽名。,14,九、潔凈管道安裝之管線測試-2,二、系統(tǒng)氦氣測漏測試： 1、測試儀器:Leybold(UL200dry) 2、測試方法： a)Inboard模式：將被測系統(tǒng)管路連接測漏儀器，將系統(tǒng)抽真空，抽至漏率1*10-9atm.cc/sec后，在系統(tǒng)的每一口焊道、接頭等噴氦氣來測試，若維持漏率小于1*10-9atm.cc/sec則表示合格，此漏率測

3、試值是針對P級氣體與特殊氣體，至于GN2/PN2則是1*10-6atm.cc/sec，CDA不做氦測漏。 b)outboard模式：將被測系統(tǒng)灌入氦氣，再將氦測儀切換成Sniffer模式，調(diào)整一起靈敏度至1*10-9atm.cc/sec再用連接氦測漏儀的軟管吸每一道焊口，接頭等，若系統(tǒng)有漏，氦氣被儀器吸入時，儀器會發(fā)出警示聲響。,15,九、潔凈管道安裝之管線測試-3,三：系統(tǒng)Particle是測試： 1、測試儀器 a)CNC(contensation Nucleus counter) b)PMS 2、測試方法： a)使用超純氮氣（PN2）作為沖吹（Purge）氣體 除H2、Ar、He Pipi

4、ng外皆使用PN2 Purge H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge b)將系統(tǒng)連接測試儀器，一起連接系統(tǒng)的管路必須使用EP級的不銹鋼管，測試前須先經(jīng)過加減壓的沖吹； c)P級氣體與特殊氣體測試規(guī)范如下： Partilce 1 pcs/sft3 0.1um連續(xù)30分鐘 CNC可測到0.01um的等級，流量為0.1sft3/min d)G級氣體測試規(guī)范如下： Partilce 10 pcs/sft3 0.1um連續(xù)測30分鐘，可用PMS來測。,16,九、潔凈管道安裝之管線測試-4,四、系統(tǒng)水分的

5、分析： 1、測試儀器：a) Ametek b) Meeco 2、測試方法： a)使用超純氮氣（PN2）作為沖吹（Purge）氣體 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge b)系統(tǒng)必須先加減壓和連續(xù)式的沖吹； c)系統(tǒng)管路連接分析儀器，連接管線必須使用EP級的管線和VCR接頭 d)依照不同等級氣體測試到合格規(guī)范； e)沖吹次數(shù)計算法：C:初始濃度 P1：升至最大壓 P2:降至最下壓 n:Purge次數(shù),17,九、潔凈管道安裝之管線測試-5

6、,五、系統(tǒng)氧氣的分析： 1、測試儀器：Delta-F 2、測試方法： a)使用超純氮氣（PN2）作為沖吹（Purge）氣體 除H2、Ar、He Piping外皆使用PN2 Purge H2、Ar、He Piping外皆使用PAr Gas Purge F2/Kr/Ne、Kr/Ne Piping使用Phe Gas Purge b)系統(tǒng)管路連接分析儀器，連接管線必須使用EP級的管線和VCR接頭 c)依照不同等級氣體測試到合格規(guī)范,18,九、潔凈管道安裝之管線測試-6,六、系統(tǒng)真實氣體的分析： 1、測試儀器： a) RGA5 b) Apimas 2、測試內(nèi)容：O2,CO,CO2，H2，CH4，THC,NMHC 3、測試方法： a) RGA5:因目前Apimas無法分析O2的不純物，故用取樣瓶取樣后，再用RGA5來分析。 b) Apimas:假設(shè)系統(tǒng)一次配，配到VMP/VMB時，則在每個VMP末端的sti