工業(yè)電子超純水設(shè)備設(shè)計方案簡介及超純水設(shè)備工藝流程.doc

工業(yè)電子超純水設(shè)備設(shè)計方案簡介及超純水設(shè)備工藝流程時間：2009-12-16來源：大河人家作者：沈陽萊特萊德水處理工業(yè)電子超純水設(shè)備設(shè)計方案 1、第一級預(yù)處理系統(tǒng)：采用石英砂多介質(zhì)過濾器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20m以上對人體有害的物質(zhì)，系統(tǒng)可以自動（手動）進(jìn)行反沖洗，正沖洗等一系列操作。 2、第二級預(yù)處理系統(tǒng)：采用果殼活性碳過濾器，目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機(jī)物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染和其他對人體有害的污染物。系統(tǒng)可以自動（手動）進(jìn)行反沖洗，正沖洗等一系列操作。 3、第三級預(yù)處理系統(tǒng)：采用陽樹脂對水進(jìn)行軟化，主要是降低水的硬度，去除水中的鈣、鎂離子（形成水垢的主要成分），可有效延長反滲透膜的使用壽命，并可進(jìn)行智能化樹脂再生。 4、第四級預(yù)處理系統(tǒng)：采用5um孔徑精密過濾器，使水得到進(jìn)一步的凈化，使水的濁度和色度達(dá)到優(yōu)化。保證RO系統(tǒng)進(jìn)水條件要求，保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長設(shè)備的使用壽命。 5、反滲透（超濾）設(shè)備主機(jī)：采用反滲透（超濾）技術(shù)進(jìn)行深度脫鹽處理（進(jìn)口美國反滲透膜）去除鈣、鎂、鉛、汞等對人體有害的重金屬物質(zhì)及其他雜質(zhì)，降低水的硬度，脫鹽率達(dá)99%以上，生產(chǎn)出符合國家標(biāo)準(zhǔn)的純凈水。 6、微過濾裝置：安裝該裝置主要是為防止微粒樹脂顆粒從布水中濾出，造成二次水質(zhì)污染，這主要是運(yùn)用在對水質(zhì)特別高的場合。 7、殺菌系統(tǒng)：采用臭氧發(fā)生器（或紫外線殺菌器），減少細(xì)菌二次污染，滅菌率可達(dá)99%以上，同時臭氧溶于水形成富氧水，保證水的純鮮。采用水氣混合器使臭氧充分與水混合，達(dá)到最佳濃度比。 工藝流程：反滲透+EDI設(shè)備電子工業(yè)超純水工藝流程1.電子工業(yè)超純水概述 半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級，分別為18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。2.制備電子工業(yè)超純水的工藝流程電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種： 1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器精密過濾器中間水箱陽床陰床混床（復(fù)床）超純水箱超純水泵后置保安過濾器用水點 2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器精密過濾器中間水箱反滲透設(shè)備混床（復(fù)床）超純水箱超純水泵后置保安過濾器用水點 3、采用反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器精密過濾器中間水箱反滲透設(shè)備電去離子（EDI）超純水箱超純水泵后置保安過濾器用水點 3.電子工業(yè)超純水設(shè)備特點 電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。 4.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域 1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水； 2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾