鍍膜機(jī)教學(xué)課程.ppt

新銳光學(xué) 常熟 有限公司 制三課鍍膜徐名泉 鍍膜機(jī)基礎(chǔ)知識(shí) 日本RAS 1100機(jī)臺(tái) 龍翩LP系列 第一課 鍍膜機(jī)的構(gòu)造 鍍膜機(jī)時(shí)集機(jī)械 電子 光學(xué)為一體的高科技機(jī)器 成本相當(dāng)高 在生産操作過(guò)程中一定要小心謹(jǐn)慎 每位人員都要知道鍍膜機(jī)的結(jié)搆及各部件之間的動(dòng)作順序與條件 鍍膜機(jī)可分為五大系統(tǒng) 一 真空系統(tǒng)二 控制系統(tǒng)三 膜厚系統(tǒng) 監(jiān)控系統(tǒng) 四 蒸鍍系統(tǒng)五 輔助系統(tǒng) 一 真空系統(tǒng) 工作原理 真空繫統(tǒng)主要是利用壓強(qiáng)原理進(jìn)行排氣工作 是通過(guò) RPMPDp 的工作來(lái)進(jìn)行壓強(qiáng)原理來(lái)排氣工作 真空系統(tǒng)簡(jiǎn)單排氣圖 有以下組成 1 冷卻水桶身加熱器冷卻水電磁閥 2 GUN電子鎗冷卻水電磁閥 3 氧氣氣體注入電磁閥 4 ATMATM VAC真空狀態(tài)之顯示 5 加熱器顯示桶身加熱器是否動(dòng)作 6 監(jiān)控片顯示監(jiān)控片目前位置 7 迴轉(zhuǎn)顯示桶身迴轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)是否動(dòng)作 8 轉(zhuǎn)速顯示桶身迴轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之轉(zhuǎn)速 9 SH1遮板開(kāi)關(guān)1 10 SH2遮板開(kāi)關(guān)2 11 Gun1無(wú)使用 12 Gun2Gun2坩鍋位置顯示 13 RV粗抽閥 14 RSV微粗抽閥 15 HV高真空閥 16 LV1洩?dú)忾y1 17 LV2洩?dú)忾y2 18 DP油擴(kuò)散邦浦 19 FV前置閥 20 BP機(jī)械輔助邦浦 21 RP油迴轉(zhuǎn)邦浦 22 RLV管路洩?dú)忾y 23 幫浦啟動(dòng)主機(jī)啟動(dòng) 24 關(guān)機(jī)關(guān)機(jī) 25 自動(dòng)真空流程自動(dòng) 26 手動(dòng)真空流程手動(dòng) 27 警報(bào)確認(rèn) 28 主畫(huà)面按下此鍵將回至Screen1中英文選擇畫(huà)面 有上圖可知 真空系統(tǒng)由RP DP MV FV LV RV RLV及連接管組成真空是由各級(jí)泵浦的運(yùn)轉(zhuǎn)工作完成的 抽氣可分為兩個(gè)過(guò)程 既 A 初抽 真空室 RV MP RP 大氣中B 主抽 真空室 MV DP FV MP RP 大氣中另外 初抽可分為兩個(gè)階段 既 A 真空室 RV PBV RP 大氣中B 真空室 RV MP RP 大氣中初抽主要是機(jī)械泵的工作 它利用壓強(qiáng)原理來(lái)達(dá)到抽氣的功能 真空系統(tǒng)有以下組成 RP 機(jī)械泵浦 MP 輔助泵浦 DP 擴(kuò)散泵浦 RP 機(jī)械泵浦 工作原理 是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作 氣體被分成兩部分 轉(zhuǎn)子並非繞著圓心鏇轉(zhuǎn) 這使吸氣鍴的體積不斷變化 吸氣壓縮與排氣過(guò)程是同時(shí)進(jìn)行的 隨著轉(zhuǎn)子的不斷鏇轉(zhuǎn) 泵體的兩部分體積的變化 當(dāng)排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時(shí) 空氣分子不斷經(jīng)RP排到大氣中 注意 RP內(nèi)壁一定要保持清潔 光滑當(dāng)機(jī)械泵浦裏麵有很多雜質(zhì)或潤(rùn)滑油的粘稠度的 否則 轉(zhuǎn)子很容易磨損 吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離 造成RP排氣性能降低 RP性能差就是轉(zhuǎn)子不能與RP內(nèi)壁完全吻閤 所以 泵浦油用到一定時(shí)間后要全部更換 RP油起著潤(rùn)滑 冷卻與密封的作用 油位不能低于吸口的高度 在工作中要經(jīng)常去確認(rèn)RP油的油位 否則會(huì)造成機(jī)械泵浦燒壞的后果 MP 輔助泵浦 工作原理 是增大兩耑的壓力差使排氣速度加快 它用于初抽與精抽 最大壓力可達(dá)到10 4Torr 泵體內(nèi)部使兩各8字型的轉(zhuǎn)子 兩個(gè)轉(zhuǎn)子緊密配閤在一起 轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子 轉(zhuǎn)子與泵體之間隻有0 2 0 3mm的極小空隙 MP 分解圖 注意 因轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子 轉(zhuǎn)子與泵體之間隻有0 2 0 3mm的極小空隙 所以平時(shí)要保持泵體內(nèi)部的清潔度 不能有其它雜質(zhì) 物 泵體內(nèi)部沒(méi)有油的 油的主要作用是用來(lái)潤(rùn)滑泵浦體的齒輪及軸承 如果有油機(jī)臺(tái)可能返油或者機(jī)械輔助泵浦體的油封磨損 在加註油之前必須讓機(jī)臺(tái)停下來(lái) 以及泵浦處于大氣狀態(tài)下 因?yàn)闄C(jī)臺(tái)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵浦內(nèi)部處于真空狀態(tài) 如果打開(kāi)頂部油封會(huì)造成大量的油洩漏以及嚴(yán)重?fù)p壞泵浦 當(dāng)泵浦停止且處于大氣壓狀態(tài)時(shí) 必須停止冷卻水否則當(dāng)溫度很高時(shí)空氣的水分會(huì)凝固在泵浦裏 影響泵浦的極限壓力 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵 簡(jiǎn)稱旋片泵 是一種油封式機(jī)械真空泵 其工作壓強(qiáng)范圍為101325 1 33 10 2 Pa 屬于低真空泵 它可以單獨(dú)使用 也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵 它已廣泛地應(yīng)用于冶金 機(jī)械 軍工 電子 化工 輕工 石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體 若附有氣鎮(zhèn)裝置 還可以抽除一定量的可凝性氣體 但它不適于抽除含氧過(guò)高的 對(duì)金屬有腐蝕性的 對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體 旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一 旋片泵多為中小型泵 旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種 所謂雙級(jí) 就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái) 一般多做成雙級(jí)的 以獲得較高的真空度 旋片式真空泵工作原理 旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下 在入口壓強(qiáng)為1333Pa 1 33Pa和1 33 10 1 Pa 下 其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95 50 和20 旋片泵主要由泵體 轉(zhuǎn)子 旋片 端蓋 彈簧等組成 在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子 轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切 二者有很小的間隙 轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片 旋轉(zhuǎn)時(shí) 靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸 轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng) 兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子 泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A B C三部分 當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí) 與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的 正處于吸氣過(guò)程 而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的 正處于排氣過(guò)程 居中的空間B的容積也是逐漸減小的 正處于壓縮過(guò)程 由于空間A的容積是逐漸增大 即膨脹 氣體壓強(qiáng)降低 泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng) 因此將氣體吸入 當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí) 即轉(zhuǎn)至空間B的位置 氣體開(kāi)始被壓縮 容積逐漸縮小 最后與排氣口相通 當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí) 排氣閥被壓縮氣體推開(kāi) 氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中 由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn) 達(dá)到連續(xù)抽氣的目的 如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí) 低真空級(jí) 由低真空級(jí)抽走 再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中 即組成了雙級(jí)泵 這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān) 因而提高了極限真空度 DP 擴(kuò)散泵 圖 水冷套 2 噴油嘴 3 導(dǎo)流管 4 泵殼 5 加熱器 控制系統(tǒng) F1界面 F