Acery LS1500 基于B15001505的半導(dǎo)體器件自動測試系統(tǒng).doc

Headline Acery LS1500 基于B1500A/1505A的FET器件測試自動測試系統(tǒng)解決圓片級半導(dǎo)體器件直流參數(shù)全自動測試問題北京航天新銳科技有限責任公司IMAGE OF SOLUTIONBody Copy系統(tǒng)概述隨著市場對半導(dǎo)體功率器件需求量的增加，傳統(tǒng)的測試封裝功率器件的方法已經(jīng)不能滿足市場量的需求，功率器件的測試逐步延伸至晶圓片級的測試，從而為半導(dǎo)體器件生產(chǎn)質(zhì)量提高及生產(chǎn)工藝改進提供大量測量數(shù)據(jù)。LS1500系列圓片級半導(dǎo)體器件直流參數(shù)全自動測試系統(tǒng)有兩個系列型號：LS1500A和LS1505A。LS1500A和LS1505A系統(tǒng)典型配置見表1：型號LS1500ALS1505A測量儀器B1500A半導(dǎo)體器件分析儀B1505A功率器件圖示儀/分析儀B1510A高功率模塊B1510A高功率模塊B1511A中功率模塊B1512A大電流模塊E5250A低泄漏矩陣開關(guān)E5250A低泄漏矩陣開關(guān)E3631A程控電源E3631A程控電源LS1500-00系統(tǒng)電纜LS1500-05系統(tǒng)電纜其它設(shè)備探針臺（第三方產(chǎn)品）探針臺（第三方產(chǎn)品）B1505A功率器件圖示儀/分析儀和B1500A半導(dǎo)體器件分析儀是是德公司生產(chǎn)的在半導(dǎo)體測試領(lǐng)域的功能強大的測試儀器，可以根據(jù)需要選配不同的測試模塊，以適應(yīng)不同器件的測試需要。E5250A低泄漏矩陣開關(guān)在LS1500自動測試系統(tǒng)中的作用是實現(xiàn)了多通道的自動切換功能，使得B1505A/B1500A的高品質(zhì)特性得到完美延伸。LS1500自動測試系統(tǒng)將B1505A/B1500A、低泄漏開關(guān)矩陣E5250A及探針臺完美地結(jié)合在一起，客戶僅在EasyFET軟件上設(shè)置一個或多個測試項目，即可完成整個圓片的直流參數(shù)的全自動測試，測試結(jié)果形成測試報告，并完成圓片的打點工作。系統(tǒng)特點通過系統(tǒng)輸出的高電壓、大電流，精確評估功率器件的輸出特性隨輸入電壓電流的變化情況；測試參數(shù)涵蓋了半導(dǎo)體線性工作特性和其截止區(qū)工作特性，直流條件和脈沖條件下的工作特性；測試過程中，可以根據(jù)每個參數(shù)不同的測試特點，切換系統(tǒng)中不同模塊的輸出參數(shù)，從而保證全部測試參數(shù)連續(xù)測試，提高了測試效率；系統(tǒng)具有數(shù)據(jù)回放功能，方便測試數(shù)據(jù)分析；參數(shù)測試、測試報告、圓片打點可以全自動完成；EasyFET生成的圓片圖與探針臺圓片圖一致，并能在測試過程中明確顯示當前測試狀態(tài)和測試結(jié)果；航天新銳科技提供定制服務(wù)，概據(jù)客戶在研發(fā)與生產(chǎn)不同階段的特點進行二次開發(fā)，使得客戶無