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1、精品 料推薦脈沖激光沉積pld簡(jiǎn)單來說,脈沖激光沉積 pld(pulsed laser deposition) 就是脈沖激光光束聚焦再固體靶面上,激光超強(qiáng)的功率使得靶物質(zhì)快速等離子化,然后濺鍍到目標(biāo)物上。脈沖激光沉積的優(yōu)點(diǎn)有:1. 由于激光光子能量很高,可濺射制備很多困難的鍍層:如高溫超導(dǎo)薄膜,陶瓷氧化物薄膜,多層金屬薄膜等; pld 可以用來合成納米管,納米粉末等2. pld 可以非常容易的連續(xù)融化多個(gè)材料,實(shí)現(xiàn)多層膜制備3. pld 可以通過控制激光能量和脈沖數(shù),精密的控制膜厚。脈沖激光沉積對(duì)激光器的要求有:1.盡可能避免熱效應(yīng):激光波長(zhǎng)越短,越容易實(shí)現(xiàn)“冷加工 ”所以 193nm,248
2、nm 的準(zhǔn)分子激光器和266nm,355nm 的高次諧波nd:yag 固態(tài)激光器為客戶所常用2. 大能量,短脈沖創(chuàng)造超過靶材的閾值的功率密度3. 比較高的重復(fù)頻率,提升濺射速度。4. 激光器使用簡(jiǎn)單,壽命長(zhǎng),易于維護(hù)(這一點(diǎn)nd:yag 固態(tài)激光器要好于準(zhǔn)分子激光器)1精品 料推薦先鋒公司相關(guān)產(chǎn)品激光光源部分:法國(guó)quantel 公司的脈沖nd:yag 激光器,(鏈接 )推薦型號(hào):1.brillant b 系列:即插即用型 3倍頻( 355nm), 4 倍頻( 266nm)結(jié)構(gòu);用戶使用方便,也是商用 pld 系統(tǒng) oem 廠家的選擇。2.yg980 系列:高能量輸出,工作穩(wěn)定,維護(hù)方便。是科研用pld 系統(tǒng)的首選。測(cè)試系統(tǒng)部分:1.等離子體光譜測(cè)試系統(tǒng):英國(guó) andor 公司,2.真空腔殘余氣體分析儀:美國(guó)srs 公司 rga200 等3.
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