特種加工技術(shù)課件

1、特種加工技術(shù),工程訓練中心,第一章 概論,1.1 特種加工的概念 1.2 特種加工的特點及發(fā)展 1.3 特種加工的分類 1.4 特種加工的意義,1.1 特種加工的概念,1 特種加工的出現(xiàn) 20世紀40年代，前蘇聯(lián)科學家拉扎連柯夫婦研究開關(guān)觸點遭受火花放電腐蝕損壞的現(xiàn)象和原因，發(fā)現(xiàn)電火花的瞬時高溫可使局部的金屬熔化、氣化而被腐蝕掉，開創(chuàng)和發(fā)明了電火花加工。后來，由于各種先進技術(shù)的不斷應(yīng)用，產(chǎn)生了多種有別于傳統(tǒng)機械加工的新加工方法。這些新加工方法從廣義上定義為特種加工(NTM，Non-Traditional Machining)，也被稱為非傳統(tǒng)加工技術(shù). 2 特種加工解決的問題 1) 難切削材料(

2、如寶石、金剛石、鈦合金等)的加工; 2) 特殊復(fù)雜表面的加工; 3) 超精、光整及具有特殊要求的表面加工(航空航天、國防工業(yè)中表面質(zhì)量和精度要求高的陀螺儀、伺服閥及低剛度細長軸,3 加工原理 將電、熱、光、聲、化學等能量或其組合施加到工件被加工的部位上，從而實現(xiàn)材料去除。 由于各種特種加工所用的能量不同，其具體加工原理也有很大不同。 特種加工是利用能量及能量間的轉(zhuǎn)化對工件進行加工的方法,1.2 特種加工的特點及發(fā)展,與傳統(tǒng)的機械加工相比，特種加工的特點是： (1) 不是主要依靠機械能，而是利用其他能量(如電、化學、光、聲、熱等)去除金屬材料，所以加工過程中工具和工件之間不存在顯著的機械切削力，

3、故加工的難易與工件硬度等機械性能無關(guān)。 (2) 非接觸加工，不一定需要工具，有的雖使用工具，但與工件不接觸，因此工件不承受大的作用力，工具硬度可低于工件硬度。 (3) 微細加工，工件表面質(zhì)量高，有些特種加工如超聲、電化學水噴射等，加工余量都是微細進行，故不僅可加工尺寸微小的孔或狹縫，還能獲得高精度、低粗糙度的加工表面。 (4) 各種加工方法可以揚長避短、任意組合，形成新的工藝方法，更突出其優(yōu)越性，便于擴大應(yīng)用范圍。如目前的電解電火花加工(ECDM)、電解電弧加工(ECAM) 就是兩種特種加工復(fù)合而形成的新加工方法,正因為特種加工工藝具有上述特點，所以就總體而言，特種加工可以加工任何硬度、強度、

4、韌性、脆性的金屬或非金屬材料，且專長于加工復(fù)雜、微細表面和低剛度的零件。 目前，國際上對特種加工技術(shù)的研究主要表現(xiàn)在以下幾個方面： (1) 微細化。目前，國際上對微細電火花加工、微細超聲波加工、微細激光加工、微細電化學加工等的研究正方興未艾，特種微細加工技術(shù)有望成為三維實體微細加工的主流技術(shù)。 (2) 特種加工的應(yīng)用領(lǐng)域正在拓寬。例如，非導電材料的電火花加工，電火花、激光、電子束表面改性等,3) 廣泛采用自動化技術(shù)。充分利用計算機技術(shù)對特種加工設(shè)備的控制系統(tǒng)、電源系統(tǒng)進行優(yōu)化，建立綜合參數(shù)自適應(yīng)控制裝置、數(shù)據(jù)庫等，進而建立特種加工的CAD/CAM和FMS系統(tǒng)，這是當前特種加工技術(shù)的主要發(fā)展趨勢

5、。用簡單工具電極加工復(fù)雜的三維曲面是電解加工和電火花加工的發(fā)展方向。 目前，已實現(xiàn)用四軸聯(lián)動線切割機床切出扭曲變截面的葉片。隨著設(shè)備自動化程度的提高，實現(xiàn)特種加工柔性制造系統(tǒng)已成為各工業(yè)國家追求的目標,我國的特種加工技術(shù)起步較早。20世紀50年代中期我國工廠已設(shè)計研制出電火花穿孔機床，60年代末上海電表廠張維良工程師在陽極機械切割的基礎(chǔ)上發(fā)明了我國獨創(chuàng)的快走絲線切割機床，上海復(fù)旦大學研制出電火花線切割數(shù)控系統(tǒng)。但是由于我國原有的工業(yè)基礎(chǔ)薄弱，特種加工設(shè)備和整體技術(shù)水平與國際先進水平有不少差距，每年還需從國外進口300臺以上高檔電加工機床,1.3 特種加工的分類,與其他先進制造技術(shù)一樣，特種加工

6、正在研究、開發(fā)推廣和應(yīng)用之中，具有很好的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用前景。依據(jù)加工能量的來源和作用形式列舉如表1-1所示常用的特種加工方法,電能與熱能作用方式 電火花EDM、線切割WEDM、電子束EBM、等離子PAM 電能與化學能作用方式 電解ECM、電鑄、電刷鍍 電化學能與機械能作用方式 電解磨削ECG、電解珩磨ECH 聲能與機械作用能作用方式：超聲波加工USM 光能與熱能作用方式：激光加工LBM 電能與機械作用能作用方式：離子束加工IM 液流能與機械作用能：擠壓珩磨AFH、水射流WJC,表1-1 常用特種加工方法的分類,電火花加工,電化學加工,激光加工,化學加工,盡管特種加工優(yōu)點突出，應(yīng)用日益廣泛，但是

7、各種特種加工的能量來源、作用形式、工藝特點卻不盡相同，其加工特點與應(yīng)用范圍自然也不一樣，而且各自還都具有一定的局限性。 為了更好地應(yīng)用和發(fā)揮各種特種加工的最佳功能及效果，必須依據(jù)工件材料、尺寸、形狀、精度、生產(chǎn)率、經(jīng)濟性等情況作具體分析、區(qū)別對待，合理選擇特種加工方法。表1-2對幾種常見的特種加工方法進行了綜合比較,表1-2 幾種常見特種加工方法的綜合比較,1.4 特種加工的意義,1) 提高了材料的可加工性; 2) 改變了零件的典型工藝路線; 3) 試制新產(chǎn)品時可以省去刀、夾、模具設(shè)計制造的時間 及費用； 4）對零件結(jié)構(gòu)工藝性的評價標準進行重新衡量,第二章 特種加工技術(shù),2.1 電化學加工技術(shù)

8、 2.2 激光加工技術(shù) 2.3 超聲波加工技術(shù) 2.4 其他常用特種加工技術(shù),一、 電化學加工技術(shù) Electrochemical Machining,1、電化學加工的原理與特點 1）電化學加工的原理 圖2-1所示為電化學加工的原理。兩片金屬銅(Cu)板浸在導電溶液，例如氯化銅(CuCl2)的水溶液中，此時水(H2O)離解為氫氧根負離子OH和氫正離子H+，CuCl2離解為兩個氯負離子2Cl和二價銅正離子Cu2+。當兩個銅片接上直流電形成導電通路時，導線和溶液中均有電流流過，在金屬片(電極)和溶液的界面上就會有交換電子的反應(yīng)，即電化學反應(yīng)。溶液中的離子將作定向移動，Cu2+正離子移向陰極，在陰極

9、上得到電子而進行還原反應(yīng)，沉積出銅,圖2-1 電解(電鍍)液中的電化學反應(yīng),2、電化學加工的分類 電化學加工有三種不同的類型。第類是利用電化學反應(yīng)過程中的陽極溶解來進行加工，主要有電解加工和電化學拋光等；第類是利用電化學反應(yīng)過程中的陰極沉積來進行加工，主要有電鍍、電鑄等；第 類是利用電化學加工與其他加工方法相結(jié)合的電化學復(fù)合加工工藝進行加工，目前主要有電解磨削、電化學陽極機械加工(其中還含有電火花放電作用)。 電化學加工的類別如表2-1所示。本節(jié)主要介紹電解加工、電鑄成型、電解磨削，其它的電化學加工請參考相關(guān)資料,表2-1 電化學加工分類,3、電化學加工的適用范圍 電化學加工的適用范圍，因電解

10、和電鍍兩大類工藝的不同而不同。 電解加工可以加工復(fù)雜成型模具和零件，例如汽車、拖拉機連桿等各種型腔鍛模，航空、航天發(fā)動機的扭曲葉片，汽輪機定子、轉(zhuǎn)子的扭曲葉片，炮筒內(nèi)管的螺旋“膛線”(來復(fù)線)，齒輪、液壓件內(nèi)孔的電解去毛刺及擴孔、拋光等。 電鍍、電鑄可以復(fù)制復(fù)雜、精細的表面,4、 電解加工 1電解加工的原理及特點 1) 基本原理 電解加工是利用金屬在電解液中的“電化學陽極溶解”來將工件成型的。如圖2-2所示，在工件(陽極)與工具(陰極)之間接上直流電源，使工具陰極與工件陽極間保持較小的加工間隙(0.10.8 mm)，間隙中通過高速流動的電解液。這時，工件陽極開始溶解。開始時，兩極之間的間隙大小

11、不等，間隙小處電流密度大，陽極金屬去除速度快；而間隙大處電流密度小，去除速度慢,隨著工件表面金屬材料的不斷溶解，工具陰極不斷地向工件進給，溶解的電解產(chǎn)物不斷地被電解液沖走，工件表面也就逐漸被加工成接近于工具電極的形狀，如此下去直至將工具的形狀復(fù)制到工件上,圖2-2 電解加工原理圖,2) 特點 (1) 能加工各種硬度和強度的材料。只要是金屬，不管其硬度和強度多大，都可加工。 (2) 生產(chǎn)率高，約為電火花加工的510倍，在某些情況下，比切削加工的生產(chǎn)率還高，且加工生產(chǎn)率不直接受加工精度和表面粗糙度的限制。 (3) 表面質(zhì)量好，電解加工不產(chǎn)生殘余應(yīng)力和變質(zhì)層，又沒有飛邊、刀痕和毛刺。在正常情況下，表

12、面粗糙度Ra可達0.21.25 m。 (4) 陰極工具在理論上不損耗，基本上可長期使用。 電解加工當前存在的主要問題是加工精度難以嚴格控制，尺寸精度一般只能達到0.150.30 mm,2. 電解加工應(yīng)用 目前，電解加工主要應(yīng)用在深孔加工、葉片(型面)加工、鍛模(型腔)加工、管件內(nèi)孔拋光、各種型孔的倒圓和去毛刺、整體葉輪的加工等方面。 圖2-3是用電解加工整體葉輪，葉輪上的葉片是采用套料法逐個加工的。加工完一個葉片，退出陰極，經(jīng)分度后再加工下一個葉片,圖2-3 電解加工整體葉輪,5、 電鑄成型 1電鑄成型原理及特點 1) 成型原理 與大家熟知的電鍍原理相似，電鑄成型是利用電化學過程中的陰極沉積現(xiàn)

13、象來進行成型加工的，即在原模上通過電化學方法沉積金屬，然后分離以制造或復(fù)制金屬制品。但電鑄與電鍍又有不同之處，電鍍時要求得到與基體結(jié)合牢固的金屬鍍層，以達到防護、裝飾等目的；而電鑄則要電鑄層與原模分離，其厚度也遠大于電鍍層,圖2-4 電鑄成型的原理,2) 特點 (1) 復(fù)制精度高，可以做出機械加工不可能加工出的細微形狀(如微細花紋、復(fù)雜形狀等)，表面粗糙度Ra可達0.1 m，一般不需拋光即可使用。 (2) 母模材料不限于金屬，有時還可用制品零件直接作為母模。 (3) 表面硬度可達3550HRC，所以電鑄型腔使用壽命長。 (4) 電鑄可獲得高純度的金屬制品，如電鑄銅，它純度高，具有良好的導電性能

14、，十分有利于電加工,5) 電鑄時，金屬沉積速度緩慢，制造周期長。如電鑄鎳，一般需要一周左右。 (6) 電鑄層厚度不易均勻，且厚度較薄，僅為48 mm左右。電鑄層一般都具有較大的應(yīng)力，所以大型電鑄件變形顯著，且不易承受大的沖擊載荷。這樣，就使電鑄成型的應(yīng)用受到一定的限制。 2電鑄的應(yīng)用 電鑄具有極高的復(fù)制精度和良好的機械性能，已在航空、儀器儀表、精密機械、模具制造等方面發(fā)揮日益重要的作用。圖2-5為刻度盤模具型腔電鑄過程,圖2-5 刻度盤模具型腔電鑄過程,電鍍和電刷鍍產(chǎn)品,6、 電解磨削 1加工原理及特點 1) 加工原理 電解磨削是電解加工的種特殊形式，是電解與機械的復(fù)合加工方法。它是靠金屬的溶

15、解(占95%98%)和機械磨削(占2%5%)的綜合作用來實現(xiàn)加工的。 加工原理如圖2-6所示。加工過程中，磨輪(砂輪)不斷旋轉(zhuǎn)，磨輪上凸出的砂粒與工件接觸，形成磨輪與工件間的電解間隙。電解液不斷供給，磨輪在旋轉(zhuǎn)中，將工件表面由電化學反應(yīng)生成的鈍化膜除去，繼續(xù)進行電化學反應(yīng)，如此反復(fù)不斷，直到加工完畢,圖2-6 電解磨削加工原理圖,2) 特點 (1) 磨削力小，生產(chǎn)率高。這是由于電解磨削具有電解加工和機械磨削加工的優(yōu)點。 (2) 加工精度高，表面加工質(zhì)量好。因為電解磨削加工中，一方面工件尺寸或形狀是靠磨輪刮除鈍化膜得到的，故能獲得比電解加工好的加工精度；另一方面，材料的去除主要靠電解加工，加工中

16、產(chǎn)生的磨削力較小，不會產(chǎn)生磨削毛刺、裂紋等現(xiàn)象，故加工工件的表面質(zhì)量好。 (3) 設(shè)備投資較高。其原因是電解磨削機床需加電解液過濾裝置、抽風裝置、防腐處理設(shè)備等,2電解磨削的應(yīng)用 電解磨削廣泛應(yīng)用于平面磨削、成型磨削和內(nèi)外圓磨削。 圖2-7(a)、(b)分別為立軸矩臺平面磨削、臥軸矩臺平面磨削的示意圖。圖2-8為電解成型磨削示意圖，其磨削原理是將導電磨輪的外圓圓周按需要的形狀進行預(yù)先成型，然后進行電解磨削,圖2-7 平面磨削示意圖,圖2-8 電解成型磨削原理圖,二.激光加工技術(shù)Laser machining,激光加工是利用激光固有的特性，使光能很快轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮軄砦g除金屬,1. 激光加工的原理與特

17、點 1) 激光加工的原理 激光是一種強度高、方向性好、單色性好的相干光。由于激光的發(fā)散角小和單色性好，理論上可以聚焦到尺寸與光的波長相近的(微米甚至亞微米)小斑點上，加上它本身強度高，故可以使其焦點處的功率密度達到1071011 W/cm2，溫度可達10 000以上。在這樣的高溫下，任何材料都將瞬時急劇熔化和汽化，并爆炸性地高速噴射出來，同時產(chǎn)生方向性很強的沖擊。因此，激光加工(如圖2-9所示)是工件在光熱效應(yīng)下產(chǎn)生高溫熔融和受沖擊波拋出的綜合過程,圖2-9 激光加工示意圖,2) 激光加工的特點 激光加工的特點主要有以下幾個方面： (1) 幾乎對所有的金屬和非金屬材料都可以進行激光加工。 (2

18、) 激光能聚焦成極小的光斑，可進行微細和精密加工，如微細窄縫和微型孔的加工。 (3) 可用反射鏡將激光束送往遠離激光器的隔離室或其它地點進行加工。 (4) 加工時不需用刀具，屬于非接觸加工，無機械加工變形。 (5) 無需加工工具和特殊環(huán)境，便于自動控制連續(xù)加工，加工效率高，加工變形和熱變形小,采用激光加工必然性,激光加工，如：焊接、切割、打孔、打標、熱處理和微加工等，解決了許多常規(guī)方法無法解決的難題 大大提高了工作效率和加工質(zhì)量，是先進加工系統(tǒng)必不可少的 發(fā)達國家的制造業(yè)已經(jīng)步入“光加工”時代,2. 激光加工的應(yīng)用 1) 激光打孔 隨著近代工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，硬度大、熔點高的材料應(yīng)用越來越多，并且

19、常常要求在這些材料上打出又小又深的孔，例如，鐘表或儀表的寶石軸承，鉆石拉絲模具，化學纖維的噴絲頭以及火箭或柴油發(fā)動機中的燃料噴嘴等。這類加工任務(wù)，用常規(guī)的機械加工方法很困難，有的甚至是不可能的，而用激光打孔，則能比較好地完成任務(wù),激光打孔,激光打孔的特色 速度快，效率高，尤其高密度群孔加工 大深徑比，傳統(tǒng)不大于1：10，激光在碳鋼上 加工0.25mm的小孔深徑比達65：1 可加工硬脆軟材料 可在難加工材料上加工斜孔,2) 激光切割 激光切割(如圖2-10所示)的原理與激光打孔相似，但工件與激光束要相對移動。在實際加工中，采用工作臺數(shù)控技術(shù)，可以實現(xiàn)激光數(shù)控切割。 激光切割大多采用大功率的CO2

20、激光器，對于精細切割，也可采用YAG激光器。 激光可以切割金屬，也可以切割非金屬。在激光切割過程中，由于激光對被切割材料不產(chǎn)生機械沖擊和壓力，再加上激光切割切縫小，便于自動控制，故在實際中常用來加工玻璃、陶瓷、各種精密細小的零部件,圖2-10 CO2氣體激光器切割鈦合金示意圖,激光切割,激光切割特色 切縫窄，工件變形小 非接觸 與計算機配合高速加工 切割非金屬是其它方法不可比的,激光切割過程中，影響激光切割參數(shù)的主要因素有激光功率、吹氣壓力、材料厚度等。 3) 激光打標 激光打標是指利用高能量的激光束照射在工件表面，光能瞬時變成熱能，使工件表面迅速產(chǎn)生蒸發(fā)，從而在工件表面刻出任意所需要的文字和

21、圖形，以作為永久防偽標志(如圖2-11所示,圖2-11 振鏡式激光打標原理,激光標記,激光標記的特色 便于對原材料、半成品、在制品、產(chǎn)品進行分類 便于使用、防止假冒 激光標記特點 可標記條形碼、數(shù)字符號圖案,激光打標的特點是非接觸加工，可在任何異型表面標刻，工件不會變形和產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，適于金屬、塑料、玻璃、陶瓷、木材、皮革等各種材料；標記清晰、永久、美觀，并能有效防偽；標刻速度快，運行成本低，無污染，可顯著提高被標刻產(chǎn)品的檔次。 激光打標廣泛應(yīng)用于電子元器件、汽(摩托)車配件、醫(yī)療器械、通訊器材、計算機外圍設(shè)備、鐘表等產(chǎn)品和煙酒食品防偽等行業(yè),4) 激光焊接 當激光的功率密度為105107 W/

22、cm2，照射時間約為1/100 s左右時，可進行激光焊接。激光焊接一般無需焊料和焊劑，只需將工件的加工區(qū)域“熱熔”在一起即可，如圖2-12所示。 激光焊接速度快，熱影響區(qū)小，焊接質(zhì)量高，既可焊接同種材料，也可焊接異種材料，還可透過玻璃進行焊接,圖2-12 激光焊接過程示意圖,激光焊接,激光焊接的優(yōu)勢 速度快，效率高，深度大，變形小 大深寬比，5：1，最大10：1 可焊接難熔材料 可進行微型焊接,5) 激光表面處理 當激光的功率密度約為103105 W/cm2時，便可實現(xiàn)對鑄鐵、中碳鋼，甚至低碳鋼等材料進行激光表面淬火。 淬火層深度一般為0.71.1 mm，淬火層硬度比常規(guī)淬火約高20%。激光淬

23、火變形小，還能解決低碳鋼的表面淬火強化問題。圖2-13為激光表面淬火處理應(yīng)用實例,圖2-13 激光表面強化處理應(yīng)用實例,激光的其它應(yīng)用,激光淬火 激光淬火是激光快速表面局部淬火工藝的一種高新技術(shù)加工，特點: 高速加熱，高速自冷 硬度高，比常規(guī)高5-20% 淬火應(yīng)力與變形小 激光快速成型加工 醫(yī)學應(yīng)用：眼科手術(shù)等 軍事應(yīng)用：對抗演習、雷達、高能束武器 信息技術(shù)：激光存儲（光盤）、光纖通訊,激光雕刻,特點： 適用于多種金屬/非金屬材料 復(fù)雜平面藝術(shù)圖形,激光雕刻的水晶作品,激光雕刻的水晶作品,激光切割演示,三、超聲波加工Ultrasonic Machining,1超聲波加工的原理與特點 1) 加工

24、原理 超聲波加工是利用振動頻率超過16 000 Hz的工具頭，通過懸浮液磨料對工件進行成型加工的一種方法，其加工原理如圖2-14所示,圖2-14 超聲波加工原理圖,2) 特點 超聲波加工的主要特點如下： (1) 適合于加工各種硬脆材料，特別是某些不導電的非金屬材料，例玻璃、陶瓷、石英、硅、瑪瑙、寶石、金剛石等。也可以加工淬火鋼和硬質(zhì)合金等材料，但效率相對較低。 (2) 由于工具材料硬度很高，故易于制造形狀復(fù)雜的型孔。 (3) 加工時宏觀切削力很小，不會引起變形、燒傷。表面粗糙度Ra值很小，可達0.2 m，加工精度可達0.050.02 mm，而且可以加工薄壁、窄縫、低剛度的零件。 (4) 加工機

25、床結(jié)構(gòu)和工具均較簡單，操作維修方便。 (5) 生產(chǎn)率較低。這是超聲波加工的一大缺點,2. 超聲波加工設(shè)備 超聲波加工裝置如圖2-15所示。盡管不同功率大小、不同公司生產(chǎn)的超聲波加工設(shè)備在結(jié)構(gòu)形式上各不相同，但一般都由高頻發(fā)生器、超聲振動系統(tǒng)(聲學部件)、機床本體和磨料工作液循環(huán)系統(tǒng)等部分組成,圖2-15 超聲波加工裝置,換能器：把超聲頻電振蕩轉(zhuǎn)變?yōu)槌曨l機械振動。常用 的換能器有：壓電效應(yīng)換能器和磁致伸縮換能器,超聲波發(fā)生器：將工頻交流電轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂幸欢üβ实某?聲頻電振蕩,磨料懸浮液(磨料液)：由工作液和磨料混合而成。常用的工 作液有水、煤油等。常用的磨料有碳化硅、碳化硼、金剛砂 等,振幅擴大

26、棒(變幅桿)：將換能器產(chǎn)生的小振幅(0.005 0.01 mm)，轉(zhuǎn)變?yōu)槟軡M足超聲波加工要求的振幅(0.010.1mm)。 常用的變幅桿有錐形(擴大510倍)、指數(shù)曲線形(擴大 1020倍)和階梯形(擴大20倍以上)三種,工具：為避免工具受到大的破壞，其材料不宜過脆；為不 使變幅桿共振頻率降低，其重量不宜過大，一般用45鋼,3超聲波加工的應(yīng)用 超聲波加工的生產(chǎn)率雖然比電火花、電解加工等低，但其加工精度和表面粗糙度都比它們好，而且能加工半導體、非導體的脆硬材料，如玻璃、石英、寶石、鍺、硅甚至金剛石等。 在實際生產(chǎn)中，超聲波廣泛應(yīng)用于型(腔)孔加工(如圖2-17所示)、切割加工(如圖2-18所示)

27、、清洗(如圖2-19所示)等方面,圖2-17 超聲波加工的型孔、腔孔類型,圖2-18 超聲波切割加工,圖2-19 超聲波清洗裝置,四、 其他常用特種加工技術(shù),1、 電子束加工 1. 加工原理 電子束加工是利用高速電子的沖擊動能來加工工件的，如圖2-20所示。在真空條件下，將具有很高速度和能量的電子束聚焦到被加工材料上，電子的動能絕大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，使材料局部瞬時熔融、汽化蒸發(fā)而去除,圖2-20 電子束加工原理,2特點與應(yīng)用 電子束加工的特點如下： (1) 電子束能夠極其微細地聚焦(可達l0.1 m)，故可進行微細加工。 (2) 加工材料的范圍廣。由于電子束能量密度高，可使任何材料瞬時熔化、汽化且機械力的作用極小，不易產(chǎn)生變形和應(yīng)力，故能加工各種力學性能的導體、半導體和非導體材料。 (3) 加工在真空中進行，污染少，加工表面不易被氧化。 (4) 電子束加工需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價格較貴，故在生產(chǎn)中受到一定程度的限制,由于上述特點，電子束加工常應(yīng)用于加工微細小孔、異型孔(如圖2-21所示)及特殊曲面。 圖2-22所示為電子束加工彎曲的型面。其原理為：電子束在磁場中