科技有限責任公司去磷硅工藝文件

1、機密等級機密中恒（唐山）曹妃甸科技有限公司controlled document（受控）confidential levelconfidentialdocument title(文件名稱) :去磷硅工藝文件document number(文件編號):zh(c)-gy-03-bz01revision(文件版本):a0revise date(修訂日期):5/19/2010prepared by(撰寫者):那雪梅、石瑞先create by which unit(制定單位) :工藝部 rev.:a0目錄1.目的42.適用范圍43.職責44. 去磷硅工藝44.1工藝目的44.2 工藝原理44.3 工藝參

2、數(shù)45. 工藝過程控制55.1 職責55.2 控制項及指標：56. 異常處理66.1 原因66.2 處理流程67. 操作流程68. 去磷硅作業(yè)規(guī)范78.1插片78.2配液88.3上料88.4過程監(jiān)控88.5下料99注意事項9amendment recordsitem:date:revision:page:change description:changed by:15/19/2010a0allnew release那雪梅 rev.:a01.目的確保去磷硅工藝處于受控和穩(wěn)定的狀態(tài)。2.適用范圍適用于本公司去磷硅工序的工藝控制。3.職責本文件由工藝部負責制定，更新和修訂，由工藝主管監(jiān)督并保證如實執(zhí)

3、行，工藝部具體執(zhí)行。本文件必須經(jīng)過工藝部的簽字認可并備案，方可交付執(zhí)行。4. 去磷硅工藝4.1工藝目的經(jīng)過磷擴散后的硅片，表面會形成一層含磷元素的sio2層，必須通過酸腐蝕將此層磷硅玻璃去除掉，以達到改善鍍膜效果和防止電池片性能參數(shù)下降的目的。4.2 工藝原理該工序保證在擴散工序過程中硅片表面形成的磷硅玻璃層能理想去除，呈現(xiàn)出良好的表面疏水性。其反應方程式如下： 4.3 工藝參數(shù)4.3.1 本工藝方案適用于中聯(lián)科偉達公司生產(chǎn)的去psg設(shè)備；4.3.2 本工藝方案適用于125mm單晶電池片生產(chǎn)；4.3.3 時間工藝參數(shù)hf清洗快排清洗(qdr)慢提拉(of)烘干(dry)烘干溫度()120150

4、2040120300360701104.3.4 工藝參考配方步號步名稱步時間(s)溫度()備注1hf清洗1402qdr203of1室溫硅片表面無粘水現(xiàn)象4dry3001005. 工藝過程控制5.1 職責 工藝過程的監(jiān)測和記錄、工藝異常的及時匯報由當班質(zhì)檢員負責，工藝異常的及時解決由當班工藝員負責。5.2 控制項及指標：5.2.1 流程5.2.1.1檢查并記錄每次加工的工藝recipe，保證其參數(shù)設(shè)置符合4.3.3中的規(guī)定。如不符合，必須立即通知當班工段長停止該管的生產(chǎn)任務，同時報告當班質(zhì)檢組長、工藝員。事件處理完畢，由質(zhì)檢員給出處理報告，當班工藝員、工段長簽字后，方可重新投片生產(chǎn)。 5.2.1

5、.2規(guī)范穿著凈化服，戴手套和口罩，保持片盒、夾具和小花籃的清潔，禁止不帶手套接觸硅片，避免硅片受到污染；5.2.2 工藝控制目標分項目標值檢測儀器檢測方法備注四槽溫度100目測目測顯示器上溫度顯示值在100附近硅片粘水情況無粘水目測目測of槽硅片出水呈光亮狀態(tài)齒痕印無齒痕印目測看四個卡齒處齒痕印是否嚴重5.2.3反應及處理流程當班質(zhì)檢員通過檢測發(fā)現(xiàn)工藝控制目標未達標，應立即通知生產(chǎn)車間的工序長停止該設(shè)備的生產(chǎn)任務，同時報告當班質(zhì)檢組長、工藝員。由當班工藝員判斷事件的嚴重性，必要時負責召集當班設(shè)備工程師、質(zhì)檢員、操作相關(guān)人員進行問題跟蹤、設(shè)備排查、工藝試驗；由當班工藝員給出事件處理意見及匯總報告

6、。事件處理完畢，必須經(jīng)當班設(shè)備工程師、工藝員、質(zhì)檢員、工段長四方認可并會簽后，才能復產(chǎn)。大的工藝事故必須經(jīng)設(shè)備部、工藝部、質(zhì)檢部、生產(chǎn)部的等離子刻蝕負責人會簽認可后才能復產(chǎn)。6. 異常處理本工段只會產(chǎn)生返工片。去磷硅返工片指的是去磷硅清洗不干凈（表現(xiàn)為慢提拉時硅片表面粘水嚴重）或硅片表面水紋、齒痕印非常嚴重的。6.1 原因hf酸濃度較低或酸槽、qdr槽、of槽溶液及槽體及小花籃比較臟6.2 處理流程及時換酸、換水，擦洗酸槽及小花籃，必要時在of槽加hcl清洗槽體7. 操作流程不合格合格插片配液質(zhì)檢異常處理流轉(zhuǎn)到鍍膜工序上料過程監(jiān)控下料8. 去磷硅作業(yè)規(guī)范8.1插片插花籃：插花籃前保證硅片已冷卻

7、好，保證吸筆潔凈。將等刻傳來的盒蓋打開，然后將片盒豎放，靠在小花籃上，用食指輕輕堵住吸筆的吸氣孔。吸筆頭平行于片子并輕放到片子的上部位將片子吸起插入花籃中，插花籃時從左向右插，插時先看上外側(cè)孔，再看內(nèi)上側(cè)孔，再看內(nèi)下側(cè)孔松開食指將硅片豎直的放下。插完一籃后檢查兩硅片是否插在同一齒中，將花籃轉(zhuǎn)180檢查是否有插錯的地方，及時更改。 （注意，若雙擴將片子干凈的一面朝向u型口，若單擴擴散面較臟時作為 返工片處理） 8.2配液8.2.1配液穿戴：配液員在配液前必須戴上濾酸面具（并檢查面具的氣密性）、橡膠手套和防護圍裙。8.2.2配液順序：1號槽放一半的di水 加入藥液 將槽里的水加滿8.2.3工藝槽配

8、方：hf：8ldi water：注滿8.2.4換液：每班結(jié)束將工藝槽中溶液排干凈，并用di水沖洗干凈和用無塵布擦洗干凈。8.2.5工藝槽清潔標準：無明顯沾污、用ph試紙測試不顯酸性8.3上料8.3.1操作人員配戴新的丁腈手套，將插完片的小花籃輕輕放置到大花籃內(nèi)，放好四個小花籃后用雙手將大花籃輕輕放置在上料臺的傳送帶上，籃筐一定要擺正，并且不允許接觸身體其他任何部位。8.3.2確認烘干槽溫度已經(jīng)達到設(shè)置溫度并確認補好液之后，按下啟動鍵，設(shè)備開始自動生產(chǎn)。8.4過程監(jiān)控生產(chǎn)人員在生產(chǎn)操作過程中時刻觀察酸洗機狀況，內(nèi)容包括： 工藝槽是否潔凈 工藝槽是否有殘留的碎片 上料臺是否潔凈 烘干槽溫度是否穩(wěn)定

9、在設(shè)置溫度附近 慢提拉時硅片表面是否粘水如果潔凈度達不到生產(chǎn)要求時，要及時清洗槽體及換液，如果問題嚴重時及時向本班工段長反映。8.5下料 操作人員配戴新的丁腈手套，用雙手將大花籃輕輕地從下料臺的傳送帶上取出，然后把小花籃從大花籃上卸下，每批分開放置。并及時對下料臺及桌面進行探試以保證清潔。根據(jù)生產(chǎn)情況認真如實填寫產(chǎn)品質(zhì)量報表和流程單。9注意事項9.1如發(fā)現(xiàn)絨面不合格，報告當班工段長，填寫工藝異常記錄單并由當班工藝員和工段長同時簽字確認。9.2設(shè)備出現(xiàn)問題時，要立刻報告當班設(shè)備人員，填寫故障記錄單并由當班設(shè)備人員和工段長同時簽字確認。9.3每批投片前要檢查酸槽中的液位，不合適的要及時調(diào)整。9.4硅片盒和上料籃任何時候不能放在地上。9.5操作化學藥品時，一定要帶