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文檔簡介

1、O s IH1 rN e深圳市盛泰光電有限公司 文件編號 ST-QP/ENG-10005 生效日期 2010年12月4日 版本號/修改狀態(tài) A/01 程序文件靜電防護管理程序 頁碼 第1頁共3頁 一. 目的 防止靜電適成元件損壞。 二. 適用范圍 凡有關(guān)靜電敏感之元件自接收迄交到客戶于中期間作業(yè)過程皆涵蓋在內(nèi)。 三. 定義 3. 1 ESD : ELECTROSTATIC DISCHARGE 靜電放電。 32靜電的危害:就電子行業(yè)而言.靜電放電能夠改變半導(dǎo)體湍件的電氣性能使之退化或者完全毀掉。靜電放電還 可能干擾電子系統(tǒng)的正常運行,導(dǎo)致器件故障或癱瘓。 33靜電的特點: 331高電位:可達到數(shù)

2、萬至十萬伏.操作時常達數(shù)百和數(shù)干伏(人通常對3.5KV以下靜電不易感覺到) 3. 3.2低電址:靜電流多為微安級(尖端放電例外) 3. 3.3作用時間短:微妙級 3. 3. 4受環(huán)境影響大:持別是濕度.濕度上升則靜電積累減少.靜電電斥下降.如下表: 產(chǎn)生方式 10-25% RH 65-90% RH 在地毯上行走 35000V 1500V 在乙烯瓦上行走 12000V 250V 坐在椅子上的工人 6000V 100V 從椅子上拿起滌綸包 20000V 1200V 34靜電起點原理:適成不平衡電子分布的原坎1是電子受到外力而脫離軌道,這個外力包括各種能源,如動力. 位能(勢能)、熱能、化學(xué)能等等,

3、它使電子獲得足夠址而做功逃逸。 3.5靜電的產(chǎn)生方式: 351摩擦、接觸(傳導(dǎo).分離.感應(yīng).沖洗.輻射.壓電.點解等。 3.5.2固體.液體、粉末流體都可能產(chǎn)生靜電。 3.6人體靜電 3. 6. 1人體是最主要的靜電源之一: 3. 6. 2人體的活動使部分機械能轉(zhuǎn)換為電能: O s IH1 rN e深圳市盛泰光電有限公司 文件編號 ST-QP/ENG-10005 生效日期 2010年12月4日 版本號/修改狀態(tài) A/01 程序文件靜電防護管理程序 頁碼 第2頁共3頁 363人體對地電阻主要由鞋、襪、地面決定: 3. 6.4人體等效電容:100PF (電容有充電放電效應(yīng)): 3. 6.5人體等效

4、電阻:1KW (1. 5KW): 3. 6.6 安全靜電電壓:100V (國標(biāo) SJ/T10630-95) 四. 靜電防護的基本方法 4. 1ESD控制的基本原則 411做好ESD防護設(shè)il:器件選型、合理布線、設(shè)汁保護電路等: 4. 1. 2消除和減少靜電的產(chǎn)生:減少或消除靜電產(chǎn)生的過程、維持過程和材料處于等電勢等: 4. 1. 3使靜電荷瀉防與中和:使用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來瀉放于中和靜電: 4. 1. 4保護產(chǎn)品免ig ESD傷吿:使用防靜電材料包裝和儲運。 42防靜電區(qū)設(shè)il原則 4. 2. 1控制靜電荷的枳累和靜電斥的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不使用材料.有機玻璃、普通塑料袋。 4.

5、 2. 2安全.迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷使用有繩防靜電腕帶.防靜電椅、防靜電周轉(zhuǎn)箱。 4. 2. 3保證靜電壓小于lOOVa 43靜電系統(tǒng)要素 4. 3. 1地面:防靜電地面(防靜電水磨石,防靜電地板)。 4. 3. 2 L:位:需架設(shè)表而靜電接地。 433接地 43. 3. 1防靜電匸作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝宜,低電阻小于4歐姆。防靜電地線不得與電源零線 相接,不得與防宙地線共用,使用三相五線制供電時.其地線可用作防靜電地線。 4. 3. 3. 2匸作臺面.地墊、座椅和其它導(dǎo)靜電的ESD保護設(shè)施均應(yīng)通過限流電阻接入地線,腕帶等應(yīng)通過工作臺 而接地點與地線連接.1:作臺面不可相互

6、串聯(lián)接地。 4333防靜電匸作區(qū)接地系統(tǒng).包括限流電阻和連接端子應(yīng)連接可靠并具有一定戦流能力.限流電阻阻值選擇 應(yīng)保證漏池電流不超過5mA下限值取為1M歐姆c 4. 4溫濕度:20、30攝氏度相對應(yīng)濕度3070%o 4.5增濕:増濕器使空氣潮濕.防止靜電荷積累,此法不適用于増濕后會產(chǎn)生有吿影響的場地。 O s IH1 rN e深圳市盛泰光電有限公司 文件編號 ST-QP/ENG-10005 生效日期 2010年12月4日 版本號/修改狀態(tài) A/01 程序文件靜電防護管理程序 頁碼 第3頁共3頁 46電離器:不能有效地釋放靜電荷的場所,可采用電離器通過空氣中的正負離子來防止和中和元器件和其他物體

7、上 電荷積累 4.7人體:穿防靜電工作服.工作鞋.戴有繩防靜電手腕、手套、指套等。 48包裝:靜電敏感湍件必須存放在防靜電容器內(nèi),并用防靜電運輸工具周轉(zhuǎn)。 凡工作中會接儺“靜電敬感元件”之人員均須遵守木規(guī)定。 五. 管理內(nèi)容和方法 5.1靜電防護措施: 5. 1. 1每天上午9:00前由匸程部人員觀察靜電線監(jiān)測湍,檢査靜電線是否良好接地,井將結(jié)果記錄於靜電線檢測點 檢表。由工程專員以上干部確認。 5. 1. 2作業(yè)員在進入廠區(qū)前須穿戴防靜電鞋防靜電環(huán)或防靜電于套,防靜電服間接人員接觸靜電敏感器件或產(chǎn)品 時需穿戴防靜電鞋防靜電環(huán)或防靜電手套。 5. 1.3 1:作蟄上須披樓防靜電墊。 514機臺

8、設(shè)備.焊錨爐、輸送帶.電烙鐵等各種可能產(chǎn)生靜電的設(shè)備、儀器都須確實接地。 5. 1. 5所有接地均須確實導(dǎo)通於大地。 5. 1. 6每個由工程部對全廠工作蠱而之防靜電墨墊,防靜電箱,防靜電蒞防靜電盒,防靜電框,防靜電拉線傳送帶, 防靜電鋼板等用阻值測試一次,(防靜電蠱墊雖測四角4點和中心1點并且取其平均值),將結(jié)果分別記於相應(yīng)的 測試記錄防靜鋼板點檢丿J報表表單中.每日須對離子風(fēng)機,離子風(fēng)槍進行點檢,并將結(jié)果記錄於 離子風(fēng)機/槍點檢表表玳中. 52品質(zhì)管理: 5.2.1每日員1:進入?yún)[作區(qū)前須依照規(guī)定時間(白班人員:早上8:00,中午12:00,下午4:00檢驗員,下午6:00 晚班人員:晚上8:00,晚上12:00)自主對靜電鞋,靜電環(huán)進行測試,由各部門派人確認,并將結(jié)果登記於防靜 電鞋/環(huán)測試記錄表測試結(jié)果欄內(nèi),后方可上線作業(yè),若測試不合格應(yīng)立R卩通知班(組)長并更換新品后再進行 測試。防靜電鞋/環(huán)測試記錄表由各部門於每第一天上班之前掛至靜電測試區(qū)。若有人爭界動各部門須防 靜電鞋/環(huán)測試記錄。 5. 2. 2在未作任何防靜電措施時不可取靜電敏感元器件。 53教育:工廠內(nèi)所有員工均需接受靜電防護之教育訓(xùn)練。 6. 參考文件/表單: 6. 1防靜電鞋/

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