半導(dǎo)體工廠超純水簡報(bào).pptx

1、半導(dǎo)體工廠超 純水簡報(bào) Mark 22/Jul./2014 總 流 程 原水 1.自來水由原水泵將水抽至 CUB(中央動(dòng)力廠房)。CUB是半 導(dǎo)體工廠的心臟，制程用的水電 空調(diào)化學(xué)品等一般都是從這里輸 出。 運(yùn)行參數(shù)：原水一般水量為 195m/h，最大水量為250m/h， 水壓3bar。 多介質(zhì)過濾器(MMF/砂濾） 1.原水加10%NaOCl后通過熱交 換器再次加10%PAC后進(jìn)入多介 質(zhì)過濾器。 2.桶內(nèi)裝填石英砂和無煙煤。 3.配有風(fēng)機(jī)，定期反洗。 用途：主要去除不能溶解的懸浮 顆粒和膠體雜物。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量最大為 250m/h，壓力1.5bar，溫度 20-20。 玻璃鋼水箱(FR

2、P水箱) 1.過濾水回收至玻璃鋼水箱。 2.過濾水箱前有兩組泵（每組兩 臺），一組用于反清洗，一組用 于給ACF活性炭過濾器供水。 3.桶身直徑5m，桶高5m。 運(yùn)行參數(shù)：出口壓力為7bar，溫 度為20-30。 邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司 活性炭過濾器(ACF/碳濾） 1.三支，內(nèi)部填充顆粒活性炭。 2.此段過濾器分為正洗與反洗， 正反洗水都回收至廢水池，產(chǎn)水 為過濾水。 用途：再次處理水中不能溶解的 懸浮顆粒和膠體雜物。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為200- 260m/h，出口壓力為6bar，溫 度20-30。 陰陽離子交換床 1.ACF出水先經(jīng)過CIX（陰離子桶）加H

3、Cl， 后AIX（陰離子桶）加NaOH處理，CIX和 AIX 可以單獨(dú)運(yùn)行。 用途：處理水中的陰陽離子。 2.沖洗水進(jìn)入過濾水箱，再生水進(jìn)入廢水池， 出水為去離子水。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為207m/h，壓力為3bar， 溫度為20-30。 保安過濾器(SFL) 1.去離子水加30%NaOH后進(jìn)入保安過 濾器。 2.產(chǎn)水為去離子水。 用途：微濾過濾器保護(hù)后端RO膜，不 達(dá)標(biāo)的水質(zhì)和頻繁清洗都會(huì)影響RO膜 的壽命、提升成本。 運(yùn)行參數(shù)：280m/h，出口壓力2.6bar， 溫度21-30。 反滲透過濾膜（RO膜） 1.RO是前段水處理的核心。 2.達(dá)標(biāo)產(chǎn)水進(jìn)入RO水箱，不達(dá)標(biāo)產(chǎn)水 進(jìn)入過濾水箱，濃水

4、進(jìn)入廢水池。 3.產(chǎn)水為反滲透水。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為248m/h，出水 壓力為2bar，溫度為21-30；濃水水 量為18m/h，出水壓力為2bar，溫度 為24-30。 RO水箱 1.水箱采用玻璃鋼材質(zhì)，并使用 氮?dú)饷芊狻?2.RO水箱有三組水泵輸出 ，一組 UV供水，一組陰陽離子交換床沖 洗水，一組冷凝設(shè)備供水。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為185m/h， 出口為6bar，溫度21-30。 邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司 紫外線殺菌設(shè)備（UV裝置） 1.兩組，一用一備，單組使用44跟紫外 燈管。 2.出水為反滲透產(chǎn)水。 用途：殺滅水中的微生物，降低有機(jī)物 含量。 運(yùn)行

5、參數(shù)：產(chǎn)水水量為185m/h，出水 壓力為5.5bar，操作溫度26。 初級混床（MBX混床） 1.內(nèi)裝陰離子樹脂和陽離子樹脂。 用途：全面去除水中的陰陽離子，電阻 率由4m/cm提升至17-18m/cm。 2.定期對混床進(jìn)行再生，使用HCl和 NaOH。 3.再生水進(jìn)入廢水池，沖洗水進(jìn)入過濾 水箱，產(chǎn)水為純水。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為185m/h，出口壓 力為4bar，溫度23-30。 脫氣膜(MD) 1.由兩臺真空泵和12支膜殼組成。 2.水由上向下流出，氣體由下向上抽 出，主要?dú)怏w為CO2和N2。 3.出水為純水進(jìn)入純水箱。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為180m/h，出 口水壓為1.5bar，溫度為

6、21-30。 邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司 純水水箱 1.玻璃鋼材質(zhì)，內(nèi)襯PP，氮 封。 2.有一組泵輸出，輸出水為純 水。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為 230m/h，出口水壓為 8.5bar，溫度為22-30。 冷交換器 1.純水進(jìn)入交換器，溫度降 低為5。 2.出水為純水，進(jìn)入U(xiǎn)V裝置。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為 230m/h，出口水壓為 7.5bar。 邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司 UV裝置 1.三組紫外線殺菌裝置，每組 44根燈管。 2.出水為純水進(jìn)入增壓泵。 3.運(yùn)行在恒溫5環(huán)境中。 用途：再次殺滅水中細(xì)菌，降 低有機(jī)物含量。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為230m/h， 出水水壓7.5bar。 拋光混床（MBP） 1.樹脂為一次性，使用完后不需要再 生。 2.出水為超純水，進(jìn)入超濾裝置。 用途：進(jìn)一步降低水中的陰陽離子含 量，提高電導(dǎo)率至18m/cm以上。 運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為190m/h，出水 水壓為9bar，回純水箱10m/h，水 壓3bar。 超濾（UF） 1.分兩組，拋光混床出水分兩路，一路 直接進(jìn)入超濾，另一路通過熱交換將水 溫提升至65-75再進(jìn)入超濾。 2.產(chǎn)水