Centrotherm 燒結(jié)爐中文版操作手冊(cè)

1、customer:llliesproject number: 1_35511.28 centrothermtype:do 11.900-300-ff-hto-n2/air-cantrol centrotherm do 11.900-300-ff-hto-n2/air-cantrol 操作指導(dǎo)目錄表1. 操作指導(dǎo)備注1.1 符號(hào)與標(biāo)識(shí)描述1.2 定義1.2.1 設(shè)備用戶1.2.2 受訓(xùn)員工1.2.3 操作人員1.3 版權(quán)1.4 對(duì)于材料缺陷的依賴性2. 介紹2.1 身份認(rèn)證2.2 尺寸2.3 熔爐數(shù)據(jù)2.3.1 傳送帶2.3.2 加熱盒干燥器hto的加熱2.3.3 加熱盒干燥器hto快速燒結(jié)ff

2、的加熱2.3.4 冷卻2.4 過(guò)程溫度2.5 媒介供應(yīng)連接2.5.1 水2.5.2 空氣2.5.3 氮?dú)?.5.4 廢氣移除2.5.5 電氣2.6 pc 設(shè)備2.7 功能描述2 安全3.1 正確使用3.2 不正確使用3.3 常規(guī)安全指導(dǎo)3.4 安全裝置3.4.1過(guò)溫保護(hù)3.4.2緊急停止開(kāi)關(guān)3.4.3“(傳送)帶停止”按鈕 “belt stop”pushbutton3.5 隔熱標(biāo)識(shí)3.6 滅火4 功能描述4.1 入口/出口4.1.1 入口門(mén)4.1.2 出口門(mén)4.2 加熱4.2.1 加熱載片盒干燥器hto4.2.2 對(duì)流加熱4.2.3 媒介蒙罩14.2.4 加熱載片盒燒結(jié)ff4.2.5 媒介蒙罩

3、 24.2 冷卻4.3.1 冷卻載片盒4.3.2 腔室冷卻4.4 驅(qū)動(dòng)設(shè)備4.5 媒介4.5.1 電力供應(yīng)4.5.2 冷卻水供應(yīng)4.5.3 壓縮空氣供應(yīng)4.5.4 氮?dú)夤?yīng)（可選）4.5.4 文氏管系統(tǒng)4.6 操作/控制4.5.1 cantrol 系統(tǒng)控制器4.6.2 動(dòng)力控制4.6.3 can總線1和24.6.4 溫度控制4.6.5 cantrol 加工控制系統(tǒng)4.6.6 遠(yuǎn)程服務(wù)4.6.7 “打印機(jī)可用”信號(hào)描述4.7 廢氣移除4.7.1 廢氣冷凝器及移除5 運(yùn)輸5.2 特殊安全措施5.3 包裝類型5.4運(yùn)輸5.5入庫(kù)審查5.5.1交貨范圍5.5.2運(yùn)輸損傷5.6儲(chǔ)存措施6組裝6.1準(zhǔn)備安

4、裝場(chǎng)所6.2設(shè)備檢查6.3安裝7服役及退役 /投入及退出生產(chǎn)7.1初始啟動(dòng)7.2投入生產(chǎn)7.2.1設(shè)備pc7.2.2手動(dòng)操作面板7.2.3動(dòng)力加載7.2.4操作模式7.2.4.1生產(chǎn)7.2.4.2周末操作7.3退出生產(chǎn)7.4處置8 操作8.1 狀態(tài)屏幕8.2 導(dǎo)航條8.2.1 用戶登入和登出8.2.2 保存配方8.2.3 讀取配方8.2.4 打印8.3 標(biāo)簽8.3.1加熱8.3.2 氣體供應(yīng)8.3.3 冷卻系統(tǒng)8.3.4 設(shè)置8.3.5 警報(bào)8.3.6 測(cè)量8.3.7 選項(xiàng)8.3.7.1 爐管數(shù)據(jù)8.3.7.2數(shù)據(jù)根目錄8.3.7.3 配置8.4 ct visual 流程表8.4.1 ct v

5、isual 流程表8.4.2 用戶登入8.4.3 用戶登出8.4.4 改變數(shù)值8.4.5 顯示數(shù)值的循環(huán)更新8.4.6 數(shù)據(jù)登入8.4.7 警報(bào)登入8.4.8 更新警報(bào)表格8.4.9 開(kāi)始實(shí)時(shí)測(cè)量8.4.10 讀取配方8.4.11 保存配方8.4.12 讀取配置8.4.13 時(shí)間相關(guān)的配方讀取8.4.14 退出ct visual8.4.15 ct visual系統(tǒng)的目錄結(jié)構(gòu)9 維護(hù)9.1 故障診斷9.1.1 信號(hào)燈9.1.2 單獨(dú)干擾9.1.3 id 10-74加熱故障訊息9.1.3.1 過(guò)溫控制器ff/hto 9.1.3.2 過(guò)溫監(jiān)控器ff/hto 9.1.3.3 故障溫度測(cè)量 9.1.3.

6、4 故障溫度測(cè)量 9.1.3.5 溫度回路hto區(qū)1-4，ff區(qū)1-69.1.3.6 溫度容許值值ff/hto9.1.4 id 100-104加熱故障訊息9.1.4.1 按下傳送帶停滯9.1.4.2 變頻器帶驅(qū)動(dòng)9.1.4.3 帶停滯9.1.4.4 帶容許值9.1.4.5 按下外部帶停滯9.1.5 id 200-255氣體供應(yīng)故障訊息9.1.5.1 加工用空氣壓力失誤9.1.5.2 加工用氮?dú)鈮毫κд`9.1.5.3 氣動(dòng)帶調(diào)整器空氣壓力失誤9.1.5.4 氣動(dòng)帶調(diào)整器空氣壓力失誤9.1.5.5 y321-y338，y421，y422氣流9.1.5.6 熱空氣/廢氣hto容許值9.1.5.7 熱

7、空氣/廢氣hto安全等級(jí)9.1.5.8 微分壓力排氣廢氣冷凝器容許值9.1.5.9 微分壓力排氣廢氣冷凝器安全等級(jí)9.1.6 id 300-322冷卻故障訊息9.1.6.1 冷卻水容器冷卻器hto/ff9.1.6.2 冷卻水容器冷卻器hto/ff9.1.6.3 冷卻水媒介蒙罩分9.1.6.4 冷卻水廢氣冷凝器頂部/底部9.1.6.5 超過(guò)溫度/流量冷卻水回路1分鐘9.1.6.6 停滯控制冷卻風(fēng)扇冷卻載片盒低部，上部1/29.1.7 id 400-402ups/主供應(yīng)故障訊息9.1.7.1 主供應(yīng)相位遺失9.1.7.2 動(dòng)力故障超過(guò)10秒9.1.7.3 surge（振蕩, 滑脫）保護(hù)l1-l3/

8、n觸發(fā)9.1.8 id 500-505氣動(dòng)故障訊息9.1.8.1加熱載片盒hto13未關(guān)閉9.1.8.2 冷卻載片盒上部1/2未關(guān)閉9.1.8.3 縮短傳送帶9.1.9 id 600-662miscellaneous故障/警報(bào)訊息9.1.9.1 濃縮濾毒罐全等級(jí)1/2 9.1.9.2 帶驅(qū)動(dòng)關(guān)閉9.1.9.3 加熱干燥器hto關(guān)閉9.1.9.4 加熱ffhto關(guān)閉9.1.9.5 熱空氣風(fēng)扇關(guān)閉9.1.9.6 加熱heating載片盒ff/hto9.1.9.7 冷卻加熱載片盒ff/hto9.1.9.8 冷卻加熱載片盒ff/hto9.1.9.9 帶調(diào)整器處于位置“cleaning”超聲清潔器（u-

9、cleaner）9.1.9.10 運(yùn)轉(zhuǎn)超聲清潔器9.1.9.11 運(yùn)轉(zhuǎn)超聲清潔器（u-cleaner）后面的帶驅(qū)動(dòng)9.1.10 id 700-703帶清潔9.1.10.1 低于超聲清潔器最低水位9.1.11 id 801-902故障訊息ssr單獨(dú)警報(bào)9.1.11.1 加熱回路控制v1.v599.1.11.2 加熱回路控制v101.v1029 2 所選組件的更換9.2.1 加熱9.2.1.1 加熱器更換9.2.1.2 對(duì)流加熱過(guò)濾器9.2.2 石英軌跡的石英棒9.2.2.1 更換加熱載片盒干燥器hto石英棒9.2.2.2 更換加熱載片盒快速燒結(jié)ff石英棒9.2.2.3 更換冷卻載片盒石英棒9.2

10、.3 冷卻9.2.3.1 更換冷卻載片盒的冷去風(fēng)扇9.2.3.2 更換下部冷卻載片盒的冷去風(fēng)扇9.2.4 帶驅(qū)動(dòng)單元9.2.4.1 更換傳送帶9.2.4.2 更換齒輪馬達(dá)9.2.4.3 更換離合器9.2.4.4 更換磁滯離合器9.2.5 媒介9.2.5.1 冷卻水過(guò)濾器的更換9.2.5.2 對(duì)流加熱的流速表監(jiān)控器的更換9.2.5.3 廢氣冷凝器的流速表監(jiān)控器的更換9.2.5.4 氣體加熱器9.2.5.5 文氏管?chē)娮斓母鼡Q9.2.6 媒介9.2.6.1 tmm5模塊的更換9.2.6.2 單一溫度控制器的更換9.2.6.3 can i/o模塊的更換9.2.6.4 rdio8/24模塊的更換9.2.

11、6.5 固態(tài)繼電器的更換9.2.6.6 熱電偶的更換9.2.6.7 變頻器的更換9.2.6.8 工業(yè)pc（溫度控制器）的更換9.2.6.9 plc cpu 模塊（cedio）的更換9.2.6.10 plc 擴(kuò)展模塊的更換9.2.6.11 bebro dc馬達(dá)控制器的更換9.2.6.12 fancon風(fēng)扇控制器的更換9.2.7 廢氣冷凝器濾毒罐的更換9.3 火災(zāi)后措施10 預(yù)防性維護(hù)101 安全審查102 爐管日志103 設(shè)備裝配板104 預(yù)防性維護(hù)間隔104 .1日常預(yù)防性維護(hù)程序10.4.1.1 檢查設(shè)置顯示10.4.1.2 檢查”alarm”標(biāo)簽上訊息104 .2日常預(yù)防性維護(hù)程序10.4

12、.2.1 檢查信號(hào)燈功能10.4.2.2 檢查傳送帶10.4.2.3 檢查濾毒罐的填充等級(jí)104 .3月預(yù)防性維護(hù)程序10.4.3.1 清潔傳送帶10.4.3.2 檢查傳送帶長(zhǎng)度10.4.3.3 測(cè)量溫度特性10.4.3.4 清潔冷卻水過(guò)濾器10.4.3.5 清潔冷卻載片盒的冷卻風(fēng)扇10.4.3.6 清潔冷干燥器的空氣過(guò)濾器10.4.3.7 檢查傳送帶導(dǎo)引（guide）10.4.3.8 執(zhí)行數(shù)據(jù)備份10.4.4.4 每季預(yù)防性維護(hù)程序10.4.4.1 檢查單一溫度控制器10.4.4.2 清潔文氏管?chē)娮?0.4.5 半年預(yù)防性維護(hù)程序10.4.5.1 清潔冷卻載片盒10.4.5.2 清潔加熱載片

13、盒干燥器10.4.5.3 重新調(diào)整加熱載片盒干燥器hto的加熱器10.4.5.4 檢查對(duì)流加熱的流速檢控表10.4.5.5 檢查*10.4.6 每年預(yù)防性維護(hù)程序10.4.6.1 清潔加熱載片盒快速燒結(jié)ff10.4.7 每4年的預(yù)防性維護(hù)程序11 零部件和服務(wù)12 附錄1. 操作指導(dǎo)備注此操作指導(dǎo)包含您進(jìn)行運(yùn)輸、安裝、運(yùn)行、操作、服務(wù)以及設(shè)備修理所需信息。此操作指導(dǎo)為設(shè)備技術(shù)手冊(cè)的一部分。 請(qǐng)充分利用此操作指導(dǎo)來(lái)熟悉設(shè)備。此操作指導(dǎo)將幫助您避免出現(xiàn)失誤。您的個(gè)人安全和設(shè)備的安全操作取決于您所依照操作指導(dǎo)進(jìn)行的工作。請(qǐng)?jiān)谠O(shè)備附近常備此操作指導(dǎo)。 此操作指導(dǎo)為受過(guò)必要培訓(xùn)和具有必要資質(zhì)的人員進(jìn)行安

14、裝、操作、服務(wù)和設(shè)備維修所撰寫(xiě)。 下列規(guī)則應(yīng)用于此操作指導(dǎo)； 文本中使用簡(jiǎn)寫(xiě)。這些簡(jiǎn)寫(xiě)在每一章第一次使用時(shí)被加以說(shuō)明。用來(lái)描述一個(gè)術(shù)語(yǔ)的簡(jiǎn)寫(xiě)包含在術(shù)語(yǔ)后的圓括號(hào)里。 示例：操作指導(dǎo)(oi) 每一章的頁(yè)碼按序排列。 表格和圖表按序排列 文本中的交叉索引將指導(dǎo)您以更完備或詳細(xì)的信息。第三章包含在設(shè)備操作中可能發(fā)生的潛在危險(xiǎn)的常規(guī)標(biāo)識(shí)。另外，可能危急人身或設(shè)備安全的安全方面特殊標(biāo)識(shí)將優(yōu)于操作指導(dǎo)而給出。此操作指導(dǎo)并非為服務(wù)協(xié)議的一部分。在由于技術(shù)進(jìn)步而導(dǎo)致的設(shè)備修改之后，升級(jí)相應(yīng)的文件資料將成為您的職責(zé)。1.1 符號(hào)與標(biāo)識(shí)描述 此符號(hào)用來(lái)指示危險(xiǎn)、警告或防范。危險(xiǎn)性被劃分為三個(gè)級(jí)別; 危險(xiǎn)dange

15、r： 瞬時(shí)危險(xiǎn)有可能導(dǎo)致嚴(yán)重人身傷亡。 警告warning：潛在危險(xiǎn)環(huán)境有可能導(dǎo)致嚴(yán)重的潛在人身傷亡。 注意attention：潛在危險(xiǎn)環(huán)境有可能導(dǎo)致輕微人身傷害。同時(shí)指示相關(guān)于財(cái)產(chǎn)損傷的警告。 warning： dangerous voltage 警告：危險(xiǎn)電壓 此符號(hào)在有可能遭受電擊危險(xiǎn)時(shí)使用。設(shè)備上所有的電性操作只能由受訓(xùn)員工進(jìn)行。確保滿足所有的國(guó)家和本地安全要求。 由于有害或刺激性氣體導(dǎo)致的危險(xiǎn) 此符號(hào)用于設(shè)備中存在接觸性有毒材料而導(dǎo)致的危險(xiǎn)。 attention! 注意! 此符號(hào)用來(lái)指示當(dāng)關(guān)閉或移動(dòng)固定器件時(shí)可能導(dǎo)致的擠壓手危險(xiǎn)。 attention, hot surfaces! 注

16、意，灼熱表面！ 此符號(hào)用來(lái)標(biāo)注由于灼熱表面而導(dǎo)致的燒傷危險(xiǎn)。 attention! 注意! 本設(shè)備只能由受訓(xùn)員工通過(guò)適當(dāng)工具進(jìn)行運(yùn)輸。由于基底區(qū)域和高度的比例設(shè)備可能傾覆。穿戴安全手套 穿戴具有多道過(guò)濾的呼吸道設(shè)備 穿戴防護(hù)服 此符號(hào)印制于包含關(guān)鍵功能的特殊信息或特殊應(yīng)用標(biāo)識(shí)之后，幫助您理解設(shè)備的所有功能。1.2 定義1.2.1設(shè)備用戶設(shè)備用戶擁有或者租借此設(shè)備。設(shè)備用戶對(duì)設(shè)備的安全操作負(fù)責(zé)并使用設(shè)備作為一種收益來(lái)源。設(shè)備用戶按其目的對(duì)設(shè)備操作負(fù)責(zé)。設(shè)備用戶同時(shí)也對(duì)雇傭人員進(jìn)行設(shè)備搭建、運(yùn)行、操作和維護(hù)負(fù)責(zé)。1.2.2 受訓(xùn)員工受訓(xùn)員工在專業(yè)培訓(xùn)之后可以進(jìn)行各自工作并辨識(shí)出可能涉及的危險(xiǎn)。另外

17、，受訓(xùn)員工具有所有的可應(yīng)用規(guī)則、事故防護(hù)條規(guī)和所有特殊設(shè)備條件的知識(shí)。設(shè)備用戶對(duì)其所需培訓(xùn)負(fù)責(zé)。設(shè)備用戶對(duì)受訓(xùn)員工的資格認(rèn)證負(fù)責(zé)。 受訓(xùn)員工安裝和維護(hù)設(shè)備。1.2.3操作人員 操作人員接受關(guān)于設(shè)備不正確操作而可能導(dǎo)致的潛在危險(xiǎn)的在職指導(dǎo)。操作人員熟悉所有必需的安全裝置和措施、應(yīng)用條規(guī)、事故防護(hù)指導(dǎo)和特殊設(shè)備條件。設(shè)備用戶對(duì)其所需培訓(xùn)負(fù)責(zé)。設(shè)備用戶對(duì)操作人員的資格認(rèn)證負(fù)責(zé)。1.3 版權(quán) 此操作指導(dǎo)為設(shè)備用戶、受訓(xùn)員工和操作人員所撰寫(xiě)。centrotherm保留對(duì)這些操作指導(dǎo)的版權(quán)。基于此點(diǎn)，您不可以在沒(méi)有centrotherm事先書(shū)面允諾的情況下全部或部分復(fù)制、拷貝、分配或者出于競(jìng)爭(zhēng)目的而使用這

18、些oi。保留所有版權(quán)生產(chǎn)商地址;centrotherm gmbh+co.kgjohannes-schmid-str.89143 blaubeuren,germanytel:+49(0)73 44/91 86-0fax:+49(0)73 44/91 86-388email:docentrotherm.de1.4 對(duì)于材料缺陷的依賴性 此操作指導(dǎo)是基于所交付設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品特殊參數(shù)基礎(chǔ)上。然而，生產(chǎn)商保留對(duì)操作指導(dǎo)添加更完備信息的權(quán)利。 生產(chǎn)商只接受個(gè)體契約協(xié)議相關(guān)的擔(dān)保聲明。 生產(chǎn)商不會(huì)接受基于以下之一或若干原因而導(dǎo)致的人身傷害或財(cái)產(chǎn)損失的擔(dān)保和責(zé)任。 設(shè)備沒(méi)有被正確使用。 設(shè)備沒(méi)有按照操作指導(dǎo)

19、操作。 設(shè)備在安全裝置移除后使用。 設(shè)備在沒(méi)有centrotherm事先允諾之下結(jié)構(gòu)和/或功能上被修改。 設(shè)備安裝有未被centrotherm提供和認(rèn)可的備件。 設(shè)備被不正確修理。 設(shè)備被centrotherm沒(méi)有書(shū)面授權(quán)的受訓(xùn)員工修理。 設(shè)備由于“不可抗因素”導(dǎo)致的損傷。2 介紹進(jìn)一步的技術(shù)數(shù)據(jù)可以在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。2.1 身份認(rèn)證用戶： 生產(chǎn)商：centrotherm gmbh+co.kgjohannes-schmid-str.89143 blaubeuren,germanytel:+49(0)73 44/91 86-0fax:+49(0)73

20、44/91 86-388email:docentrotherm.de指定：傳送爐 類型：do 11.900-300-ff-hto-n2/air-cantrol 組建于：2.2 尺寸技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。2.3 爐管數(shù)據(jù)技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。2.3.1 傳送帶爐管技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1及在備件列表，見(jiàn)12.7備件和耗材，12-2。材料; nicr v網(wǎng)孔,: 寬螺旋線 連接帶2.3.2 加熱載片盒干燥器hto的加熱加熱長(zhǎng)度： 3,230mm熱區(qū)數(shù)量：

21、 3對(duì)流加熱: 12.3.3 加熱載片盒快速燒結(jié)ff的加熱加熱長(zhǎng)度： 2,150mm熱區(qū)數(shù)量： 62.3.4 冷卻冷卻線長(zhǎng)度：3,500mm冷卻盒數(shù)量： 12.4 加工溫度校準(zhǔn)設(shè)置hto： 最高至530最大過(guò)程溫度： 300校準(zhǔn)設(shè)置ff： 最高至1050最大溫度1區(qū)至4區(qū)： 700最大溫度5區(qū)至6區(qū)： 10502.5媒介供應(yīng)連接2.5.1水 進(jìn)一步的技術(shù)數(shù)據(jù)可以在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1 冷卻水入口： 大約2025 最小65升/分鐘 無(wú)懸浮物質(zhì)和粒子 最大8bar，絕對(duì)量 冷卻水出口： 最小比入口小2bar名稱要求新水溫度冷卻水溫度15-2525ph值6-8水

22、硬度（含堿土量）10-130dh resp. 100-130 mg/l cao機(jī)械污染100mg/l最大粒子尺寸50m2.5.2空氣 進(jìn)一步的技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。壓縮空氣 干燥，純凈 最小6bar 最大8bar 消耗量 最大 670slm2.5.3氮?dú)?進(jìn)一步的技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。 壓縮氮?dú)?干燥，純凈 最小6bar 最大8bar 消耗量 最大60slm2.5.4廢氣移除 進(jìn)一步的技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。2.5.5電氣 進(jìn)一步的技術(shù)數(shù)據(jù)可在設(shè)計(jì)

23、布局圖中找到，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。2.6 pc 設(shè)備處理器 intel pentium 4 處理器 2.6 ghz內(nèi)存 512mb硬盤(pán) 40gb e-ide網(wǎng)卡 intel pro/100s遠(yuǎn)程控制 acer modem 56 surf pci顯示器 15”tft 顯示操作系統(tǒng) 微軟windows 2000可視化操作 ct-visual-software輸入單位 trackball keyboard us2.7 功能描述 此設(shè)備功用為干燥硅片上印刷漿料，燃盡漿料的有機(jī)組分，并燒結(jié)電極。 此程序在硅片的雙面同時(shí)進(jìn)行。 此過(guò)程劃分為三個(gè)步驟： 干燥最后應(yīng)用的漿料， 燃盡有機(jī)粘

24、合劑， 燒結(jié)并將電極滲透入硅片表面。干燥硅片電極漿料將釋放大量溶劑。硅片和應(yīng)用漿料必須保持在同樣溫度以得到最優(yōu)化的質(zhì)量。達(dá)到這一點(diǎn)需要以下的幫助： 加熱輻射器， 優(yōu)化后的溫度控制系統(tǒng)， 高流速。媒介蒙罩1將加熱載片盒快速燒結(jié)ff與加熱載片盒干燥器hto相分離。防止溶劑氣體蒸發(fā)至加熱載片盒快速燒結(jié)ff。這些溶劑氣體將通過(guò)廢氣冷凝器移除并處置。硅片暴露于加熱載片盒快速燒結(jié)ff中的高強(qiáng)度短波紅外輻射resp.可見(jiàn)光，以燒入硅片電極。媒介蒙罩2將加熱載片盒快速燒結(jié)ff的爐管氣氛與冷卻載片盒相分離。硅片和傳送帶在冷卻載片盒中冷卻。3 安全3.1 正確使用 此設(shè)備功用為干燥硅片上印刷漿料，燃盡漿料的有機(jī)組

25、分，并燒結(jié)電極。另外，留意觀察如下的操作指導(dǎo)： 所有此操作指導(dǎo)中的標(biāo)識(shí)， 可接受的技術(shù)規(guī)則， 所有相關(guān)律法、標(biāo)準(zhǔn)和條規(guī)。3.2 不正確使用任何以上沒(méi)有述及的使用被視為不正確使用。生產(chǎn)商不接受因不正確使用而導(dǎo)致的人身傷害責(zé)任。3.3 常規(guī)安全指導(dǎo)設(shè)備在符合所有相關(guān)法律條規(guī)和所有安全條規(guī)的條件下組建。代表技術(shù)發(fā)展水平并符合歐共體一致要求。然而， 當(dāng)設(shè)備在不恰當(dāng)操作或不正確使用時(shí)可能危及人身和財(cái)產(chǎn)安全。用戶需要確保任何設(shè)備工作人員已經(jīng)閱讀并理解此操作指導(dǎo)的第三章。留意觀察以下安全指導(dǎo)以避免人身和/或財(cái)產(chǎn)的損害。 用戶需要為操作者提供完整必要的防護(hù)設(shè)備。 設(shè)備用戶必須進(jìn)行相應(yīng)的指導(dǎo)和審查以確保設(shè)備的操

26、作工作站經(jīng)常保持潔凈。另外，本地安全規(guī)則和事故防護(hù)條規(guī)必須在操作設(shè)備時(shí)加以留意。警告：危險(xiǎn)電壓！防護(hù)門(mén)和盒蓋機(jī)架電壓或者熱部，以及用人力移動(dòng)的部件只能由受訓(xùn)員工開(kāi)啟。確保留意所有本國(guó)和本地安全需求。注意：灼熱表面！加熱載片盒和熱偏轉(zhuǎn)板的表面溫度可能超過(guò)60。移除金屬蓋片可能導(dǎo)致燒傷！當(dāng)工作于灼熱表面時(shí)穿戴安全手套。3.4 安全裝置所有的安全裝置例如緊急停止開(kāi)關(guān)和傳送帶停止按鈕必須在任何時(shí)刻都出于良好工作條件。如果任一裝置具有缺陷，設(shè)備均不可以進(jìn)行操作。如果在操作中某安全裝置失靈，設(shè)備自動(dòng)切換至一安全、非激活狀態(tài)。設(shè)備只有在故障功能已經(jīng)被受訓(xùn)并授權(quán)人員解除后才可以進(jìn)行操作。設(shè)備用戶對(duì)服從此條規(guī)負(fù)

27、責(zé)。設(shè)備安全裝置不可以任何方式被無(wú)效操作或放棄。此適用于所有設(shè)備和組件以及軟件應(yīng)用邏輯電路。每一安全裝置需要經(jīng)受訓(xùn)人員的定期安全功能檢查。3.4.1過(guò)溫保護(hù)一單一溫度控制器（stc）被安裝以做為任一熱區(qū)的過(guò)溫保護(hù)。stc連接至nicr/ni-或者ptrh/pt熱偶。如果設(shè)置的過(guò)高溫度被檢測(cè)到，stc斷開(kāi)熱開(kāi)關(guān)并觸發(fā)一警報(bào)。驅(qū)動(dòng)單位繼續(xù)操作。3.4.2緊急停止開(kāi)關(guān)圖1.主電源開(kāi)關(guān)主電源開(kāi)關(guān)同時(shí)也做為緊急停止開(kāi)關(guān)。主電源開(kāi)關(guān)的確切位置詳細(xì)述及于設(shè)計(jì)布局圖，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-13.4.3“(傳送)帶停止”按鈕 “belt stop”pushbutton圖2.“(傳送)帶停止”按鈕

28、入口圖2中細(xì)目描述1 “(傳送)帶停止”按鈕 設(shè)備安裝有兩個(gè)“(傳送)帶停止”按鈕，在入口和出口的兩面。當(dāng)啟動(dòng)時(shí)，這些“(傳送)帶停止”按鈕將立刻停止驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)?！?傳送)帶停止”按鈕的確切位置詳細(xì)述及于設(shè)計(jì)布局圖，見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1 如何重啟驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：1.旋轉(zhuǎn)以解鎖“(傳送)帶停止”按鈕。2.按用戶界面上的”disturbance receipt”按鈕。3.按用戶界面上的”reset”按鈕。進(jìn)一步信息參考8.3.1章加熱,8-73.5 隔熱標(biāo)識(shí) 產(chǎn)品的技術(shù)生產(chǎn)過(guò)程需要隔熱板在900至1250操作溫度之間安全發(fā)揮功用。這使的隔熱板保持機(jī)械強(qiáng)度和彈性十分重要。設(shè)備要求隔熱板在

29、加熱和冷卻階段對(duì)濕氣和凝結(jié)液具有很大的抗性。隔熱板由鋁硅酸玻璃纖維制成。此種纖維由ec guideline97/69/eg dated 05.12.1997.劃分為致癌物質(zhì)（2類），參考見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1的安全數(shù)據(jù)頁(yè)“kerform, kerheat,kerasetter”。由于隔熱是完全密封，沒(méi)有粉塵粒子能逃逸進(jìn)附近工作空間，故在正常熔爐操作中安全防范不是必需的。然而，當(dāng)在隔熱板上進(jìn)行維護(hù)和修理工作時(shí)，纖維和纖維粉塵粒子會(huì)不可避免的逃逸進(jìn)入附近工作空間。當(dāng)工作于隔熱板時(shí)留意下列安全指導(dǎo)。有害及刺激性粉塵粒子的危險(xiǎn)警告！工作于加熱載片盒快速燒結(jié)ff的隔熱板上可能導(dǎo)致有毒粉

30、塵粒子的釋放！工作于加熱載片盒時(shí)時(shí)刻留意“危險(xiǎn)材料技術(shù)規(guī)則”trgs 521（德國(guó)有效），其需要移除隔熱板。維護(hù)工作只能由專門(mén)、授權(quán)的、受訓(xùn)的員工進(jìn)行。在維護(hù)工作進(jìn)行時(shí)將工作區(qū)域隔離，并確保未授權(quán)人員無(wú)權(quán)進(jìn)入工作區(qū)域！在加熱載片盒上的工作區(qū)域設(shè)置外部廢氣系統(tǒng)。當(dāng)工作于隔熱板上時(shí)穿戴安全手套！當(dāng)工作于隔熱板上保持穿戴ffp2過(guò)濾罩！我們建議穿戴ffp2過(guò)濾罩作為高粉塵聚集的防護(hù)。當(dāng)工作于隔熱板上時(shí)穿戴防護(hù)服。3.6 滅火 存在爆炸、燃燒、腐蝕和中毒的危險(xiǎn)！ 在滅火時(shí)注意盡快通知消防局。所有下述建議只作為在火災(zāi)發(fā)生時(shí)的應(yīng)對(duì)意見(jiàn)。 腐蝕性、毒性和jet-flame形成氣體可能在火災(zāi)情況下釋放。在滅火

31、前使用安全服和呼吸器。 在氣體燃火事故中，由于可燃性氣體在滅火后的放出存在爆炸隱患，滅火前應(yīng)斷開(kāi)氣體供應(yīng)。 如果電流負(fù)載電纜的絕緣性遭到破壞，設(shè)備中存在電擊危險(xiǎn)！滅火前關(guān)閉設(shè)備的主電源開(kāi)關(guān)。使用co2滅火器在狹小和不易通風(fēng)的房間有可能造成窒息！確保在狹小房間使用co2滅火器時(shí)足夠通風(fēng)。從下開(kāi)始撲滅火源，首先主火源，接著可能的進(jìn)一步火源。當(dāng)滅火時(shí)留意所有的法律和公司條規(guī)。在撲滅有電組件時(shí)使用合適的滅火器，保持至少1米的安全距離！滅火物質(zhì)滅火器 參照din 14 406,type c2-22的滅火器滅火物質(zhì) 對(duì)有電系統(tǒng)采用二氧化碳（co2）或者其他滅火物質(zhì)4 功能描述 此設(shè)備功用為干燥硅片上印刷漿

32、料，燃盡漿料的有機(jī)組分，并燒結(jié)電極。圖3.設(shè)備總覽圖3中細(xì)目描述1 入口/出口 5文氏管系統(tǒng)（廢氣）2 媒介監(jiān)控（水） 6 加熱3 媒介監(jiān)控（氣） 7 冷卻4 操作/控制 8 驅(qū)動(dòng)4.1 入口/出口4.1.1 入口門(mén) 入口門(mén)位于爐子入口處。空氣從處理通道上方的精細(xì)噴嘴吹出。它將爐管氣氛與周邊氣氛隔離開(kāi)。入口門(mén)完全由不銹鋼制成并直接焊接至加熱載片盒干燥器hto。圖4. 入口門(mén)4.1.2 出口門(mén) 出口門(mén)位于爐子出口處?？諝鈴奶幚硗ǖ郎戏降木?xì)噴嘴吹出。它將爐管氣氛與周邊氣氛隔離開(kāi)。出口門(mén)完全由不銹鋼制成并直接焊接至加冷卻載片盒。4.2 加熱4.2.1 加熱載片盒干燥器hto圖.5 加熱載片盒干燥器

33、hto圖5中細(xì)目描述1 入口門(mén) 3 對(duì)流加熱2 加熱載片盒干燥hto 加熱載片盒包括隔熱載片盒外套，加熱器，加工氣體注入以及加工氣體廢氣抽氣機(jī)箱。棱紋管輻射器ribbed tube radiators設(shè)置在傳送帶的上下兩邊作為加熱器。對(duì)流加熱內(nèi)建于加熱載片盒之上。描述可以在4.2.2章對(duì)流加熱中找到，4-3。加熱載片盒劃分為3個(gè)單獨(dú)調(diào)節(jié)的熱區(qū)，對(duì)流加熱代表第四熱區(qū)。對(duì)于溫度測(cè)量，兩個(gè)k型熱電偶（nicr/ni）安置于每個(gè)熱區(qū)。它們直接固定在加熱器/輻射器上。其一用來(lái)溫控，另一個(gè)用來(lái)過(guò)溫保護(hù)。還有一個(gè)此種類型的熱電偶安置于每一區(qū)用來(lái)在設(shè)備pc上指示正確溫度。此熱電偶安置于硅片通路附近。預(yù)熱加工氣

34、體的入口安置于初始熱區(qū)。加工氣體從頂部注入沿爐管傳輸方向流經(jīng)加工通道。加工氣體吸收從漿料溢出的溶劑，并吹掃至最后熱區(qū)的末端。為避免熱量散發(fā)進(jìn)生產(chǎn)室，整個(gè)加熱載片盒是隔熱的并且兩邊被外覆以鋁制水槽。這些鋁制水槽同時(shí)也用作空氣阻障。攀升的空氣，在爐管室內(nèi)被加熱，經(jīng)過(guò)容器冷卻器。容器冷卻器安置于加熱載片盒上部，更多信息詳見(jiàn)4.3.2章腔室冷卻，4-7。為做審查和清潔工作，三個(gè)元件上層部分開(kāi)口至空氣汽缸。人工操作的氣動(dòng)閥安置在冷卻載片盒前部設(shè)備的尾面。4.2.2 對(duì)流加熱圖.6.對(duì)流加熱圖6.中細(xì)目描述1 入口門(mén) 5 空氣加熱器2 加熱載片盒干燥器hto 6 熱電偶3 空氣汽缸 7 中間管4 熱空氣風(fēng)

35、扇 8 通風(fēng)口過(guò)濾盒 對(duì)流加熱是附加裝配在加熱載片盒htp上。它流入過(guò)濾后的熱加工空氣至加熱載片盒。過(guò)濾后的周邊空氣通過(guò)熱空氣扇流入一溫控空氣加熱器至加熱載片盒。加工空氣的數(shù)量由熱空氣扇旋轉(zhuǎn)速度設(shè)定。流量由流量計(jì)測(cè)量并指示于設(shè)備pc的“gas supply”標(biāo)簽。 熱空氣風(fēng)扇連續(xù)變動(dòng)的旋轉(zhuǎn)速度顯示于“heating”標(biāo)簽，見(jiàn)8.3.1章加熱，8-7。被輸入以10至100的百分?jǐn)?shù)。4.2.3 媒介蒙罩1內(nèi)建媒介蒙罩1連接加熱載片盒hto和加熱載片盒快速燒結(jié)ff。用來(lái)分離爐管氣氛。文氏管?chē)娮焱埔魄斑M(jìn)廢氣流。圖.7媒介蒙罩14.2.4 加熱載片盒燒結(jié)ff圖.8 加熱載片盒快速燒結(jié)ff圖8中細(xì)目描述

36、1 加工通道 6 熱區(qū)5 2 熱區(qū) 1 7 熱區(qū) 6 3 熱區(qū)2 8 加工氣體廢氣抽氣盒 4 熱區(qū)3 9 加工氣體注入 5 熱區(qū) 4 加熱載片盒包括加熱器，加工氣體注入以及加工氣體廢氣抽氣盒。它被外覆以高熱抗的隔熱板。 短波紅外輻射器裝配于傳送帶的上下方作為加熱器。補(bǔ)充一燈冷卻器至熱區(qū)5和熱區(qū)6的加熱器以延長(zhǎng)服務(wù)壽命。它們內(nèi)建于石英管。空間由加工氣體吹掃。 文氏管?chē)娮焱埔魄斑M(jìn)廢氣流。加熱載片盒被劃分為六個(gè)單獨(dú)調(diào)節(jié)的熱區(qū)。對(duì)于溫度測(cè)量，每個(gè)熱區(qū)使用兩個(gè)熱電偶。其一用來(lái)溫控，另一個(gè)用來(lái)過(guò)溫保護(hù)。1至4熱區(qū)使用k型熱電偶（nicr/ni），熱區(qū)5和6使用s型熱電偶(pt/ptrh)。在熱區(qū)5和熱區(qū)6

37、還附加有一個(gè)同類的熱電偶（每區(qū)一個(gè)）。它們是后裝配于傳送帶的約20mm上方。用來(lái)測(cè)量加工通道的實(shí)際溫度。測(cè)量值顯示于設(shè)備pc的“heating”標(biāo)簽。在熱區(qū)1和3，加工氣體通過(guò)隔熱板的頂部和底部鉆孔注入進(jìn)加工腔室。在熱區(qū)5和6，加工氣體通過(guò)內(nèi)建燈冷卻器注入。廢氣抽氣盒裝配于熱區(qū)3和4的頂部和底部。漿料快速燃出的加工氣體和材料通過(guò)這些盒體移出加工腔室。為避免熱量散發(fā)進(jìn)生產(chǎn)腔室，整個(gè)加熱載片盒是隔熱的并且兩邊被外覆以鋁制水槽。這些鋁制水槽是雙面的。攀升的空氣，在爐管室內(nèi)被加熱，經(jīng)過(guò)容器冷卻器。容器冷卻器安置于加熱載片盒上部，更多信息詳見(jiàn)4.3.2章腔室冷卻，4-7。加熱載片盒蓋和上層隔熱板層能被方

38、便的移除以做審查和清潔。4.2.5 媒介蒙罩 2 媒介蒙罩2功用為： 通過(guò)自由輻射迅速冷卻硅片和傳送帶。 分離爐管氣氛加工氣體從頂部開(kāi)放噴嘴脫出,被兩個(gè)頂部開(kāi)放噴嘴的左右遮罩shrouds收集并排放至頂部。文氏管?chē)娮焱埔魄斑M(jìn)廢氣流。媒介蒙罩2使用高熱抗鋼材制成并被水冷管包裹。圖.9 媒介蒙罩2 4.3 冷卻4.3.1 冷卻載片盒 冷卻載片盒是一種空氣循環(huán)載片盒。載水棱紋輻射器安裝在傳送帶的上部和下部，用來(lái)冷卻硅片和傳送帶。可變速冷卻風(fēng)扇安置于上棱紋冷卻器之上和下冷卻器之下。軸向風(fēng)扇用作冷卻風(fēng)扇。上冷卻風(fēng)扇將周邊空氣吹入棱紋冷卻器至硅片和傳送帶。下冷卻風(fēng)扇吸入從硅片底部至傳送帶的周邊空氣。圖.1

39、0 冷卻載片盒圖10中的細(xì)目描述1 載水棱紋冷卻器 4 冷卻載片盒上部22 冷卻載片盒上部1 5 冷卻風(fēng)扇3 冷卻載片盒下部冷卻風(fēng)扇由激發(fā)驅(qū)動(dòng)而接通。當(dāng)驅(qū)動(dòng)被斷開(kāi)，風(fēng)扇也同時(shí)被斷開(kāi)并再轉(zhuǎn)5分鐘。上下冷卻風(fēng)扇的連續(xù)可變轉(zhuǎn)速是通過(guò)電位計(jì)（刻度010）設(shè)定。電位計(jì)設(shè)定“0”對(duì)應(yīng)于固定最小轉(zhuǎn)速。電位計(jì)安置于設(shè)備pc下的裝備板。關(guān)于其確切位置請(qǐng)參考文件“overview cover, mounting plate and item designation”于12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1流經(jīng)棱紋冷卻器的冷卻水被分隔成3部冷卻水回路，并通過(guò)流量表和自動(dòng)調(diào)溫器監(jiān)控。冷卻水回路1棱紋冷卻器處于生產(chǎn)方向

40、冷卻載片盒下部的前部區(qū)域冷卻水回路2棱紋冷卻器處于冷卻載片盒上部1冷卻水回路3棱紋冷卻器處于冷卻載片盒上部2及生產(chǎn)方向冷卻載片盒下部的尾部區(qū)域?yàn)榱藢彶楹颓鍧嵱猛?，元件頂部可以被開(kāi)放至空氣汽缸。手動(dòng)操作空氣閥安置在冷卻載片盒前部設(shè)備的尾面。4.3.2 腔室冷卻腔室冷卻包含一系列棱紋冷卻器。它們由冷卻水操作。為了最小化放至環(huán)境的熱輻射并保持腔室低溫，水冷紋內(nèi)建于加熱區(qū)域的上部。為供應(yīng)加熱載片盒所放射的熱量至冷卻器，兩個(gè)雙面輻射器和偏轉(zhuǎn)板附在加熱載片盒邊緣。通過(guò)對(duì)流，熱空氣攀升并引導(dǎo)至冷卻器，在那里聚集并降溫。在冷卻過(guò)程后，空氣下降至偏轉(zhuǎn)板間并被自然對(duì)流向上吸走。4.4 驅(qū)動(dòng)設(shè)備圖.11具備超聲清潔

41、器的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)圖11中的細(xì)目描述1 逆轉(zhuǎn)惰輪入口/出口 8 傳送帶干燥器2 壓力滾筒 9 超聲清潔器（u-cleaner）3 石英軌跡 10 牽引滑輪4 傳送帶 11 動(dòng)力滾筒5 返回滾筒傳送帶 12 齒輪馬達(dá)6 磁滯制動(dòng)器 13 滑動(dòng)離合器clutch7 引導(dǎo)滾筒驅(qū)動(dòng)安置于出口工作臺(tái)和冷卻載片盒的下部。 其包含有： 石英軌跡 傳送帶 驅(qū)動(dòng)單位 制動(dòng)單位 返回滾筒傳送帶 不同尺寸的滾筒 清潔站 驅(qū)動(dòng)控制和監(jiān)控石英軌跡包括安置在單獨(dú)媒介蒙罩上的石英棒，加熱載片盒以及冷卻載片盒。傳送帶在這些棒上滑行于設(shè)備里。不同尺寸的石英棒被使用。關(guān)于石英軌跡里位置和安排的詳細(xì)描述請(qǐng)參考圖畫(huà)“quartz trac

42、k石英軌跡”于12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1傳送帶是一種寬螺旋線連接帶，由nicr v制成。硅片在傳送帶上水平安放通過(guò)設(shè)備。一三相異步齒輪馬達(dá)用以驅(qū)動(dòng)動(dòng)力滾筒。動(dòng)力滾筒通過(guò)摩擦力牽拉傳送帶。齒輪馬達(dá)安裝有一可調(diào)節(jié)滑動(dòng)離合器clutch。當(dāng)阻力導(dǎo)致傳送帶變慢或者阻滯時(shí)，滑動(dòng)離合器可以防止齒輪馬達(dá)免于損傷。加熱載片盒干燥器hto下安置有一可調(diào)節(jié)磁滯離合器。作用于制動(dòng)器滾筒上以確保傳送帶的平滑和無(wú)阻運(yùn)動(dòng)。入口和出口處的動(dòng)力滾筒，逆轉(zhuǎn)惰輪，制動(dòng)滾筒及壓力滾筒為橡膠涂層并以滾球軸承支撐。引導(dǎo)滾筒在傳送帶運(yùn)動(dòng)時(shí)居于其中間。牽引滑輪用來(lái)保持穩(wěn)定的帶牽力傳送帶通過(guò)超聲清潔器（u-cleaner）進(jìn)行清

43、潔。進(jìn)行清潔時(shí)傳送帶的速度必須降低。傳送帶速度既可以通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)來(lái)降低，也可以通過(guò)“heating”標(biāo)簽自動(dòng)調(diào)節(jié)。關(guān)于深入信息請(qǐng)參考8.3.1章加熱，8-7。對(duì)于手動(dòng)調(diào)節(jié)，空氣汽缸通過(guò)手動(dòng)激活空氣閥切換至“u-cleaner操作”設(shè)置。清潔后傳送帶通過(guò)風(fēng)扇吹干。圖.12 軸桿譯碼器圖12中的細(xì)目描述1 齒輪馬達(dá) 2 連接索纜3 系統(tǒng)軸桿譯碼器運(yùn)輸速度設(shè)置可以通過(guò)cantrol系統(tǒng)控制器連續(xù)修改。使用一變頻器，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)可以運(yùn)行在相應(yīng)馬達(dá)頻率。傳送帶的速度由軸桿譯碼器決定并前至于cantrol系統(tǒng)控制器。運(yùn)輸速度同設(shè)置速度相比較。在偏離的情況下如果傳送帶處于停頓狀，將觸發(fā)一警報(bào)。見(jiàn)9.1.4章帶停

44、頓和9.1.4章帶容差。關(guān)于cantrol 系統(tǒng)控制器更為詳細(xì)的信息請(qǐng)見(jiàn)4.6.1章cantrol系統(tǒng)控制器，4-13.4.5 媒介4.5.1 電力供應(yīng) 關(guān)于電力供應(yīng)的深入信息可以在2.5章媒介供應(yīng)連接中找到，2-24.5.2 冷卻水供應(yīng) 冷卻水供應(yīng)是用來(lái)分配冷卻水至媒介蒙罩、冷卻載片盒、腔室冷卻和廢氣冷凝器的各自單獨(dú)冷卻回路中。參考“水流圖示”于12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。 圖.13 冷卻水供應(yīng)圖13中的細(xì)目描述1 冷卻水供應(yīng)線 6 壓力計(jì)manometer2 排水管安全閥 7 關(guān)斷閥3 關(guān)斷閥 8 分配器4 壓力標(biāo)準(zhǔn)儀hs 10 s 9 針形閥5 壓力標(biāo)準(zhǔn)儀過(guò)濾器設(shè)備安裝以中央

45、水供應(yīng)設(shè)施。水分配器通過(guò)關(guān)斷閥和壓力控制閥來(lái)提供。在這幾點(diǎn)上水分配至單獨(dú)冷卻回路。每一供應(yīng)線包含一針形閥通過(guò)可調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)接觸來(lái)設(shè)置流速和流量表。如果流量降低至預(yù)設(shè)值之下，將產(chǎn)生一警報(bào)。當(dāng)警報(bào)訊息持續(xù)激活一預(yù)定時(shí)間段后，加熱單位被關(guān)斷。為了設(shè)備的安全起見(jiàn)，一過(guò)壓閥（8bar，y261）內(nèi)建于冷卻水返回線。其安置于出口冷卻載片盒上部設(shè)備的尾部。見(jiàn)“水流圖示”于12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。圖.14水流量表圖14中的細(xì)目描述1 具有警報(bào)接觸的遠(yuǎn)程指示自動(dòng)調(diào)溫器 3 具有警報(bào)接觸的流量表 2 圖表“水”4.5.3 壓縮空氣供應(yīng) 潔凈和干燥的壓縮空氣在設(shè)備中作為加工氣體。 壓縮空氣供應(yīng)至不同位置的加工腔室并用來(lái)： 作為廢氣管道中文氏管?chē)娮斓尿?qū)動(dòng)氣體。 在氣鎖中阻滯外界空氣進(jìn)加工腔室。 作為開(kāi)啟加熱和冷卻載片盒的空氣汽缸所用壓縮空氣。單獨(dú)部分的管道系統(tǒng)描述于“氣體回路圖示”見(jiàn)12.2章圖畫(huà)、規(guī)格、電路圖，12-1。監(jiān)控可調(diào)節(jié)的最小壓力的壓力開(kāi)關(guān)安裝在氣體分配器的前部。在氣體分配器中，壓縮空氣被分配至單獨(dú)部分。氣體分配器通過(guò)關(guān)斷和壓力標(biāo)準(zhǔn)儀閥以供應(yīng)壓縮空氣。每部分的供應(yīng)線都建有一具有針形閥的流量表。流量表安裝在操作面板