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文檔簡(jiǎn)介

1、多晶澆鑄爐停水情況的緊急處理 系統(tǒng)停水的情況大概可以分為兩種:(1) 主管路無(wú)水流壓力,產(chǎn)生這種情況的最大可能原因是外圍設(shè)施發(fā) 生錯(cuò)誤, 導(dǎo)致整條生產(chǎn)線同時(shí)停水, 表現(xiàn)在設(shè)備上的癥狀為多臺(tái) DSS系統(tǒng) 同時(shí)發(fā)出警報(bào)。解決方法:嚴(yán)格按照水循環(huán)系統(tǒng)的操作規(guī)程進(jìn)行操作。二十四小時(shí)崗位不離人!2) DSS 系統(tǒng) 8路水路中,由于水質(zhì)等原因引起的某一路或幾路水管通水不暢,而導(dǎo)致 DSS系統(tǒng)水流警報(bào)。解決辦法:若報(bào)警界面水流欄中出現(xiàn)黃色報(bào)警。若出現(xiàn)紅色報(bào)警,即出水流量計(jì)不能感應(yīng)水流,則需要在很短的時(shí)間內(nèi)找到水流停滯的原因,并且做出相關(guān)工藝調(diào)整。具體做法如下:1)點(diǎn)擊 SILENCEA LARM消 除警報(bào)聲

2、,其他工作人員迅速找到水流停 滯管,并利用相關(guān)工具盡塊恢復(fù)通水。2)20 秒后加熱器接觸器自動(dòng)斷開(kāi)(最理想的做法是在 20 秒找到原因并解決問(wèn)題),出現(xiàn)如下界面:迅速記錄 LOST POWER A的T 數(shù)值。水流通暢后點(diǎn)擊屏幕上 PS CONTAC使T 接觸器合上,顯示綠色為已經(jīng)合上狀態(tài)。3)點(diǎn)擊屏幕下方的 Real Value 如圖備注:水停后引起 PS CONTACTO斷R開(kāi) 時(shí)間不能太長(zhǎng),一般不能超過(guò)一分 種。加熱階段限制 15 分鐘熔料階段限制下降 120長(zhǎng)晶階段限制下降 50退火階段限制下降 120冷卻階段OKDSS爐斷水或水流低時(shí),班組長(zhǎng)都應(yīng)立即啟動(dòng)應(yīng)急方案。 以下分別闡述:一、水

3、流量下降或單回路水流量低(或斷水)情況 1DSS操作工發(fā)現(xiàn)全部回路水流量有下降趨勢(shì)時(shí),需立即向班組長(zhǎng)匯2等待WATER FLOW CONTAC顯 顯TO示R綠 色后證明水流正常報(bào),班組長(zhǎng)需立即向外圍設(shè)備部門(mén)反映(通過(guò)對(duì)講機(jī)、電話) 。2某回路水流量低或斷水時(shí),一般是設(shè)備本身問(wèn)題(如水流計(jì)損壞) 。 應(yīng)急措施如下:1)該機(jī)臺(tái)操作工立即招呼離應(yīng)急搶救工具或備件 (如 T 形扳手和水流 計(jì)葉輪)最近的人員準(zhǔn)備好應(yīng)急搶救工具或備件。2)該機(jī)臺(tái)操作工需在機(jī)臺(tái)前密切注意電腦參數(shù)變化并做出反應(yīng), 并招 呼熟練人員參與搶險(xiǎn)。3)就近機(jī)臺(tái)操作工立即報(bào)告班班組長(zhǎng)和現(xiàn)場(chǎng)車(chē)間領(lǐng)導(dǎo)。二、全部回路水流量低或全部回路斷冷凍

4、水低時(shí),這表明外圍冷凍水系 統(tǒng)出現(xiàn)故障。應(yīng)急措施如下:1 由離對(duì)電話最近的操作工通知外圍冷卻系統(tǒng)(班值班電話: 3685313)。2 由離大門(mén)最近的操作工立即開(kāi)啟應(yīng)急水總閥 (在二期單晶地下 室 35 號(hào)爐下,每個(gè)班組有一個(gè)專門(mén)的人員操作) 。3 班組長(zhǎng)暫時(shí)沒(méi)在現(xiàn)場(chǎng)時(shí), 操作工需立即向班組長(zhǎng)或上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)匯 報(bào)情況(匯報(bào)人由組長(zhǎng)平時(shí)指定好) 。4 應(yīng)急水用完冷凍水仍未恢復(fù)時(shí), 需進(jìn)入應(yīng)急冷卻 (操作在下面 描述)。5 當(dāng) 4 臺(tái)增壓水泵中一臺(tái)出現(xiàn)問(wèn)題時(shí), 迅速降損壞水泵旁的蝶形 閥門(mén)打開(kāi)。以下為處理斷水或水流量低的技術(shù)要點(diǎn):各機(jī)臺(tái)或故障機(jī)臺(tái)操作工堅(jiān)守自己的崗位, 密切關(guān)注好爐子的水流、 壓力、溫度

5、變化情況,以及由于斷水超過(guò) 20 秒后而造成: 1斷電彈出掉電報(bào)警窗口, 記住,功率百分比 LOST POWER AT %。3點(diǎn)擊 PS CONTACTO后R 顯綠色,關(guān)閉屏幕,進(jìn)入 REAL VALUE窗 口。41)如果是功率 P 控制模式,輸入掉電時(shí)功率的百分比使溫度達(dá)到掉 電時(shí)的溫度;2)如果是 T 控制模式應(yīng)把 T 改成 P,輸入掉電時(shí)功率百分比大于5%10%;3)使溫度達(dá)到掉電時(shí)溫度后,再把 P 改為 T,在輸入功率時(shí)應(yīng)在暫 停 PAUSE模式下。另外在等待溫度恢復(fù)時(shí),應(yīng)確保壓力情況,如果在 600mbar時(shí)氣體模式下,千萬(wàn)要確認(rèn)不能改成真空狀態(tài) V 模式下,并 且輸入與 RECIP

6、E對(duì)應(yīng) INLET 值(如 55%或是 40%或是 20%等等),如 果是溫度下降值超過(guò)主參數(shù)時(shí), 程序會(huì)自動(dòng)終止, 進(jìn)入 ECOOL不用 擔(dān)心,只要密切關(guān)注水流情況。水進(jìn)入 DSS爐時(shí),水壓值又比較低, 在 ALARM窗口,F(xiàn)1F8會(huì)顯黃色, 不會(huì)彈出掉電窗口,只是每隔 30 秒會(huì)重復(fù)報(bào)警。水壓太低時(shí)間又太長(zhǎng), 可終止運(yùn)行,但必須接到班長(zhǎng)以上人員的指令才可執(zhí)行。終止運(yùn)行時(shí)應(yīng) 進(jìn)入 MODE窗S 口,點(diǎn)擊 PAUSE會(huì)彈 ABORTA UTO按鈕,點(diǎn)擊該按鈕后,會(huì)CONTACTOR 連接接觸器進(jìn)行加熱。若是斷電時(shí)間過(guò)長(zhǎng), 無(wú)法在掉電窗口中連接接觸器,則必須在Modes 窗口中點(diǎn)擊Manual,

7、輸入 *,進(jìn)入手動(dòng)屏幕,再次手動(dòng)自動(dòng)進(jìn)入 ECOOL程序,你只要密切關(guān)注爐子的壓力,水流、 TC1 溫度 變化, V2、V3閥打開(kāi),隔熱籠位置等(從 OVERVIEW畫(huà)面可看到)。切記在終止運(yùn)行時(shí)要盡量不要按 EMERGENCYSTOP按鈕(即電腦最 右上角按鈕),因?yàn)榘?EMERGENCYSTOP時(shí),屏幕沒(méi)有參數(shù)實(shí)際值,如: 水流值為零,并顯示紅色,壓力值也為零,隔熱籠位置也為零,這樣會(huì) 造成一種假象,顯示進(jìn)入 E COOL也是假的,隔熱籠提升馬達(dá)、 V2、V3 閥真空泵等全部關(guān)閉未工作。 以下為處理斷水或水流量低的日常準(zhǔn)備工作:1 讓所有 DSS操作工了解應(yīng)急水總閥的位置及其操作。2 讓所

8、有 DSS 操作工了解應(yīng)急搶救工具或備件的位置及其使用方 法,并確認(rèn)應(yīng)急搶救工具或備件是可用的。3 讓所有 DSS操作工了解對(duì)講機(jī)的使用方法,并保證對(duì)講機(jī)始終有 足夠的電量。4 班組長(zhǎng)尤其是組長(zhǎng)需把人員分好工,如定人匯報(bào)、定人開(kāi)閥、定 人取工具等。多晶 DSS爐斷電處理、斷電發(fā)生后,彈出掉電報(bào)警窗口 所有 DSS 爐的報(bào)警聲響成一片。在 這種情形下,各操作人員不應(yīng)慌張, 應(yīng)各自堅(jiān)守崗位, 首先在掉電彈出窗 口點(diǎn)擊 SILENCE ALARM 消除報(bào) 警音,記錄好當(dāng)時(shí)的溫度、功率,等 待電源恢復(fù)。二、按應(yīng)急方案執(zhí)行,班組長(zhǎng)通知配 電房、上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)和其他相關(guān)人員,班 長(zhǎng)現(xiàn)場(chǎng)指揮, 組員負(fù)責(zé)各自區(qū)域

9、DSS爐,處理各自 DSS 爐。三、斷電后伴隨彈出 UPS 失效報(bào)警, 然后點(diǎn)擊 RESET ALAEM 復(fù)位關(guān)閉 該該窗口,進(jìn)入 OVERVIEW 窗口檢 查閥門(mén)、壓力、水流、溫度等等。四、來(lái)電后,立即在掉電窗口上點(diǎn)擊PS連接接觸器。若是溫度降的過(guò)快,可適當(dāng)增大功率 510% 。五、在等待升溫的過(guò)程中檢查進(jìn)氣量是 否與配方一致。若不一致時(shí), 可在 REAL VALUE窗口 Inlet (Outlet )中輸入配 方中設(shè)定的氬氣流量值。六、當(dāng)溫度達(dá)到掉電時(shí)的溫度時(shí), DSS復(fù)運(yùn)行。七、在 Real Value 和 Over View 中再 一次檢查溫度、模式、氣體流量、水流 量、各閥門(mén)開(kāi)關(guān)、電

10、壓、電流、功率等 等。八、恢復(fù)運(yùn)行后,著重關(guān)注 M和 G階段 的 DSS爐,時(shí)時(shí)關(guān)注曲線、 壓力、溫度、 水流量、電壓、電流、功率等。硅片事業(yè)部多晶澆鑄車(chē)間2010-2-24硅片事業(yè)部突發(fā)事件疏散演練方案一、 目的提高員工在發(fā)生突發(fā)事件時(shí)的應(yīng)急處置能力,提高各單位在在發(fā)生 突發(fā)事件時(shí)的對(duì)人員疏散撤離的組織能力,確保事件發(fā)生范圍內(nèi)的人員 有序、順利的撤離突發(fā)事件現(xiàn)場(chǎng),集中到安全地帶,避免突發(fā)事件對(duì)事 件范圍內(nèi)的人員受到傷害。二、 適用范圍適用于硅片事業(yè)部參加疏散演練的部門(mén)活動(dòng)場(chǎng)所內(nèi)發(fā)生突發(fā)性事件 時(shí)從事件現(xiàn)場(chǎng)撤離的全過(guò)程。三、突發(fā)事件疏散管理小組 負(fù) 責(zé) 人:任林生 總 指 爐會(huì)報(bào)警。關(guān)閉掉電窗

11、口, 檢查溫度、 壓力、水流量、各閥門(mén)開(kāi)關(guān)、 電壓、電流、功率是否正常。 確認(rèn)無(wú)誤后點(diǎn)擊 Return To Auto , 恢揮:李建帥、鄧啟祥 組織協(xié)調(diào):潘士嘯 過(guò)程記錄:孫小琪 評(píng)價(jià)記錄:熊金杰、董衛(wèi)昌 人員核實(shí)統(tǒng)計(jì):徐霞霞四、 職責(zé)劃分1、突發(fā)事件疏散管理小組負(fù)責(zé)硅片事業(yè)部突發(fā)事件撤離的全過(guò)程管 理。2、各部門(mén)、車(chē)間負(fù)責(zé)本部門(mén)的突發(fā)事件撤離的全過(guò)程管理。3、生產(chǎn)處負(fù)責(zé)協(xié)助領(lǐng)導(dǎo)制定、實(shí)施具體的突發(fā)事件疏散撤離方案,并對(duì)疏散過(guò)程全面管理。五、方案制定及實(shí)施原則 各部門(mén)實(shí)施本突發(fā)事件疏散方案需要遵照以下原則:1、二期辦公樓所安裝的聲光報(bào)警系統(tǒng)發(fā)出統(tǒng)一報(bào)警鈴聲響起疏散撤 離演練立即啟動(dòng)。2、供應(yīng)

12、、銷(xiāo)售處辦公室在聽(tīng)到鈴聲后,由 任麗 同志發(fā)出督促撤離口 令“有突發(fā)事件,請(qǐng)大家有序撤離”, 任麗 同志帶頭按照“女先男后” 的原則有序撤離,任麗同志負(fù)責(zé)清點(diǎn)核對(duì)撤離人員。撤離路線:出門(mén)右轉(zhuǎn),從大廳大門(mén)撤離。 由任麗同志帶領(lǐng)人員撤離到集合地點(diǎn)后進(jìn)行人數(shù)清點(diǎn),任麗同志負(fù) 責(zé)作好人員登記。3、二期單晶車(chē)間在聽(tīng)到鈴聲后, 由王寶勝同志發(fā)出督促撤離口令 “有 突發(fā)事件,請(qǐng)大家聽(tīng)我指揮”,車(chē)間人員立即“面西背東”集合在通道 內(nèi),按各自所處前后位置排成一列(張春同志排頭、王寶勝同志收尾), 由張春同志發(fā)出報(bào)數(shù)口令“請(qǐng)大家一次報(bào)數(shù)”,王寶勝同志負(fù)責(zé)核對(duì)撤 離人數(shù),在張春同志的帶領(lǐng)下有序撤離。撤離路線:出車(chē)間

13、進(jìn)入西側(cè)走廊后左轉(zhuǎn),刷開(kāi)車(chē)間安全通道門(mén),從 大廳大門(mén)撤離。由張春同志負(fù)責(zé)帶領(lǐng)人員到集合地點(diǎn)進(jìn)行清點(diǎn)人數(shù),王寶勝同志負(fù) 責(zé)作好人員登記。4、多晶、切方區(qū)域在聽(tīng)到鈴聲后, 由昝武同志發(fā)出督促撤離口令 “有 突發(fā)事件,請(qǐng)大家聽(tīng)我指揮”,車(chē)間內(nèi)多晶、切方人員立即“面西背東” 集合在通道內(nèi),按各自所處前后位置排成一列(昝武同志排頭、王河新 同志收尾),由昝武同志發(fā)出報(bào)數(shù)口令“請(qǐng)大家一次報(bào)數(shù)”,王河新同 志負(fù)責(zé)核對(duì)撤離人數(shù),在昝武同志的帶領(lǐng)下有序撤離。帶領(lǐng)人員到集合 地點(diǎn)進(jìn)行清點(diǎn)人數(shù),王新河同志負(fù)責(zé)作好人員登記。撤離路線:出車(chē)間進(jìn)入西側(cè)走廊后右轉(zhuǎn),走西側(cè)消防安全通道門(mén), 從西側(cè)大門(mén)撤離。由昝武同志負(fù)責(zé)帶領(lǐng)

14、人員到集合地點(diǎn)進(jìn)行清點(diǎn)人數(shù),王河新同志負(fù) 責(zé)作好人員登記。5、切割車(chē)間在聽(tīng)到鈴聲后, 同志負(fù)責(zé)組織粘膠、砂漿攪拌班組及 財(cái)務(wù)統(tǒng)計(jì)人員撤離、由鄒毅同志負(fù)責(zé)組織清洗班組人員撤離;馬旭陽(yáng)同 志負(fù)責(zé)組織包裝班組人員撤離; 王剛同志負(fù)責(zé)組織滾磨、 切斷班組撤離; 李永樂(lè)同志負(fù)責(zé)組織多線班組撤離;各負(fù)責(zé)人在聽(tīng)到鈴聲后,跑步到各 自負(fù)責(zé)區(qū)域組織撤離。各負(fù)責(zé)人到各自負(fù)責(zé)區(qū)域后組織發(fā)出組織撤離口令“有突發(fā)事件, 請(qǐng)大家聽(tīng)我指揮”,區(qū)域內(nèi)人員立即集合在通道內(nèi),按各自所處前后位 置排成一列(指揮人排頭、班組長(zhǎng)收尾),由指揮人發(fā)出報(bào)數(shù)口令“請(qǐng) 大家一次報(bào)數(shù)”,班組長(zhǎng)負(fù)責(zé)核對(duì)撤離人數(shù),在指揮人的帶領(lǐng)下有序撤 離。帶領(lǐng)人

15、員到集合地點(diǎn)進(jìn)行清點(diǎn)人數(shù),班組長(zhǎng)負(fù)責(zé)作好人員登記。砂漿攪拌、粘膠班組撤離路線:出砂漿攪拌、粘接間進(jìn)入走廊后左 轉(zhuǎn),從北側(cè)大門(mén)撤離。清洗班組撤離路線:出清洗間進(jìn)入西側(cè)走廊后右轉(zhuǎn),從北側(cè)大門(mén)撤 離。多線班組撤離路線:在車(chē)間內(nèi)“面西背東”集合在通道內(nèi)進(jìn)入西側(cè) 走廊后左轉(zhuǎn),走西側(cè)消防安全通道門(mén),從西側(cè)大門(mén)撤離。包裝班組撤離路線:從包裝間進(jìn)入東側(cè)參觀走道后左轉(zhuǎn),從東側(cè)參 觀大門(mén)撤離。6、質(zhì)檢處在聽(tīng)到鈴聲后,由何志堅(jiān)同志發(fā)出督促撤離口令“有突發(fā) 事件,請(qǐng)大家聽(tīng)我指揮”,人員按各自所處前后位置排成一列,由何志 堅(jiān)同志發(fā)出報(bào)數(shù)口令“請(qǐng)大家一次報(bào)數(shù)”,彭佳生同志負(fù)責(zé)核對(duì)撤離人 數(shù),在何志堅(jiān)同志的帶領(lǐng)下有序撤離。

16、撤離路線:出質(zhì)檢辦公室出來(lái)進(jìn)入走廊后左轉(zhuǎn),走西側(cè)消防安全通 道門(mén),從西側(cè)大門(mén)撤離。何志堅(jiān)帶領(lǐng)人員到集合地點(diǎn)進(jìn)行清點(diǎn)人數(shù),彭佳生負(fù)責(zé)作好人員登 記。撤離注意事項(xiàng):1、突發(fā)事件發(fā)生時(shí),如方案既定組織撤離人員不在,由其副職人員 承擔(dān)組織撤離責(zé)任(依次類推)。2、各部門(mén)人員不在本部門(mén)時(shí),按照自己所在區(qū)域服從指揮。3、各部門(mén)撤離組織清點(diǎn)時(shí)發(fā)現(xiàn)本部門(mén)人員缺少, 在撤離后應(yīng)立即撥 打手機(jī)聯(lián)系核實(shí),如人員撤離出應(yīng)立即歸隊(duì),如未及時(shí)撤離出,應(yīng)立即 報(bào)告撤離小組負(fù)責(zé)人或指揮人。4、如果部門(mén)在撤離過(guò)程中相遇,指揮人應(yīng)按先后順序,和其他部門(mén) 隊(duì)形保持一列,避免擁擠、摔倒、踩踏、摔落等意外事件的發(fā)生,防止 擁擠堵塞疏散

17、通道。5、在撤離過(guò)程中撤離組織人應(yīng)及時(shí)制止本部門(mén)人員的吵鬧、催促、 喊叫,避免增加恐慌氣氛。6、如果在撤離過(guò)程中出口門(mén)打不開(kāi),可以選擇強(qiáng)行打開(kāi)方式。7、如果在撤離過(guò)程中原有路線不通, 撤離組織人員可以變更撤離路 線,選擇就進(jìn)出口撤離。六、疏散演練過(guò)程控制1、疏散演練啟動(dòng)警示信號(hào):以硅片公司二期廠房、二期辦公樓所安 裝的聲光報(bào)警系統(tǒng)發(fā)出統(tǒng)一報(bào)警鈴聲作為此次突發(fā)事件緊急疏散演練的 啟動(dòng)報(bào)警信號(hào)。即報(bào)警信號(hào)響起疏散撤離演練立即啟動(dòng)。2、安全集結(jié)點(diǎn):安全集結(jié)點(diǎn)設(shè)在二期辦公樓廣場(chǎng)東南角,安全點(diǎn)放 置安全集結(jié)點(diǎn)指示牌。3、疏散撤離時(shí)間:疏散演練開(kāi)始后,各部門(mén)必須按照既定疏散方案 迅速指揮調(diào)動(dòng)人員撤離,在 5 分鐘之內(nèi)到達(dá)安全集結(jié)點(diǎn), 5 分鐘之后到 達(dá)安全集結(jié)點(diǎn)的人員記錄為受困人員,并做原因查明和詳細(xì)詢問(wèn)記錄。4、突發(fā)事件現(xiàn)場(chǎng)所有人員疏散撤離到指定的安全地點(diǎn)后, 由各部門(mén) 組織對(duì)本單位疏散撤離人員進(jìn)行點(diǎn)名,確定是否有人員未能及時(shí)撤離突 發(fā)事件現(xiàn)場(chǎng),并填寫(xiě)人員撤離情況登記表。5、經(jīng)對(duì)疏散人員

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