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文檔簡(jiǎn)介

1、.pth線操作手冊(cè)目 錄一、 目的范圍二、 工藝流程三、 pth設(shè)備規(guī)格表四、 pth程序圖及各缸時(shí)間范圍五、 操作程序5.1開缸程序5.2工藝控制5.3生產(chǎn)操作和維護(hù)5.4 pth線停產(chǎn)處理方法5.5 pth線生產(chǎn)異常處理方法5.6沉銅效果檢測(cè)六、pth線常見問(wèn)題及處理方法七、背光級(jí)數(shù)圖八、附錄 1、pth線操作控制表 2、pth線設(shè)備檢測(cè)一覽表一、 目的規(guī)范 規(guī)范pth線流程,提供pth線工藝控制參數(shù)和操作方法,指導(dǎo)生產(chǎn)人員正常生產(chǎn),以確保生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì),適用于pth手動(dòng)或自動(dòng)線操作。二、 工藝流程三、 pth線設(shè)備規(guī)格表備注: ss:不銹鋼 qtz:石英 p.p:聚丙烯 t:氣缸振蕩 m:

2、機(jī)械搖擺 a:打氣 v:電振蕩器 tf:鐵氟龍 c:冷卻四、 pth自動(dòng)線程序圖及各缸時(shí)間范圍 注:滴水時(shí)間欄空白無(wú)要求 各廠根據(jù)實(shí)際情況可作適當(dāng)調(diào)整五、 操作程序5.1開缸程序 5.1.1前期準(zhǔn)備 a、清洗缸體:新線開缸前須用3-5% naoh溶液泡缸12小時(shí),用清水清洗干凈后,再用3-5% h2so4泡缸12小時(shí),再用清水沖洗,至少2次,藥水槽再用純水清洗一次備用。舊線視缸體清潔度,可考慮不用酸堿泡,但缸體須用清水洗凈,藥水缸須用純水清洗; b、測(cè)量:測(cè)量缸內(nèi)壁長(zhǎng)、寬、高,計(jì)算出缸體積,計(jì)算方法: v 體= 長(zhǎng)寬高(藥水液位高度); c、檢查生產(chǎn)輔料(比如,h2so4是否渾濁等)。 5.1

3、.2開缸 5.1.2.1整孔除油缸: a、加入di水至2/3體積; b、加入整孔劑ds-122(10%); c、補(bǔ)充di水至液位; d、打開加熱,開啟過(guò)濾機(jī) 5.1.2.2微蝕缸: a、加入水至2/3體積,開啟打氣; b、加入硫酸4%(或硫酸8%,適合硫酸雙氧水系列產(chǎn)品); c、冷卻后加入過(guò)硫酸鈉80g/l; d、加水至液位,攪拌。 5.1.2.3酸浸缸: a、加入di水至2/3體積; b、加入2%(v/v)h2so4; c、加入di水至液位,攪拌均勻。 5.1.2.4預(yù)浸缸: a、加入di水至2/3體積; b、加入預(yù)浸劑ds-133 220g/l(或ds-133 220g/l,ar鹽酸5%,

4、適合ds-133體系); c、加入di水至液位,攪溶后開啟過(guò)濾泵。 5.1.2.5活化缸: a、加入di水至2/3體積; b、加入預(yù)浸鹽ds-133 220g/l,ar鹽酸5%。 c、加入di水至液位,攪溶后開啟過(guò)濾泵; d、加入活化劑ds-140 2%; e、打開加熱器循環(huán)。 5.1.2.6加速缸: a、加入di水至2/3體積; b、加ds-155 10%; c、加入di水至液位; d、打開過(guò)濾泵。 5.1.2.7沉銅缸: a、加入di水至2/3體積; b、開啟打氣,加入沉銅液ds-166m 5%; c、緩慢加入ds-166a 7%; d、緩慢加入ds-166b 7%; e、補(bǔ)充di水至液位

5、,開啟過(guò)濾。5.2工藝控制 5.2.1整孔除油 a、工藝參數(shù) a、溫度 60-70 b、時(shí)間 5-8min c、過(guò)濾 連續(xù)過(guò)濾 d、搖擺 連續(xù) b、控制 a、堿度控制在0.09-0.15n; b、每生產(chǎn)100m2板補(bǔ)加1-1.5l ds-122; c、每班分析一次,依化驗(yàn)結(jié)果調(diào)整維護(hù)。 c、更換 a、每升工作液處理30-35m2板或銅含量大于1g/l時(shí)換缸; b、每次全部排凈舊液,洗凈缸體后,重新開缸。 5.2.2微蝕 a、工藝參數(shù) a、溫度 25-35 b、時(shí)間 1-2min c、濃度 na2s2o8 60-100g/l h2so4 3-5% d、過(guò)濾 連續(xù)過(guò)濾 f、打氣 過(guò)硫酸鈉體系開打氣

6、,雙氧水體系無(wú)須打氣。 b、控制 a、每生產(chǎn)100m2添加na2s2o8 5kg,硫酸2l; b、每班分析一次,微蝕速率控制在0.6-1.0um/mm; c、更換 a、銅含量大于25g/l時(shí)更換; b、更換時(shí)保管1/6左右舊槽液,再加入1/2體積純水,然后加入4%硫酸及80g/l na2s2o8,用純水補(bǔ)充至液位。 5.2.3酸浸缸 a、工藝參數(shù) a、溫度 室溫(20-30) b、時(shí)間 1-3min c、搖擺 連續(xù) b、控制 a、h2so4濃度控制在1-3%; b、每班分析一次,按分析結(jié)果補(bǔ)加。 c、更換 與微蝕缸同時(shí)更換。 5.2.4預(yù)浸 a、工藝參數(shù) a、溫度 室溫(18-30) b、時(shí)間

7、 0.5-2min c、過(guò)濾 連續(xù)過(guò)濾 d、搖擺 連續(xù)。 b、控制 a、比重控制在1.116-1.142sg,每添加165g/l ds-133可升高比重0.01sg(或補(bǔ)加165g/l ds-133可升高比重0.01sg,8.3ml/l鹽酸可提高酸度0.1n,此適合ds-133體系); b、每生產(chǎn)100m2板補(bǔ)加2.5kg ds-133、0.5l鹽酸。 c、更換 a、每升槽液生產(chǎn)30m2時(shí)更換; b、或溶液轉(zhuǎn)變成藍(lán)色或綠色時(shí)更換。 5.2.5活化 a、工藝參數(shù) a、溫度 35-44 b、時(shí)間 5-8min c、攪拌 搖擺或過(guò)濾循環(huán) d、加熱器 石英或鐵氟龍e、過(guò)濾 定期過(guò)濾 b、控制 a、每生

8、產(chǎn)100m2補(bǔ)加ds-140 0.6l; b、比重控制在1.116-1.142sg,比色控制在60-90%。 c、更換 a、每升槽液生產(chǎn)600m2時(shí)換缸; b、鐵含量高于150ppm時(shí)更換; c、換時(shí)排除全部舊液,再用稀鹽酸泡洗槽壁,以清水洗凈后用純水清洗,重新開缸。 5.2.6加速 a、工藝參數(shù) a、溫度 酸性室溫(20-30) b、時(shí)間 2-4min c、攪拌 搖擺或過(guò)濾循環(huán) d、過(guò)濾 連續(xù)過(guò)濾 b、控制 a、酸性控制到0.2-0.4n; b、每生產(chǎn)1000ft相對(duì)補(bǔ)加ds-155 1.5l。 c、更換 a、每升槽液生產(chǎn)20-30m2時(shí)更換; b、當(dāng)溶液變混濁時(shí); c、更換時(shí)全部排除舊液,

9、洗凈槽液重新更換。 5.2.7化學(xué)銅 a、工藝參數(shù) a、溫度 25-30 b、時(shí)間 12-18min c、沉積速率 1.6-25微英寸/分鐘 d、過(guò)濾 連續(xù)過(guò)濾 e、攪拌 空氣及機(jī)械攪拌 f、操作容量(負(fù)載) 0.15-0.25ft2/l b、控制 a、濃度控制cu2+ 1.5-2.5g/lnaoh 11-13g/lhcho 6-8g/l b、濃度控制在正常范圍之內(nèi) 補(bǔ)加量計(jì)算方法: 1.每生產(chǎn)6-8m2板添加ds-166a、b各1l; 2.每星期更換一次過(guò)濾棉芯,更換時(shí)用稀硫酸浸洗新濾芯,用di水洗凈,放入濾槽中使用; 3.每周倒一次槽,并將槽內(nèi)壁沉積銅消除,方法:抽入廢微蝕液或加入一定量h

10、2so4、na2s2o8并加水至液位并開啟打氣; 4.每班分析3次,即4小時(shí)分析一次。 c、更換 a、每升槽液生產(chǎn)30-40m2或藥水添加量達(dá)50mto時(shí)換缸; b、更換時(shí)將槽液全部排放,消除缸內(nèi)壁沉積銅,洗凈后重新配。5.3生產(chǎn)控制與維護(hù) 5.3.1新開缸藥水須化驗(yàn)分析,確保濃度正常范圍,檢查各藥水缸溫度應(yīng)達(dá)到正常范圍; 5.3.2 取三架裸基材板依沉銅線正常程序拖缸。每架雙面累積應(yīng)達(dá)沉銅缸最佳負(fù)載,即0.2ft2/l; 5.3.3 緊接拖缸板后做一架生產(chǎn)板,抽取生產(chǎn)板背光,要求:雙面板8.5級(jí)以上,多層板8.0級(jí)以上(詳見背光等級(jí)表)。正常后批量生產(chǎn),并連續(xù)生產(chǎn),并連續(xù)跟進(jìn)至少3缸板。 5

11、.3.4 生產(chǎn)過(guò)程中須做好生產(chǎn)記錄,藥水補(bǔ)加盡可能少量多次,以保持各藥水缸濃度平衡,前處理各缸藥水每生產(chǎn)100 m2補(bǔ)加一次,化銅缸視生產(chǎn)板而定,每架板至少6 m2時(shí),累積6m2補(bǔ)加166a、b液各1l,每架大于6m2時(shí),生產(chǎn)一架添加一次。添加量計(jì)算:添加量(l)=累積生產(chǎn)面積m2/6m2; 5.3.5 每次開拉前須檢查設(shè)備運(yùn)行狀況,待溫度升到正常管控要求,化驗(yàn)分析調(diào)整各藥水缸濃度后,拖缸做板,步驟同5.3.2、5.3.3; 5.3.6 無(wú)化驗(yàn)室的廠家,每次開拉前,沉銅缸須補(bǔ)加ds-166a、b各15ml/l,停產(chǎn)12小時(shí)以上,還須補(bǔ)加至少5ml/l甲醛(37%)。5.4 pth線停產(chǎn)處理方法: 5.4.1 停產(chǎn)前沉銅少添加一次藥水; 5.4.2 關(guān)掉所有藥水缸中的加熱器; 5.4.3 關(guān)掉水洗缸的入水閥及打氣閥; 5.4.4 保持沉銅缸有打氣及過(guò)濾; 5.4.5 保持活化缸有循環(huán); 5.4.6 長(zhǎng)時(shí)間停產(chǎn)或放假,須將藥水缸蓋好,尤其是活化槽。5.5 pth線停電及機(jī)械故障處理方法: 5.5.1 當(dāng)遇停電或機(jī)械故障時(shí)把正浸在藥水槽中的板取出水洗待重做; 5.5.2 當(dāng)遇停電機(jī)械故障不超過(guò)10分鐘,浸在水洗缸中的板可正常往后生產(chǎn)如若不然須取出重做; 5.5.3 在沉銅缸內(nèi)板可繼續(xù)沉銅至足夠時(shí)間,然后取出至板電; 5.5

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