激光原理分解PPT課件

1、1 第五章典型激光器介紹第五章典型激光器介紹5.1 5.1 固體激光器固體激光器5.2 5.2 氣體激光器氣體激光器5.3 5.3 染料激光器染料激光器5.4 5.4 半導體激光器半導體激光器5.5 5.5 其他激光器其他激光器第1頁/共58頁25.1 第2頁/共58頁31960-5-17，Ted Maiman 發(fā)明第一臺激光器第3頁/共58頁4固體激光器的基本結構與工作物質固體激光器的基本結構與工作物質1.1. 圖圖5-15-1是長脈沖固體激光器的基本結構示意圖是長脈沖固體激光器的基本結構示意圖( (冷卻、濾光系冷卻、濾光系 統(tǒng)未畫出統(tǒng)未畫出) )。 圖5-1 固體激光器的基本結構示意圖激光

2、工作物質泵浦源聚光腔諧振腔冷卻與濾光輸出能量大峰值功率高結構緊湊，牢固耐用第4頁/共58頁52.2.紅寶石激光器紅寶石激光器l紅寶石是在三氧化二鋁紅寶石是在三氧化二鋁(A1(A12 2O O3 3) )中摻入少量的氧化鉻中摻入少量的氧化鉻(Cr(Cr2 2O O3 3) )生生長成的晶體。它的吸收光譜特性主要取決于長成的晶體。它的吸收光譜特性主要取決于鉻離子鉻離子(Cr(Cr3 3) )。如。如圖圖5-25-2所示。它屬于所示。它屬于三能級系統(tǒng)三能級系統(tǒng)，相應于圖，相應于圖5-35-3的簡化能級模型的簡化能級模型 圖(5-2) 紅寶石中鉻離子的吸收光譜0.55um0.4um第5頁/共58頁6圖

3、(5-3) 紅寶石中鉻離子的能級結構0.6943um0.6929um優(yōu)點優(yōu)點: : 容易單模輸出容易單模輸出缺點缺點: : 閾值高且溫度效應嚴重閾值高且溫度效應嚴重l紅寶石激光器的優(yōu)點和主要缺點。紅寶石激光器的優(yōu)點和主要缺點。 機械強度高，容易生長大尺寸晶體機械強度高，容易生長大尺寸晶體第6頁/共58頁73.摻釹釔鋁石榴石摻釹釔鋁石榴石(Nd3：YAG) l工作物質工作物質:將一定比例的將一定比例的A12O3、Y2O3，和，和Nd2O3在單晶爐中進在單晶爐中進行熔化結晶而成的，呈淡紫色。它的激活粒子是釹離子行熔化結晶而成的，呈淡紫色。它的激活粒子是釹離子(Nd3).圖(5-4) Nd3:YAG

4、 晶體的吸收光譜第7頁/共58頁8圖(5-5) Nd3:YAG 的能級結構lYAG中中Nd3與激光產生有關的能級結構如圖與激光產生有關的能級結構如圖(5-5)所示。所示。 它屬于它屬于四能級系統(tǒng)四能級系統(tǒng)。 優(yōu)點優(yōu)點: : 閾值低，閾值低， 具有良好的熱學性質具有良好的熱學性質第8頁/共58頁9固體激光器的泵浦系統(tǒng)固體激光器的泵浦系統(tǒng)1.1. 固體激光工作物質是絕緣晶體，一般都采用固體激光工作物質是絕緣晶體，一般都采用光泵浦激勵光泵浦激勵。目。目前的泵浦光源多為工作于弧光放電狀態(tài)的惰性氣體放電燈。前的泵浦光源多為工作于弧光放電狀態(tài)的惰性氣體放電燈。 2. 2. 常用的泵浦燈在空間的輻射都是全方

5、位的，因而固體工作物常用的泵浦燈在空間的輻射都是全方位的，因而固體工作物 質一般都加工成圓柱棒形狀，所以為了將泵浦燈發(fā)出的光能質一般都加工成圓柱棒形狀，所以為了將泵浦燈發(fā)出的光能 完全聚到工作物質上，必須采用聚光腔。完全聚到工作物質上，必須采用聚光腔。 泵浦光源應當滿足兩個基本條件泵浦光源應當滿足兩個基本條件l發(fā)光效率高發(fā)光效率高l輻射光的光譜特性應與激光工作物質的輻射光的光譜特性應與激光工作物質的吸收光譜吸收光譜相匹配相匹配第9頁/共58頁103.3.圖圖(5-6)(5-6)所示的橢圓柱聚光腔是小型固體激光器中最常采用的聚光腔，所示的橢圓柱聚光腔是小型固體激光器中最常采用的聚光腔，它的內表面

6、被拋光成鏡面，其橫截面是一個橢圓。它的內表面被拋光成鏡面，其橫截面是一個橢圓。 圖(5-6) 橢圓柱聚光腔4. 4. 固體激光器的泵浦系統(tǒng)需要冷卻。常用的冷卻方式有液體冷卻、固體激光器的泵浦系統(tǒng)需要冷卻。常用的冷卻方式有液體冷卻、 氣體冷卻和傳導冷卻等，其中以液冷最為普遍。氣體冷卻和傳導冷卻等，其中以液冷最為普遍。 5.5.泵浦燈和工作物質之間插入濾光器件濾去泵浦光中的紫外光譜。泵浦燈和工作物質之間插入濾光器件濾去泵浦光中的紫外光譜。 焦線位置焦線位置第10頁/共58頁11固體激光器的輸出特性固體激光器的輸出特性1. 1. 固體激光器的激光脈沖特性固體激光器的激光脈沖特性 2. 2. 轉換效率

7、轉換效率 l總體效率定義為激光輸出與泵浦燈的電輸入之比。對于連續(xù)激光總體效率定義為激光輸出與泵浦燈的電輸入之比。對于連續(xù)激光 器器( (用功率描述用功率描述) )和脈沖激光器和脈沖激光器( (用能量描述用能量描述) )分別表示為：分別表示為：couabcLpinthinouttPPPP1211couabcLpinthinouttEEEE1211l一般的脈沖固體激光器產生的激光脈沖是由一連串不規(guī)則振蕩一般的脈沖固體激光器產生的激光脈沖是由一連串不規(guī)則振蕩 的短脈沖的短脈沖( (或稱尖峰或稱尖峰) )組成的，各個短脈沖的持續(xù)時間約為組成的，各個短脈沖的持續(xù)時間約為(0.1(0.1 1)1) s s

8、，各短脈沖之間的間隔約為，各短脈沖之間的間隔約為(5(5 10) 10) s s。泵浦光愈強，短脈。泵浦光愈強，短脈 沖數目愈多，其包絡峰值并不增加。沖數目愈多，其包絡峰值并不增加。 l可用調可用調Q Q技術得到激光巨脈沖技術得到激光巨脈沖第11頁/共58頁12第12頁/共58頁13新型固體激光器新型固體激光器1. 1. 半導體激光器泵浦的固體激光器半導體激光器泵浦的固體激光器 圖(5-7) 半導體激光器泵浦固體激光器的結構示意圖l半導體激光器泵浦固體激光器與閃光燈泵浦固體激光器相比有半導體激光器泵浦固體激光器與閃光燈泵浦固體激光器相比有 其主要優(yōu)點其主要優(yōu)點 l半導體激光器泵浦固體激光器的結

9、構，有如圖半導體激光器泵浦固體激光器的結構，有如圖(5-7)(a)(5-7)(a)所示的所示的 端泵浦方式和圖端泵浦方式和圖(5-7)(b)(5-7)(b)所示的側泵浦方式。所示的側泵浦方式。 能量轉換效率高能量轉換效率高工作時無功熱量小、介質溫度穩(wěn)定、激光譜線更窄工作時無功熱量小、介質溫度穩(wěn)定、激光譜線更窄壽命長壽命長, ,結構簡單結構簡單第13頁/共58頁142. 2. 可調諧固體激光器可調諧固體激光器輸出波長可變化輸出波長可變化 可調諧固體激光器主要有兩類：可調諧固體激光器主要有兩類：l色心激光器色心激光器l用摻過渡族金屬離子的激光晶體制作的可調諧激光器。用摻過渡族金屬離子的激光晶體制作

10、的可調諧激光器。 3. 3. 高功率固體激光器高功率固體激光器 l高功率固體激光器主要是指輸出平均功率在幾百瓦以上的各種高功率固體激光器主要是指輸出平均功率在幾百瓦以上的各種 連續(xù)、準連續(xù)及脈沖固體激光器，它一直是軍事應用和激光加連續(xù)、準連續(xù)及脈沖固體激光器，它一直是軍事應用和激光加 工應用所追求的目標。工應用所追求的目標。 l關鍵技術：克服固體工作物質中的熱效應關鍵技術：克服固體工作物質中的熱效應第14頁/共58頁155.2 第15頁/共58頁16 1. He-Ne激光器的結構和激發(fā)機理激光器的結構和激發(fā)機理 圖(5-9) He-Ne激光器的基本結構形式 He-Ne激光器可以分為內腔式、外腔

11、式和半內腔式三種。激光器可以分為內腔式、外腔式和半內腔式三種。第16頁/共58頁17圖(5-10) 與激光躍遷有關的Ne原子的部分能級圖He- -Ne激光器是典型的四能級系統(tǒng)，其激光譜線主要有三條 :3S2P 0. .6328 m2S2P 1. .15 m3S3P 3. .39 m NeNe原子的激光上能級是原子的激光上能級是3S3S和和2S2S能級，激光下能級是能級，激光下能級是3P3P和和2P2P能級。能級。 第17頁/共58頁182. He-Ne激光器的輸出特性激光器的輸出特性 (1)(1)譜線競爭譜線競爭:He-Ne:He-Ne激光器三條強的激光譜線激光器三條強的激光譜線( (0.63

12、28 m， 1.15 m，3.39 m) )中哪一條譜線起振完全取決于諧振腔介質膜中哪一條譜線起振完全取決于諧振腔介質膜 反射鏡的波長選擇。反射鏡的波長選擇。(2)(2)輸出功率特性輸出功率特性: : He-NeHe-Ne激光器激光器的放電電流對輸出功率影響很大。的放電電流對輸出功率影響很大。圖圖(5-11)(5-11)是實驗測得的輸出是實驗測得的輸出功率與放電電流的關系曲線功率與放電電流的關系曲線 圖(5-11) 輸出功率與放電電流的關系曲線第18頁/共58頁19He-Ne激光器存在著最佳混合比和最佳充氣總壓強，即存在激光器存在著最佳混合比和最佳充氣總壓強，即存在最佳充最佳充氣條件氣條件。

13、在最佳充氣條件下，使輸出功率最大的放電電流叫在最佳充氣條件下，使輸出功率最大的放電電流叫最佳放電電流最佳放電電流 若放電毛細管的直徑為若放電毛細管的直徑為d，充氣壓強為，充氣壓強為p，則存在一個使輸出功率，則存在一個使輸出功率最大的最大的最佳最佳 pd值值。在最佳放電條件下，工作物質的增益系數和毛細管直徑在最佳放電條件下，工作物質的增益系數和毛細管直徑d成反比。成反比。 第19頁/共58頁201. Three basic processes of radiation.2. How is a laser produced?第20頁/共58頁211. CO2激光器的結構和激發(fā)過程激光器的結構和激發(fā)

14、過程 圖(5-12) 封離式CO2激光器結構示意圖圖圖(5-12)(5-12)是一種典型的結構示意圖。構成是一種典型的結構示意圖。構成COCO2 2激光器諧振腔的兩激光器諧振腔的兩個反射鏡放置在可供調節(jié)的腔片架上，最簡單的方法是將反射個反射鏡放置在可供調節(jié)的腔片架上，最簡單的方法是將反射鏡直接貼在放電管的兩端。鏡直接貼在放電管的兩端。 第21頁/共58頁22COCO2 2激光器中與產生激光有關的激光器中與產生激光有關的COCO2 2分子能級圖如圖分子能級圖如圖(5-13)(5-13)所示。所示。 圖(5-13) 與產生激光有關的CO2分子能級圖躍遷幾率大第22頁/共58頁232. CO2激光器

15、的輸出特性激光器的輸出特性 相應于相應于CO2激光器的輸出功率，其放電電流有一個最佳值。激光器的輸出功率，其放電電流有一個最佳值。CO2 激光器的最佳放電電流與放電管的直徑，管內總氣壓，激光器的最佳放電電流與放電管的直徑，管內總氣壓，以及氣體混合比有關。以及氣體混合比有關。 (1) 放電特性放電特性 CO2激光器的轉換效率是很高的，但最高也不會超過激光器的轉換效率是很高的，但最高也不會超過40，這就是說，將，這就是說，將有有60以上的能量轉換為氣體的熱能，使溫度升高。而氣體溫度的升高，以上的能量轉換為氣體的熱能，使溫度升高。而氣體溫度的升高，將引起激光上能級的消激發(fā)和激光下能級的熱激發(fā)，這都會

16、使粒子的反轉將引起激光上能級的消激發(fā)和激光下能級的熱激發(fā)，這都會使粒子的反轉數減少。并且，氣體溫度的升高，將使譜線展寬，導致增益系數下降。特數減少。并且，氣體溫度的升高，將使譜線展寬，導致增益系數下降。特別是，氣體溫度的升高，還將引起別是，氣體溫度的升高，還將引起CO2分子的分解，降低放電管分子的分解，降低放電管內的內的CO2分子濃度。分子濃度。 (2)溫度效應溫度效應 第23頁/共58頁24+ +離子激光器離子激光器1. Ar激光器的結構激光器的結構 ArAr激光器一般由放電管、諧振腔、軸向磁場和回氣管等幾部激光器一般由放電管、諧振腔、軸向磁場和回氣管等幾部分組成。如圖分組成。如圖(5-14

17、)(5-14)所示為石墨放電管的分段結構所示為石墨放電管的分段結構 。 圖(5-14) 分段石墨結構Ar+激光器示意圖第24頁/共58頁252. Ar2. Ar激光器的激發(fā)機理激光器的激發(fā)機理 Ar Ar激光器與激光輻射有關的能級結構如圖激光器與激光輻射有關的能級結構如圖(5-15)(5-15)所示所示 圖(5-15) 與產生激光有關的Ar+的能級結構第25頁/共58頁263. Ar3. Ar激光器的工作持性激光器的工作持性 Ar Ar激光器可以產生多條激光譜線，對應每條譜線都有一個激光器可以產生多條激光譜線，對應每條譜線都有一個 閾值電流。閾值電流。最強譜線最強譜線:0.4880um,0.5

18、145um(1)多譜線工作多譜線工作 (2)輸出功率與放電電流的關系輸出功率與放電電流的關系 由于由于ArAr激光器特殊的激發(fā)機制，其輸出功率隨放電電流的變化激光器特殊的激發(fā)機制，其輸出功率隨放電電流的變化規(guī)律與其它激光器有所不同，圖規(guī)律與其它激光器有所不同，圖(5-16)(5-16)示出了其間的關系曲線。示出了其間的關系曲線。 圖(5-16) Ar+激光器輸出功率隨放電電流變化曲線第26頁/共58頁275.3 第27頁/共58頁28染料激光器的激發(fā)機理染料激光器的激發(fā)機理1. 1. 染料分子能級染料分子能級 染料分子能級圖是如圖染料分子能級圖是如圖(5-17)(5-17)所示的準連續(xù)態(tài)能級結

19、構。所示的準連續(xù)態(tài)能級結構。 圖(5-17) 染料分子能級圖第28頁/共58頁292.2.染料分子的光輻射過程染料分子的光輻射過程 如圖如圖(5-18)(5-18)所示染料的吸收所示染料的吸收- -熒光光譜圖熒光光譜圖圖(5-18) 染料的吸收-熒光光譜圖3. 3. 染料分子的三重態(tài)染料分子的三重態(tài)“陷阱陷阱” 第29頁/共58頁30染料激光器的泵浦染料激光器的泵浦1.1.閃光燈脈沖泵浦閃光燈脈沖泵浦 泵浦用閃光燈有兩種結構，普通直管式和同軸式。泵浦用閃光燈有兩種結構，普通直管式和同軸式。 2.2.激光脈沖泵浦激光脈沖泵浦 能夠用于泵浦染料激光器的激光種類很多，主要有氮分子激能夠用于泵浦染料激

20、光器的激光種類很多，主要有氮分子激光器光器(0.337(0.337 m)m)，紅寶石激光器，紅寶石激光器(0.6943(0.6943 m)m)，YAGYAG激光器激光器(1.06(1.06 m)m)，銅蒸氣激光器，銅蒸氣激光器(0.5106(0.5106 m m、0.57820.5782 m)m)，準分子激，準分子激光器光器( (主要在紫外區(qū)主要在紫外區(qū)) ) 以及這些激光的二次、三次諧波等。以及這些激光的二次、三次諧波等。 第30頁/共58頁31Nd:YAGBrilliant BDye LaserTDL-90Laser SourceTunable Dye Laser Pumped By Nd

21、: YAG Laser第31頁/共58頁32第32頁/共58頁33染料激光器的調諧染料激光器的調諧1. 1. 光柵調諧光柵調諧 圖圖(5-20)(5-20)是一種光柵是一種光柵- -反射鏡調諧腔，放在腔中的光柵反射鏡調諧腔，放在腔中的光柵G G具有具有擴束和色散作用。擴束和色散作用。 圖(5-20) 光柵-反射鏡調諧腔第33頁/共58頁342. 2. 棱鏡調諧棱鏡調諧 圖圖(5-21)(5-21)是一種折疊式縱向泵浦染料激光器原理圖，腔內放置是一種折疊式縱向泵浦染料激光器原理圖，腔內放置的棱鏡是一種色散元件。的棱鏡是一種色散元件。 圖(5-21) 棱鏡調諧腔第34頁/共58頁355.4 第35

22、頁/共58頁36半導體的能帶和產生受激輻射的條件半導體的能帶和產生受激輻射的條件1.1.在一個具有在一個具有N N個粒子相互作用的晶體中，每一個能級會分裂成為個粒子相互作用的晶體中，每一個能級會分裂成為N N個能級，個能級，因此這彼此十分接近的因此這彼此十分接近的N N個能級好象形成一個連續(xù)的帶，稱之為能帶，見圖個能級好象形成一個連續(xù)的帶，稱之為能帶，見圖圖(5-23) 固體的能帶第36頁/共58頁372. 2. 純凈純凈( (本征本征) )半導體材料，如單晶硅、鍺等，在絕對溫度為零的理想狀態(tài)半導體材料，如單晶硅、鍺等，在絕對溫度為零的理想狀態(tài)下，能帶由一個充滿電子的價帶和一個完全沒有電子的導

23、帶組成，如圖下，能帶由一個充滿電子的價帶和一個完全沒有電子的導帶組成，如圖圖(5-24) 本征半導體的能帶結構3.3.熱平衡時，電子在能帶中的分布不再服從玻爾茲曼分布，而服從費米分布，熱平衡時，電子在能帶中的分布不再服從玻爾茲曼分布，而服從費米分布，能級能級E E被電子占據的幾率為被電子占據的幾率為 1( )1FnE EkTfEe第37頁/共58頁384.4.雜質半導體中費米能級的位置與雜質類型及摻雜濃度有密切關系。為雜質半導體中費米能級的位置與雜質類型及摻雜濃度有密切關系。為了說明問題，圖了說明問題，圖(5-25)(5-25)給出了溫度極低時的情況。給出了溫度極低時的情況。 5.5.在半導體

24、中產生光放大的條件是在半導體中存在雙簡并能帶，并且入射光在半導體中產生光放大的條件是在半導體中存在雙簡并能帶，并且入射光的頻率滿足的頻率滿足 圖(5-25) 費米能級的位置與雜質類型及摻雜濃度關系gFFEhEE第38頁/共58頁39結和粒子數反轉結和粒子數反轉1. P-N1. P-N結的雙簡并能帶結構結的雙簡并能帶結構 把把P P型和型和N N型半導體制作在一起，是否可能在結區(qū)產生兩個費米能級呢？型半導體制作在一起，是否可能在結區(qū)產生兩個費米能級呢？ 未加電場時，未加電場時，P P區(qū)和區(qū)和N N區(qū)的費米能級必然達到同一水平，如圖區(qū)的費米能級必然達到同一水平，如圖(5-26)(5-26)。 圖(

25、5-26) PN能帶第39頁/共58頁40 在在P-N結上加以正向電壓結上加以正向電壓V時，形成結區(qū)的兩個費米能級時，形成結區(qū)的兩個費米能級 和和 ，稱，稱為準費米能級，如圖為準費米能級，如圖(5-27)。 FEFE圖(5-27) 正向電壓V時形成的雙簡并能帶結構第40頁/共58頁412. 2. 粒子數反轉粒子數反轉 產生受激輻射的條件是在結區(qū)的導帶底部和價帶頂部形成粒子數反轉分布。產生受激輻射的條件是在結區(qū)的導帶底部和價帶頂部形成粒子數反轉分布。 激光器在連續(xù)發(fā)光的動平衡狀態(tài)，導帶底電子的占據幾率為激光器在連續(xù)發(fā)光的動平衡狀態(tài)，導帶底電子的占據幾率為221()1FNEEkTfEe價帶頂空穴的

26、占據幾率可以用價帶頂空穴的占據幾率可以用P P區(qū)的準費米能級來計算區(qū)的準費米能級來計算 111()1FPEEkTfEe價帶頂電子占據幾率則為價帶頂電子占據幾率則為 1111()1()1FNPEEkTfEfEe 在結區(qū)導帶底和價帶頂實現粒子（電子）數反轉的條件是在結區(qū)導帶底和價帶頂實現粒子（電子）數反轉的條件是g12FFEEEEE)E(f)E(f1N2N第41頁/共58頁421. 1. 半導體激光器的基本結構和工作原理半導體激光器的基本結構和工作原理 圖(5-28) GaAs激光器的結構半導體激光器的工作原理和閾值條件半導體激光器的工作原理和閾值條件 圖圖(5-28)(5-28)示出了示出了Ga

27、AsGaAs激光器的結構。激光器的結構。 第42頁/共58頁432. 2. 半導體激光器工作的閾值條件半導體激光器工作的閾值條件 激光器產生激光的前提條件除了粒子數發(fā)生反轉還需要滿足激光器產生激光的前提條件除了粒子數發(fā)生反轉還需要滿足閾值條件閾值條件 21ln21rrLaG內增益系數和粒子數反轉的關系也取決于諧振腔內的工作物質增益系數和粒子數反轉的關系也取決于諧振腔內的工作物質 ftcnfAcnG復合2222221288第43頁/共58頁443.3.半導體激光器的閾值電流半導體激光器的閾值電流 在一定的時間間隔內，注入激光器的電子總數與同樣時間內在一定的時間間隔內，注入激光器的電子總數與同樣時

28、間內發(fā)生的電子與空穴復合數相等而達到平衡發(fā)生的電子與空穴復合數相等而達到平衡 ft8cnf8AcnGeItnLwd22222212復合復合 )(frrlnL21aGJed8fcG21222內22221ced8rrlnL21aJ內閾第44頁/共58頁45同質結和異質結半導體激光器同質結和異質結半導體激光器 1. 同質結砷化鎵同質結砷化鎵(GaAs)激光器的特性激光器的特性 圖(5-29) GaAs激光器的伏安特性伏安特性伏安特性: : 與二極管相同，也具有單向導電性。與二極管相同，也具有單向導電性。 閾值電流密度閾值電流密度: : 影響閾值的因素很多影響閾值的因素很多 第45頁/共58頁46方向

29、性方向性: : 圖圖(5-30)(5-30)給出了半導體激光束的空間分布示意圖。給出了半導體激光束的空間分布示意圖。 圖(5-30) 激光束的空間分布示意圖 第46頁/共58頁47光譜特性光譜特性: 圖圖(5-31)是是GaAs激光器的發(fā)射光譜。其中圖激光器的發(fā)射光譜。其中圖(a)是低是低于閾值時的熒光光譜，譜寬一般為幾百埃，圖于閾值時的熒光光譜，譜寬一般為幾百埃，圖(b)是注入電流是注入電流達到或大于閾值時的激光光譜，譜寬達幾十埃。達到或大于閾值時的激光光譜，譜寬達幾十埃。 圖(5-31) GaAs激光器的發(fā)射光譜第47頁/共58頁48轉換效率轉換效率 直接將電功率轉換為光功率，轉換效率極高

30、直接將電功率轉換為光功率，轉換效率極高 外微分量子效率外微分量子效率: : e)ii (h)PP(ththD 功率效率功率效率: :功率效率定義為激光器的輸出功率與輸入電功率之比功率效率定義為激光器的輸出功率與輸入電功率之比 2PSPiVi RV)ii (Pe)ii (hPththD第48頁/共58頁49單異質結半導體激光器單異質結半導體激光器 雙異質結半導體激光器雙異質結半導體激光器圖(5-32) 同質結、異質結結構示意圖2. 2. 異質結半導體激光器異質結半導體激光器第49頁/共58頁50高亮度半導體激光器 小功率半導體激光器 小功率光纖耦合半導體激光器 大功率光纖耦合輸出的半導體激光 第50頁/共58頁515.5 第51頁/共58頁52準分子激光器準分子激光器1.1.準分子激光器的特點準分子激光器的特點 圖(5-33) 準分子的能級結構能級結構有明顯的特點。如圖能級結構有明顯的特點。如圖(5-33)(5-33)所示，所示，A A表示較高激發(fā)態(tài)，表示較高激發(fā)態(tài)，B B表示激光上能級，表示激光上能級，C C表示基態(tài)。表示基態(tài)。 由于基態(tài)壽命很短，即使是超短脈沖情況下，由于基態(tài)壽命很短，即使是超短脈沖情況下，基態(tài)也可認為是空的，因此準