旋轉(zhuǎn)機械真空泵

1、3.2 旋轉(zhuǎn)機械真空泵n采用機械方法周期性改變泵內(nèi)的吸氣氣腔的容積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹、壓縮而被排出泵外，從而獲得真空的泵。有水環(huán)式、滑閥式及旋片式等。n是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為1013251.3310-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。 n旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。 3.2.1 旋片式機械真旋片式

2、機械真空泵的工作原理空泵的工作原理n1.工作原理nA（結(jié)構(gòu)如圖31示）nB 旋片泵的抽氣過程 （如圖32示）旋片的兩個作用：1從進(jìn)氣口吸入氣體2壓縮已吸進(jìn)來的氣體，通過排氣閥使之排出體外。n油的作用：a.密封。轉(zhuǎn)子與定子間、轉(zhuǎn)子與葉片間、葉片與定子間接觸的。b.潤滑、散熱（降溫）c.氣體壓力較低時，幫助打開出氣閥。旋片泵的工作原理示意圖.n兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，如圖所示。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于。 由于空間

3、A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間 B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵 的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這 時總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。 2.極限壓力pa的改善n為了提高泵的極限真空度，除提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量減少裝配間隙和有害空間以外，最有效

4、的辦法是將兩只單級泵串聯(lián)，組成雙級泵?？蛇_(dá)104托(國外可達(dá)10-5托)。目前幾乎全是雙級的。注意：雙級泵只用于改善pa，不能改善S3.抽速S的改善n直連旋片泵：電動機轉(zhuǎn)軸與泵轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)軸為同一根，可以提高轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度（不打滑），提高抽速（同樣體積的泵，直連泵S高）。n可靠性高、噪聲低、若泵內(nèi)裝有電磁閥泵可延時啟動，防止了回油。3.2.2機械泵特性和運用n1.抽速與壓力關(guān)系n高壓強時抽速較大n低壓強時抽速減小n達(dá)到極限壓強時，抽速近于零n旋片泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.3310-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%

5、。 2.運用n1.需通冷卻水工作的真空泵應(yīng)在開泵前先開冷卻水n2.若泵用于抽除含有可凝性氣體時，必須開氣鎮(zhèn)閥摻入大氣，以免可凝性氣體在泵內(nèi)凝結(jié)，影響泵的抽氣性能。n3.啟動時，先斷續(xù)啟動電動機幾次，使泵腔內(nèi)存油排入郵箱，以使泵順利運轉(zhuǎn)。n4.冬季，因油溫過低、粘度很大難以啟動時，可將泵進(jìn)氣口通大氣，用手盤動皮帶輪數(shù)周，再斷續(xù)啟動。n5.泵開動后，要檢查油是否達(dá)油標(biāo)中心，聽泵音是否正常，放氣閥是否關(guān)閉。開泵十分鐘后，應(yīng)測量真空度，一切正常后再接通被抽系統(tǒng)。n6.停車時，應(yīng)先關(guān)高空閥，后關(guān)低空閥和電磁真空閥。n7.停泵后即可關(guān)冷卻水。3.2.3 摻氣機械泵n空間中除永久性氣體外，還有水蒸汽。機械泵很難排除水汽。n由上知，排氣閥打開的壓力大于105帕。若排氣空間全為水汽20C時，水的飽和蒸汽壓 2.3103Pa60C時，水的飽和蒸汽壓 2104Pa機械泵運行時，當(dāng)空腔內(nèi)壓力大于水的飽和蒸汽壓時，水蒸汽則凝結(jié)為水，致使排氣閥打不開，而凝結(jié)的水與油混合，使油粘污，粘污的油到了吸氣空間，水變?yōu)檎羝尫懦鰜?，影響泵的Pu為排出水汽，在排氣閥附近設(shè)置一個小孔（摻氣閥、氣鎮(zhèn)閥），通過它摻入一定量的干燥