高分辨場發(fā)射掃描電鏡技術(shù)參數(shù).doc

1、謝謝你的觀賞高分辨場發(fā)射掃描電鏡技術(shù)參數(shù)一、二次電子分辨率：0.8 nm （加速電壓15 kV）1.1nm （著陸電壓1 kV）二、放大倍率：400到 x900k三、電子光學(xué)：1 .電子槍：場發(fā)射電子槍2 . 加速電壓：0.5 到30 kV ,3 . 透鏡系統(tǒng)：三級(jí)以上電磁透鏡系統(tǒng)4 .物鏡光闌：四孔或大于四孔可調(diào)光闌（內(nèi)置加熱自清潔功能,）5 .消像散器：八級(jí)電磁系統(tǒng)（X, Y）6 .探測器：低位（Lower）、高位（Upper）、和頂位（Top）至少三個(gè)探測器進(jìn)行二次電子/背散射電子的接收（配置光學(xué)導(dǎo)航攝像探頭，配備紅外CCDW頭）四、樣品室和樣品臺(tái)：樣品臺(tái)控制：高精度五軸馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)范圍指

2、標(biāo)：X= 100 mm, Y =80 mm, Z > 20mm1 . X、Y軸重復(fù)精度優(yōu)于0.5微米。2 .樣品臺(tái)控制：圖形界面控制；樣品位置記憶功能；圖片導(dǎo)航功能3 .樣品倉接口：不少于10個(gè)附件預(yù)留口并帶有附件返控接口4 . 可進(jìn)樣尺寸：直徑不小于 100mm五、顯示系統(tǒng)1 .用戶界面：電腦顯示器上的圖形用戶界面2 .電腦：操作系統(tǒng)：微軟 Windows 7專業(yè)版3 .顯示器：進(jìn)口 24.1寸專業(yè)圖像處理液晶顯示器2臺(tái)4 .掃描模式： 二維圖像顯示；選區(qū)模式；點(diǎn)分析模式；線積分；隔行掃描，漂移補(bǔ)償幀積分5 .圖像顯示模式：大屏顯示模式 （1280960）四屏同時(shí)顯示模式 （64048

3、0）選區(qū)顯示模式（圖像調(diào)整時(shí)使用）6 . 圖像存儲(chǔ)保存格式：BMP,TIFF（8位，16位，24位）JPEG ,存儲(chǔ)像素不小于 6k X 4k 六、真空系統(tǒng)1 .真空控制：完全自動(dòng)氣動(dòng)閥系統(tǒng)2 . 真空泵：離子泵：x 2或3個(gè)進(jìn)口渦輪分子泵：X 1 （主抽氣）前級(jí)干泵：13 .真空度：樣品室：10-4 Pa七、保護(hù)措施斷電保護(hù)、斷水保護(hù)、漏氣保護(hù)，配有進(jìn)口空壓機(jī)和冷卻循環(huán)水系統(tǒng)，分別用于冷卻掃描電鏡鏡筒及其它部件，要求配備 2小時(shí)不間斷電源系統(tǒng)備用場發(fā)射燈絲1根，物鏡光闌1套八、防污染措施液氮冷阱，集成式等離子清洗裝置（利用電鏡主機(jī)軟件操控）九、工作條件1 . 電源：220V/50 H2 .環(huán)

4、境條件：室溫：17c 23c3 . 相對(duì)濕度：80 %4 .儀器運(yùn)行的持久性：可連續(xù)運(yùn)行十、能譜儀技術(shù)參數(shù)1 .能譜探測器：傳感器面積100mm2。2 .分析元素范圍：Be4U923,能量分辨率（Mn-Ka）:優(yōu)于129eV（STD片格依照ISO15632國標(biāo)準(zhǔn)測量4.在0200kcps范圍內(nèi)的分辨率穩(wěn)定性： 90%5,能量分辨率和死時(shí)間實(shí)時(shí)顯示6 .可處理最大計(jì)數(shù)率：1,600,000CPS最大輸出計(jì)數(shù)率800,000CPS7 .分析平臺(tái)：要求提供最新型支持中文在內(nèi)多國語言，在使用中可隨時(shí)切 換的智能軟件系統(tǒng)；要求系統(tǒng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)能譜儀，EBSD波譜儀一體化操作。謝謝你的觀賞謝謝你的觀賞7.1 智能相分布：在快速掃描的同時(shí)，實(shí)時(shí)自動(dòng)識(shí)別化學(xué)相并給出其面分布7.2 專家峰識(shí)別（ExpertID） ：基于物理原理的高級(jí)峰識(shí)別技術(shù)，對(duì)疊峰和痕量元素識(shí)別更準(zhǔn)確7.3 智能跟蹤：實(shí)時(shí)跟蹤系統(tǒng)狀態(tài)，確保其始終處于最佳條件7. 4 智能數(shù)據(jù)復(fù)查：方便提取數(shù)據(jù)和重構(gòu)面分布8智能定性分析：基于物理原理的定性分析技術(shù)9智能定量分析：針對(duì)具體應(yīng)用，有不同的定量方法供選擇十一、離子濺射儀技術(shù)參數(shù)1 濺射電流：0 40mA2 壓力控制范圍：7 20Pa3 鍍膜速率：