凈化間管理規(guī)范培訓(xùn)

1、1孫丞2014年6月凈化間管理規(guī)范培訓(xùn)2n凈化間基礎(chǔ)知識凈化間基礎(chǔ)知識凈化間的定義潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)n凈化間簡介凈化間簡介凈化間分類凈化間設(shè)計基礎(chǔ)n凈化間管控手段凈化間管控手段監(jiān)測采樣制定監(jiān)測表n凈化間人員管理凈化間人員管理凈化間最主要的污染源凈化間人員管理規(guī)定3n凈化間(CleanRoom),也稱為無塵室。凈化間是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計的房間。亦即不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。因此，凈化

2、間是保證諸如醫(yī)藥、半導(dǎo)體、太陽能電池板等對環(huán)境要求較高之行業(yè)進行批量生產(chǎn)所必備之條件要求。4n懸浮微粒：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其粒徑尺寸范圍約在0.15m之間。n潔凈度：用以表征單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量的多少，是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。n氣閘室：設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。n風(fēng)淋室：氣閘室的一種，通過安裝風(fēng)機、過濾網(wǎng)及控制系統(tǒng)等對入室人員進行周身吹掃通道，它是減少外來污染的有效途徑之一。n潔凈工作服：為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。n高效空氣過濾器HEPA：在額定風(fēng)量下，對粒徑大于等于0.3m粒

3、子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。n超高效空氣過濾器：在額定風(fēng)量下，對粒徑0.10.2m粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。5n國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001式中 ：Cn大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。 Cn 是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。 N潔凈度等級，數(shù)字不超出9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間 數(shù)可以按0.1 為最小允許遞增量。 D要求的粒徑(m)。 0.1常數(shù)，其量綱為m。6n美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（USAFederalStandard）209E（1992年） 1m3=35.3ft3。 對照

4、我國標(biāo)準(zhǔn)及美國標(biāo)準(zhǔn)可以看出，我國的3級標(biāo)準(zhǔn)與美國的1級標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級向nm量級發(fā)展的過程中，凈化間等級要求也越來越高。 但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級（6級）或萬級（7級），只有局部區(qū)域的高自動化作業(yè)才要求百級（5級）甚至更高。70.30.3m m 微塵粒徑微塵粒徑人類頭發(fā)人類頭發(fā) (15(15m)m)肉眼可視肉眼可視 (5(5m)m)81,00010,000外大氣外大氣層層大氣大氣層層田園地田園地帶帶街市區(qū)10,000,0001,000,000100,000工工業(yè)業(yè)地地帶帶9 非單方向流方式n一、亂流式 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA

5、)進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴充比較容易。 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲需達到設(shè)定要求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。10亂流式典型結(jié)構(gòu)形式亂流式典型結(jié)構(gòu)形式適用潔凈等級1,000-100,000級11層流式空氣氣流運動成一均勻直線形，空氣過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1100。其型

6、式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可達到要求，穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。 缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。 (2)垂直層流式：空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。 優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。垂直單方向流方式FFU12層流式典型結(jié)構(gòu)形式層流式典型結(jié)構(gòu)形式13混流方式

7、復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適

8、宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為101000級以上。14復(fù)合式典型結(jié)構(gòu)形式復(fù)合式典型結(jié)構(gòu)形式15制定監(jiān)測表制定監(jiān)測表161、方法計數(shù)濃度法 2、儀器光散射粒子計數(shù)器3、采樣點布置 a）采樣點一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。 b）采樣點多于點時，可以在離地面0.8m1.5m高度的區(qū)域內(nèi)分層布置4、最小采樣量面積m2 潔凈度級別 1000 10 000 100 000 10 23 2 210 20 4 2 22040 8 2 240100 16 4

9、 2100200 40 10 3200400 80 20 64001000 160 40 131000 2000 400 100 32 2000 800 200 63171 1、產(chǎn)品及設(shè)施、產(chǎn)品及設(shè)施 無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)； 產(chǎn)品，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略； 由于金屬墻壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下。 2 2、人、人 發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵絕對量也在不斷減少。 A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為的確良、去靜電純滌綸、 尼龍； B、

10、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少； C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍； D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。 發(fā)塵源及量：發(fā)塵源及量：181 1、人員產(chǎn)生的污染：、人員產(chǎn)生的污染： （1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片 皮膚（平均大小為30*60*3微米） （2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50100微米）一直在脫落。 （3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。 （4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細菌。 （5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒。 （6

11、）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。 （7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒。 2 2、分析國外試驗資料顯示：、分析國外試驗資料顯示： （1） 無塵室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時： 靜止時的發(fā)菌量一般為10300個/min.人 軀體一般活動時的發(fā)菌量為 1501000個/min.人 快步行走時的發(fā)菌量為 9002500個/min.人 （2） 咳嗽一次一般為 70700個/ min.人 （3） 噴嚏一次一般為 400062000個/ min.人 （4） 穿平常衣服時發(fā)菌量 330062000個/ min.人 （5）

12、無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:71:14 所以，潔凈間的管理，關(guān)鍵是人員的管理，只有每位員工嚴(yán)格遵守潔凈間管理規(guī)所以，潔凈間的管理，關(guān)鍵是人員的管理，只有每位員工嚴(yán)格遵守潔凈間管理規(guī)定，才能真正發(fā)揮潔凈間的作用，從而有效保證產(chǎn)線的正常運行，減少產(chǎn)品的人為不定，才能真正發(fā)揮潔凈間的作用，從而有效保證產(chǎn)線的正常運行，減少產(chǎn)品的人為不良率，降低成本，提高企業(yè)產(chǎn)品的競爭能力。良率，降低成本，提高企業(yè)產(chǎn)品的競爭能力。19 具有下列狀況之人員不準(zhǔn)進入潔凈室：(1)皮膚有曬焦、脫皮剝落、搔癢癥者；(2)患有嚴(yán)重型傷風(fēng)、感冒，打嚏、咳嗽多者；(3)不注重個人衛(wèi)生，頭發(fā)臟亂、頭皮屑多者；(4)有搔頭、挖鼻孔、

13、搓臉、搓皮膚之不良習(xí)慣者；(5)涂覆胭脂、粉底或未按規(guī)定洗去化妝品、指甲油者；(6)吸煙過量者(煙粒子在說話,呼吸過程中能再次噴出)(7)持有或帶有非無塵類物品或相關(guān)規(guī)定禁止帶入潔凈室之物品者；(8)未穿或未按規(guī)定穿戴好潔凈服者；20進入潔凈室的人員應(yīng)注意以下事項：(1)室內(nèi)作業(yè)人員需嚴(yán)格遵守作業(yè)指示要求，按規(guī)定操作設(shè)備及產(chǎn)品；(2)室內(nèi)維修人員需嚴(yán)格遵守潔凈室之規(guī)定，盡量避免室內(nèi)進行切削、打磨甚至鉆孔等易產(chǎn)生污染類作業(yè)；(3)室內(nèi)人員禁止打鬧、奔跑或進行劇烈性的大動作行為；(4)室內(nèi)人員禁止聚堆聊天、說笑、玩手機或長時間打電話等影響環(huán)境、工作之行為；(5)室內(nèi)人員禁止吸煙、吃零食，禁止攜帶與

14、工作無關(guān)之雜物；(6)室內(nèi)人員嚴(yán)禁不戴手套進行作業(yè)或接觸產(chǎn)品；(7)室內(nèi)人員需時刻保持無塵服、鞋、帽等的正確穿戴，嚴(yán)禁在室內(nèi)脫衣、換裝或進行大動作穿戴整理等；(8)室內(nèi)人員嚴(yán)禁隨意丟放物品、工具、器皿等，應(yīng)按規(guī)定有序放置于相應(yīng)規(guī)定區(qū)域或工具箱內(nèi)；21進出潔凈室人員應(yīng)做到：(1)爭取每天沖澡、洗頭，刮胡須、換衣 ，保持身體清潔；(2)男士不留長發(fā)、長指甲，女士不涂胭抹粉、修眉毛、涂指甲；(3)進入潔凈室前應(yīng)洗手，無塵服需嚴(yán)格按要求穿戴，不準(zhǔn)將頭發(fā) 漏在外面，口罩應(yīng)罩在鼻梁位置；(4)嚴(yán)格遵守?zé)o塵室規(guī)定，在指定區(qū)域更換拖鞋、穿戴無塵服，換下 無塵服應(yīng)按規(guī)定折疊整齊或掛放指定地點；(5)嚴(yán)格遵守進出通道制度，人員進、出及物料通道要區(qū)分清