膜厚測量儀CMI900X-ray操作指引

1、深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660X-ray測厚儀器操作指引一、 開 機打開測試主機、電腦、顯示器，打印機電源（無須順序）二、 進入程式待電腦啟動完成后在windows桌面雙擊SmartLink FP圖標會出現(xiàn)輸入密碼的對話框，此時輸入合適密碼。三、 升 壓待機器完成初始化（即Z軸走臺上下移動一周，直至走臺聲音停止），圖像下方的灰色GO鍵轉換成綠色時表示升壓工作完成（電壓升至45.0KV，電流升至0.8mA測量電流，然后自動降為0.2mA待機電流）。四、 預 熱關機超過3個小時開機必做。點擊“波數(shù)”

2、，將波譜校準片“Spect cal”放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設定測量時間為6S重復測量次數(shù)為3050次, 點擊Go鍵，等待自動連續(xù)測量完成。五、 波譜校準不關機狀態(tài)下每日必做一次或每次關機3小時以上再次重開機必做，目的讓儀器進行自我補償調整。首先點擊任務欄中的“波譜校準”然后將波譜校準片“Spect cal”放入儀器，將Cu-Ag合金部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵）。待儀器自動完成每一步，紅色STOP鍵會轉變成綠色GO鍵后，將純Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵），完成后出現(xiàn)“波譜校準成功！”字樣的對話框時，點擊“確定”即可。若不成功，檢查

3、是否做錯，或中途是否停止過，或有無移動過波譜片，此時需要重新完整再做一次波譜校準。六、 測 量回到測量界面，點擊上方“測量123”，依據(jù)不同的測試樣品選擇影像下方的“應用檔案(App)”，點擊右方的黃色文件夾（即打開檔案夾），選擇對應鍍層的合適檔案，開啟檔案，放入待測試樣品，將樣品測試點移至十字線中間，鐳射聚焦，點擊GO鍵開始測量，測量完成后可在右上方的顯示框中直接看到結果。七、 打 印點擊上方任務欄的“統(tǒng)計”下拉菜單中的“列印”選項，選擇列印“所有的”或“單一數(shù)據(jù)”，離開后點擊“確定”打印即可。八、 關 機先拿出樣品臺中的樣品，然后退出SmartLink FP程序（即點擊右上角“退出”或，回

4、答“確定”,待降壓后自動退出），然后關閉顯示器， 主機，打印機等。全部操作完成。- 1 -深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660新建校準檔案指引一、 進入校準模式點擊任務欄中的“FP校準”圖標。二、 創(chuàng)建新檔案，下面以Au/Ni/Cu為例：在校準模式下點擊任務欄中左上方的新建“”圖標，此時出現(xiàn)元素周期表。a：點擊元素周期表中的“Au”，按住鼠標左鍵不放拖“Au”至右上方元素欄

5、中的最上層。b：點擊“Ni”拖至第二層。c：點擊“Cu”拖至第三層。d：點擊下方“離開”，此時右下方出現(xiàn)參數(shù)功能選擇區(qū)。 設定參數(shù)：a: 點擊“參數(shù)”，修改“測量時間( 例如60或90 秒 )”，“厚度單位( 例如微英寸 )”，“準確度( 例如2 位小數(shù)點位數(shù) )”等。b: 點擊“標準片”，輸入Au薄片的厚度( 例如Au 4.0 UIN )和Ni薄片的度 ( Ni150.0UIN ), 此時注意輸入的數(shù)值一定要對應a項中的單位不可混淆。測量標準片:a: 點擊右上方的“Au極高 ”，放入Au極高標準片，聚焦，測量。b: 點擊右上方的“NI極高 ”，放入Ni極高標準片，聚焦，測量。c: 點擊右上方

6、的“CU極高 ”，放入Cu極高標準片, 聚焦，測量。d: 點擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu極高 標準片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進樣品臺，鐳射聚焦，測量。a: 點擊任務欄中的“保存”圖標，以合適文件名命名存檔。- 2 -深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司

7、TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660三、 轉換應用檔案指引（一般建立新檔案后需要進行此步驟，更新舊檔案則不需要）a、進入設立程式點擊任務欄右上方的的應用圖標“應用”，進入設立應用檔案模式。b、選校準檔案點擊下方“選擇校準檔案”，出現(xiàn)全部校準檔案文件，選定要設立的檔案。 c、設定參數(shù)點擊“參數(shù)”，修改“測量時間( 例如15 S )”，“厚度單位( 例如微英寸 )”，“準確度( 例如2 位小數(shù)點位數(shù) )”。d、固定格式打印報告的關聯(lián)點擊“打印”，若有編輯打印報告，可點擊“選擇報告”，選定合適的固定格式報告 。e、存檔點擊“保存”，輸入合適文件名存檔。f、操作完

8、成，可測量樣品。點擊任務欄中上方的 “測量123” 圖標，進入測量模式，然后選擇影像下方的“應用”，即可放入樣品測試。更新校準檔案指引一、 什么時候需要更新校準檔案？以Au(4.0)/Ni(150.0)/Cu檔案為例，假如我們在影像下方的“應用”檔案里面調出Au/Ni/Cu檔案測量樣品結果感覺與理想值厚度出入較大時，我們可以從影像下方的“校準”檔案里面調出Au/Ni/Cu檔案，然后按將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu極高 標準片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進樣品臺，鐳射聚焦

9、，測量。看測量結果與標準品實際結果偏差是否在允許誤差范圍內，若在誤差允許范圍內，則證明檔案準確。若不在誤差允許范圍內，則需要更新該校準檔案。二、 如何更新校準檔案- 3 -深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660深 圳 市 旭 升 發(fā) 機 電 設 備 有 限 公 司 TEL:0755-3355 7633 FAX:0755-2917 1660點擊上方任務欄中的“FP校準”圖標，點擊任務欄中“打開”圖標此時出現(xiàn)“FP校準”檔案全部文件。 選則檔案：a: 點擊需要更新的檔案名。b: 點擊“打開”。（以Au/ N

10、i/Cu為例）a: 點擊右上方的“Au極高 ”，放入Au極高標準片，調焦，測量。 b: 點擊右上方的“NI極高 ”，放入Ni極高標準片，調焦，測量。 c: 點擊右上方的“CU極高 ”，放入Cu極高標準片, 調焦，測量。 d: 點擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在中間，然后放在 Cu極高 標準片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進樣品臺，鐳射聚焦，測量。存 檔:a: 等待測量完成最后一項，GO鍵變綠后，點擊“保存”存檔。 （更新校準檔案時不需要設置標準片參數(shù)等等，只需要按步驟測完每一項，并且準確放入對應厚度的標準片）三、更新完成a: 檢查檔案是否更新成功疊加的標準片繼續(xù)放在樣品臺內不用拿出來，再次從影像下方的“校準”檔案里面調出Au/Ni/Cu檔案，鐳射聚焦，測量標準片?？礈y量結果與標準品實際結果