鍍膜機(jī)常見故障與分析解決預(yù)防措施

1、WORD格式.鍍膜機(jī)常見故障及分析解決預(yù)防措施一. 常見故障,問題及解決方法下表對一些鍍膜時(shí)常見的故障、真空度問題、及掉膜和膜質(zhì)問題做了一些簡單分析 , 并給予解決方案及預(yù)防措施 .專業(yè)資料整理WORD格式故障點(diǎn)1. 高壓 和束流故障現(xiàn)象故障原因解決及預(yù)防措施備注1.1. 開槍有高壓，1.燈絲保險(xiǎn)燒斷1.檢查燈絲保險(xiǎn)，燒斷那么更換立即無束流2.燈絲燒斷2.保險(xiǎn)正常那么檢查燈絲更換槍關(guān)高3.南光槍槍體右邊引體.壓線碰到槍體底坐3.調(diào)整引線 與槍體 底坐的間距. 在抽氣前檢查槍體 .1.2. 開高壓顯示跳1.束流控制調(diào)在手動(dòng)，1.電位器歸零 . 在預(yù)熔完后應(yīng)立即動(dòng)幅度大，并有束電位器未歸零將燈絲電

2、位器歸零關(guān)高流跳動(dòng)2.槍體短路2.將連接燈絲變壓器的高壓引壓3.高壓電極保護(hù)罩或線取下注意引線不能碰到機(jī)屏蔽碰到高壓引線造器應(yīng)懸空開高壓，正常那么槍成短路體或高壓電極保護(hù)罩或屏蔽短4.電柜故障路造成3.放氣檢查電極保護(hù)罩或屏蔽4.檢修電柜1.3. 開槍無高壓，1.高壓保護(hù)不到位偏1.檢查相應(yīng)的高壓保護(hù)無束流轉(zhuǎn). 真空. 柜門2.檢修高壓控制電路2.高壓電路出問題1.4. 鍍膜時(shí)高壓會1.真空繼電器燒壞1.更換真空繼電器常見 4下跌2.高壓電路出問題2.檢修高壓電路號機(jī)1.5. 鍍膜時(shí)燈絲突1.BT138 可控硅被 擊1.更換 BT138常見 4然很亮 ( 束流到達(dá)穿2.檢查槍體號機(jī)滿格 )2.

3、槍體短路1.6 有高壓，有燈1.柵極片短路1.整理槍體絲電流，無光斑2.掃描出問題或掃描2.檢修掃描，正確連接掃描線線接反了1.7. 束流上不去，1.燈絲位置不正或變1.重新安裝或更換燈絲 . 為了達(dá)不到以前的水平形更好的對燈絲定形及延長燈絲同樣功率達(dá)不到2.燈絲被氧化使用壽命 , 在更換新燈絲后應(yīng)以前的速率3.連接槍體的各接頭對燈絲進(jìn)展預(yù)熱處理松動(dòng)2.更換燈絲 . 為防止燈絲氧化4.坩堝轉(zhuǎn)速太快在放氣前應(yīng)注意檢查關(guān)閉燈絲5.材料被污染電源開關(guān)6.晶片被擋住3.擰緊各連接處 .4.調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速5.取出被污染的材料或更換新材料6.調(diào)整晶片擋板位置 . 抽氣應(yīng)檢專業(yè)資料整理WORD格式word X

4、文專業(yè)資料整理WORD格式.17.電柜出問題查晶片是否被擋7.檢修電柜1.8. 阻蒸電流調(diào)不1.蒸發(fā)舟燒斷或松掉1.更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘. 為上去造成接觸不良了防止接觸不良，各電極和壓2.空氣開關(guān)跳閘塊應(yīng)清洗干凈 . 更換在蒸發(fā)舟3.調(diào)節(jié)電流的電位器時(shí)應(yīng)將銅壓塊取下砂干凈再安壞了裝蒸發(fā)舟4.銅電極與真空室底2.翻開空氣開關(guān)板下的引線接觸不良3.更換電位器4.清潔磨平接觸不良的地方并擰緊螺釘1.9. 速率不穩(wěn)定1. 晶片失效1.選擇好的晶片，1.2 槍的速率2.料面不好要匹配3.功率設(shè)置不合理2.料要加平整，養(yǎng)成停坩堝的4.控制參數(shù) PID 設(shè)置好習(xí)慣不合理3. 預(yù)熔功率及最大功率設(shè)置合5. 燈

5、絲接觸不好或老理 ( 最大功率為略大于蒸發(fā)時(shí)化所需功率6. 高壓打火4.設(shè)置合理的 PID 參數(shù)5.緊固或更換燈絲6.解決打火現(xiàn)象專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.1.10. 高壓打火1. 槍體污染，雜物掉入1.整理槍體，在吹槍體時(shí)應(yīng)用槍體吸塵器邊吸使吹出的雜物吸走2.各接線處未擰緊不被落在槍體里3.聚四氟套管太臟2.擰緊各連接處，使其接觸良4.槍體陽極，柵極變形好5.高壓電極太臟3.清洗或更換套管，應(yīng)定時(shí)清6.屏蔽不佳或未屏蔽洗7.光斑位置不合理，掃4.調(diào)整或更換陽極，柵極片描狀態(tài)不好5.更換高壓電極8.2 槍高壓干擾6.調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽9.材料污染有雜物7.

6、調(diào)整好光斑，檢查掃描10. 高壓打在 10KV8. 蒸鍍 1 槍時(shí)應(yīng)關(guān)閉 2 槍高壓11. 預(yù)熔不夠充分9. 將被污染的材料去除或更換12. 功率設(shè)置不合理新材料10. 將高壓調(diào)在正確的檔位 中檔 8KV. 在觸摸屏上操作時(shí) ( 如調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速時(shí)) 應(yīng)注意是否誤碰到高壓調(diào)節(jié)檔位11. 預(yù)熔時(shí)間及加的束流應(yīng)合理束流最后應(yīng)加到接近鍍第一套時(shí)所需束流坩鍋轉(zhuǎn)一到兩圈12. 設(shè)置合理的功率, 預(yù)熔功率不應(yīng)太大 , 最大功率應(yīng)與速率相匹配 , 注意在第一套時(shí)速率較小時(shí)功率的設(shè)置22. 掃 2.1.光斑不能調(diào)整1.掃描引線或線圈短1.檢查引線及線圈 , 引線間不描 和路能碰在一起 , 抽氣前應(yīng)檢查引光斑2.

7、整流橋擊穿線是否互相觸碰和松動(dòng)3.引線或線圈斷路2.更換整流橋4.遙控盒上的連線松3.檢查引線及線圈脫或電位器壞了4.接好連線或更換電位器2.2光斑及掃描狀1.燈絲變形1.更換燈絲態(tài)不好2.極靴位置不正2.調(diào)整極靴位置 . 在拆下清洗3.掃描頻率不適宜時(shí)要做好記號防止安裝時(shí)位置4.短路條多或少了 , 位不正置不好3.調(diào)整適宜頻率 , 頻差和密度5.高壓檔位不對4.調(diào)整短路條的位置及數(shù)量6.掃描連接線有誤5.調(diào)整正確的高壓檔位6.正確連接掃描線 , 維修時(shí)應(yīng)做好記號專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.3. 坩 3.1坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)不靈1. 坩堝周邊間隙太小1.調(diào)整坩堝周邊的

8、間隙堝 和或不轉(zhuǎn)2. 坩堝間隙有材料 ( 卡2.清理間隙中的材料 . 注意料工轉(zhuǎn)料)不要加得太高 , 預(yù)熔時(shí)數(shù)量不3.軸承銹死要加得太快 , 防止材料飛濺掉4.減速器出問題入間隙里使坩堝卡住或轉(zhuǎn)得不5.電機(jī)出問題順暢6.防污底板頂?shù)桔釄?.清洗或更換軸承 . 在清掃真(2 槍)空室及洗機(jī)時(shí)應(yīng)將坩堝下面的7.連接鍵脫落料渣去除 , 防止料渣太多影響軸承的性能4.檢查減速器5.維修或更換電機(jī)6.調(diào)整好大門底板的位置( 稍高于坩堝 ), 關(guān)門時(shí) 感到異常( 如較平時(shí)緊 ) 應(yīng)檢查底板及防污板的位置7.重新安裝好鍵3.2工轉(zhuǎn)噪音大 ,1. 電機(jī)軸承壞了1.更換電機(jī)軸承晃動(dòng)大2.大軸承干磨性能下2.清洗

9、或更換大軸承降3.將電機(jī)與減速箱連接好3.電機(jī)與減速箱連接4.更換齒輪不好4.傳動(dòng)齒輪磨損3.3工轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)不了1. 電機(jī)損壞1.更換電機(jī)2.電機(jī)與傳動(dòng)局部的2.重裝或更換鍵鍵脫落或磨損3.更換齒輪3.傳動(dòng)的齒輪磨損4.更換或維修單向器 (2 樓)4.單向器壞了5.檢修電路5.電路出問題33.4.工轉(zhuǎn)電壓調(diào)不1.調(diào)節(jié)電位器損壞1.更換電位器上 , 電壓顯示指針2.控制器出問題2.檢修控制器跳動(dòng)大3.工轉(zhuǎn)傳動(dòng)不穩(wěn)3.維修傳動(dòng)局部4.碳刷接觸不良4.整理碳刷接觸面或更換5.電壓表有問題5.維修或更換電壓表4. 閥 4.1.閥門打不開1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置門2. 控制閥門的氣動(dòng)閥2.維修或更換

10、氣動(dòng)閥有問題3.檢查與其互鎖的閥門. 應(yīng)注3.閥門間互鎖意閥門指示燈顯示關(guān)閉但實(shí)際閥門并未關(guān)閉的現(xiàn)象4.2.閥門翻開后會1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到適宜位置自動(dòng)關(guān)閉2. 氣動(dòng)閥閥芯內(nèi)的橡2.更換閥芯或氣動(dòng)閥皮松脫專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.4.3. 放氣取膜 , 放1.高閥沒關(guān)到位1.檢查高閥沒關(guān)到位的原因,氣閥打不開2.放氣閥的氣動(dòng)閥有不能強(qiáng)行手動(dòng)關(guān)閉問題2.更換或維修氣動(dòng)閥5. 真5.1. 在鍍膜過程中1.高閥 , 預(yù)閥等閥門自1.檢查氣壓是否正常, 正常那么空度真空度突然下跌動(dòng)關(guān)閉是相應(yīng)的閥門問題, 一般為氣2.擴(kuò)散泵斷相或跳閘動(dòng)閥的閥芯松脫3. 坩堝卡

11、料強(qiáng)行轉(zhuǎn)動(dòng)2.合上閘刀 , 斷相表現(xiàn)為三相造成漏氣指示燈有一或兩個(gè)燈不亮,更換電爐盤3.維修坩堝 , 當(dāng)卡料時(shí)不能強(qiáng)行轉(zhuǎn)坩5.2. 低真空突然抽1.機(jī)械泵摻氣閥沒關(guān)1.關(guān)閉摻氣閥不動(dòng)2.真空室門壓到東西2.檢查大門密封 . 關(guān)門抽氣時(shí)3.并路閥 ( 旁通閥 ), 截應(yīng)檢查大門是否壓到東西或密止閥自動(dòng)關(guān)閉封圈上有雜物4.機(jī)械泵出問題3.檢查相應(yīng)的閥門及控制閥門5.羅茨泵出問題的氣動(dòng)閥和氣壓6.管道漏氣4.維修機(jī)械泵7. 機(jī)械泵上的機(jī)放閥5.維修羅茨泵漏氣6.維修管道8.真空室漏氣7.更換或維修機(jī)放閥8.按 5.4 步驟檢漏5.3 抽氣慢1.真空室太臟 , 沒換防1.更換防污板或清洗真空室污板2.

12、清洗擴(kuò)散泵 ( 大約一年洗一2.擴(kuò)散泵太久沒洗次 )3. 擴(kuò)散泵出氣口擋油3.調(diào)整擋油板板被吸起4.給機(jī)械泵摻氣或換油4.機(jī)械泵沒摻氣5.調(diào)節(jié)真空表基準(zhǔn)或更換真空5. 真空測量表基準(zhǔn)不表準(zhǔn)6.檢修機(jī)械泵 , 羅茨泵6.機(jī)械泵 , 羅茨泵有問題47. 真空室暴露在大氣7.盡量減少敞大氣時(shí)間, 玻片時(shí)間過長或玻片未烘應(yīng)完全烘干干8.按 5.4 步驟檢漏8.漏氣專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.5.4. 真空度低1. 真空表測量不準(zhǔn)1.更換真空表2.真空規(guī)管測量口被2.關(guān)閉高閥 , 假設(shè)此時(shí)真空室真百葉窗擋住空度比擬穩(wěn)定 , 那么放氣調(diào)整百3.真空室大門沒關(guān)好葉窗的位置

13、4.真空泵出問題3.用酒精注射大門密封看真空5.管道漏氣度變化 , 如有變化那么放氣整理6.動(dòng)密封如坩堝, 工真空室門密封轉(zhuǎn) , 觀察窗 , 擋板等密4.維修或更換真空泵封漏氣5.維修管道7. 洗機(jī)或維修時(shí)動(dòng)過6.更換或重裝動(dòng)密封的部件或附近有松動(dòng)快速連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)看真空度是否8.堵頭沒裝好有較大的變化 , 有那么是該轉(zhuǎn)動(dòng)9.通了水的如坩堝 , 工部動(dòng)密封有問題轉(zhuǎn), 探頭等地方有漏點(diǎn)7.檢查動(dòng)過的部件及附近, 確10. 高閥 , 低閥氣缸漏認(rèn)后緊固氣8.用酒精注射堵頭, 假設(shè)真空度11. 金屬焊縫漏有變化那么緊固或重裝該堵頭9.通過用高壓氣來沖水管看真空度是否有變化 , 有那么檢查水路10. 通過開

14、關(guān)高閥 , 低閥或用酒精注射閥門確認(rèn)后更換閥體或密封圈11. 用酒精注射各焊縫來確認(rèn)是否有漏 , 有那么補(bǔ)焊焊縫6. 掉6.1. 掉膜1.真空室或玻片潮濕1.烘烤玻片及防污板的時(shí)間要膜 問更換防污板后適當(dāng)題2. 玻片沒洗干凈2.用干凈的布清洗好玻片, 清3.更換新玻片 , 玻片上洗時(shí)應(yīng)認(rèn)真仔細(xì)有油污3.先用洗潔精清洗干凈玻片,4.真空度低再用清水將玻片沖洗干凈5.打火嚴(yán)重 , 造成膜厚4.檢漏不均勻引起應(yīng)力大5.解決打火現(xiàn)象6.真空室有油污6.清洗真空室7.蒸發(fā)速率過高7.降低速率到適宜位置8.脫膜劑鍍得過多8.減少脫膜劑的厚度9. 擴(kuò)散泵返油造成高9.擦洗高閥蓋及冷井. 給擴(kuò)散閥蓋及冷井處有

15、油污泵加熱時(shí)間不能少于90分鐘.6.2. 周一掉膜嚴(yán)重1.洗機(jī)時(shí)產(chǎn)生的一些1.用酒精仔細(xì)擦干凈真空室且膜質(zhì)不好粉塵在抽氣時(shí)飛到玻2.延長轟擊時(shí)間 , 防污板應(yīng)徹片上底烘干后才裝入真空室2. 洗機(jī)時(shí)的潮氣及防污板的潮氣未干專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.7. 膜 7.1. 膜質(zhì)發(fā)黑不亮 1.U5 材料鍍少了 ( 有 1. 適當(dāng)增加 U5 厚度質(zhì)澤時(shí)有銀灰色 )2.調(diào)節(jié)光斑和掃描頻率2.2 槍光斑能量太散3.適當(dāng)減少 U3 厚度( 掃描頻率有問題 )4.將 2 槍坩堝位置移到適當(dāng)位3.U3 材料鍍多了 ( 膜置質(zhì)稀爛 )5.更換新料4.2 槍坩堝位置不合6.檢查真空

16、度適5.U5 材料太舊或氧化6. 真空度低7.2. 膜發(fā)銀1.U5 材料鍍多了1.適當(dāng)減少 U5 厚度2. 跳程序或假速率造2.發(fā)現(xiàn)時(shí)應(yīng)適當(dāng)加鍍一些U5,成 U5 材料沒鍍上或鍍在鍍 2.6 層時(shí)應(yīng)特別注意有無少此現(xiàn)象3.U3 材料蒸發(fā)過快造3.鍍 U3 材料時(shí)速率不要過高 ,成 U5 沒鍍上或鍍少鍍完 U3材料時(shí)應(yīng)稍微停頓5 秒再鍍 U57.3. 膜質(zhì)發(fā)硬 , 打1. 玻片太臟1.仔細(xì)清洗玻片 , 玻片放入真卷2. 玻片外表光潔度差空室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換或清3.U3 材料鍍的過少洗后才能使用 . 應(yīng)清掃完真空室衛(wèi)生后再裝玻片 , 減少污染2.更換好的玻片3.適當(dāng)增加 U3 厚度8. 膜8.1

17、. 晶片失效1. 晶片使用壽命已到1.更換好的晶片 . 在用超聲波厚 控2. 晶片壓簧損壞清洗晶片時(shí)應(yīng)注意打晶片的時(shí)制儀3. 連接探頭的各接觸間及方法 , 延長晶片的使用壽點(diǎn)接觸不良命4. 探頭冷卻水過小或2.更換晶片壓簧 . 在取壓簧時(shí)水溫過高應(yīng)輕拿輕放5. 探頭擋板碰到工3.整理各連接處4.調(diào)大探頭冷卻水流量或開啟冷凍機(jī)降水溫 , 水溫小于 28 度5.調(diào)在探頭擋板與工轉(zhuǎn)的距離8.2. 開場鍍膜控制1. 程序清零1.重新設(shè)置程序 . 在操作膜厚儀無工作2. 沒選擇到鍍膜程控制儀時(shí)動(dòng)作不應(yīng)過快, 控制儀要有良好的接地2.選擇好鍍膜程序 . 在調(diào)程序時(shí)應(yīng)注意光標(biāo)是否在對應(yīng)的鍍膜程序上8.3.

18、手動(dòng)遙控盒不1. 連接控制儀的接頭1.接好接頭受控沒接好2.焊好接線 . 在用遙控時(shí)應(yīng)注2. 遙控盒上的按鍵的意連線不要用力過大拉扯連線接線脫焊專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.9. 其9.1. 開槍鍍膜時(shí)發(fā)1.晶片被擋住1. 放氣整理 . 關(guān)門抽氣時(shí)應(yīng)檢他現(xiàn)膜厚儀上沒速率2.槍擋板未翻開查晶片是否被擋顯示3.高壓沒開2. 修理擋板3. 翻開高壓64.束流控制調(diào)在手動(dòng)4.將束流控制調(diào)的自動(dòng)9.2. 槍擋板打不開1.氣壓不夠1.調(diào)高氣壓到適宜位置2.控制擋板的氣動(dòng)閥2.維修或更換氣動(dòng)閥壞了3.重新裝上鍵或螺釘3. 氣缸與擋板軸的連接鍵或螺釘脫落二 . 一些根底知識及

19、考前須知和應(yīng)急措施1. 膜厚控制儀控制參數(shù)Soak power1- 預(yù)熔功率 1 約為蒸發(fā)功率的一半Soak power2- 預(yù)熔功率 2 也稱預(yù)蒸鍍功率 略小于最大功率Maxpower-最大功率Dep Rate -蒸發(fā)速率Final Thk-膜厚波長Soak time-預(yù)熔時(shí)間Rise time-功率上升時(shí)間Density -材料密度檢測膜厚原理通過改變探頭上晶片的頻率 由于膜的蒸發(fā)改變了其重量， 所以其震動(dòng)頻率發(fā)生變化來計(jì)算膜厚，而探頭所處的位置和工具因數(shù)的設(shè)置都影響到測試精度， 探頭的位置和測試膜厚的關(guān)系如?。?1).探頭高了 , 測試得到的厚度 <實(shí)際得到的膜厚 ( 玻片上厚度

20、)(2).探頭低了 , 測試得到的厚度 >實(shí)際得到的膜厚 ( 玻片上厚度 )(3).工具因數(shù)調(diào)高 , 相當(dāng)于探頭位置降低 , 所以膜厚要增加2. 膜和材料間的關(guān)系2.1.U5 吸收雜光 , 影響膜質(zhì)和亮度 . 鍍的過多 , 膜會發(fā)銀 ; 鍍的過少 , 膜發(fā)黑 , 不亮澤 , 有銀色 ;沒鍍上 , 那么為銀白2.2.U3脫膜劑 , 影響膜質(zhì) . 鍍的過多 , 膜質(zhì)稀爛 , 易脫落 ; 鍍的過少 , 膜會打卷 , 發(fā)硬2.3.SiO2決定顏色2.4.U6基層 , 影響膜的鮮艷度和亮度3. 均勻性3.1. 徑向均勻性 : 同一玻片上部與下部的不均勻 , 與光斑的調(diào)節(jié)、材料的料面、坩堝轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向

21、、玻片的曲率有關(guān)3.2.重復(fù)均勻性 : 同一鍋膜的每一套間的不均勻, 與真空度的上下、操作者看顏色有關(guān)3.3. 整體均勻性 : 同一套膜四塊玻片上的均勻性 , 與光斑的穩(wěn)定性、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā)速率的匹配、真空度的上下、徑向均勻性有關(guān)4. 燈絲問題4.1.放氣時(shí)要記住關(guān)燈絲電源, 以免氧化燈絲4.2. 初次使用或更換新燈絲 , 應(yīng)進(jìn)展燈絲預(yù)熱定型處理 , 以防燈絲加熱過快變形 . 預(yù)熱時(shí) , 高壓關(guān)閉 , 直接加熱燈絲 , 緩慢加燈絲電流 , 由幾安培加至 15A 時(shí), 維持 3-5 分鐘4.3.燈絲安裝a. 燈絲不宜太高或太低 : 太高會造成光斑不可調(diào) , 容易打爛柵極和陽極片 ; 太低會造成光斑能量太散 , 不易蒸發(fā)b. 柵極片應(yīng)略低于陽極片專業(yè)資料整理WORD格式word X文專業(yè)資料整理WORD格式.c. 各個(gè)壓塊、引線的接觸面應(yīng)清洗干凈防止造成接觸不良d. 打緊螺釘時(shí)應(yīng)松緊適當(dāng)，太