特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計規(guī)范

1、特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計規(guī)范特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范2011-04-0708:31:54|分類：默認分類|標簽：氣體特種管道氣瓶閥門|字號訂閱1總貝I1.0.1為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護人身和財產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進，經(jīng)濟合理。制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計和施工。1.0.3本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計和施工。1.0.4特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定。2術(shù)語2.0.1特種氣體sp

2、ecialilygas用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。2.0.2特種氣體系統(tǒng)specialitygassystem特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。2.0.3特種氣體間specialitygasroom是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。2.0.4硅烷站silanestation是指放置硅烷儲存設(shè)備（氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖

3、車或ISO標準儲罐）、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向用氣生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨立建構(gòu)筑物或區(qū)域。2.0.5明火地點openflamesite室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點。2.0.6散發(fā)火花地點sparkingsite散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點。2.0.7空瓶emptycylinder留有殘余壓力的氣體鋼瓶。2.0.8實瓶fullcylinder存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、47、48L等各種容積。2.0.9氣瓶集裝格thebundleofgascylinders用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體

4、鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個數(shù)分別為9個、12個、16個不等，單個氣瓶的水容積通常為4050L。2.0.10氣瓶柜gascabinet(GC)特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。2.0.11氣瓶架gasrack(GR)特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。2.0.12閥門箱valvemanifoldb

5、ox(VMB)特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動閥、手動閥，各支管可配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，除SiH2cl2、WF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接口和風(fēng)壓事故報二°2.0.13閥門盤valvemanifoldpanel(VMP)特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動閥、手動閥，各支管應(yīng)配置手動閥、壓力表、過濾器等組件，VMP各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。2.0.14低蒸汽壓力氣體lowvaporpressuregas在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa的氣體

6、。2.0.15尾氣處理裝置localscrubber用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處理后的尾氣達到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。2.0.16氣體探測系統(tǒng)gasdetectorsystem(GDS)設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報警信號、提供應(yīng)急處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。2.0.17氣體管理系統(tǒng)gasmanagementsystem(GMS)包含特種氣體探測系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)

7、的統(tǒng)稱。2.0.18最高允許濃度值thresholdlimitvalue(TLV)工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。2.0.19爆炸濃度下限值lowexplosionlimit(LEL)可燃氣體在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。2.0.20臥式氣瓶y-cylinder/t-cylinder用于儲存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為500L,1000L。2.0.21自燃氣體pyrophoricgas在空氣中會發(fā)生自動燃燒的氣體。2.0.22可燃氣體flammablegas指與空氣(或氧氣)能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會發(fā)生燃燒或爆炸的氣體。2.0.23毒性氣體toxicgas

8、LC50超過200Ppm但不超過2000Ppm的氣體。2.0.24腐蝕性氣體corrosivegas是指在一定條件下，對材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆反應(yīng)的氣體。2.0.25氧化性氣體oxygenizegas是指在一定條件下，與材料接觸會產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反應(yīng)的氣體。2.0.26惰性氣體inertgas在一般情況下與其它物質(zhì)不會產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。2.0.27限流孔板restrictfloworifice(RFO)限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。2.0.28過流開關(guān)excessflowswitch(EFS)流量超出設(shè)定值時，給出開關(guān)信號。2.0.29AP管anneal

9、edandpickledpipe經(jīng)過酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無縫不銹鋼管。2.0.30BA管brightannealingpipe經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚?，消除?nèi)部應(yīng)力并在管道表面形成一層鈍化膜的光亮無縫不銹鋼管。2.0.31EP管electro-polishedpipe經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實際面積得到最大程度的減少表面產(chǎn)生一層較厚的封閉的氧化銘膜的電化學(xué)拋光無縫不銹鋼管。2.0.32吹掃purge用氮氣和瀛氣對特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的其它氣體進行置換的過程。2.0.33排氣vent特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。2.0.34數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)supervisorycontrola

10、nddataacquisition(SCADA)是以計算機為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過程控制與調(diào)度自動化系統(tǒng)。它可以對現(xiàn)場的運行設(shè)備進行監(jiān)視和控制，以實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號報警等各項功能。2.0.35工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)facilitymanagementcontrolsystem(FMCS)用于管理工廠動力設(shè)備的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制功能。2.0.36大宗硅烷系統(tǒng)bulksilanesystem是指容器水容積超過250L的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車（T/T）、ISO標準儲罐，以及數(shù)量超過7個的獨立小鋼瓶系統(tǒng)。2.0.37氣體面板gaspan

11、el集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過濾器、壓力計等零部件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用設(shè)施。2.0.38開敞式建筑openarea立柱和墻面遮擋部分小于周長的25%的建筑。2.0.39內(nèi)向檢漏inboardheleaktest又稱噴氨法測試.采用內(nèi)部抽真空，外部噴氨氣的方法，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。2.0.40閥座檢漏crossseatheleaktest采用閥門上游充氮氣，下游抽真空，檢測泄漏率的方法。2.0.41外向檢漏outboardheleaktest又稱吸槍法測試，采用管路內(nèi)部充氮氣或氨氮混合氣，外部用吸槍檢查漏點泄漏率的方法。2.0.42不相容性incompatible不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，

12、釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。2.0.43ISO標準儲罐ISOmodule按國際標準組織（ISO）要求，允許安裝在架子上的多個水容積不超過1218L的儲罐或長管氣瓶的總稱。2.0.44大宗特氣輸送系統(tǒng)應(yīng)用：1）集束鋼瓶（容積小于50L鋼瓶數(shù)量超過12個以上）；2）Y型鋼瓶；3）T型鋼瓶；4）長管拖車；5）ISO槽罐等進行特種氣體儲存和送氣作業(yè)的系統(tǒng)。3特種氣體站房3.1 一般規(guī)定3.1.1 特種氣體站房包括布置在單獨建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間。3.1.2 布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.1

13、.3 在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間內(nèi)的最大允許儲存量見表3.1.5,當生產(chǎn)廠房內(nèi)的氣體儲量超過規(guī)定數(shù)量時，應(yīng)設(shè)計獨立的特種氣體站。表3.1.3生產(chǎn)廠房內(nèi)最大允許儲存量序號氣體種類氣體總量1立方為1可燃氣體562毒性氣體923劇毒性氣體1.14自燃氣體2.85氧化性氣體1706腐蝕性氣體92說明：1標準狀態(tài)下的氣體體積量.3.1.4 集合工藝設(shè)備的布置情況，生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓靠外墻的區(qū)域。3.1.5 低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。3.1.6 布置在單獨建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長管拖車向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.2 氣

14、體站房分類3.2.1 特種氣體依其物性及安全特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。3.2.2 布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間。3.2.3 獨立布置的特種氣體站有硅烷站、氨氣站等。3.3 特種氣體設(shè)備的布置3.3.1 不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應(yīng)大3.3.2 同時具有可燃性和毒性氣體應(yīng)放在可燃性氣體間3.3.3 特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、就地尾氣處理裝置、氣瓶集裝格宜靠墻布置，具有相同或相近氣體性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)布置在一起。3.3.4 特種氣體間的中間通道寬度

15、不得小于2米，特氣柜與墻體之間的距離宜大于0.1m,特氣柜之間的距離宜大于0.1m,氣瓶集裝格宜靠墻布置。布置應(yīng)考慮維修與運轉(zhuǎn)空間。3.4.5 硅烷站內(nèi)長鋼瓶拖車宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。3.4.6 特種氣體系統(tǒng)的電氣控制盤、儀表控制盤的布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)布置在與特種氣體供應(yīng)設(shè)備室相鄰的控制室內(nèi)，隔墻上可以設(shè)置防爆密閉觀查窗。2控制室應(yīng)以耐火極限不小于2h的隔墻和不低于3.4.7 樓板與特種設(shè)備間隔開，穿越隔墻的管道應(yīng)以防火材料填堵。4特種氣體工藝系統(tǒng)4.1般規(guī)定4.1.1電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置.1 .儲存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；2 .氣體輸送與分配用閥門

16、箱或閥門盤；3 .輔助氮氣吹掃系統(tǒng)；4 .尾氣排放處置系統(tǒng)。1.1.2 特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特種氣體使用的安全操作、工藝參數(shù)、污染控制的要求。1.1.3 不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)接入同一排氣系統(tǒng)。1.1.4 不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。4.2 特種氣體輸送系統(tǒng)4.2.1 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的氣瓶柜用氣瓶容積不得大于50L;2氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于50L;3氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣（源）瓶（單瓶式）、雙工藝氣瓶外置吹掃氮氣（源）瓶（雙瓶式）、雙工藝

17、氣瓶內(nèi)置吹掃氮氣（源）瓶（三瓶式）等多種結(jié)構(gòu)配置；4不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；5氣瓶柜與氣瓶架應(yīng)設(shè)有分配、作業(yè)用氣體面板，氣體面板的要求詳見4.2.2條；6系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實；7氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負壓，其排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/小時；8自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測器；9氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm,并有防腐蝕涂層。10氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗；11氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標示牌；12氣瓶柜地腳螺栓的設(shè)計要滿足當?shù)氐卣鹆叶鹊囊蟆?3當氣瓶柜放置在

18、有爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境時，其設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范GB50058的規(guī)定。4.2.2 特種氣體氣瓶柜與氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動閥門，位置盡量靠近氣瓶端；2氣瓶壓力大于0.1MPa的自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān)；3自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；4自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有輔助抽真空裝置，該管路必須設(shè)置止回閥；5各種特種氣體面板均應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口；4.2.3 可燃特種氣體氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)符合下列要求4.2.4 瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得

19、低于1200次/小時。氣瓶柜的負壓應(yīng)持續(xù)監(jiān)控；4.2.5 氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外紅外火焰探測器；4.2.6 自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，但是C1F3氣瓶柜不應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；4.2.7 氣體氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。4.2.8 大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置1獨立設(shè)置的氣（液）瓶、儲罐或長管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮氣單元、電氣控制柜；2大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的其它功能配備應(yīng)符合第4.2.9 條的規(guī)定；3大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實；4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨建站，或置于單獨的氣體房，并考慮消防間距和物流

20、通道等；5液化氣體瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計合適的鋼瓶加熱與保溫裝置。6大宗特種氣體應(yīng)考慮在減壓前對氣體進行預(yù)熱。4.2.5液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)1液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、推動氣體單元、載氣單元、吹掃氮氣單元、電氣控制柜與溫度控制裝置。2液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)利用推動氣體的靜壓力或者采用泵，將液體化學(xué)品從大包裝槽罐里輸送至液體輸送柜里的小包裝液罐，或者將小包裝液罐里的液體直接推動輸送至用液點。用液點設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液體化學(xué)品鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備。3液態(tài)特種氣體輸送柜必需的其他功能配備應(yīng)符合第4.2.1條的規(guī)定。4.2.10 種氣

21、體系統(tǒng)的閥門箱和閥門盤的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門箱應(yīng)設(shè)有：1）進氣管路隔離閥門及壓力指示單元；2）各分支路獨立的壓力控制調(diào)節(jié)、過濾器、過流開關(guān)單元；3）各分支路獨立的進出口隔離閥門；4）各分支路獨立的吹掃氮氣或惰性氣體單元；5）各分支路獨立的輔助抽真空單元等2惰性及氧化性氣體系統(tǒng)的閥門盤應(yīng)設(shè)有：1）進氣管路隔離閥及壓力指示單元；2）各分支路獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器；3）各分支路獨立進出口隔離閥門。4.3 吹掃和排氣系統(tǒng)4.3.1 特種氣體系統(tǒng)吹掃氮氣的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應(yīng)與獨立的氮氣源連接，不得與公用氮氣

22、或工藝氮氣系統(tǒng)相連；2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；3吹掃氮氣管線必須設(shè)置止回閥。4.3.2 吹掃氮氣的氣體面板設(shè)置包括下列部件：1）壓力調(diào)節(jié)閥；2）排氣管；3）高低壓截止閥；4）高低壓壓力指示；5）安全閥4.3.3 特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1真空發(fā)生器宜采用氮氣實現(xiàn)抽真空功能；2抽真空用氮氣可由公用普通氮氣提供；4.3.4 工藝排氣與廢氣處理1特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污染和腐蝕。2不相容性氣體的排氣不得連接進入同一排氣主管。3自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過燃燒下限20%或最大允許濃度10%時，必須經(jīng)過尾

23、氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。4合適的廢氣處理裝置包括但不限于：1）干式處理；2）水洗式處理；3）加熱分解處理；4）燃燒處理；5）等離子分解處理；6）稀釋處理；以及以上幾種處理方式的結(jié)合。5硅烷站5.1 硅烷工藝系統(tǒng)5.1.1 硅烷站工藝系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)下列因素確定1硅烷的危險性質(zhì)2硅烷站的規(guī)模3用戶對硅烷純度及壓力要求4用戶對硅烷負荷變化情況的要求5.1.2 硅烷站應(yīng)根據(jù)工藝要求、當?shù)貧夂驙顩r、硅烷設(shè)備狀況選擇采用封閉式、開敞式或露天形式進行布曾目O5.1.3 硅烷輸送工藝系統(tǒng)應(yīng)包括硅烷容器、氣體面板、閥門箱以及相應(yīng)的連接管道。5.1.4 典型的硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過濾、吹掃/排氣、安全控制

24、等功能。5.1.5 硅烷應(yīng)采用獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃，不得采用公用管道氮氣吹掃。5.1.6 閥門箱應(yīng)配置惰性氣體吹掃系統(tǒng)、泄漏偵測和火焰?zhèn)蓽y。5.1.7 硅烷的放空不得排入局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)直接排到大氣，或燃燒式尾氣處理器。放空管道應(yīng)使用氮氣連續(xù)吹掃。放空管道吹掃氮氣流速不應(yīng)低于0.3m/s。5.1.8 鋼瓶出口應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥。硅烷站的各安全出口應(yīng)設(shè)置手動緊急切斷按鈕，至少有一個手動緊急切斷按鈕與輸送系統(tǒng)的距離應(yīng)大于4.6米。5.1.9 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬膜片的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥。氣源應(yīng)配置直徑小于3.175mm的限流孔板。輸送系統(tǒng)應(yīng)配置過流開關(guān)。5.2 硅烷站的布置5.2

25、.1 硅烷站的布置，應(yīng)按下列要求綜合比較確定：1應(yīng)布置在工廠常年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)遠離有明火或散發(fā)火花的地點;2不應(yīng)布置在人員密集地段和主要交通要道鄰近處;3硅烷站應(yīng)采用單層鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)。鋼框架、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防火保護措施。4硅烷站應(yīng)設(shè)置不燃燒體的圍墻，其高度不應(yīng)小于2.5m;5大宗硅烷站必須布置為獨立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，不得有地下室。當采用開敞式建筑結(jié)構(gòu)形式時，硅烷站墻面遮擋部分面積不大于建筑外圍面積的25%。如果有障礙物，距離應(yīng)保證大于障礙物高度的2倍。6硅烷站的選址應(yīng)方便運輸和消防車輛的進出。5.2.2 硅烷站與工廠建筑物、構(gòu)筑物的防火間距，不應(yīng)小于表5.2

26、.2的規(guī)定。表5.2.2硅烷站與其他建筑物、構(gòu)筑物、道路的防火間距（m）名稱硅烷站儲量（t）<5>5重要公共建筑50甲類倉庫20民用建筑、明火或散發(fā)火花地占八、3040其他建筑、一級耐火建筑1520三級耐火建筑2025四級耐火建筑2530電力系統(tǒng)電壓為35500kV且每臺變壓器容量在10MV-A以上的室外變、配電站工業(yè)企業(yè)的變壓器總油量大于5t的室外降壓變電站3040廠外鐵路線中心線40廠內(nèi)鐵路線中心線30廠外道路路邊20廠內(nèi)道路路邊主要10次要5注：1防火間距應(yīng)按相鄰建筑物、構(gòu)筑物的外墻、凸出部分外緣、氣瓶集裝格外緣的最近距離計算。2固定容積的硅烷氣罐，總?cè)莘e按其水容量（m3）和

27、工作壓力（絕對壓力）的乘積計算。3與高層廠房的防火間距，應(yīng)按本表相應(yīng)增加3m。5.2.3 硅烷站的建筑設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016的規(guī)定。5.2.4 硅烷站可采用有坡度的屋頂，屋頂最低點宜大于4.5米。硅烷站的面積大于19m2時，必須有兩個安全出口。5.2.5 站內(nèi)任何地點到最近安全出口的距離不得大于23m。5.2.6 硅烷站應(yīng)采用快開式推桿鎖，不得采用其它形式的鎖具，疏散門應(yīng)采用平開門，朝向為疏散方向。5.2.7 露天布置的硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝面板之間應(yīng)距離9米，當距離不到9米時，應(yīng)采用2小時防火隔斷。防火隔斷的設(shè)置不應(yīng)影響自然通風(fēng)。5.3 安全技術(shù)措施

28、5.3.1 硅烷站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在單獨的房間內(nèi)，并用無門窗洞口的防爆墻與硅烷氣瓶庫隔開。供硅烷站專用的10kV及以下變配電所，不應(yīng)設(shè)置在硅烷站廠房內(nèi)或貼鄰建造。5.3.2 硅烷大宗鋼瓶應(yīng)進行防靜電接地。5.3.3 對于抽風(fēng)管道的泄漏探測器，設(shè)定值不應(yīng)小于0.34%(V/V)(25%LEL),報警并自動關(guān)閉輸送系統(tǒng)。環(huán)境監(jiān)測點設(shè)定值不應(yīng)小于5Ppm,報警但不需要切斷輸送系統(tǒng)。5.3.4 開放式輸送系統(tǒng)大宗鋼瓶區(qū)域必須設(shè)置紫外/紅外火焰探測器。封閉式輸送系統(tǒng)應(yīng)采用高溫探測器?；鹧婊蚋袦靥綔y器應(yīng)與報警系統(tǒng)和緊急切斷系統(tǒng)聯(lián)動。5.4 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)5.4.1 采用開放式布置的硅烷站，應(yīng)采取有效

29、的措施，保證自然通風(fēng)，防止硅烷氣體積聚。若不能滿足開放式的條件時，應(yīng)設(shè)置強制通風(fēng)系統(tǒng)。5.4.2 封閉式硅烷站嚴禁采用循環(huán)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。5.4.3 封閉式的硅烷站室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計參數(shù)應(yīng)滿足氣柜的要求。當氣柜無具體要求時，室內(nèi)設(shè)計參數(shù)宜滿足25±3Co5.4.4 封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置獨立的連續(xù)排風(fēng)系統(tǒng)。5.4.5 氣柜排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲存壓力下限流孔板（RFO）的硅烷連續(xù)流量計算氣柜內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%,并保證流經(jīng)氣瓶頸部和管道機械連接處的氣流速度不小于1m/s來確定。5.4.6 氣瓶組直接安裝在封閉的硅烷站內(nèi)，房間排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲存壓力下

30、限流孔板（RFO）的硅烷連續(xù)流量計算房間內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%來確定。5.4.7 硅烷閥門箱的排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲存壓力下限流孔板（RFO）的硅烷連續(xù)流量計算氣柜內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%來確定。5.4.8 封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量根據(jù)事故泄漏量計算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于每小時12次。硅烷站外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。5.4.9 硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機組。5.4.10 硅烷站空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采用適當措施保證在空調(diào)機組維護或故障時，硅烷站能取得足夠的補風(fēng)。5.4.11 硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。5.4.12 空調(diào)系

31、統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作。排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用剛性風(fēng)管，不得使用柔性風(fēng)管。空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管保溫應(yīng)采用不燃或難燃保溫材料。5.4.13 排風(fēng)管路嚴禁穿越防火分區(qū)防火墻。排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置溶片式防火閥。5.4.14 排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)與火災(zāi)報警系統(tǒng)連動控制，嚴禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。5.5 消防系統(tǒng)5.5.1 硅烷站的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 .在發(fā)生硅烷火災(zāi)時，在沒有關(guān)閉泄漏鋼瓶之前，嚴禁撲滅硅烷火焰。2 .在發(fā)生火災(zāi)時，硅烷鋼瓶和使用到硅烷的相關(guān)的設(shè)備，應(yīng)有冷卻措施。3 .硅烷站嚴禁使用哈龍”滅火器。4 .硅烷站的消火栓系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016-2006中的有關(guān)規(guī)定。5 .5.2室外硅烷站的

32、消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 .設(shè)置在室外的硅烷站，應(yīng)設(shè)置雨淋系統(tǒng)來冷卻硅烷的輸送系統(tǒng)。保護部位包括硅烷鋼瓶、大宗硅烷儲罐及相關(guān)的工藝氣柜。2 .雨淋系統(tǒng)的設(shè)計噴水強度不小于12L/min.m2,火災(zāi)持續(xù)時間不小于2小時。3 .消防系統(tǒng)的管道應(yīng)采用金屬管材，接口采用絲扣、焊接管件。在站內(nèi)15m范圍內(nèi)的管道不應(yīng)采用以橡膠為密封材料的溝槽式連接方式。4雨淋系統(tǒng)啟動時，應(yīng)同時切斷硅烷的供應(yīng)。5當室外硅烷站設(shè)有屋頂?shù)确烙甏胧r，在此處可以設(shè)置濕式自動噴水滅火系統(tǒng)。設(shè)計噴水強度按照嚴重危險系II級考慮。設(shè)計噴水強度16L/min.m2，保護面積260m2。6室外硅烷站的附近應(yīng)設(shè)置室外消火栓，室外消火栓應(yīng)設(shè)置在距

33、大宗鋼瓶30m之外且46m之內(nèi)。4 .5.3室內(nèi)硅烷房間的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 .存儲和使用硅烷的房間應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)。設(shè)計噴水強度不低于嚴重危險級I級，設(shè)計噴水強度12L/min.m2,保護面積260m2。2 .硅烷氣柜應(yīng)自帶冷卻用的自動噴水滅火噴頭，該噴頭為快速反應(yīng)噴頭。6特種氣體管道輸送系統(tǒng)6.1 一般規(guī)定6.1.1 特種氣體輸送系統(tǒng)包括特氣管道系統(tǒng)、閥門分配系統(tǒng)、工藝設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)的管道、管件、閥門、過濾器、減壓裝置、卸壓裝置、壓力表（傳感器）等所有部件。6.1.2 生產(chǎn)廠房內(nèi)特種氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當與水電管線共架時，當相對密度小于或等于0.75的

34、氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部；相對密度大于0.75的特氣管道宜設(shè)在水、電管線上部。6.1.3 生產(chǎn)車間內(nèi)的可燃和有毒特氣體管道應(yīng)明敷，穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的機械連接處，應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。6.1.4 可燃特氣體與毒性特氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。特氣管道嚴禁穿過生活間、辦公室。6.1.5 特氣管道不得出現(xiàn)不易吹除的盲管等死區(qū)，避免U型彎。6.1.6 易燃性特氣體與氧化性特氣管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的接地設(shè)施。6.1.7 室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。6.2 材

35、料選型6.2.1 工藝和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進行潔凈和鈍化處理。6.2.2 腐蝕性氣體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或銀基合金材料的無縫鋼管。內(nèi)表面應(yīng)進行潔凈和鈍化處理。6.2.3 用于接觸工藝氣體的閥門的密封座，應(yīng)盡量減少塑料材質(zhì)的使用量和表面接觸面積，且材質(zhì)應(yīng)與氣體性質(zhì)匹配。6.2.4 雙層管的外層管道宜選擇經(jīng)過退火處理和酸洗處理的不銹鋼管道。6.2.5 排氣和尾氣真空管道宜采用不銹鋼管道，并經(jīng)過嚴格的脫脂處理。6.2.6 氧化性氣體應(yīng)采用專用禁油閥門、附件和管材,所有管件按規(guī)定進行脫脂處理。6.3 管道設(shè)計6.3.1 管道的壓力等級應(yīng)根據(jù)工

36、藝氣體的輸送壓力確定。管道設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范GB50316的要求。6.3.2 管道設(shè)計應(yīng)充分考慮用氣設(shè)備對流量和壓力的要求。應(yīng)參照現(xiàn)行國家標準工藝系統(tǒng)工程設(shè)計技術(shù)規(guī)定HG/T20570.7進行計算。6.3.3 管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準流體輸送用不銹鋼無縫鋼管GB/T14976的規(guī)定，小尺寸管道管壁厚度應(yīng)滿足下述要求：表6.3.3小尺寸軌道壁厚要求壁厚要求0.89mm(0.035")1.24mm (0.049")管道外徑6mm(1/4")-10mm(3/8")15mm(1/2”)20mm(3/4")25mm(1 ”)1

37、.65mm (0.065")6.3.4 液態(tài)特氣水平管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡向供液設(shè)備或收集器。6.3.5 對于強腐蝕性、自燃性和劇毒性危險性氣體，宜采用雙套管設(shè)計，內(nèi)管走工藝氣體。套管間可采用封閉或開放形式。6.3.6 對于輸送低蒸汽壓氣體，需要對管道設(shè)置伴熱和保溫措施。加熱溫度不宜超過50Co6.3.7 特氣管道應(yīng)采用全自動軌道焊接。閥件或管件處應(yīng)采用面密封連接，不應(yīng)采用螺紋或法蘭連接。6.3.8 特氣閥門應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥，不應(yīng)采用球閥、旋塞閥等閥門。6.3.9 特氣管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼墊片，墊片與特氣的性質(zhì)必須相容。6.3.10 產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝

38、過濾器。6.3.11 特氣管道系統(tǒng)安裝完成后，應(yīng)根據(jù)工藝的要求進行壓力測試、密封性測試和不純物測試。詳見特種氣體系統(tǒng)驗收章節(jié)。6.4 管道標簽6.4.1 特種氣體管道必須進行管道標示，標示方法應(yīng)按本節(jié)規(guī)定或企業(yè)內(nèi)部管道標示執(zhí)行。6.4.2 特種氣體管路標識應(yīng)包括氣體名稱、主要危險特性和流向箭頭，并通過各種顏色來表示管道內(nèi)介質(zhì)的危險特性。表6.4.1特種氣體管路標示顏色底色意義物質(zhì)特性物質(zhì)種類舉例字體顏色箭頭顏色紅色危險極易燃易爆、強毒性氣、液體等AsH3,SiH4,CH2F2PH3WF6ClF3,CQCC14等白色白色黃色壑生W口腐蝕性氣、液HBr,HCl,HF1黑色毒性。2黃色一警告色，表示

39、內(nèi)容物有腐蝕性、毒性，或?qū)θ梭w有危害性。3藍色/綠色一安全色，表示內(nèi)容物危險性很小，或根本沒有危險。6.4.3 標示應(yīng)有該物質(zhì)名稱描述，順序可根據(jù)實際情況進行調(diào)整。文字描述不僅包括管內(nèi)物質(zhì)名稱（化學(xué)物質(zhì)包含分子式），還應(yīng)包括特性（判定順序：易燃性、腐蝕性、毒性等其他性質(zhì)，其中特性的描述以最主要的性質(zhì)為依據(jù)）。中、英文及數(shù)字式樣如下所示：中文（黑體粗體字形）英文分子式和數(shù)字（Arial粗體字形）圖6.4.2管道標示SiH4硅烷-易燃易爆氣體箭頭記號表示管內(nèi)物質(zhì)的流動方向，顏色和字體顏色相同，尺寸與標示大小相匹配。6.4.4 標示的尺寸依管徑內(nèi)徑變化。如管路名稱比較長，可根據(jù)實際情況增加標簽的長度

40、。表6.6.3標示參數(shù)與管徑的對照管徑標示長標示高箭頭長字體高度度 度 度6mm(1/4)150mm 15mm(6")(1/2”)30mm 8mm(1.2" ) (1/4”)10mm(3/8”)15mm(1/2”)150mm(6”)150mm(6”)15mm(1/2”)15mm(1/2”)20mm(3/4")200mm 20mm(8”)(3/4”)25mm(1")-50mm(2”)50mm(2”)以上200mm 25mm(8”)(1”)300mm 40mm(12”)(1.5”)30mm (1.2”)30mm(1.2”)40mm(1.6”)40mm(1.6

41、”)60mm(2.4”)8mm(1/4”)8mm(1/4”)15mm(1/2”)20mm(3/4”)30mm(1.25” )6.4.5 管路上粘貼標簽應(yīng)符合下列規(guī)定：1水平直管部分：管路直徑100mm(4”)(含)以下,每隔3m粘貼一張，其中以主要走道上方為基準方位；管路直徑100mm（4"）（不含）以上，每隔6m粘貼一張，其中以主要走道上方為基準方位。2垂直直管部分：管路內(nèi)徑100mm（4"）（含）以下，每隔2m粘貼一張，并以地面向上150cm處為基準位置粘貼一張；管路內(nèi)徑100mm（4"）（不含）以上，每隔4m粘貼一張，并以地面向上150cm處為基準位置粘貼一

42、張。3管路的連接處（如閥件、彎頭），機臺與管路的接管處，和穿墻兩側(cè)部分都必須粘貼一張。標示的粘貼要遵循整齊的原則垂直管路上的標示上邊緣對齊。標示粘貼的角度要易于識別，使操作人員在操作或緊急突發(fā)情況下能迅速辨識。-箭頭標示如下：圖6.6.4粘貼標示2/15L箭頭長度1/5L標簽長度L1/3H1/6H7建筑結(jié)構(gòu)7.0.1布置于生產(chǎn)廠房的特種氣體間的耐火等級不應(yīng)低于二級。其結(jié)構(gòu)構(gòu)件的耐火極限應(yīng)該符合現(xiàn)行國家標準建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016的規(guī)定。7.0.2有爆炸危險的特種氣體間的承重結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)，房間應(yīng)沿建筑外墻布髻目O7.0.3有爆炸危險的特種氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準建筑

43、設(shè)計防火規(guī)范GB50016的規(guī)定設(shè)置泄壓設(shè)施。7.0.4有爆炸危險的特種氣體間的安全出口不應(yīng)少于2個，且宜分散布置，相鄰2個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m,其中1個應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門需要滿足防火及防爆要求。當爆炸危險房間的面積小于等于100m2,且同一時間的生產(chǎn)人數(shù)不超過5人時，可設(shè)置一個直接通往室外的出口。7.0.5惰性氣體間的安全出口不應(yīng)少于2個，且宜分散布置，相鄰2個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m,其中1個應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門應(yīng)為乙級防火門。當惰性氣體房間的面積小于等于150m2,且同一時間的生產(chǎn)人數(shù)不超過5人時，可設(shè)置一個直接通往室外的出口。7

44、.0.6有爆炸危險的特種氣體間與無爆炸危險房間之間，應(yīng)采用耐火極限不低于4h的不燃燒體防爆墻隔開，防爆墻上不應(yīng)開設(shè)門窗洞口，當設(shè)置雙門斗相通時，門應(yīng)錯位布置，門的耐火極限不應(yīng)低于1.2ho7.0.7有爆炸危險的特種氣體間的控制室應(yīng)與該氣體房間及相鄰其他房間應(yīng)采用耐火極限不低于3.00h的不燃燒體墻體分隔開。7.0.8特種氣體房間的門應(yīng)向疏散方向開啟，有爆炸危險房間的門窗應(yīng)采用撞擊時不產(chǎn)生火花的材料制作。7.0.9當相對密度小于或等于0.75時，散發(fā)較空氣輕的可燃性特種氣體間，頂棚應(yīng)平整、避免死角，特種氣體間上部應(yīng)通風(fēng)良好。7.0.10當相對密度大于0.75時，散發(fā)較空氣重的可燃特種氣體間，應(yīng)采

45、用不發(fā)火花的地面，并應(yīng)平整、耐磨、防滑。采用絕緣材料作整體面層時，應(yīng)采取防靜電措施。頂棚表面應(yīng)平整，避免死角，特種氣體房間不應(yīng)設(shè)計地溝，必須設(shè)置時，其蓋板應(yīng)嚴密，防止特種氣體的積聚。7.0.11特氣間的高度應(yīng)滿足工藝設(shè)備與管道布置的要求，并結(jié)合生產(chǎn)廠房的高度統(tǒng)一考慮，不宜低于4.5米。7.0.12特種氣體房間內(nèi)的裝修材料應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范GB50222的規(guī)定。8電氣與防雷8.1 配電與照明8.1.1 特種氣體站和特種氣體間的電力負荷分級不宜低于二級負荷；可燃、自燃、毒性與腐蝕性氣體設(shè)備應(yīng)為一級負荷；氣體管理與氣體泄漏探測系統(tǒng)為一級負荷中特別重要的負荷，必須配置不間斷電源

46、。8.1.2 有爆炸危險特種氣體站和特種氣體間的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)的電力裝置應(yīng)為1區(qū)設(shè)防，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準爆炸和火災(zāi)環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范GB50058的規(guī)定。8.1.3 特種氣體站房的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安裝在設(shè)備正上方，并應(yīng)設(shè)置備用照明。8.2 防雷與接地8.2.1 特種氣體間與硅烷站的防雷分類應(yīng)劃分為第二類防雷建筑，應(yīng)采取防直擊雷、防雷電感應(yīng)和防雷電波侵入的措施。8.2.2 突出屋面的放散管、風(fēng)管等物體，應(yīng)按下列方式保護：1排放爆炸危險氣體的放散管、排風(fēng)管的管口外空間應(yīng)處于接閃器的保護范圍內(nèi)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準建筑物防雷設(shè)計規(guī)范GB50057中第一類防雷建筑物對管口保

47、護范圍的規(guī)定。2排放物達不到爆炸濃度或一排放就點火燃燒的排放爆炸危險氣體放散管、排風(fēng)管；發(fā)生事故時排放物才達到爆炸濃度的通風(fēng)管；排放無爆炸危險氣體的放散管；1區(qū)和2區(qū)爆炸危險環(huán)境的自然通風(fēng)管；裝有阻火器的排放爆炸危險氣體的放散管、排風(fēng)管，其防雷保護應(yīng)符合下列要求：1）金屬物體可不裝接閃器，但應(yīng)和屋面防雷裝置相連；2）在屋面接閃器保護范圍之外的非金屬物體應(yīng)裝接閃器，并和屋面防雷裝置相連。8.2.3 架空敷設(shè)的可燃特種氣體管道，在進出建筑物處應(yīng)與防雷電感應(yīng)的接地裝置相連。距建筑100米內(nèi)的硅烷氣管道，宜每隔25米左右接地一次，其沖擊接地電阻不應(yīng)大于20Q。8.2.4 自燃、可燃、氧化性特種氣體設(shè)備

48、與管道應(yīng)采取防靜電接地措施。8.2.5 自燃、可燃、氧化性氣體的金屬管道在進出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分岔處及直管段應(yīng)每隔5080米處應(yīng)設(shè)防靜電接地。8.2.6 要求接地的設(shè)備與管道應(yīng)設(shè)接地端子。接地端子與接地線之間，可采用螺栓緊固連接；對有震動、位移的設(shè)備和管道，其連接處應(yīng)加撓性連接線過渡。8.2.7 特種氣體系統(tǒng)的電氣設(shè)備工作（系統(tǒng)）接地、保護接地、雷電保護接地以及防靜電接地等不同用途接地采用聯(lián)合接地方式時，接地裝置的接地電阻值應(yīng)按其中的最小值確定。8.2.8 防靜電接地為單獨接地時每組接地電阻宜小于100Q。9生命安全系統(tǒng)9.1 特種氣體管理系統(tǒng)9.1.1 使用特種氣體的生產(chǎn)廠

49、房宜設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)。特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)配置特種氣體的連續(xù)檢測、指示、報警、分析的功能、并且對報警進行記錄、存儲和打??；特種氣體管理系統(tǒng)宜為獨立的系統(tǒng)，并宜與工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)和消防報警控制系統(tǒng)通過數(shù)據(jù)總線相連。9.1.2 特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在全廠動力控制中心，在消防控制室和應(yīng)急處理中心宜設(shè)報警顯示單元和集中應(yīng)急閥門切斷控制盤。9.2 特種氣體泄漏探測系統(tǒng)9.2.1 儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置特種氣體泄漏探測裝置。1自燃、可燃、毒性氣體的使用場所、技術(shù)夾層等可能發(fā)生氣體泄漏處；2自燃、可燃、毒性氣體間；3自燃、可燃、毒性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風(fēng)管口處；4生產(chǎn)工藝設(shè)備的

50、可燃、自燃、毒性氣體接入閥門箱及排風(fēng)管內(nèi)；5生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理設(shè)備排風(fēng)口處；6惰性氣體房間（氧氣探測器）。9.2.2 配有PLC的氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤宜通過通訊接口與氣體管理控制系統(tǒng)通信。9.2.3 特種氣體探測系統(tǒng)可燃、自燃氣體、有毒氣體檢測裝置應(yīng)設(shè)置一級報警或二級報警，其中常規(guī)的檢測報警僅需一級報警，當需要聯(lián)動控制時，檢測裝置應(yīng)具有一級報警和二級報警。在二級報警的同時，輸出接點信號至一級報警聯(lián)動控制系統(tǒng)。9.2.4 自燃、可燃、毒性氣體檢測裝置報警設(shè)定值應(yīng)按以下要求確定：1自燃、可燃氣體的一級報警設(shè)定值小于或等于25%可燃氣體爆炸下限濃度值，二級報警設(shè)定值小于或等于

51、50%可燃氣體爆炸下限濃度值。2毒性氣體的一級報警設(shè)定值小于或等于50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值，二級報警設(shè)定值小于或等于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。9.2.5 自燃、可燃、毒性氣體檢測裝置的檢測報警響應(yīng)時間應(yīng)符合下列規(guī)定：1自燃、可燃氣體檢測報警：擴散式小于20秒，吸入式小于15秒。2毒性氣體檢測報警：擴散式小于40秒，吸入式小于20秒。9.2.6 當相對密度小于或等于0.75時，特氣探測器應(yīng)同時設(shè)置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。當相對密度大于0.75時，特氣探測器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.5米處。9.3 安全設(shè)施9.3.1 自燃、可燃、毒性氣體的儲存、分配及使用場所

52、應(yīng)設(shè)置閉路電視監(jiān)控攝象機、門禁。9.3.2 自燃、可燃、毒性氣體的儲存、分配及使用場所入口宜設(shè)置發(fā)光二級管顯示屏（LED）。9.3.3 自燃、可燃、毒性氣體的儲存、分配、使用場所內(nèi)及相關(guān)建筑主入口、內(nèi)通道等處應(yīng)設(shè)置燈光閃爍報警裝置，燈光顏色應(yīng)與其它燈光報警裝置相區(qū)別。9.3.4 在自燃、可燃、毒性氣體的儲存、分配、使用場所入口處應(yīng)設(shè)緊急手動按鈕，主要緊急手動按鈕設(shè)在應(yīng)急處理中心室。9.3.5 在地震多發(fā)地區(qū)，使用特種氣體的主要生產(chǎn)車間宜設(shè)置地震探測裝置，信號接入氣體探測系統(tǒng)。9.3.6 防地震系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列要求：1氣體站房地震儀應(yīng)在氣瓶柜的基座上設(shè)置一臺，以氣體室為基準點，等距離三角形延伸

53、廠區(qū)內(nèi)另兩點。地震儀不得設(shè)置于人員進出頻繁的地點，且應(yīng)避免受外力干擾而造成誤動作；9.3.7 封閉的可燃、自燃氣體的特種氣體間宜采用防爆紅外/紫外火焰探測器。9.3.8 氣體站房應(yīng)配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防護設(shè)施9.4 氣體報警的聯(lián)動控制9.4.1 氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，自動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置，并接受反饋信號。9.4.2 氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，自動關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并接受反饋信號。9.4.3 氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置，該聲光報警應(yīng)有別于火災(zāi)報警裝置,自動啟動應(yīng)急廣播系統(tǒng)。9.4.4 氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏后，應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動

54、防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁門，可聯(lián)動CCTV系統(tǒng)，啟動相應(yīng)區(qū)域的攝像機，并自動錄9.4.5 氣體探測系統(tǒng)確認氣體泄漏時，信號傳至發(fā)光二級管顯示屏（LED）,并告知現(xiàn)場人員。9.4.6 地震探測裝置探測到里氏5級以上地震，且兩臺地震探測裝置同時報警時，特種氣體管理控制系統(tǒng)確認收到的信號后，啟動現(xiàn)場的聲光報警裝置。同時，應(yīng)關(guān)閉氣瓶的切斷閥，且氣瓶柜、氣瓶架及閥門箱的閥門必須動作；10給水排水及消防10.1 給水排水10.1.1 管道外表可能結(jié)露時，應(yīng)采取防護措施。10.1.2 特種氣站內(nèi)的用水，除中斷供水將造成較大損失外，可以采用單路供水。10.1.3 特種氣體站排出的廢水，應(yīng)排入廢水處理站

55、處理合格后排放。10.1.4 毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間應(yīng)設(shè)置緊急洗眼器。10.2 消防10.2.1 特種氣體間室內(nèi)外消火栓的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準建筑設(shè)計防火規(guī)范GB50016的規(guī)定。10.2.2 特種氣體間中應(yīng)配置手提滅火器，其設(shè)計應(yīng)滿足現(xiàn)行國家標準建筑滅火器配置規(guī)范GB50140的規(guī)定10.2.3 特種氣體間內(nèi)存儲的特種氣體與水不發(fā)生反應(yīng)時，該特種氣體間應(yīng)設(shè)置濕式自動噴水滅火系統(tǒng)。1噴水強度8L/min.m2，保護面積160m2。2當特氣柜中自帶水噴淋系統(tǒng)時，在廠房內(nèi)設(shè)置的自動噴水滅火系統(tǒng)應(yīng)為該系統(tǒng)預(yù)留管道和信號閥。10.2.4 特種氣體間內(nèi)存儲的特種氣體如與水可發(fā)生劇烈反應(yīng)，該特種氣體間嚴禁采用水消防系統(tǒng)。11采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)11.1 通風(fēng)11.1.1 特種氣體間應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機械通風(fēng)系統(tǒng)，通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)滿足氣柜的排風(fēng)要求，并應(yīng)滿足房間最小通風(fēng)換氣次數(shù)每小時6次。11.1.2 特種氣體氣瓶柜和閥門箱應(yīng)設(shè)置機械排風(fēng)裝髻目O11.1.3 凡屬下列情況之一時，應(yīng)分別設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)：1兩種或兩種以上的氣體有害物混合后能引起燃燒或爆炸時；2混合后發(fā)生反應(yīng)，形成危害性更大或腐蝕性的混合物、化合物時；3混合后形成粉塵。11.1.4 特種氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量宜根據(jù)事故泄漏量計算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于每小時12次。特種氣體房間外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。11.1.5 特種氣體排風(fēng)