FEI臺(tái)式掃描電鏡PHENOM(飛納)

1、FEI司旗下Phencm World BV榮營(yíng)出品>X< FEI COMPANY- Tools for NanotechPhencm帝給您令人驚嘆的高質(zhì)量圖片和前所未有的高效率 詳情謂聯(lián)系Phencm World B舛國(guó)總代理Quantum Desgn中國(guó)子公司PHENOMWORLDQuantum De signFEE司旗下Phencm Worb BV榮管出品觸摸屏旋轉(zhuǎn)手柄在當(dāng)今計(jì)量臨界尺寸降到納米量級(jí)的 形勢(shì)下，如何保持行業(yè)領(lǐng)先地位和兗 爭(zhēng)力？ 一直以來(lái).FEI以向各行各業(yè) 提供最高分辨率的成像和分析工具f 致力于新領(lǐng)域的開(kāi)祐。現(xiàn)在我們自 豪地向您介紹Phencm 款能為顯 微領(lǐng)

2、域帝來(lái)新視野的成像工具。在此 以前,以如此低的價(jià)位實(shí)現(xiàn)如此高水 平的圖像質(zhì)墨、分辨率和樣品處理率r 是根本不可能的.Phencm使高端成 像成為所有人都能負(fù)擔(dān)起的現(xiàn)實(shí).PHENOMWORLD放大倍數(shù)：24-240OOX分辨率：30rm成像時(shí)間：30s主機(jī)體積:臺(tái)式電腦大小放置環(huán)境：普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室高質(zhì)量的圖像 3砂快速成像多種自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，操作簡(jiǎn)便全程導(dǎo)航功能可直接觀察不導(dǎo)電樣品兼得樣品表面形貌與成份信息長(zhǎng)壽命高亮度燈絲遠(yuǎn)程檢測(cè)功能豐富的拓展模塊：全景圖像拼合、3D®建、纖維測(cè)量系統(tǒng)FEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品金屈錫球圖像$戰(zhàn)底匕的Au引線圖像傳統(tǒng)SEM M

3、5KV加速電壓下得到的海葆圖像，電子穿透效應(yīng)非常嚴(yán)權(quán)Phenom得到的海濱圖像PHENOMWORLDPhencm采用低加速電壓(5kV)、 低真空度(01 mBar)與高亮度隈 壽命燈絲的最優(yōu)化組合，為您提供高 信噪比、表面細(xì)節(jié)豐冨的優(yōu)質(zhì)圖片：120X-24000腥續(xù)放大z 30rm高 分辨率，令人驚嘆的大景深。探測(cè)背散射電子，展現(xiàn)清晰形貌結(jié) 構(gòu)的同時(shí)，提供豐富的成份信息。 低加速電壓，電子穿透深度淺，避 免樣品的破壞，展現(xiàn)更多表面細(xì)節(jié)。Phencm采用專利真空技術(shù)，獨(dú)特的樣品杯和 低真空設(shè)計(jì)，為您省去了大呈抽真空的時(shí)間。 裝入樣品后3砂鐘內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像，耗 時(shí)僅為傳統(tǒng)電鎮(zhèn)的1/1咗右，

4、將極大的提高您:FEI COMPANY- Tools fo r NanotechPhencm直觀的用戶界面、簡(jiǎn)便的觸摸屏控制,以及各項(xiàng)自 動(dòng)調(diào)節(jié)功能，使用戶僅需極少的培訓(xùn)，就可以得到高質(zhì)臺(tái)的 圖像。獨(dú)一無(wú)二的設(shè)計(jì)將通常電子顯微鏡所具有的復(fù)雜性降 低到類似于光學(xué)顯微鏡的水平,使更多用戶可以輕松操作。點(diǎn)擊自動(dòng)聚焦按鈕,Phencm將自動(dòng)進(jìn)行聚焦，輕松得 到清晰圖像。也可根據(jù)用戶喜好r逬行手動(dòng)聚焦,精細(xì) 調(diào)節(jié).Phenom操竹界而：通過(guò)點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成 圖像縮放、聚焦、亮度對(duì)比應(yīng)調(diào)節(jié)、碇轉(zhuǎn)等操作. 界面右側(cè)顯禾光學(xué)導(dǎo)就和低fftSEM導(dǎo)WII.方便用 戶在不同樣品、不同區(qū)域何進(jìn)行切換。點(diǎn)擊自

5、動(dòng)調(diào)節(jié)亮度對(duì)比度按鈕,Phencm將自動(dòng)進(jìn)行亮 度、對(duì)比度調(diào)節(jié)。也可根據(jù)用戶喜好,逬行手動(dòng)調(diào)節(jié)。Phencm可通過(guò)調(diào)節(jié)線圈電流逬行燈絲對(duì)中,無(wú)需進(jìn)行 機(jī)械凋節(jié)。Phencm采用自動(dòng)樣品臺(tái),配合觸摸屏,通過(guò)點(diǎn)擊屏幕 上希望觀測(cè)的區(qū)域，即可輕松移動(dòng)樣品，移動(dòng)范圍 36mm x 36nm0Phenom獨(dú)仃的光學(xué)導(dǎo)航和低借SEM導(dǎo)航窗口導(dǎo) 埶窗口中的彩色矩形框折示了主窗口中的觀測(cè)區(qū) 域Phencm獨(dú)有的光學(xué)導(dǎo)航功能r為您全程提供整個(gè)樣品 的導(dǎo)航圖像，點(diǎn)擊導(dǎo)航圖像上感興趣的區(qū)域即可準(zhǔn)確移 動(dòng)樣品，方便您在不同樣品、不同區(qū)域之間切換。Phencm還為您提供低倍SHVI導(dǎo)航圖像，使您在髙倍觀 測(cè)時(shí)，不必再頻

6、繁的縮小、放大圖像來(lái)尋找感興趣的區(qū) 域，從而提高您的觀測(cè)效率.（Phencm也可恨據(jù)用戶喜好.使用舉標(biāo)健盤(pán)進(jìn)行控制）B劉氐充電效應(yīng)樣品杯利用標(biāo)準(zhǔn)樣品杯（上圖）與降氐充電效應(yīng)樣品杯（下圖）得到的頭發(fā)圖像PhencmS用專利低真空技術(shù)，背散射電 子成像，可以有效抑制充電效應(yīng)的產(chǎn)生， 使得直接觀測(cè)各種不導(dǎo)電樣品成為可能， 為您免去了耗時(shí)費(fèi)力的預(yù)處理過(guò)程。利用降低充電效應(yīng)樣品杯，更可將開(kāi)始充 電的放大倍數(shù)提高醋左右。QuantumDesignFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品成份模式成像原理:恢背叡射探測(cè) 器扇區(qū)所得的信號(hào)相疊加.成份模式圖像 包含樣品成份與形貌信息形貌模式成像原理:

7、鐵背散射探測(cè)器扇 區(qū)分為相對(duì)的兩組.所得的信號(hào)相減.形貌摸式圖像 僅突出樣品表面形貌特征Phencm選擇背散射電子成像 背散射電子的產(chǎn)率、出射角 度,與樣品成份和表面形貌息 息相關(guān),因而可以同時(shí)給出樣 品成份和形貌信息。Phencm采用備區(qū)式背散射 電子探測(cè)器，為您提供兩種成 像模式：成份模式（Fullmode）同 時(shí)給出樣品表面形貌與成份 信息，不同元素可由其對(duì)比 度的不同加以分辨.形貌模式（Topographical mode）在圖像中去除了成 份不同所造成的差異,強(qiáng)化 樣品的3Dfg息，使樣品表面 的凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加 明晰。尤其適用于表面粗糙 度和缺陷分析。Phencm可以快速的在

8、兩種成 像模式間任意切換。Phencm采用CeBT絲f不僅殼度為鵠燈絲的10（咅為您提 供更高的圖像對(duì)比度,壽命更是長(zhǎng)達(dá)1500J時(shí)f為磚燈絲的 1540（咅,可正常使用24年無(wú)需更換燈絲r免去了您頻繁更 換燈絲的麻煩保證工作逬度。Phencm可以放置在幾乎任意的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中f無(wú)需超凈間。 各主要部件相互固走在一起,農(nóng)動(dòng)不會(huì)引起各固件之間的相對(duì) 運(yùn)動(dòng)，使得Phencm成像不受震動(dòng)影響。Phencm擁有遠(yuǎn)程檢測(cè)功 能,通過(guò)網(wǎng)絡(luò),專業(yè)工程 師可隨時(shí)為您遠(yuǎn)程檢測(cè)系 統(tǒng)、答疑解難f為您提供 全方位的保護(hù),讓您的 Phencm隨時(shí)處于最佳工 作狀態(tài)。PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/

9、orb BV榮管出品Tools for NanotechPHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品適用于30rm高分辨率成像，不僅適用于粉末 ,薄膜，同時(shí)適用于不規(guī)則形狀的三維樣品。最大樣品尺寸：直徑：2 Sum ;高30Tjm無(wú)需噴金,可以直接觀察不導(dǎo)電樣品，從而獲 得樣品的原始形貌和成份信息。最大樣品尺寸：直徑：29nm ;高3(TnmPH

10、ENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品在顯微圖像觀測(cè)中，獲得表面平滑的樣品的常 規(guī)辦法是鑲嵌和拋光等技術(shù)。金相樣品杯可用 于觀測(cè)鑲嵌在樹(shù)脂等材料中的樣品。最大樣品尺寸：直徑：32nrn ;高3(Tnrn適用于金相研究中不導(dǎo)電樣品的直接觀測(cè)。獲 得樣品的原始形貌和成份信息。最大樣品尺寸：直徑：32nm ;高30nmPHENOMWORLDFEE司旗

11、下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品采用特制夾具將微型電子器件 x太陽(yáng)能電池以及其他晶片狀 材料固走在樣品杯中,使其免 遭到破壞。測(cè)試后，樣品可以 主好無(wú)損的取下，重新回到制 備環(huán)節(jié)中去,或者參與其他損 耗檢測(cè)。適合于涂層以及多層半導(dǎo)體器 件等斷口、斷面的觀測(cè)。與傳 統(tǒng)的耗時(shí)又費(fèi)錢(qián)的樹(shù)脂鑲嵌相 比,這種辦法簡(jiǎn)單而快速,且 不需要螺絲等其它工具來(lái)固走適用于鉆頭.鑼刀、鉆桿雕刻工具、針頭.纖 維、(燃油)噴嘴以及鉛筆等長(zhǎng)度較長(zhǎng)，且有 角度要求的樣品成像。樣品直接裝進(jìn)樣品杯即 可,無(wú)需其他輔助工具。最大樣品尺寸：直徑lO

12、nm ;長(zhǎng)度lOQnm傾斜角度:- +4CT旋轉(zhuǎn)角度：十/3SPhencm Pro Su進(jìn)專為Phencm臺(tái)式掃描電子顯微置 設(shè)計(jì)的應(yīng)用模塊，其開(kāi)發(fā)目的是使用戶可以從Phencm的 SB/1圖像中提取更多信息，拓展Phencm的應(yīng)用，滿足特 走的用戶需求。自動(dòng)全景圖像拼合遠(yuǎn)程控制界面 M easurelT標(biāo)準(zhǔn)Phencm Pro Suite漠塊用戶界面 3Dffi糙度重建纖維系統(tǒng)HB自動(dòng)全景圖像拼合模塊使得用戶 可以得到大范圍的高分辨圖像。用戶只需在總覽圖中定義掃描區(qū) 域，自動(dòng)全景圖像拼合模塊將自 動(dòng)開(kāi)始以指走的分辨率對(duì)該區(qū)域 逬行掃描。所得圖像將拼合成一 副全景圖像加以保存，方便進(jìn)行 進(jìn)一步

13、的觀測(cè)所有圖片也將分最大8 0亦m的超大視野（FOV），完整呈現(xiàn)樣品全貌-高達(dá)M乙像素的超高分辨率自動(dòng)采集圖像，每分鐘可采集超過(guò)10（1長(zhǎng)1024 x 102尙辨率的 圖像-簡(jiǎn)明的單頁(yè)用戶界面，操作簡(jiǎn)便-可與纖維系統(tǒng)聯(lián)用PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品別保存。PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品左：利用自動(dòng)全星圖像拼合得到的2 46x2 4dnm半導(dǎo)體元件的高分辨全星圖像,分辨率高達(dá)850（萬(wàn)像素。 右：局部特寫(xiě)揭示樣品的表面細(xì)節(jié)Phencm

14、 Pro Suite應(yīng)用模塊中的遠(yuǎn)程控制界面使 得用戶可以在不同地點(diǎn)對(duì)Phencm進(jìn)行遠(yuǎn)程操作， 您也可以在報(bào)告中實(shí)時(shí)演示Phencm中的圖像；也 為在不同地點(diǎn)的同事之間的合作提供了便利。對(duì)圖像迸行各種離線處理和測(cè)量。PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品Tools fo r Nanotech3D粗糙度重建摸塊（3D Roughness Reconstructbn）是Phencm臺(tái)式掃描電彊所 獨(dú)有的強(qiáng)大圖像處理工具。借助3（湘糙度重建 模塊，Phencm可以產(chǎn)生樣品的3C®原圖,對(duì) 其進(jìn)行任意旋轉(zhuǎn)，并逬行亞微米呈級(jí)的粗糙度 測(cè)星，矜助用戶更加細(xì)致

15、的分析樣品形貌。紋理分析腴陷&失效分析.摩擦學(xué)瘩扌員分析機(jī)械加工的質(zhì)呈控制證物鑒走鉆頭表面S時(shí)圖像,放大倍數(shù)600耳圖像中可以看到鉆頭表面磨損所致的紋理，但由于為像,紋理的起伏目動(dòng)創(chuàng)建3像,通過(guò)顏色指示高度過(guò)濾后的3矚像 3怪像可任意旋轉(zhuǎn)目動(dòng)粗糙度測(cè)量-Ra（平均粗糙度）和Rz（粗糙高度）用戶可設(shè)定波紋過(guò)濾支持跌同時(shí)測(cè)呈.遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機(jī)械測(cè)星手段高分辨率高精度不破壞樣品無(wú)需傾斜樣品不夠直觀，無(wú)法進(jìn)行較為精確的測(cè)量。數(shù)秒之內(nèi)完成快速3建鉆頭表面SB/1圖像,放大倍數(shù)2900X左：利用36且糙度重建懊塊得到的鉆頭表面的3D重建圖像r圖像可進(jìn)行任意角度的旋轉(zhuǎn)，使得祥品表面的粗糙起 伏變得更加

16、明晰.圖中包含三條測(cè)臺(tái)曲線，右側(cè)區(qū)域內(nèi)顯示了 R看R甜測(cè)星結(jié)杲.右：左圖中的測(cè)星結(jié)杲的放大 圖r給出了樣品表面起伏高度的走呈測(cè)量結(jié)果:鉆頭表面最大溝壑深度為113im#PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm World BV榮晉出品%PHENOMWORLDFEE司旗下Phencm World BV榮晉出品纟千維系統(tǒng)使得直接觀察和測(cè)呈微米、納米纖維 變得前所未有的快捷.簡(jiǎn)單。結(jié)合Phencm臺(tái) 式掃描電子顯微鏡，纖維系統(tǒng)可以使您獲得微 米、納米纖維的精確尺寸信息。纖維系統(tǒng)的自動(dòng)圖像表征功能可以在幾秒內(nèi)完 成數(shù)百次測(cè)呈，提供更加精確的數(shù)據(jù)。與以往 耗時(shí)費(fèi)力且精確度難以保證的手動(dòng)測(cè)呈相比 纟

17、千維系統(tǒng)將為您節(jié)省大量時(shí)間、精力,給您最 大的回報(bào)。纖維系統(tǒng)用戶界面，圖中顯示了纖維及孔徑測(cè)最過(guò)濾網(wǎng)膜織物造紙自動(dòng)測(cè)量,幾秒內(nèi)完成數(shù)百次測(cè)最,節(jié)省時(shí)間每張圖片測(cè)臺(tái)ijoocm;自動(dòng)生成統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)可以觀察和測(cè)最從納米到微米星級(jí)的 纟千維同Phencm連接，可逬行實(shí)時(shí)測(cè)臺(tái)數(shù)據(jù)可以標(biāo)準(zhǔn)格式導(dǎo)出空代過(guò)濾網(wǎng)SHV1圖像左：纖維東統(tǒng)白動(dòng)進(jìn)行纖維亙徑及孔徑的測(cè)星右：左圖中纖維尺寸的分布柱狀統(tǒng)計(jì)圖。用戶可以對(duì)統(tǒng)計(jì)圖坐標(biāo)進(jìn)行調(diào)整。纖維的最小、 最大及平均尺寸均顯示在圖片下方.%PHENOMWORLDFE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品Tools fo r Nanotech齒輪木炭 1 o球形石墨全

18、屬濾網(wǎng)FE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品FE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品11卵殼內(nèi)側(cè)過(guò)濾纖維奶粉顆粒藥物中間體PHENOMWORLDFE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品Tools for NanotechFE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品FE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品太陽(yáng)能電池表面太陽(yáng)能電池?cái)嗝?2球墨鑄鐵FE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品FE1司旗下Phencm AA/orb BV榮管出品13小昆蟲(chóng)霉菌泡子海藻濾膜上的細(xì)菌PHENOMWORLD寸寸ud-:a)alun 一 urtnoLIDS'X(xe£ mZH09_0s"<>0寸GOHHH%08v卩om雖6>I9PUJUJ£S6mx 云 morslx(M sa 1© ee(£ 寸卜x(p oomx(M 9SI 常 6>js 寸、ee(£ mx 云 0AX(M S 寸 I 購(gòu)w 6>IOSUJUJ(£ S6寸x(p 99SX(M 980 定州SSIVEE9rnX 9cnguf8 寸 00 * g 寸 orM寸rslOT X 寸NOT 179 X 這9 9S