XPS能譜處理數(shù)據(jù)的方法(中國(guó)科學(xué)院)(共15頁(yè))

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上XPS能譜數(shù)據(jù)處理能譜數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化成ASC碼文件后可以用EXCEL、ORIGIN等軟件進(jìn)行處理。這篇文章的目的是向大家介紹用ORIGIN軟件如何處理能譜數(shù)據(jù)，以及它的優(yōu)勢(shì)所在。下面將分三部分介紹如何用ORIGIN軟件處理能譜數(shù)據(jù)：1、多元素譜圖數(shù)據(jù)處理 2、剖面分析數(shù)據(jù)處理 3、復(fù)雜譜圖的解疊一、多元素譜圖的處理： 1、將ASC碼文件用NOTEPAD打開(kāi)：元素名稱(chēng)X軸起始點(diǎn)采集的數(shù)據(jù)點(diǎn)總數(shù)X軸步長(zhǎng)Y軸數(shù)值2、復(fù)制Y軸數(shù)值。打開(kāi)ORIGIN，將Y軸數(shù)據(jù)粘貼到B（Y）：3、如圖：點(diǎn)擊工具欄plot，選擇line4、出現(xiàn)下圖：點(diǎn)擊B（Y），再點(diǎn)擊<->Y，使B（Y）

2、成為Y軸數(shù)據(jù)。然后在“set X values”中輸入起始值和步長(zhǎng)。5、點(diǎn)擊OK，得到下圖：6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的進(jìn)行平滑、位移。A. 位移：1）如圖：選擇analysisàtranslateàvertical或horizontal可以進(jìn)行水平或垂直方向的位移。我們以水平位移為例進(jìn)行講解。2）在圖中雙擊峰頂，如圖示（小窗口給出的是此點(diǎn)的X，Y值） 3）然后在圖中單擊其他位置找到合適的X值（小窗口給出的是紅十字的X，Y值） 4）雙擊紅十字的位置，峰頂就會(huì)位移到此處：位移可以反復(fù)多次的進(jìn)行，垂直方向的位移和水平方向的一樣。B、平滑1）如圖選擇：2）出現(xiàn)下面的小

3、窗口3）點(diǎn)擊settings出現(xiàn)下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，選擇”replace original”,如果想重新做圖選”add to worksheet”，下面的數(shù)值不用改變）4）點(diǎn)擊operation,選擇savizky-golay進(jìn)行平滑。得到下圖： 二、剖面分析數(shù)據(jù)處理：1、用寫(xiě)字板打開(kāi)ASC碼文件，選取所需要的元素Y軸數(shù)據(jù)起始值及步長(zhǎng)元素名稱(chēng)剖面分析中的CYCLE 數(shù) 2、打開(kāi)ORIGIN軟件，如圖示：選擇columnàadd new columns 如果你的數(shù)據(jù)有九個(gè)cycle那么你要在下面的窗口選擇8。然后在B（Y）.J（Y）中依次輸入不同cycle的Y軸數(shù)值

4、點(diǎn)擊圖中下方工具欄的waterfallwaterfall然后在下圖中先輸入X軸起始值及步長(zhǎng)，再將Y值輸入（點(diǎn)擊B（Y），然后按住SHIFT鍵不放，再點(diǎn)擊最后一個(gè)Y值選項(xiàng)：如E（Y），松開(kāi)SHIFT 鍵，點(diǎn)擊ADD 鍵。點(diǎn)擊OK得到下圖：顏色代表字母，對(duì)應(yīng)于cycle數(shù)前后翻轉(zhuǎn)工具，用上法作圖，得到的譜圖需翻轉(zhuǎn)選項(xiàng)X OFFSET 決定視角，Y OFFSET 決定兩條譜線間距譜圖修改工具欄應(yīng)用修改工具得：（X OFFSET 設(shè)為0，Y OFFSET 設(shè)為100）注意譜線對(duì)應(yīng)的CYCLE數(shù)如果想要得到其中某一個(gè)cycle的譜圖，只要調(diào)出原來(lái)的worksheet（數(shù)據(jù)表），再次點(diǎn)擊waterfall

5、。輸入X軸數(shù)據(jù)，然后只選一組Y軸數(shù)據(jù)（和多元素分析一樣），就可以了。注：不同樣品同種元素比較也可以用此種方法三、譜圖解疊：和多元素分析步驟一樣，經(jīng)過(guò)平滑、位移,得到下圖：（注：畫(huà)圖時(shí)，先輸入X軸步長(zhǎng)等，再輸入Y軸數(shù)據(jù)）1、 去本底：選擇toolsàbaseline2、 出現(xiàn)下面的窗口，選擇baseline，將number of points后的參數(shù)改小一些，比如2，點(diǎn)擊create baseline4、出現(xiàn)下圖：選擇小窗口中的modify：5、拖動(dòng)每一點(diǎn)到合適的位置（點(diǎn)住鼠標(biāo)左鍵不放一直拖到合適的位置）：如圖6、然后選擇substract得到7、分別點(diǎn)擊X軸、Y軸將坐標(biāo)更換為原來(lái)順序

6、和數(shù)值：8、如圖：選擇analysisàFit multi-peaksàgaussian9、出現(xiàn)下面的窗口：按需要擬合的子峰個(gè)數(shù)輸入10、點(diǎn)擊ok，得到：11、點(diǎn)擊OK默認(rèn)選擇，根據(jù)譜圖的形狀雙擊選擇子峰位置（紅十字代表峰頂）：如圖12、剛才設(shè)置為兩個(gè)子峰，所以雙擊兩個(gè)位置，這時(shí)電腦自動(dòng)計(jì)算出相關(guān)數(shù)據(jù)：如果想要看擬合后的曲線，需激活（調(diào)出）譜圖窗口。然后，選擇analysisànon liner curve fit 如圖：13、得到：14、上圖不合理，兩子峰半峰寬相差太大，需要加入新的子峰進(jìn)行調(diào)整。點(diǎn)擊下圖中more按鈕15、出現(xiàn)下圖：更改為2增加一個(gè)子峰，依次類(lèi)推點(diǎn)擊此按鈕出現(xiàn)此圖界面16、選擇basic modeàstart fitting回到原界面，點(diǎn)擊1 lter和10 lter 直到出現(xiàn)新的子峰峰位置、半峰寬和面積17、上圖明顯也不合理，調(diào)節(jié)小窗口中各個(gè)子峰的數(shù)值 18、然后點(diǎn)擊下圖中done按鈕，再次選擇analysisànon-linear curve fit,反復(fù)修改直到得到滿(mǎn)意的譜圖多元素分析注意事項(xiàng)：l 不能一味的平滑，有時(shí)不平滑反而能更準(zhǔn)確的反映樣品的性質(zhì)l 位移要有理有據(jù)，不能按自己的需要移動(dòng)。解譜注意事項(xiàng)：Ø 各個(gè)子峰的半峰寬要盡量接近Ø 如果所解譜圖