四十八所擴(kuò)散作業(yè)指導(dǎo)書現(xiàn)場(chǎng)版本

1、 規(guī)范四十八所擴(kuò)散爐常規(guī)維護(hù)項(xiàng)目的操作二、 適用范圍適用于佳誠(chéng)太陽(yáng)能有限公司電池車間擴(kuò)散一到四線工序三、 規(guī)范性引用文件四十八所擴(kuò)散爐操作說明書四、 職責(zé)設(shè)備人員:1、檢查溫控儀表及熱電偶是否正常2、檢查觸摸屏是否偏移,矯正3、檢查電氣線路按鈕開關(guān)及指示燈是否正常4、檢查插片房風(fēng)機(jī)是否正常5、檢查變壓器及爐體接線端子是否老化、發(fā)黑等現(xiàn)象6、保養(yǎng)完后,確認(rèn)每臺(tái)爐管加熱、流量正常工藝人員:1、負(fù)責(zé)協(xié)助生產(chǎn)拆裝廢液瓶夾子2、檢查有毒氣體管道密封性和老化程度,是否需要更換 生產(chǎn)員工:1、檢查傳動(dòng)是否平滑,有無震動(dòng)和異響,加潤(rùn)滑油2、清理凈化濾網(wǎng),必要時(shí)更換3、清理廢氣室及廢氣管滴下的偏磷酸4、檢查恒溫

2、水槽不銹鋼源瓶座是否有積水,清理5、檢查恒溫水槽液位是否過低;控溫等是否正常6、檢查氣路是否有漏氣現(xiàn)象,更換卡套和四通閥7、檢查廢液瓶?jī)?nèi)廢液,是否需要清理 五、 設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) : 六、設(shè)備介紹與操作總體結(jié)構(gòu)分為四大部分,見平面安裝圖 1,從右到左為:控制部分、推舟凈化部 分、電阻加熱爐部分、氣源部分。 圖 1 軟著陸擴(kuò)散爐平面安裝圖 1.2.1工控機(jī)控制框圖見圖 2。 圖 2在控制柜的底層, 安裝有四管控制系統(tǒng)的推舟控制裝置、保護(hù)電路、 電路轉(zhuǎn)接控 制板及各層的開關(guān)、保險(xiǎn)等 , 前蓋板上裝有三相電源指示燈及照明、凈化、抽風(fēng)開 關(guān)等。 該柜內(nèi)有 220V 的交流電,也有 15V 、 5V 直

3、流電和控制信號(hào)線,檢修時(shí)請(qǐng)注意 區(qū)分及安全,謹(jǐn)防接錯(cuò)和短路。推舟凈化柜的頂部裝有照明燈;正面是懸臂槳推拉舟機(jī)構(gòu),推舟水平運(yùn)動(dòng)采用 步進(jìn)電機(jī) +減速機(jī) +同步帶 +同步帶輪的傳動(dòng)機(jī)構(gòu),推動(dòng)懸臂槳水平移動(dòng);推舟垂直運(yùn) 動(dòng)采用步進(jìn)電機(jī) +減速機(jī) +升降機(jī)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),推動(dòng)推舟底板整體上下移動(dòng)。導(dǎo)軌的 兩端和上下運(yùn)動(dòng)的兩端都裝有限位開關(guān)和極限保護(hù)開關(guān)?？拷鼱t口的凈化柜頂部設(shè) 有漏斗狀的抽氣罩,與外接抽風(fēng)系統(tǒng)連接后,用來排掉出舟時(shí)散發(fā)的大量高溫有毒 氣體。 電阻加熱爐柜共有六層。 頂層配置有水冷散熱器及排熱風(fēng)扇, 廢氣室頂部設(shè)有抽 風(fēng)口,與外接負(fù)壓抽風(fēng)管道連接后,可將工藝過程殘余的廢氣帶走。中間部分分四層

4、放置四個(gè)爐管, 每層由四個(gè)坡面支架托起并固定住爐管, 其位置在安裝時(shí)已經(jīng)與推舟送片機(jī)構(gòu)調(diào)正,因此切不可輕易挪動(dòng)。爐管上從左至右分別有 六個(gè)接線端子,請(qǐng)務(wù)必根據(jù)接線端子及線頭上的標(biāo)號(hào)對(duì)應(yīng)連接,連接時(shí),請(qǐng)使線與 爐管外壁保持一定的距離,以防電纜因過熱而短路。在爐管外壁的中部,可以看到 有五個(gè)熱電偶接線座,中間三個(gè)的座內(nèi)各接有兩支熱電偶,熱偶用來控溫,熱偶 為超溫保護(hù)熱電偶?？販?zé)犭娕紡淖笾劣曳謩e用紅 (+、綠 (-兩根補(bǔ)償導(dǎo)線對(duì)應(yīng) 連接控制柜上對(duì)應(yīng)層的左附控、控、控、控、右附控溫控儀,保護(hù)熱電偶則 連接到控制柜對(duì)應(yīng)層的保、保、保溫度保護(hù)儀。 熱電偶插在座子里,由兩個(gè)螺釘固定,請(qǐng)不要隨意調(diào)動(dòng)它們,因

5、為熱電偶的 位置對(duì)溫度控制精度及爐溫的穩(wěn)定性至關(guān)重要。每管爐體的右側(cè)設(shè)置有廢氣室,以排放工藝過程中產(chǎn)生的有毒有害氣體。爐柜的底層安裝有四管加熱爐的功率部件(可控硅、散熱器、接觸器、變壓器、 可控硅過零觸發(fā)器等 。底部背面的門板上裝有散熱風(fēng)機(jī),用以對(duì)可控硅進(jìn)行散熱。 氣源柜分為五層。頂部設(shè)置有排毒口,用以排除在換源過程中泄漏的有害氣體。 柜頂設(shè)置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進(jìn)氣接口,接口以下安裝有減壓閥、截 止閥,用以對(duì)進(jìn)氣壓力進(jìn)行控制及調(diào)節(jié)。對(duì)應(yīng)于氣路,各層分別裝有相應(yīng)的電磁閥、 氣動(dòng)閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、及源瓶冷阱等。 停爐后再運(yùn)行工藝前,必須認(rèn)真檢查各減壓閥的壓力是否在要求

6、的范圍之內(nèi)、 各手動(dòng)閥是否都處在打開的位置,特別是源瓶上的聚四氟手動(dòng)閥更應(yīng)仔細(xì)檢 查, 確保其已打開, 否則有炸瓶的危險(xiǎn); 對(duì)外的排氣軟管及廢液瓶也應(yīng)經(jīng)常檢 查和清洗,防止由于廢液和偏磷酸殘?jiān)氯艿蓝鹪雌勘ā?氣路配置見圖 3 。 圖 3 1. 3系統(tǒng)控制原理系統(tǒng)控制方框圖見圖 4,總控制原理圖見所附電路圖 WK92.0-DL 。 圖 4 2設(shè)備開關(guān)機(jī)流程圖 2. 1設(shè)備開機(jī)流程圖如下: 2.2設(shè)備關(guān)機(jī)流程圖如下: 3使用、操作應(yīng)緩慢將水倒入恒溫槽內(nèi) , 避免因管道內(nèi)的空氣不能排出而導(dǎo)致循環(huán)泵不工作。 3.1.2恒溫槽的溫度設(shè)定, 上、 下極限超溫保護(hù)的設(shè)定以及其他使用中應(yīng)注意的事項(xiàng),

7、 詳見所附的恒溫槽操作使用說明書。工控機(jī)主機(jī)及其板卡均選用臺(tái)灣研華公司產(chǎn)品。整個(gè)工藝過程包括:自動(dòng)進(jìn) 出舟、凈化風(fēng)機(jī)的開啟和關(guān)閉、斜率升降溫、分段恒溫、開關(guān)電磁閥、質(zhì)量流量控 制器流量控制等各步驟工藝參數(shù)及工藝時(shí)間均可預(yù)先設(shè)置 (可預(yù)置 100條工藝曲線 。 各部分檢查無誤后,按下電控柜相應(yīng)層上的電源上電開關(guān),開啟計(jì)算機(jī)。此時(shí)擴(kuò)散 爐監(jiān)控系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng),輸入密碼進(jìn)入操作界面后,系統(tǒng)完成初始化動(dòng)作:即關(guān)閉電 磁閥,清除流量信號(hào),清除舟位置信號(hào)。選定工藝曲線后,啟動(dòng)運(yùn)行鍵,計(jì)算機(jī)自 動(dòng)按程序完成全工藝過程,并可自動(dòng)監(jiān)測(cè)和記錄工藝過程中的全部參數(shù)。詳細(xì)使用 方法見所附計(jì)算機(jī)操作使用說明書。 注意在設(shè)備

8、運(yùn)行及暫時(shí)停用過程中,請(qǐng)保持計(jì)算機(jī)主機(jī)箱及顯示器的電源開 關(guān)始終處于開啟狀態(tài);關(guān)機(jī)時(shí)退出監(jiān)控系統(tǒng)后,在 windows 下選“關(guān)閉計(jì)算機(jī)” ,然后關(guān)掉面板上的上電開關(guān)即可。4.1 數(shù)據(jù)錄入 圖 4由于擴(kuò)散爐的計(jì)算機(jī)的輸入采用觸摸屏的操作方式,因此在監(jiān)控程序的運(yùn)行期 間,所有的數(shù)據(jù)輸入操作均通過觸摸屏進(jìn)行輸入。監(jiān)控程序的數(shù)據(jù)輸入操作除“工 藝編輯”窗體中的工藝參數(shù)的輸入外,均使用如圖 4所示的“數(shù)據(jù)錄入”窗體來進(jìn) 行數(shù)據(jù)輸入。在用戶選中一個(gè)輸入對(duì)象后, “數(shù)據(jù)錄入”窗體就會(huì)自動(dòng)彈出,只需在 該窗體中點(diǎn)擊相應(yīng)的字母、數(shù)字和功能按鈕就可輸入相應(yīng)的數(shù)據(jù),輸入完成后再單 擊“確定”按鈕,則輸入完畢。系統(tǒng)

9、會(huì)自動(dòng)檢查用戶的輸入是否正確,如果不正確 則給出相應(yīng)的提示,例如出現(xiàn)圖 5所示的信息。 圖 54.2登錄 /注銷點(diǎn)擊運(yùn)行監(jiān)控程序后, 即出現(xiàn)登錄界面。 用戶必須正確登錄才可使用該監(jiān)控程序。 在用戶名輸入框中選擇已存在的用戶名,并在密碼輸入框中輸入該用戶的密碼后, 單擊“確定”按鈕,如果沒有出現(xiàn)任何提示,即登錄成功,否則系統(tǒng)將給出相應(yīng)的 提示。 圖 6在程序運(yùn)行期間, 單擊工具欄的 “注銷” 按鈕, 即可注銷本次的登錄。 在注銷后, 用戶不能進(jìn)行任何其它操作,必須點(diǎn)擊工具欄的“登錄”按鈕進(jìn)行重新登錄后,才 可繼續(xù)操作。注銷期間,工藝的自動(dòng)運(yùn)行等不受影響。 6、設(shè)備維護(hù) 主要維護(hù)項(xiàng)目:6.1. 更

10、換拆石英尾氣管流程 準(zhǔn)備好相應(yīng)的工具 把爐內(nèi)溫度設(shè)為 600 拆除石英尾氣瓶上面的連接頭拆除后要用耐酸手套包好與尾氣瓶連接的另外一端,以防止殘液滴下。 拆除石英尾氣管與廢液瓶的連接,并拿出廢液瓶。 抽出尾氣管,并放在指定的地方。6.2. 裝管流程把尾氣管插入石英管尾部的孔中,放好并擰緊夾子上的螺母。 (注意:夾子的螺母 要松緊適度,以防止石英管熱膨脹導(dǎo)致破裂。 6.4 周維護(hù)項(xiàng)目 6.5 月維護(hù)項(xiàng)目1-4線開管擴(kuò)散爐月份保養(yǎng)維護(hù)表 備注:1、設(shè)備維護(hù)結(jié)束后,維護(hù)表上需有維護(hù)項(xiàng)目執(zhí)行者 /制造部當(dāng)班工序長(zhǎng)和設(shè)備負(fù)責(zé)人的簽名確認(rèn)。 2、確認(rèn)設(shè)備正常后,必須進(jìn)行走片試運(yùn)行半小時(shí),確保設(shè)備處于完好狀態(tài)。6.6 年維護(hù)項(xiàng)目 3、石英物品清洗職責(zé)安排:設(shè)備人員:負(fù)責(zé)爐管的拆裝、爐管搬運(yùn);工藝人員:負(fù)責(zé)提供溶