casaxps作圖說(shuō)明

1、Casaxps作圖說(shuō)明制作人：趙華麗 劉玉萍1.不同格式數(shù)據(jù)之間的轉(zhuǎn)換 Casaxps處理filename.vms格式的數(shù)據(jù)，我們的儀器可以直接給filename.vms格式的數(shù)據(jù)，但一般情況下給出的是filename，不加任何后綴的文件，這種文件可以用記事本，excel，origin等打開，但是不能用Casaxps打開，但是可以轉(zhuǎn)換成可以用casaxps打開的文件，轉(zhuǎn)換方式如下：（1）將非filename.vms格式數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成filename.vms格式數(shù)據(jù) 將我們給出的原始數(shù)據(jù)用excel打開，將binding energy和intensity（CPS)兩列數(shù)據(jù)取出放在一個(gè)新建的txt文檔

2、下，刪掉一些沒用的東西，確保數(shù)據(jù)格式符合X-Y兩列。將修改好的txt文檔改為dat文檔（直接修改后綴），然后將dat文件放在一個(gè)只有dat文件的，這個(gè)很重要，如果這個(gè)文件夾里有其它格式的文件，那么就無(wú)法完成數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換。打開casaxps軟件，點(diǎn)convert按鈕，在專門存放dat數(shù)據(jù)的文件夾下找到需要轉(zhuǎn)換的文件，打開就完成了轉(zhuǎn)換。記住，一旦打開就會(huì)在該文件夾下生成一個(gè)filename.vms格式的文件，這樣會(huì)導(dǎo)致其它文件無(wú)法轉(zhuǎn)換，將這個(gè)新生成的文件轉(zhuǎn)移到其它文件夾下就可以了，這樣新生成的filename.vms文件就可以直接在Casaxps里面打開了.（2）將filename.vms格式數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)

3、換成txt格式數(shù)據(jù)在Casaxps里面將filename.vms格式的文件打開，點(diǎn)擊 save Tab Ascll to clipbard按鈕 ,出現(xiàn)如左界面，點(diǎn)擊copy all to clipboard鍵，將clipboard section 界面關(guān)閉后，將復(fù)制的數(shù)據(jù)粘貼到txt文檔即可。Casaxps軟件處理filename.vms格式的文件 1.用casaxps處理寬譜能夠得到的信息: （1）定性分析）定性分析：歸屬寬譜中各個(gè)峰。圖1為經(jīng)過峰歸屬后所得到得xps譜圖。圖1 經(jīng)過峰歸屬后的xps寬譜?gan1wideGa?3sO?1sO?1sC?1sN?1sGa?2p1/2Ga?2p1/

4、2Ga?2p3/2Ga?2p3/2Ga?LMMGa?LMMGa?3pGa?3pGa?3pZn?2p1/2Zn?2p3/2Zn?LMMZn?3sx?1040510152025CPS12009006003000Binding?Energy?(eV)峰歸屬步驟?打開vms格式文件，點(diǎn)擊Options?Elements，出現(xiàn)Element?library窗口，點(diǎn)擊Periodic?table，出現(xiàn)一張?jiān)刂芷诒恚c(diǎn)擊find?peak，寬譜上各個(gè)峰就被歸屬了。但是，這時(shí)候歸屬的峰多，不容易分辨，可以做一些修飾。點(diǎn)擊?Options?Annotation，出現(xiàn)Annotation窗口，點(diǎn)擊peak?la

5、bels，會(huì)出現(xiàn)很多峰相對(duì)應(yīng)的信息如O1s、C1s等等，點(diǎn)擊其中一個(gè)，點(diǎn)Apply，峰就被標(biāo)記出來(lái)，這樣標(biāo)記完所有重要而又明顯的峰后，再次點(diǎn)擊Options?ElementsPeriodic?tableClear?all?elements，?峰歸屬與標(biāo)記就完成了。然后點(diǎn)擊Options?Tile?display，出現(xiàn)Tile?display?parameter窗口，點(diǎn)Display，該窗口的最下面有Title，在空白框里輸入想命名的英文文件名，如GaN1?wide?，最后就得到圖1.?gan1wide?Name?O?1s?Zn?2p?Ga?2p?C?1s?N?1s?Pos.?531.0000?

6、1022.0000?1118.0000?285.0000?398.0000?FWHM?3.0396?2.5349?2.5402?2.4219?4.6036?Area?102542.429?264943.980?38428.895?71583.651?28692.309?At%?26.33?6.94?0.89?53.85?11.99Ga?3sO?1sO?1sC?1sN?1sGa?2p1/2Ga?2p1/2Ga?2p3/2Ga?2p3/2Ga?LMMGa?LMMGa?3pGa?3pGa?3pZn?2p1/2Zn?2p3/2Zn?LMMZn?3sx?1040510152025CPS120090060

7、03000Binding?Energy?(eV)（2）元素含量分析）元素含量分析圖2 經(jīng)過峰歸屬和元素含量分析后的xps寬譜圖含量分析步驟在峰歸屬基礎(chǔ)上，點(diǎn)擊 Options ElementsPeriodic tableFind peaks， 寬譜上可能有的元素在周期表上為紅色，選擇想要計(jì)算元素含量的元素，點(diǎn)擊Creat Region ,就計(jì)算出了各個(gè)元素的含量，然后點(diǎn)擊Clear all elements，就得到了圖2.點(diǎn)點(diǎn)creat出現(xiàn)下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動(dòng)邊界，選定要計(jì)算含出現(xiàn)下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動(dòng)邊界，選定要計(jì)算含量的區(qū)域量的區(qū)域?qū)⒚Q改為該

8、位置處的將名稱改為該位置處的元素名稱；如元素名稱；如284左右為左右為C1s另一種計(jì)算含量的方法：另一種計(jì)算含量的方法：正確識(shí)別各峰后，可以按照處理窄譜的方法處理寬普：點(diǎn)擊工作區(qū)使其處于激活狀態(tài)，點(diǎn)擊quantify 按鈕，出現(xiàn)下面界面，點(diǎn)regions，再點(diǎn)creat，得到如下圖：按照此方法將其與需要計(jì)算含量的元素的區(qū)域畫出來(lái)得到如下圖：按照此方法將其與需要計(jì)算含量的元素的區(qū)域畫出來(lái)在在Annotation窗口下，點(diǎn)窗口下，點(diǎn)Quantification, 選上如圖的選項(xiàng)，點(diǎn)選上如圖的選項(xiàng)，點(diǎn)Apply就會(huì)就會(huì)得到含量報(bào)告。得到含量報(bào)告。?gan1wide?Name?O?1s?C?1s?N?

9、1s?Ga?2p?Zn?2p?Pos.?531.0000?285.0000?398.0000?1118.0000?1022.0000?FWHM?3.0396?2.4219?4.6036?2.5402?2.5349?Area?102542.429?71583.651?28692.309?38428.895?264943.980?At%?26.33?53.85?11.99?0.89?6.94Ga?3sO?1sO?1sC?1sN?1sGa?2p1/2Ga?2p1/2Ga?2p3/2Ga?2p3/2Ga?LMMGa?LMMGa?3pGa?3pGa?3pZn?2p1/2Zn?2p3/2Zn?LMMZn?

10、3sx?1040510152025CPS12009006003000Binding?Energy?(eV)補(bǔ)充說(shuō)明圖3 元素含量和峰重合在一起圖3元素含量和峰重合，看不清，怎樣將它們分開呢？方法1：如左所示快捷鍵，任意點(diǎn)擊一個(gè)按鈕可以將譜圖移動(dòng)，按自己的需要來(lái)點(diǎn)擊這兩個(gè)按鈕，直至達(dá)到要求為止。方法2：如左圖，在annotation窗口下，點(diǎn)擊annotation history,將其激活，會(huì)出現(xiàn)左圖，有紅色方框的說(shuō)明能夠移動(dòng)，點(diǎn)住name上的紅色方框，向右移動(dòng)即可。一些常用的快捷鍵Tile display parameterquantifyannotationelement這些快捷鍵相關(guān)的操作

11、在option下均可以找到2.用casaxps處理精細(xì)譜能夠得到的信息：分峰、擬合、含量計(jì)算?C?1s/2C?1sC?1sC?1sC?1s?NameC?1sC?1sC?1sC?1s?Pos.?283.0665?284.2977?291.3734?285.1912?FWHM?1.3268?1.0691?1.0999?2.4073?L.Sh.?GL(30)?GL(30)?GL(30)?GL(30)?Area?13002.549?4935.948?420.948?5746.745?%Area?53.94?20.48?1.75?23.84C?1sx?103246810CPS30029629228828

12、4280Binding?Energy?(eV)圖4 經(jīng)過分峰、擬合、含量計(jì)算后的xps精細(xì)譜具體操作步驟扣背底扣背底 分峰、擬合分峰、擬合 含量計(jì)算含量計(jì)算打開vms格式的窄譜文件，點(diǎn)擊工作區(qū)使其處于激活狀態(tài)，點(diǎn)擊quantify 按鈕，出現(xiàn)下面界面，點(diǎn)regions，再點(diǎn)creat，點(diǎn)點(diǎn)creat出現(xiàn)下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動(dòng)邊界，選定要分峰的區(qū)域，出現(xiàn)下面界面后，如圖中紅箭頭所指位置處，左右移動(dòng)邊界，選定要分峰的區(qū)域，即即扣背底扣背底扣背底后出現(xiàn)下面界面點(diǎn)component，在component狀態(tài)下點(diǎn)擊creat，根據(jù)譜圖特點(diǎn)點(diǎn)擊creat分出一個(gè)峰后先擬合一下，再點(diǎn)擊

13、creat分第二個(gè)峰，擬合點(diǎn)下residual按鈕，出現(xiàn)紅箭頭所指曲線，該曲線越平緩擬合的越好，STD值越小擬合越好按下increaseYscale按鈕，將譜圖降低，方便擬合在component狀態(tài)下點(diǎn)擊creat，直至分出所有峰，點(diǎn)擊 Fit component，出現(xiàn)以下界面。點(diǎn)annotation 按鈕，激活component，點(diǎn)apply，出現(xiàn)以下界面。完成分峰、擬合、含量計(jì)算吸附碳位置吸附碳位置荷電校正荷電校正由于在測(cè)試過程中會(huì)發(fā)生結(jié)合能的偏移，完成分峰擬合含量計(jì)算之后就要進(jìn)行荷電校正，我們的儀器一吸附碳的結(jié)合能284.6eV作為標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行校正，步驟如下：吸附碳測(cè)量位置吸附碳測(cè)量位置點(diǎn)

14、擊processing按鈕，出現(xiàn)如右邊窗口，點(diǎn)擊calibration,在measured后面的空格中輸入吸附碳測(cè)量值，在true后面的空格中輸入標(biāo)準(zhǔn)值284.6，將有圖紅色框中的兩個(gè)選項(xiàng)打鉤，點(diǎn)apply即可點(diǎn)processing History，點(diǎn)擊該窗口下的remove，可以撤銷此次校正過程下面的結(jié)果就是經(jīng)過校正后的最終結(jié)果3.將擬合好的數(shù)據(jù)保存為.TXT格式在Casaxps里面已經(jīng)擬合好的C1s譜保存方式如下：點(diǎn)擊 save Tab Ascll to clipbard按鈕 ,出現(xiàn)如下界面，點(diǎn)擊copy all to clipboard鍵，將clipboard section 界面關(guān)閉后，將復(fù)制的數(shù)據(jù)