防靜電檢測規(guī)范

1、精品防靜電檢測規(guī)范可編輯1 、目的：2、適用范圍：3、定義4、職責5、程序6、相關(guān)文件和記錄7、附錄5、程序目錄.錯誤.!未定義書簽。錯誤. !未定義書簽。錯誤!未定義書簽。錯誤!未定義書簽。2.15155.1 測試方法：5.1.1 測試環(huán)境：環(huán)境溫度23 ± 5 C ,相對濕度40%70% 。5.1.2測試儀器使用方法5.1.2.1 靜電場測試儀（TREK520）靜電場測試儀是感應式的，該儀器表面有可通過按“2 個按鍵：“POWER”、“RANGE/ZERO ”、HOLD” , 按“POWER” 鍵開機/關(guān)機。該儀器有兩個量程：02KV 、 020KV,RANGE/ZERO”鍵進行

2、切懶顯示3位小數(shù)時，量程范圍為02KV ;當顯示2位小數(shù)時，量程范圍為020KV。每次測試時都應進行讀數(shù)清零工作，方法為：將 sensor對準一個已知的電壓為0V的導體上，按“ RANGE/ZERO”鍵短秒鐘。為保證測試值的準確性，測試時人體必須戴靜電環(huán)或穿防靜電鞋。測試前，先將待測物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每 分鐘120次的速度，施加適當?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測物表面20 次，然后用儀器測量電壓（senor距離被測物表面的距離為2.54CM及兩個紅燈 重合在一起），將顯示的讀數(shù)乘以1000即得實際的電壓值，例如讀數(shù)為“.018則實際電壓為18V。

3、5.1.2.2 表面電阻測試儀（ACL-385 ）ACL-385為簡易表面電阻測試儀，該儀器兩個測試電極間距根據(jù)標準不變，測試時將被測物放于絕緣的平面上，表面電阻測試儀平置在材料表面上，手指施加適當壓力（24KG）于測試按鈕上，使測試電極與材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為讀數(shù)。如果被測材料為軟性材料，可施加 46kg的壓力進行測試。5.1.2.3 接地電阻測試儀（EMI-20780 ）精品EMI-20780 可以測試點對點電阻（RTT）,接地電阻（RTG）、體積電阻，和表面 電阻率，配套兩點測試電極可測量微小物體表面電阻.測試范圍為：1x 103?-1012?;測試電壓為：10V或100V+

4、/-5% ;測試精度為：+/-10%；測試時間為15 秒；測試時：把2條連接線分別插入測試表上端的“ A”插口，注意白色連接線和 黑色連接線的插頭不同，不要插錯.然后連接線另一端分別插入點對點重錘電極； 按下“D”測試按鍵15秒，這時LCD屏幕按順序顯示如下：華氏溫度攝氏溫度相對濕度 電阻值 所采用的測試電壓電阻測試結(jié)果由“ B”顯示屏和“C”冥數(shù)LED指示燈共同顯示，例如電阻值為175 , 000 , 000 Q,顯示如下：1.75顯示在“B”顯示屏上，同時“C” LED指示燈的8會亮，表示測試結(jié)果為：1.75 x 108Qo如果LCD顯示屏顯示“ 1 :,說明超過該儀器測試范圍。測試電壓為

5、10V或100V,按下“ F”鍵，采用10V電壓測試，如果不按下“ F”鍵，儀 器會根據(jù)不同測試材料自動選擇測試電壓.阻值在105 Q以下時采用10V測試電壓，阻 值在106Q以上時采用100V測試電壓5.1.2.4人體綜合電阻測試（腕帶測試、鞋測試）測試步驟：1 .員工進入車間前應首先確認靜電手腕佩戴正確，靜電鞋鞋底干凈，穿戴正確。左右兩腳分別踏上靜電測試儀的左右兩個金屬腳踏板，然后將防靜電手腕插入靜電測試儀面板的手環(huán)插口。2 .掃描工卡后，電腦會顯示你的身份資料，同時儀器的 LCD面板提示“請您按下測試鍵”。手指按下測試鍵，（確保手指與按鈕金屬鍵的完全接觸） 開始測試，3秒后儀器將測試完畢

6、。3 .如果受測對象合格，儀器“嘟”長響一聲，同時儀器的 LCD面板顯示“通 過”，如果測試不合格，儀器”嘟嘟嘟嘟”短響8聲，同時儀器的LCD面 板顯示“不通過”。不通過時可連續(xù)測試 4次，若還是不合格，員工立即 到IPQA處更換。4 . IPQA應維持測試秩序并監(jiān)督每位員工的測試過程。都試百斗酒品二一定要已礴隅 酊于耳并把插頭 入播孔（住意選 舞左右捅孔）斯梵嘀.的再音說囿咸功，fM并離謂1,贅大于4清枝瞅仗鼎時 板小岬I,的中支捉小操作:則以幽刷員工kf幻請注意一打中文作方法投5.1.2.5接地樁電阻測試儀（ZC29B型號）1 .沿被測接地極E'使電位探棒P'和電流探棒C&

7、#39;依直線0娜匕相地位探棒P'系在E'和C之間。2 .E端鈕接5m導線，P端鈕接20m導線，C端鈕接40m導線。3 .將儀表放置水平后檢查檢流計是否指零，否則可將零位調(diào)正器調(diào)節(jié)零位。4 .將“位率標度”置于最大倍率慢慢轉(zhuǎn)動發(fā)動的搖把，同時旋動電位器刻度盤，使檢流計指針指“0”。5 .當檢流計的指針接近平衡時，加快發(fā)電機搖柄轉(zhuǎn)速，使其達到每分鐘150轉(zhuǎn)。再轉(zhuǎn)支電位器刻度盤，使檢流計平衡，此時刻度盤的讀數(shù)乘以倍率檔即為被測接地電阻數(shù)值。6 .當刻度盤讀數(shù)小于1時應將倍率開關(guān)置于較小倍率，重新調(diào)整刻度盤以得正確讀數(shù)。7 .當測量小于1歐的接地電阻時，應將2個印的聯(lián)結(jié)片打開，分別用

8、導線聯(lián)接到 被測接地體上，以消除測量時聯(lián)接導線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8 .當檢流計的靈敏度過高時，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當檢流計靈敏度過低時，可沿探棒注水使其濕潤。5.1.2.6 離子風機測試儀（3M-718 /3M-718A）1、 打開測試儀（718 ）電源，將測試儀（718 ）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A ）金屬端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“+ ”按鈕和測試儀“HOLD ”鍵，測試儀顯靜電值應大于“ +1000V ”。2、 在離子風機下不超過30cm 處水平移動靜電測試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測試儀顯示值應大于-40V 小于 +40V 。3、 打開測試儀（718 ）

9、電源，將測試儀（718 ）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A ）金屬端相連接，同時按下靜電產(chǎn)生儀“-”按鈕和測試儀“HOLD ”鍵，測試儀顯靜電值應小于“ -1000V ”。4、 離子風機下不超過30cm 處水平移動靜電測試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測試儀顯示值應大于-40V 小于 +40V 。5、 在檢測表中記錄顯示值，注明檢測日期，調(diào)節(jié)后的值。注意：要求平衡電壓為-40 0平衡電壓040V5.1.2.7 手腕監(jiān)視器電容測試儀(SAML1800 ) ：測試時，開關(guān)旋轉(zhuǎn)至“ 1801 FALL”檔，SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發(fā)出報警聲響；旋轉(zhuǎn)開關(guān)至“ 1801 PASS”檔

10、，SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器停止發(fā)出報警聲響。此為合格。5.2 測試項目5.2.1 靜電接地極電阻測試每半年使用ZC29B進行一次測試，要求靜電接地極對地電阻小于1Q ,將測試結(jié)果記錄在 ESD 點檢記錄表格中。5.2.2 設(shè)備、儀器接地電阻測試每月由ESD專員或指定人員用萬用表測試設(shè)備儀器接地電阻一次(新建工位或工位調(diào)整后要立即測試)測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。1 .設(shè)備儀器接地電阻：設(shè)備儀器外殼與靜電接地線之間的阻抗要小于100M試頻率：每月。2 . 電烙鐵：對使用中的電烙鐵進行接地電阻測試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10QO測試頻率：每天。1.1.

11、3 靜電接地線接地電阻：每半年由廠務或指定人員對靜電接地線的接地電阻進行檢測。要求每條線都要測。測試方法：在每條靜電接地線上任意找一個點，將萬用表的一端連在這個點上，另一端插在電源地線孔里。要求電阻值小于10 Q。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格 中。1.1.4 防靜電工服PET程師或指定人員，每季度對員工的工衣用EMI-20780測試儀進行測試，要求表面電阻1X 152?<Rs< 1 X 19?（上衣做點對點、袖對袖、片對片測試，褲子做褲腳 對褲腳、點對點測試），“每次全檢，測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。 如檢測到不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”章

12、，并郵件通知該員工經(jīng)理讓其當天之內(nèi)到庫房更換。IPQA監(jiān)督有無不合格靜電服流入產(chǎn)線。1.1.5 防靜電工作臺PET程師或指定人員負責 每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻 在1 x 151 x 1G歐姆和接地電阻在fl w 1G歐姆。每塊工作臺面測試3個點，將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中。1.1.6 地板由ESD專員負責每季度使用EMI-20780測試儀測試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在 1*10 51*10 9? 之間。每100 平米地面測5個點（對于面積小于100平方米的獨立區(qū)域如：IQC、RD實驗室、來料倉，每個區(qū)域要測5個點）。測試時兩個電極距 離為0

13、.6米1米，測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。同時由廠務或指定人員每半年測試地板的接地電阻一次，接地電阻在1*10 5-1*10 9Q之間。測試方法：將EMI-20780的一個電極放在地板上，另一端 插入電源地線插孔里。每100平米測試1個點。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表 格中。1.1.7 物流器具（如：周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車、貨架）1.1.7.1 由ESD專員負責每半年使用TREK520和EMI-20780測試儀測試一次，要求摩擦電壓小于100V,周轉(zhuǎn)箱表面電阻：3?<- 10X 10?,每次每種器具抽檢，每1條線抽檢10Pcs ,如果有1Pcs不合格則全檢。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表

14、 格中。1.1.7.2 由ESD專員負責每季度使用EMI-20780測試儀測試一次，要求周轉(zhuǎn)車，貨 架表面電阻小于1畛,10g地電阻在1哭?101 x 10?之間。測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。1.1.8 腕帶、工鞋性能檢測操作類員工每日進入車間前要進行手環(huán)、工鞋測試，測試結(jié)果由電腦自動保存，產(chǎn)線專門人員進行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進入車間前要進行工鞋測試，對于有可能接觸產(chǎn)品的職員（如生產(chǎn)主管、工藝、設(shè)備、質(zhì)控人員）每日上班也必須使用人體綜合電阻測試儀，測試記錄由電腦自動保存。如有測試不合格者需立即到IPQA處更換。測試合格后方能進入產(chǎn)線。腕帶系統(tǒng)電阻：800K Q10M Q

15、;工鞋系統(tǒng)電阻：100KQ-35M Q。1.1.9 靜電場檢測由ESD專員負責每季度使用靜電場測試儀（TREK520）對車間各工位的靜電場強進行一次 測試，并將測試結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中。測試要求：距工作臺30CM 范圍內(nèi)，靜電值要小于+/- 100 V1.1.10 離子風機測試由ESD專員負責每季度使用3M-718與3M-718A對車間的離子風機性能進行測試，測試內(nèi)容包括“平衡電壓”、“消電時間”，并將結(jié)果記錄在ESD點檢記錄表格中測試要求：測試儀器距離離子風扇正前方 30厘米；合格標準：1000V降到100V的消電時間小于 3秒，平衡電壓絕對值小于40V。注： CPM 要分別在正、

16、負兩種充電狀態(tài)下測試1.1.11 防靜電工作椅子由ESD專員負責每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻和接地電阻都在1 X 10-1 X 10歐姆之間，。將測試結(jié)果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中。1.1.12 傳送帶測試由 ESD 專 員 負 責 每 季 度 使 用 表 面 阻 抗 測 試 儀 測 試 一 次 ， 要 求 表 面 電 阻 在1 X105-1 X109歐姆之間。每條傳送帶測試3個點，將測試結(jié)果平均值記錄在ESD 點檢記錄表格中。1.1.13 手腕監(jiān)視器測試由ESD專員負責每半年使用SAML1800校正儀對手腕監(jiān)視器的電容進行一次。測試不合格立即更換。5.3 防靜

17、電包裝材料的測試5.3.1 認證測試：首先要求供應商送樣給 PE確認，同時附上產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)說明書或產(chǎn) 品相關(guān)性能指標認定書，經(jīng) PE驗證合格后方可采購。防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度23 *5比5掘度測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標志PE®VVVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有機保護屏VVV緩沖材料VV屏敝袋VVVVV防靜電膠帶VVVV防靜電防塵布VV打為必測項目高溫測試：在溫度為 60 c濕度為15%的干燥箱內(nèi)烘烤12天或在溫度為70 S,度為15%的干燥箱內(nèi)烘烤8天，然后放于室溫存放24小時再進行表面電阻、摩擦電壓測試5.3.2 接收測試

18、PE部門對所有無物料代碼的ESD輔料進行來料檢驗。不定期全檢。檢驗要求如下:防靜電性能測試環(huán)境要求：溫度23g57(01s測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏敝泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測試ESD標志PE®VVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有機保護屏VVO緩沖材料VVO防靜電膠帶VVVV屏敝袋VVVV防靜電防塵布VV5.3.3 點檢測試由ESD小組人員每個月使用表面阻抗測試儀對各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機玻璃屏進行抽檢。要求表面電阻在4-1 X 101歐奧之間，摩擦電壓小于100V。每條線測試5Pcs,若有3Pcs不合格則整條線全檢并更換相應物料。以上這些物料必須有防靜電

19、標識才可投入產(chǎn)線使用，一經(jīng)IPQA發(fā)現(xiàn)將沒收,找替代品或者做防靜電加工。5.4 各類防靜電物品、設(shè)施檢測指標測試項目摩擦電壓表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電工服、工帽1 x 1(5?WR S<1 X 109?工鞋1 X 10?WR s<1X 10?0.1 X 1(6?< R<3.5X 10?腕帶內(nèi)面v 1 x 510外面1X7100.8 X 1(6?< R<3.5X 10?防靜電地板0.1 x f?WR S<1 X 1(9?0.1 X f?WR<1 X 10?工作臺1 X 1(6?<R S<1 X 1(9?0.75 X fOW R<1 X

20、 10?周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)盒、托盤、料盒、防靜電刷子、防靜電鐐<100V1 X 1(3?<R S<1 X 1(9?子、防靜電推車傳送帶1 X106?WRs<1 X109?防靜電工作椅1 x 1(5?<Rs<1 X 109?1 X 1(6?<R<1 X 1(9?PEt<100V1 X 1(4?<R S<1 X 101?吸塑盒<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?汽珠袋、泡棉<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?緩沖材料<100V1 X 1(4?<R s<1X 101?屏蔽型防靜電袋<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?防靜電膠帶<100V1 X 1(4?<Rs<1 X 101?防靜電有機玻璃板<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?防靜電防塵布、手套、指<100V1 X