342校內(nèi)賽題：氣體傳感器響應(yīng)過程分析【zj】

1、氣體傳感器響應(yīng)過程分析一、背景推薦氣體傳感器，是將一定濃度的被測氣體通過某種規(guī)律（如傳感器與被測氣體接觸時(shí)電阻發(fā)生改變）將其轉(zhuǎn)化為電信號的器件或裝置。氣體傳感器的應(yīng)用非常廣泛，例如日常生活中常見的煙霧報(bào)警器、燃?xì)鈭?bào)警器、酒精傳感器（用于檢查酒駕）、人工智能中的嗅覺傳感器等等。根據(jù)電阻改變量可以判斷氣體濃通過氣噴、旋涂等方式將氣敏材料（一般為納米材料）涂覆在叉指電極（）表面，如圖（）所示，可制備電阻式氣體傳感器，測試時(shí)，待測氣體接觸氣敏材料引起電阻改變，度。測試裝置與過程如圖（）所示。MassFlow(b)心SensithefilmAu/TilayerIDEsJEEAir總曲即2700Ga&am

2、p;OullfftGasInletSisubstrateSiO2substrate圖.傳感器與測試系統(tǒng)示意圖二、測試過程將氣瓶內(nèi)待測氣體（這里是氨氣）和空氣（）分別用塑膠管連接到氣體流量計(jì)（），通過氣體流量計(jì)調(diào)控待測氣體濃度（將氨氣與空氣按照一定比例混合可控制氨氣濃度）后導(dǎo)入密封測試腔（），氣體從測試腔的另一端導(dǎo)出，測試過程中保持氣體總流量不變。制備好的氣體傳感器（叉指電極）事先已放置在測試腔內(nèi)，通過接觸叉指電極的探針將電阻信號由檢測裝置（這里是）傳輸?shù)诫娔X，得到測試數(shù)據(jù)。.通入一定濃度氨氣后，測試腔內(nèi)的氨氣分子一部分撞擊在傳感器表面，其中一些被吸附在傳感器表面，其余返回測試腔，被吸附的氨氣分

3、子一部分解吸附返回測試腔，吸附與解吸附同時(shí)進(jìn)行，且傳感器表面的氨氣分子逐漸向內(nèi)滲透。氨氣分子被吸附在傳感器表面時(shí)，與氣敏材料之間發(fā)生電子轉(zhuǎn)移，載流子濃度上升引起電阻下降。經(jīng)過一段固定長度的進(jìn)度后，電阻改變量逐漸減緩，此時(shí)氨氣流量降為并增加空氣流量以保持總流量不變，傳感器表面吸附的氨氣分子解吸附回到測試腔，傳感器表面載流子濃度下降，電阻上升。每一次通入氨氣后電阻改變稱為響應(yīng)過程，之后通入空氣（即關(guān)閉氨氣）電阻部分恢復(fù)稱為回復(fù)過程，一次響應(yīng)和回復(fù)稱為一輪測試。0,25Air-二0.20NHGOppmNH340ppm-NH320ppm2000J00060008000NH,1OOppmNH38Oppn

4、iNH350ppmWhi270ppm0,00L0Time(s)AirV一0.1010000圖.通入氨氣后的響應(yīng)DD般用俵示小寸刻的電阻值，°表示最初時(shí)刻的電阻值，“響應(yīng)”定義為通入氨氣后的響應(yīng)效果如圖所示。題目中給有三組測試數(shù)據(jù)：一組測試重復(fù)性（輪，氨氣濃度都是），一組測試氨氣濃度遞增（氨氣濃度分別為），另一組氨氣濃度先增加后降低如圖所示。每一組測試數(shù)據(jù)已計(jì)算出相應(yīng)值，表示數(shù)據(jù)序號（對應(yīng)），表示進(jìn)度（單位為秒（），對應(yīng)（），表示電阻（單位為歐姆（Q）,對應(yīng)為不同材料如），%為響應(yīng)（對應(yīng)于不同材料）。.三、問題結(jié)合相應(yīng)數(shù)據(jù)（材料未加說明的選用）對下述問題進(jìn)行分析。1 .對于一輪測試（選

5、用重復(fù)性的第一輪測試），分析氨氣分子在傳感器表面的吸附與解吸附，建立模型描述電阻隨進(jìn)度的改變（包括響應(yīng)過程和回復(fù)過程）。.2 .為了分析傳感器的穩(wěn)定性，常會進(jìn)行重復(fù)性測試，即多次通入同一濃度氣體，測試其響應(yīng)度。如果傳感器薄膜中的氣體分子不能完全解吸附，則傳感器電阻不能恢復(fù)到初始值，下一輪測試時(shí)響應(yīng)初始值會增加，這種情況稱為基線漂移。根據(jù)前面所建立模型，嘗試描述這三輪重復(fù)性測試過程，結(jié)合重復(fù)性測試數(shù)據(jù)分析基線漂移現(xiàn)象。.3 .對于氨氣濃度遞增的情形，根據(jù)前面所建立模型描述其響應(yīng)過程，結(jié)合測試數(shù)據(jù)進(jìn)行驗(yàn)證，能否根據(jù)每輪測試的某個(gè)特征值點(diǎn)來表征氣體濃度，使得個(gè)特征值與個(gè)氣體濃度之間存在較好的線性關(guān)系？.4 .對于氨氣濃度先增加后降低的情形，即便氨氣濃度降低，基線漂移仍然存在，能否通過問題的特征值來表征氣體濃度？如果能，結(jié)