X射線熒光光譜分析的基本原理

1、X射線熒光光譜分析的基本原理當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時(shí)，驅(qū)逐一個(gè)內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個(gè)空穴,使整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài),激發(fā)態(tài)原子壽命約為10-12-10-14s,然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。這個(gè)過(guò)程稱為馳豫過(guò)程。馳豫過(guò)程既可以是非輻射躍遷,也可以是輻射躍遷。當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí),所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個(gè)次級(jí)光電子,此稱為俄歇效應(yīng),亦稱次級(jí)光電效應(yīng)或無(wú)輻射效應(yīng),所逐出的次級(jí)光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的,與入射輻射的能量無(wú)關(guān)。當(dāng)較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收,而是以輻射形式放出，便產(chǎn)生

2、X射線熒光，具能量等于兩能級(jí)之間的能量差。因此,x射線熒光的能量或波長(zhǎng)是特征性的,與元素有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系。圖10.1給出了X射線熒光和俄歇電子產(chǎn)生過(guò)程示意圖。K層電子被逐出后,其空穴可以被外層中任一電子所填充,從而可產(chǎn)生一系列的譜線，稱為K系譜線：由L層躍遷到K層輻射的X射線叫Ka射線，由M層躍遷到K層輻射的X射線叫KB射線。同樣,L層電子被逐出可以產(chǎn)生L系輻射(見(jiàn)圖10.2)。如果入射的X射線使某元素的K層電子激發(fā)成光電子后L層電子躍遷到K層，此時(shí)就有能量AE釋放出來(lái),且AE=EKEL,這個(gè)能量是以X射線形式釋放,產(chǎn)生的就是Ka射線，同樣還可以產(chǎn)生KB射線,L系射線等。莫斯萊(H.G.Mos

3、eley)發(fā)現(xiàn)，熒光X射線的波長(zhǎng)入與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),其數(shù)學(xué)關(guān)系如下:=K(Z-s)-2這就是莫斯萊定律，式中K和S是常數(shù)，因此，只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)，就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,據(jù)此,可以進(jìn)行元素定量分析。當(dāng)一束光或電磁波照射到物質(zhì)上時(shí),光子就與物質(zhì)的分子、原子或離子等微粒相互作用而交換能量。在通常的狀態(tài)下,物質(zhì)中這些微粒處于基態(tài),吸收一定頻率的輻射后,由基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài),這個(gè)過(guò)程稱為輻射的吸收。處于激發(fā)態(tài)的微粒是十分不穩(wěn)定的,大約過(guò)10-810-9秒,便以輻射的形式釋放出多余的能量,重新回到基態(tài),這個(gè)過(guò)程

4、稱為輻射的發(fā)射。只有當(dāng)激發(fā)光子的能量等于受激發(fā)微粒由基態(tài)躍遷至激發(fā)兩個(gè)能量級(jí)的能量差時(shí),才能發(fā)生輻射的吸收現(xiàn)象。同樣,物質(zhì)發(fā)射光子的能量也只有等于相應(yīng)的兩個(gè)能級(jí)的能量差,即E=E1-E2=hv1-hv2=h（1/入1-1/入2）,也可以是：E=E1-E2=hv=hc/入式中E1、E2分別為高能級(jí)、低能級(jí)的能量,通常以電子伏特為單位;h為普朗克常數(shù)（6.6256X10-34J-s）；v及入分別所發(fā)射電磁波的頻率及波長(zhǎng),c為光字真空中的速度，等于2.997X1010cm/s。通過(guò)能量公式可以計(jì)算出在各電磁輻射區(qū)產(chǎn)生個(gè)類型躍躍遷所需的能量,反之亦然。例如，使分子或原子的階電子激發(fā)產(chǎn)生躍遷所需的能量約

5、為201eV,則所吸收的電磁輻射的波長(zhǎng)范圍約為621240nm。每一條所發(fā)射的譜線的波長(zhǎng),取決于躍遷前后兩個(gè)能量級(jí)之差。由于原子的能級(jí)很多,原子在被激發(fā)后,其外層電子可有不同的躍遷,但這些躍遷應(yīng)遵循一定的規(guī)則（即“光譜選律”）,因此,對(duì)特定元素的原子可產(chǎn)生一系列不同波長(zhǎng)的特征光譜線（或光譜組）,這些譜線按一定的順序排列,并保持一定的強(qiáng)度比例。原子的各個(gè)能級(jí)是不連續(xù)的（量子化）。電子的躍遷也是不連續(xù)的,這就是原子光譜是線狀光譜的根本原因。光譜分析就是從識(shí)別這些元素的特征光譜來(lái)鑒別元素的存在（定性分析）,而這些光譜線的強(qiáng)度又與試樣中該元素的含量有關(guān),因此又可利用這些譜線的強(qiáng)度來(lái)測(cè)定元素的含量（定量

6、分析）。這就是發(fā)射光譜分析的基本依據(jù)。應(yīng)注意,一般所稱的“光譜分析”,就是指發(fā)射光譜分析,或更確切地講是“原子發(fā)射光譜”。其分析過(guò)程進(jìn)行如下:使試樣在外界能量的作用下轉(zhuǎn)變成氣態(tài)原子,并使氣態(tài)原子的外層電子激發(fā)至高能態(tài)。當(dāng)從較高的能級(jí)躍遷到較低的能級(jí)時(shí),原子將釋放出多余的能量而發(fā)射出特征譜線。對(duì)所產(chǎn)生的輻射經(jīng)過(guò)攝譜儀器進(jìn)行色散分光,按波長(zhǎng)順序記錄在感光板上,就可呈現(xiàn)出有規(guī)則的譜線條,即光譜圖。然后根據(jù)所得光譜圖進(jìn)行定性鑒定或定量分析。上表中,所有這些波長(zhǎng)區(qū)域,在光學(xué)分析中都可涉及,因而光學(xué)分析的方法是很多的,但通常可分為如下兩大類:（1） 非光譜方法:光學(xué)分析中有一些并不涉及光譜的測(cè)定,亦即不涉

7、及能量的躍遷,而主要是利用電磁輻射與物質(zhì)的相互作用,引起電磁輻射在方向上的改變或物理性質(zhì)的變化,而利用這些改變就可以進(jìn)行分析。如折射、反射、色散、干涉、衍射及偏振等等。應(yīng)對(duì)歐盟RoHSB器中,無(wú)此類儀器,本文不再論述。（2） 光譜方法:是基于測(cè)量輻射的波長(zhǎng)及強(qiáng)度,即物質(zhì)與輻射能作用時(shí),測(cè)量由物質(zhì)內(nèi)部發(fā)生量子化的能級(jí)之間的躍遷而產(chǎn)生的發(fā)射、吸收或散射輻射的波長(zhǎng)和強(qiáng)度進(jìn)行分析的方法。測(cè)量波長(zhǎng)即測(cè)量光譜,測(cè)量強(qiáng)度即測(cè)量物質(zhì)的含量。根據(jù)電磁輻射的本質(zhì),光譜的方法分為分子光譜及原子光譜。根據(jù)輻射能量傳遞的方式,光譜方法又分為發(fā)射光譜、吸收光譜、熒光光譜、拉曼光譜等等。（二）光譜分析儀器原理1. 原子光譜

8、與分子光譜（根據(jù)電磁輻射的本質(zhì)）根據(jù)與電磁輻射作用的物質(zhì)是以氣態(tài)原子還是以分子（或離子團(tuán)）形式存在,可將光譜法分為原子光譜法和分子光譜法兩類。原子光譜法是由原子外層或內(nèi)層電子能級(jí)的變化產(chǎn)生的,它的表現(xiàn)形式為線光譜。屬于這類分析方法的原子發(fā)射光譜法（AES）、原子吸收光譜法（AAS）、原子熒光光譜法（AFS）以及X射線熒光光譜法（XFS,這是應(yīng)對(duì)歐盟RoHS旨令最主要的儀器）等。原子吸收光譜法是由分子中電子能級(jí)、振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)的變化產(chǎn)生的,表現(xiàn)為帶狀光譜。屬這類分析方法的有紫外-可見(jiàn)分光光度法（UV-Vis,測(cè)六價(jià)銘用）、紅外光譜法（IR）、分子熒光光譜法（MFS）和分子磷光光譜法（MPS污。2

9、. 發(fā)射光譜法和吸收光譜法（根據(jù)輻射能量傳遞的方式）主要根據(jù)物質(zhì)與電磁輻射相互作用的機(jī)理,將光譜法分為發(fā)射光譜法、吸收光譜法及拉曼光譜。發(fā)射光譜法物質(zhì)通過(guò)電致激發(fā)、熱致激發(fā)或光致激發(fā)等激發(fā)過(guò)程而獲得能量，為激發(fā)態(tài)原子A0或分子M，當(dāng)從激發(fā)態(tài)過(guò)渡到基態(tài)或低能態(tài)時(shí)產(chǎn)生的發(fā)射光譜。AA+hvM-M+hv通過(guò)測(cè)量物質(zhì)發(fā)射光譜的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,進(jìn)行定性和定量分析的方法稱為發(fā)射光譜分析法?？煞譃椋海╥）丫線光譜法天然或人工放射性物質(zhì)的原子核在衰變的過(guò)程中發(fā)射T射線回到基態(tài)，同時(shí)伴有a粒子或B粒子的發(fā)射。測(cè)量這種特征T射線的能量（或波長(zhǎng)）可以進(jìn)行定性分析,測(cè)量其強(qiáng)度可以進(jìn)行定量分析。（五）X射線熒光分析法當(dāng)入射

10、X射線使K層電子激發(fā)生成光電子后，L層上電子落入K層空穴，這時(shí)E=EK-EL以輻射形式釋放出來(lái)，產(chǎn)生Ka射線，這就是熒光X射線。測(cè)量X射線的能量（或波長(zhǎng)）可以進(jìn)行定性分析,測(cè)量其強(qiáng)度可以進(jìn)行定量分析。測(cè)量歐盟RoHS旨令主要儀器就是這類儀器，又稱:X射線熒光光譜儀。（出）原子發(fā)射光譜分析法用火焰、電弧、等離子炬等作為激發(fā)源，使氣態(tài)原子或離子的外層電子受激發(fā)后發(fā)射特征光譜,利用這種光譜進(jìn)行分析的方法叫做原子發(fā)射光譜分析法。波長(zhǎng)范圍在190900nm這其中，人們知道的ICP（ICP-AES或稱ICP-OESK們會(huì)另文介紹）就是這類儀器。（iv）原子熒光分析法氣態(tài)自由原子吸收特征波長(zhǎng)的輻射后，原子的

11、外層電子從從基態(tài)或低能態(tài)躍遷到較高能態(tài),約經(jīng)過(guò)10-8s,又躍遷至基態(tài)或低能態(tài),同時(shí)發(fā)射出與原激發(fā)波長(zhǎng)相同（共振熒光）或不同的輻射（非共振熒光-直躍線熒光、階躍線熒光、階躍激發(fā)熒光、敏化熒光等）,稱為原子熒光。波長(zhǎng)在紫外和可見(jiàn)光區(qū)內(nèi)。在與激發(fā)光源成一定角度（通常為90）的方向測(cè)量熒光的強(qiáng)度,可以進(jìn)行定量分析。（v）分子熒光分析法某些物質(zhì)被紫外光照射后，物質(zhì)分子吸收輻射而成為激發(fā)態(tài)分子,然后回到基態(tài)的過(guò)程中發(fā)射出比入射波長(zhǎng)更長(zhǎng)的熒光。測(cè)量熒光的波長(zhǎng)和強(qiáng)度進(jìn)行分析的方法稱為熒光分析法。波長(zhǎng)在可見(jiàn)光譜區(qū)。（vi）分子磷光分析法物質(zhì)吸收光能后，基態(tài)分子中的一個(gè)電子被激發(fā)躍遷至第一激發(fā)單重軌道,由第一激

12、發(fā)單重態(tài)的最低能級(jí),經(jīng)系統(tǒng)間交叉躍遷至第一激發(fā)三重態(tài)（系間竄躍）,并經(jīng)過(guò)振動(dòng)弛豫至最低能級(jí),由此激發(fā)躍遷至基態(tài)時(shí),便發(fā)射磷光。根據(jù)磷光的波長(zhǎng)和強(qiáng)度進(jìn)行分析的方法稱為磷光分析法。它主要用于環(huán)境分析、藥物研究等方面的有機(jī)化合物的測(cè)定。（Vii）化學(xué)發(fā)光分析法由化學(xué)反應(yīng)提供足夠的能量，使其中一種反應(yīng)分子的電子被激發(fā),形成激發(fā)態(tài)分子。激發(fā)態(tài)分子躍遷回基態(tài)時(shí),發(fā)出一定波長(zhǎng)的光。其發(fā)光強(qiáng)度隨時(shí)間變化。在合適的條件下,峰值與被分析物濃度成線性關(guān)系,可用于定量分析。吸收光譜法當(dāng)電磁輻射能與被照射物質(zhì)的原子核、原子或分子的兩個(gè)能級(jí)間躍遷所需的能量滿足E=hv的關(guān)系時(shí),將產(chǎn)生吸收光譜。M+hv-M0吸收光譜可分為

13、以下幾種方法。（i）Mossbauer（莫斯鮑爾）譜法由與被測(cè)元素相同的同位素作為丫射線的發(fā)射源,使吸收體（樣品）原子核產(chǎn)生無(wú)反沖的T射線共振吸收所形成的光譜。光譜波長(zhǎng)在y射線區(qū)。從Mossbauer譜可獲得原子的氧化態(tài)和化學(xué)健、原子核周圍電子云分布或鄰近環(huán)境電荷分布的不對(duì)稱性以及原子核處的有效磁場(chǎng)等信息。（五）原子吸收光譜法利用待測(cè)元素氣態(tài)原子對(duì)共振線的吸收進(jìn)行定量測(cè)定的方法。其吸收機(jī)理是原子的外層電子能級(jí)躍遷,波長(zhǎng)在紫外、可見(jiàn)和近紅外區(qū)。（出）紫外-可見(jiàn)分光光度法利用分子在紫外和可見(jiàn)光區(qū)產(chǎn)生電子能級(jí)躍遷所形成的吸收光譜。紫外-可見(jiàn)分光光度法主要用于定量分析。（iv）紅外光譜法利用分子在紅外

14、區(qū)的振動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)吸收光譜來(lái)測(cè)定物質(zhì)結(jié)構(gòu)的光譜分析法。(v)核磁共振波譜法在磁場(chǎng)的作用下，核自旋磁矩與外磁場(chǎng)相互作用分裂為能量不同的核磁能級(jí),核磁能級(jí)之間的躍遷吸收或發(fā)射射頻區(qū)的電磁波。利用吸收光譜可進(jìn)行有機(jī)化合物結(jié)構(gòu)鑒定,以及分子的動(dòng)態(tài)效應(yīng)、氫鍵的形成、互變異構(gòu)反應(yīng)等化學(xué)研究。Ramar#射一定頻率的單色光照射物質(zhì),物質(zhì)分子會(huì)發(fā)生散射現(xiàn)象。如果這種散射是光子與物質(zhì)分子發(fā)生能量交換引起的,即不僅光子的運(yùn)動(dòng)方向發(fā)生變化,它的能量也發(fā)生變化，則稱為Ramark射。這種散射光的頻率與入射光的頻率的差值,稱為Ramark移。Ramark移的大小與分子的振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)的能級(jí)有關(guān),利用Raman位移研究物質(zhì)結(jié)構(gòu)的

15、方法稱為Ramark譜法，它是與紅外光譜法互補(bǔ)的一種光譜技術(shù)。(三)光譜儀的組成用來(lái)測(cè)量吸收、發(fā)射或熒光的電磁輻射強(qiáng)度和波長(zhǎng)關(guān)系的儀器叫做光譜儀或分光光度計(jì)。雖然各種方法所用儀器在構(gòu)造方面不同,但其基本組成大致相同。這類儀器一般由五個(gè)部分組成:光源、單色器、樣品池、檢測(cè)器和輸出記錄。1、光源作為光譜分析用的光源對(duì)試樣都具有兩個(gè)作用過(guò)程。首先,把試樣中的組分蒸發(fā)離解為氣態(tài)原子,然后使這些氣態(tài)原子激發(fā),使之產(chǎn)生特征光譜。因此光源的主要作用是對(duì)試樣的蒸發(fā)和激發(fā)提供所需的能量。光譜分析用的光源常常是決定光譜分析靈敏度、準(zhǔn)確度的重要因素,因此必須對(duì)光源的種類、特點(diǎn)及應(yīng)用范圍有基本的了解。由于光譜分析的樣

16、品的種類繁多,例如試樣的狀態(tài)可能是氣體、液體或固體;而固體又可能是塊狀或粉末狀的;試樣有良導(dǎo)體、絕緣體、半導(dǎo)體之分;分析的元素有易被激發(fā)的,有難以激發(fā)的等等。因此,光譜分析用的光源應(yīng)該適合于各種要求和目的,有所選擇。最常用的光源有直流電弧、交流電弧、電火花等;而激光光源、電感耦合等離子體(ICP)焰炬等,特別是ICP,是近年來(lái)發(fā)展很快的新型光源。除ICP外,各鐘光源都比較容易理解，現(xiàn)將其分為連續(xù)光源和線光源來(lái)討論。ICP一般是由高頻發(fā)生器、等離子體炬管和霧化器組成,以后有機(jī)會(huì)再另介紹。光源有連續(xù)光源和線光源等。一般連續(xù)光源主要用于分子吸收光譜法;線光源用于熒光、原子吸收和Ramant譜法。連續(xù)

17、光源連續(xù)光源主要是指在波長(zhǎng)范圍內(nèi)主要發(fā)射強(qiáng)度平穩(wěn)的具有連續(xù)光譜的光源。(i)紫外光源紫外連續(xù)光源主要采用氫燈或笊燈。在低壓(勺1.3x103Pa)下電激發(fā)的方式產(chǎn)生的連續(xù)光譜，光譜范圍為160375nmi高壓氫燈以200A6000V的高壓使兩個(gè)鋁電極之間發(fā)生放電。低壓氫燈是在有氧化物涂層的燈絲和金屬電極間形成電弧,啟動(dòng)電壓約為400V直流電壓,而維持直流電弧的電壓為40V,氘燈的工作方式與氫燈相同,光譜強(qiáng)度比氫燈大35倍,壽命也比氫燈長(zhǎng)。(ii)可見(jiàn)光源可見(jiàn)光區(qū)最常見(jiàn)的光源是鴇絲燈。在大多數(shù)儀器中，鴇絲的工作溫度約為2870K，光譜波長(zhǎng)范圍為3202500nmi氤燈也可用作可見(jiàn)光源，當(dāng)電流通過(guò)

18、氙燈時(shí),產(chǎn)生強(qiáng)輻射,發(fā)射連續(xù)光譜分布在250700nm。(iii)紅外光源常用的紅外光源是一種用電加熱到溫度在15002000K之間的惰性固體，光強(qiáng)最大的區(qū)域在60005000cm-1。在長(zhǎng)波側(cè)667cm-1和短波側(cè)10000cm-1的強(qiáng)度降到峰值的1%左右。常用的有能斯特?zé)?、硅碳棒。線光源(i)金屬蒸氣燈在透明封套內(nèi)含有底壓氣態(tài)原子，常見(jiàn)的是汞燈和鈉蒸氣燈。把電壓加到固定在封套上的一對(duì)電極上,會(huì)激發(fā)出元素的特征光譜。汞燈產(chǎn)生的線光譜波長(zhǎng)范圍為254734nm,鈉燈主要是589.0nm和589.6nm處的一對(duì)譜線。(ii)空心陰極燈主要用于原子吸收光譜，有單元素空心陰極燈、多元素陰極燈和變強(qiáng)度

19、陰極燈等多種類型,能提供元素的特征光譜線。(iii)激光激光的強(qiáng)度高、方向性和單色性好，作為一種新型光源應(yīng)用于Raman光譜、熒光光譜、發(fā)射光譜等領(lǐng)域。2、單色器單色器的主要作用是將復(fù)合光分解成單色光或有一定寬度的譜帶。單色器由入射狹縫、準(zhǔn)直鏡,以及色散元件,如棱鏡或光柵等組成。3、吸收池盛放試樣的吸收池(也稱比色皿、樣品池)由透明的材料制成。在紫外光區(qū)工作時(shí)采用石英材料;可見(jiàn)光區(qū)則用硅酸鹽玻璃;紅外光區(qū)應(yīng)根據(jù)不同的波長(zhǎng)范圍選用不同材料的晶體制成吸收池窗口。吸收池的形狀有方形、圓柱形等,其光程長(zhǎng)度有1mm,2mm,5mm,1cm,2cm,10cm4、檢測(cè)器現(xiàn)代光譜儀器中,檢測(cè)器通常分為兩類。一

20、類是量子化檢測(cè)器,即光子檢測(cè)器,它包括單道光子檢測(cè)器和多道光子檢測(cè)器,主要用于紫外-可見(jiàn)光譜的檢測(cè)。單道光子檢測(cè)器,如光電池、光電管、光電倍增管等;多道光子檢測(cè)器,如光二極管陣列(PDAs)檢測(cè)器和電荷轉(zhuǎn)移元件陣列(CTDs)檢測(cè)器等。另一類是熱檢測(cè)器，如真空熱電偶、熱電偶檢測(cè)器等,主要用于紅外光譜儀中。檢測(cè)器將光能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào),然后通過(guò)計(jì)算機(jī)輸出打印或用記錄儀、表頭、顯示屏等顯示。這種檢測(cè)器在一定的波長(zhǎng)范圍內(nèi),必須具有對(duì)光能響應(yīng)快、靈敏度高、穩(wěn)定性好等性能。5、讀出裝置即前說(shuō)的“輸出記錄”。由檢測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),這種電信號(hào)是光信號(hào)的模擬信號(hào)。簡(jiǎn)單的老式的光學(xué)分析儀器采用檢流計(jì)、微安表、

21、紀(jì)錄儀等直接顯示信號(hào)的大小?，F(xiàn)在各種電器儀表都能采用數(shù)字顯示器。要將模擬電信號(hào)的數(shù)字直接顯示出數(shù)來(lái),必須先經(jīng)過(guò)模擬數(shù)轉(zhuǎn)換,將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字信號(hào)。這樣不僅可以用數(shù)字顯示器直接客觀地顯示信號(hào)值的大小,減少讀數(shù)誤差,而且有利于提高讀數(shù)的精度。另外,數(shù)字信號(hào)可以由存儲(chǔ)器存儲(chǔ),以便對(duì)辛進(jìn)一步處理。模擬電信號(hào),包含有背景信號(hào)、測(cè)試信號(hào)和噪聲信號(hào)。噪聲信號(hào)的存在嚴(yán)重影響測(cè)試信號(hào)的質(zhì)量,讀出裝置如果只能簡(jiǎn)單地顯示檢測(cè)器提供的電信匯,則要求在檢測(cè)器和讀出裝置之間設(shè)計(jì)專門的電路,采用硬件濾去信號(hào)中的噪聲。硬件濾波除噪聲的缺陷是適用的噪聲頻率范圍較窄。若能將模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)為數(shù)字信號(hào),則能利用計(jì)算機(jī)軟件濾去信號(hào)中的噪聲。利用計(jì)算機(jī)軟件濾除噪聲的優(yōu)點(diǎn)是不受噪聲頻率范圍的限制?，F(xiàn)在,除簡(jiǎn)易光學(xué)分析儀器外,中、高檔光學(xué)分析儀器均采用計(jì)算機(jī)作為儀器的讀出裝置。從檢測(cè)信號(hào)中扣除背景信號(hào)得到分析信號(hào),進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。在分析測(cè)試過(guò)程中