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文檔簡(jiǎn)介

1、圖形電鍍工藝教材一. 圖形電鍍簡(jiǎn)介: 在平板電鍍后,板件經(jīng)過干膜曝光顯影后需要經(jīng)過圖形電鍍。 圖形電鍍的目的在于加大線路和孔內(nèi)銅厚(主要是孔銅厚度),確保其導(dǎo)電性能和其他物理性能。根據(jù)不同客戶不同板件的性能要求,一般孔壁銅厚在0.8mil-1.2mil之間(平板層+圖電層),由板件特性決定其平板層和圖電層的分配。 一般來說,平板電鍍層僅保證可以保護(hù)稀薄的沉銅層即可,一般在0.3mil-0.4mil左右,特殊銅厚要求和線路分布不均除外,圖形層則保證在0.4-0.6mil,在保證總銅厚的基礎(chǔ)上,如果圖形分布均勻,比較厚的圖形層可以節(jié)省銅球耗用和蝕刻成本,提高蝕刻速度,降低蝕刻難度。反之,如果線寬要

2、求不嚴(yán),而圖形分布不均線路孤立,則可以提高平板層厚度,降低圖形電鍍層厚度。 圖形電鍍后是蝕刻流程。二. 圖形電鍍基本流程: 板件經(jīng)過貼膜曝光顯影后形成一定的線路,圖形電鍍就是針對(duì)干膜沒有覆蓋的銅面進(jìn)行選擇性加厚。圖形主要流程如下(水洗視條件不同,為一道至兩道): 進(jìn)板除油水洗微蝕水洗酸浸(硫酸)電鍍銅水洗酸浸(氟硼酸)電鍍(鉛)錫水洗出板退鍍(蝕夾具)水洗進(jìn)板1 .除油:電鍍除油流程為酸性除油,主要是除去銅面表面的污物。因板件經(jīng)過干膜流程后,不可避免地會(huì)在板面帶上手印、灰塵、油污等,為使板面潔凈,保證平板銅層和圖形銅層的層間結(jié)合力,必須在電鍍前加上清潔板面的流程。采用酸性環(huán)境除油效果比堿性除油

3、差,但避免了堿性物質(zhì)對(duì)有機(jī)干膜的攻擊,主要成分為硫酸和供應(yīng)商提供的電鍍配套藥水(安美特FR,B圖電C圖電脈沖線;羅門哈斯LP200,B(II)線;成分均為酸性表面活性劑)。酸性除油劑的濃度測(cè)定是通過測(cè)定計(jì)算濃硫酸(98%)濃度來相對(duì)估算(無法直接測(cè)定,而配缸和消耗都是1:1比例),因此在換缸和補(bǔ)充的時(shí)候要保證兩者要等量添加,以保證測(cè)定濃度和實(shí)際濃度的一致性。2. 微蝕: 除油的微蝕流程主要作用為去除表面和孔內(nèi)的氧化層,并將銅層咬蝕出微觀上粗糙的界面,以進(jìn)一步提高圖形電鍍層和平板層的結(jié)合力。 微蝕體系通常有兩種:雙氧水體系和過硫酸鈉體系。圖形電鍍流程一般采用過硫酸鈉和硫酸,硫酸起去除氧化,保持板

4、面潤(rùn)濕的作用?;驹恚篠2O82- + Cu Cu2+ + 2SO42-另外,微蝕藥水中應(yīng)該保持一定濃度的銅離子(3-15g/l),以保證微蝕速率,微蝕速率控制在0.5m -1.5m/min為宜。因此微蝕缸的換缸一般要保留5-10%的母液。3. 酸浸(電鍍前): 板件進(jìn)入鍍缸前先進(jìn)入酸浸缸,可以進(jìn)一步去除氧化,減輕前處理清洗不良對(duì)鍍缸的污染,并保持鍍缸酸濃度的穩(wěn)定。 酸浸的體系主要取決于鍍液的組分體系,鍍銅藥水是硫酸體系,酸浸缸藥水就采用硫酸,鍍錫(鉛錫)藥水是氟硼酸體系,酸浸缸藥水就采用氟硼酸。酸浸濃度和鍍缸酸濃度也保持一致,以減少對(duì)鍍缸酸濃度的稀釋作用。4. 鍍銅:4.1 基本原理 鍍銅

5、是通過電壓的作用下,使陽(yáng)極的銅氧化成為銅離子,銅缸的銅離子在陰極獲得電子還原成銅: 陽(yáng)極:Cu - 2e Cu2+ 陰極:Cu2+ + 2e Cu 這是鍍缸里的最主要的反應(yīng),在酸度不足的情況下,還可能出現(xiàn)還原不完全而產(chǎn)生一價(jià)銅,即所謂的“銅粉”,會(huì)導(dǎo)致鍍層粗糙或呈海綿狀,這種情況應(yīng)該避免在電鍍過程中出現(xiàn)。4.2 主要成分及作用: 鍍銅缸主要成分為硫酸銅、硫酸、微量氯離子、供應(yīng)商提供的鍍銅添加劑。硫酸銅是鍍液中主鹽,它在水溶液中電離出銅離子,銅離子在陰極上獲得電子沉積出銅鍍層。較高硫酸銅濃度可以提高允許電流密度,避免高電流區(qū)燒焦,硫酸銅濃度過高,則會(huì)降低鍍液分散能力。一般控制在50-80g/l之

6、間,折合成銅離子約為12-20g/l。硫酸的主要作用是增加溶液的導(dǎo)電性,硫酸的濃度對(duì)鍍液的分散能力和鍍層的機(jī)械性能均有影響,硫酸濃度太低,鍍液分散能力下降,鍍層光亮度下降;硫酸濃度太高,雖然鍍液分散能力較好,但鍍層的延展性降低。一般控制在100-150ml/l(98%)。氯離子主要作用是使陽(yáng)極溶解均勻,鍍層平滑有光澤。氯離子正常時(shí)陽(yáng)極膜呈黑色,過量則變成灰白色。氯離子不足容易使鍍層出現(xiàn)發(fā)花,光澤低,而過高的氯離子容易使陽(yáng)極鈍化無法繼續(xù)溶解。配槽以及補(bǔ)加水都要純水,不可用自來水,因?yàn)槔锩婕佑新葰饣蚱追?,?huì)帶入大量的氯離子。一般控制在40-80ppm間。通常補(bǔ)充氯離子采用36.5%鹽酸加入。鍍銅

7、添加劑主要有兩個(gè)組分:光亮劑、整平劑(調(diào)整劑),均為商品化產(chǎn)品,一般是一些含S或N的有機(jī)物。添加劑的作用為加速銅的沉積,改善其晶粒排布,以提高銅層的延展性等品質(zhì)。光亮劑主要作用在電鍍界面上,控制銅堆積的速率以保證沉積出來的銅層均勻光滑,從而使鍍層光亮。整平劑(調(diào)整劑)主要吸附在陰極表面,尤其是電流密度較高的位置(例如孔的拐角部位和板件的邊緣),從而對(duì)電沉積起到抑制作用,使鍍層平整。沒有添加劑或添加劑不足,銅將在板件上做無規(guī)律的堆積,產(chǎn)生凹凸不平和燒焦的銅層,從而無法保證鍍層的物理性能。添加劑的補(bǔ)充主要是通過自動(dòng)統(tǒng)計(jì)的電鍍安培小時(shí)數(shù)按比例添加。4.3 電鍍條件及影響 電鍍銅一般有以下幾個(gè)重要的因

8、素:溫度、攪拌、過濾、電流、時(shí)間 溫度:對(duì)鍍液性能影響很大,溫度提高,會(huì)導(dǎo)致允許的電流密度提高,加快電極反應(yīng)速度,但溫度過高,會(huì)加快添加劑的分解,使添加劑的消耗增加,同時(shí)鍍層光亮度降低,鍍層結(jié)晶粗糙。溫度太低,雖然添加劑的消耗降低,但允許電流密度降低,高電流區(qū)容易燒焦。一般控制在20-30 ,最佳控制22-28 。 攪拌:可以消除濃差極化,使鍍液提高允許電流密度。攪拌一般通過使陰極(板件)移動(dòng)(搖擺)和使溶液流動(dòng)(打氣或噴流循環(huán))共同進(jìn)行。 1)搖擺:通過搖擺輪帶動(dòng)搖擺桿的運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)陰極板件的移動(dòng)。可以促進(jìn)孔內(nèi)的溶液流動(dòng),也能及時(shí)被趕出出現(xiàn)的氣泡2)打氣:通過壓縮空氣攪拌對(duì)鍍液進(jìn)行的中度到強(qiáng)烈

9、的翻動(dòng),對(duì)鍍銅液而言,不僅使鍍液能夠充分地?cái)嚢杈鶆?,還能提供足夠的氧氣,促進(jìn)溶液中的Cu+氧化成Cu2+,協(xié)助消除Cu+的干擾。 3)噴流循環(huán):也叫噴射式攪拌,通過鍍缸底部不同角度的噴射管經(jīng)過加壓把鍍液做一定速度的噴射,以加速鍍液的交換,同樣也起到使鍍液濃度保持均勻,從而提高孔內(nèi)鍍層均勻性的作用。噴流循環(huán)和打氣攪拌兩者只能選其一,如果兩種方式同時(shí)使用,則容易出現(xiàn)氣泡夾雜在鍍液進(jìn)入噴射管再通過噴射作用在板面上從而引起針孔等缺陷。 過濾:主要是通過循環(huán)過濾泵安裝一定數(shù)量的過濾芯來凈化鍍缸鍍液,使鍍液中的雜質(zhì)及時(shí)地除去,避免板面鍍層問題,同時(shí)鍍液的循環(huán)流動(dòng)(一般鍍缸均配置有體積不等的副槽)也使鍍缸各

10、位置藥水濃度保持均勻一致。過濾芯使用5-10微米的棉芯或PP濾芯,一般鍍缸鍍液每小時(shí)過濾4-8個(gè)循環(huán)。 電流密度和電鍍時(shí)間: 電流密度指的是單位面積上分配到的電流大小,通常用安培/平方分米(ASD)作單位,電流密度可以衡量銅層沉積的速度,電流密度大,則沉積速率快。在保證板件質(zhì)量的條件下,高電流密度能提高生產(chǎn)效率。 但電流密度不能隨意升高,由設(shè)備能力(整流機(jī)和陽(yáng)極面積及排布)和板件特性(線路情況和板件質(zhì)量要求)決定。電鍍時(shí)間則根據(jù)銅厚要求和電鍍線自身能力限定的最大電流密度來安排。在圖形電鍍中,由于圖形分布均不一致,不同板件的電流密度和電鍍時(shí)間一般都要經(jīng)過試鍍,測(cè)定孔壁銅厚后再調(diào)整為正式生產(chǎn),以避

11、免孔銅不足或過高帶來的質(zhì)量問題。4. 4 主要物品: 陽(yáng)極:為含磷0.04-0.06%的銅球,含磷陽(yáng)極可以維持合適的溶出速度,避免陽(yáng)極溶解過快產(chǎn)生的銅粉,而過高的磷含量會(huì)使陽(yáng)極鈍化影響其溶解。銅含量一般要求在99.9%以上,過多的金屬雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致鍍層的物理性能降低。陽(yáng)極籃、陽(yáng)極袋:陽(yáng)極籃是盛放含磷銅球的器具,一般為金屬鈦制成,鈦金屬不溶出,不影響鍍液。陽(yáng)極袋套在陽(yáng)極籃上,可避免含磷陽(yáng)極泥進(jìn)入鍍缸污染鍍液。陽(yáng)極袋一般比陽(yáng)極高3-4厘米,避免因鍍液攪動(dòng)而從陽(yáng)極籃上方帶出陽(yáng)極泥。5. 鍍(鉛)錫:鍍完銅后經(jīng)過氟硼酸缸后進(jìn)入鉛錫缸。鍍鉛錫主要是對(duì)保留線路進(jìn)行保護(hù)。在堿蝕流程中,蝕刻液對(duì)鉛錫層無明顯的作用

12、,在要保留線路上菲林開窗鍍上銅并鍍上鉛錫,鉛錫可以作為蝕刻時(shí)要求保留的銅面的蝕刻阻劑,來保護(hù)其不受蝕刻液的攻擊。一般來說,鉛錫層作為保護(hù)層,厚度沒有過高的要求,在120-150”已經(jīng)可以保證保護(hù)效果。鍍鉛錫主要采用的是氟硼酸體系,則其藥水主要成分是氟硼酸鉛、氟硼酸錫和氟硼酸。氟硼酸鉛和氟硼酸錫是主鹽,氟硼酸起增加導(dǎo)電性作用。同樣鍍鉛錫也需要相應(yīng)的一些添加劑來確保鉛錫層的質(zhì)量,添加劑包括校正液、精細(xì)劑等,有的則是將完成功能都放在一起組成單一組分,鉛錫添加劑的添加也是通過安培小時(shí)數(shù)的自動(dòng)統(tǒng)計(jì)來控制自動(dòng)添加的。鍍鉛錫所用陽(yáng)極為鉛錫比例為37/63的商品化產(chǎn)品。 6. 退鉛錫: 鍍完鉛錫后板件就走完整

13、個(gè)圖形電鍍流程,回到入板位置開始卸板。板件卸完后不是立刻上板,而要經(jīng)過退鉛錫流程。退鉛錫是為了使夾具夾點(diǎn)鍍上的鉛錫(包括包在里面的銅)不會(huì)逐漸累積而影響板件和夾點(diǎn)的接觸,避免夾點(diǎn)上銅導(dǎo)致電鍍面積的變化影響銅厚。退鉛錫缸的成分為硝酸,濃度為50%左右。三. 工藝要點(diǎn):1. 電流指示的制作:制作電流指示時(shí)一定要先查看MI資料,確認(rèn)客戶類型、板厚、最小孔徑、板厚孔徑比、要求的最小孔壁銅厚、圖形分布情況、是否有平板加厚、孔徑公差要求及后處理方式(沉鎳金板、OSP板、無鉛噴錫和沉錫等)。一般括號(hào)內(nèi)四種后處理方式的板件由于后處理時(shí)蝕銅量大,通常要加大0.1-0.15mil。圖形電鍍主要是對(duì)孔銅進(jìn)行加厚,考

14、慮不同板厚孔徑比(板厚與孔徑的比值),以上公式應(yīng)該再除以深鍍能力(鍍液由于在表面交換比在孔內(nèi)交換頻繁,孔內(nèi)的鍍層厚度與表面的鍍層厚度為一個(gè)小于1的比值,板件厚度越大,孔徑越小,比值越小,而且不同的鍍液成分和比例也有所不同),然后按不同電鍍線的電鍍周期及其相應(yīng)的特點(diǎn),設(shè)定其電流密度和電鍍時(shí)間。試鍍電流參數(shù)可以通過以下估算來確定: 根據(jù)法拉第定律,可以推導(dǎo)出電鍍銅層的沉積速率約為: v (mil/min)=0.0087*D* (D:電流密度/ASD ;:電流效率/%) 一般電流效率按95%計(jì)算,則理論電鍍銅厚度(mil)= 電流密度(ASD)*電鍍時(shí)間(min)/120/深鍍能力 深鍍能力大致可參

15、考下表代入以上公式(圖形分布差異未考慮):羅門哈斯125體系:電流密度 厚徑比<4:14-6:16-7:1>7:11.0-1.5ASD90%80%75%按60%1.5-2.0ASD80%75%65%按55%>2.0ASD75%65%60%按50%安美特TP體系:電流密度 厚徑比<4:14-6:16-7:1>7:11.0-1.5ASD95%85%80%按65-70%1.5-2.0ASD90%85%75%按65%>2.0ASD90%80%70%按55%對(duì)于平板加厚板件,若板厚超過3mm板件,即使平板加厚至0.5mil,但實(shí)際上只有0.3mil左右,電流指示設(shè)計(jì)時(shí)

16、要充分考慮厚板的深鍍能力較差,適當(dāng)提高電流密度或延長(zhǎng)電鍍時(shí)間,防止出現(xiàn)多次試鍍孔壁銅厚不足。對(duì)圖形分布情況的影響:電鍍面積超過50%的板件可能存在大銅面,電流指示設(shè)計(jì)時(shí)也要考慮進(jìn)去,板邊較大但板內(nèi)圖形孤立、線路稀疏的板件一般要使用較低的電流密度防止鍍層過厚夾膜。電鍍面積的估算:通常以板面面積估算為主,電鍍面積為拼板總面積*電鍍面積所占比例,孔內(nèi)面積一般約占10%,但可不考慮,試鍍后再做調(diào)整。當(dāng)孔徑大小等于板厚時(shí),孔壁展開面積對(duì)真實(shí)電鍍面積的影響很大,當(dāng)厚板板面有很多較大的插件孔時(shí),真實(shí)電鍍面積增加量很大,電鍍時(shí)必須進(jìn)行考慮,則應(yīng)該把孔內(nèi)面積計(jì)算進(jìn)去。當(dāng)估算的電鍍面積與電腦上提供的面積進(jìn)行比較,

17、若誤差較小時(shí)按電腦上提供的面積為準(zhǔn),若相差較大時(shí)要求事業(yè)部拼板組重算確認(rèn)。目前各圖形電鍍線的電流指示制作參考經(jīng)驗(yàn)值(板厚孔徑比為5:1,超過可略提高0.1-0.2ASD,表中乘號(hào)前后單位分別為ASD、min):孔壁銅厚1.6mm2.0mmBCBII脈沖BCBII脈沖0.6mil1.8*451.8*451.1*702.5*352.0*452.0*451.2*702.6*350.8mil2.3*452.3*451.3*703*352.2*452.2*451.4*702.9*351.0mil2.5*45 1.9*602.5*45 1.9*601.5*703.4*352.7*452.5*451.9*6

18、02.5*451.9*601.7*703.2*352.7*451.2mil根據(jù)具體板件及平板加厚進(jìn)行計(jì)算孔壁銅厚2.5mm3.0mmBCBII脈沖BCBII脈沖0.6mil/2.3*451.4*702.5*45/2.5*451.6*702.7*450.8mil/2.6*451.6*702.8*45/2.1*601.8*703.0*451.0mil/2.1*601.4*903.0*45/2.2*601.5*903.2*451.2mil根據(jù)具體板件及平板加厚進(jìn)行計(jì)算2. 試鍍板件確認(rèn):(1)孔銅確認(rèn):一般以物理室孔電阻數(shù)據(jù)進(jìn)行確認(rèn),根據(jù)板件結(jié)果和經(jīng)驗(yàn)判斷對(duì)試鍍的電流指示做確認(rèn),在系統(tǒng)里注明。而薄板

19、、厚板孔銅無法用孔電阻測(cè)試法測(cè)定,只能通過切片判斷,不能做切片的,一般以經(jīng)驗(yàn)值和理論值進(jìn)行推斷。當(dāng)測(cè)定值與理論值差距大時(shí),則先按以下步驟處理:Ø 用手摸板面線路、感覺鍍層厚度Ø 用測(cè)厚儀測(cè)量表面銅厚:鍍層厚度=總銅厚度基銅厚度沒有發(fā)現(xiàn)異??梢笾販y(cè)或切片確認(rèn)。 一般A類客戶華為、朗訊、捷普等,包括汽車板件,都需要經(jīng)過切片值進(jìn)行確認(rèn),切片值大于0.9mil以上才可正式生產(chǎn)。(2)孔徑確認(rèn):客戶板件孔徑都存在一定的公差要求,試鍍板件除孔壁銅厚要求外還需要對(duì)孔徑公差進(jìn)行確認(rèn),防止出現(xiàn)超差問題,特別是孤立孔出現(xiàn)孔徑小的情況。一般由QE確認(rèn),沒有出現(xiàn)超差即可。若出現(xiàn)孔小而孔銅偏大,可

20、降低電流再試鍍,如果孔小而孔銅正常,則需要確認(rèn)是否為圖形分布不均勻,考慮改大平板電鍍電流降低圖形電鍍電流。(3)線路確認(rèn):對(duì)于設(shè)計(jì)電流值過大時(shí),有可能出現(xiàn)細(xì)密線路夾膜的情況,QE對(duì)線路檢查合格后方可正式生產(chǎn)。如果試鍍夾膜,在保證銅厚的基礎(chǔ)上適當(dāng)降低電流密度再試,如果孔銅正常,則同樣檢查圖形分布,考慮提高平板電鍍電流而降低圖形電鍍電流。 當(dāng)試鍍后孔壁銅厚、孔徑和線路確認(rèn)后,在電腦系統(tǒng)將試鍍的電流指示改為正式生產(chǎn)。3. 定期生產(chǎn)線能力和性能驗(yàn)證項(xiàng)目:(1)均鍍能力驗(yàn)證: 采用光板整板電鍍方式,鍍前鍍后用銅厚測(cè)試儀直接測(cè)板面銅厚,測(cè)量位置如附圖所示(每塊板測(cè)完后,檢查數(shù)據(jù),如發(fā)現(xiàn)特別的數(shù)據(jù)允許重測(cè))

21、。用CoV(Coefficient of Variance)值評(píng)估銅厚均勻性。電鍍銅板面鍍層厚度分布評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn): 板面鍍銅厚度均勻性:在鍍銅厚度為25m的前提下,不小于85%,Cpk1.33。xy122550y/4y/25y/83y/4y-50y-25y-12122x/5x/24x/5x-12(2)深鍍能力測(cè)試采用專用互連測(cè)試板編號(hào)為GY-010,經(jīng)過圖形轉(zhuǎn)移后電鍍,通過同樣板厚不同孔徑的孔的設(shè)計(jì),來測(cè)定不同板厚孔徑比的深鍍能力,其鉆孔方式如下(僅供參考,具體孔徑的設(shè)計(jì)可自行安排,只需在鉆嘴表上修改):電鍍條件可自行設(shè)定,固定下來可供對(duì)比即可,一般可高中低電流密度分別試板。蝕刻后取樣做切片按下述

22、測(cè)量方式并用顯微鏡測(cè)量孔內(nèi)及板面鍍層銅厚度:深鍍能力計(jì)算可分別采用十點(diǎn)法和六點(diǎn)法: ( 點(diǎn)1+點(diǎn)2+點(diǎn)3+點(diǎn)4+點(diǎn)5+點(diǎn)6)/6十點(diǎn)法: 深鍍能力(Throwing Power)= X 100% (點(diǎn)A+點(diǎn)B+點(diǎn)C+點(diǎn)D)/4 (點(diǎn)2+點(diǎn)5)/2六點(diǎn)法: 深鍍能力(Throwing Power)= X 100% (點(diǎn)A+點(diǎn)B+點(diǎn)C+點(diǎn)D)/4(3)熱應(yīng)力測(cè)試(漂錫熱沖擊試驗(yàn)):采用GY-BGATEST板件,采用平板電鍍方式即可,電鍍后取樣方式如下:每片板裁上、中、下3小片100mm x 100mm測(cè)試板進(jìn)行漂錫試驗(yàn): 用鑷子夾住測(cè)試板涂上FLUX后放入288°C錫爐漂錫10Sec;

23、然后拿出冷卻至室溫,再涂上FLUX后又放入288°C錫爐漂錫10Sec.,然后拿出冷卻至室溫,如此重復(fù)3-6次。將經(jīng)漂錫試驗(yàn)之100mm x 100mm測(cè)試板中間切片、分析是否有Cracks現(xiàn)象。評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn):熱應(yīng)力測(cè)試經(jīng)288°C 5Cycle未發(fā)現(xiàn)有裂痕 (4) 鍍銅層延展性和抗張強(qiáng)度測(cè)試 采用表面光亮無劃痕之不銹鋼片,電鍍后撕下送交藥水供應(yīng)商測(cè)定,注意鍍銅層厚度要在2mil以上。鍍銅層延展性和抗張強(qiáng)度評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn): 鍍銅層延展性(Elongation) 必須18% 抗張強(qiáng)度(Tensile Strength) 必須248Mpa(36000 PSI)(5) 高低溫冷熱循環(huán)測(cè)試使

24、用高低溫冷熱循環(huán)專用測(cè)試板(P00727R) 、指定使用生益板材FR-4,電鍍后酸蝕鑼好外形送樣品質(zhì)部,由品質(zhì)部做測(cè)定。高低溫冷熱循環(huán)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):高低溫?zé)嵫h(huán)(125±3 30min,65±330min)500次。四. 不同電鍍線的特點(diǎn):1. 圖形B線: 為夾棍式夾板,可生產(chǎn)的板件為板厚0.42.0mm的板件,厚板因缸體因素深鍍能力不佳一般不生產(chǎn),孔徑小于等于0.3mm的板件也一般不在該線生產(chǎn)。圖形B線對(duì)薄板生產(chǎn)比較適合,因板件容易夾緊不掉板。因均勻性方面問題,孔徑要求嚴(yán)(公差為2mil)或線寬/間距4mil的板件也不在該線生產(chǎn)。圖形B線生產(chǎn)圖形電鍍時(shí)電鍍周期為45分鐘或60

25、分鐘,其他周期一般不生產(chǎn),電流密度最大可調(diào)至2.5ASD,但由于整流機(jī)的最大電流限制,一般電鍍面積超過50%的板件只能夠用長(zhǎng)周期60分鐘來生產(chǎn)。銅缸鍍液采用安美特TP系列的添加劑,在生產(chǎn)以上類型板件和控制電流密度的范圍里可以達(dá)到80的深鍍能力。2. 圖形C線: 為均勻性和適應(yīng)性最好一條圖形電鍍線,可以生產(chǎn)現(xiàn)時(shí)所有板厚的板件,薄板配置專門的薄板輔助夾具,因其各方面的穩(wěn)定性,孔銅、孔徑等要求嚴(yán)格的板件一般安排在這里生產(chǎn)。 圖形C線生產(chǎn)圖形電鍍時(shí)電鍍周期為45分鐘和60分鐘,其他周期如90分鐘、120分鐘等通過停機(jī)處理,電流密度最大可設(shè)至2.6ASD,銅缸鍍液同為安美特TP體系添加劑,因此對(duì)要求通過

26、高次數(shù)冷熱循環(huán)的板件一般不生產(chǎn)。3. 脈沖電鍍線: 采用脈沖方式鍍銅,深鍍能力較好。電鍍周期為35分鐘和45分鐘,其他周期一般不采用。35分鐘周期程序中鍍錫時(shí)間稍短,容易造成抗蝕方面的問題,比較少采用。電流密度最大可至3.5ASD,但一般高電流容易造成銅層粗糙,影響銅層和錫層間的結(jié)合力,引起焊盤過蝕的問題,所以盡量避免采用超過3.2ASD以上的電流密度。生產(chǎn)板件板厚一般在1.0mm-3.0mm之間,因均勻性不好,厚板、孔徑要求嚴(yán)(公差為2mil)、線寬/間距4mil(包括圖形分布不均勻)的板件也不生產(chǎn)。因脈沖鍍銅存在反向電流的問題,因此通常設(shè)計(jì)電流要比直流鍍銅要稍大0.2ASD。4. 圖形B(

27、II)線: 為最新的一條圖形電鍍線,基本上可以生產(chǎn)所有的板件,包括圖形C線不能生產(chǎn)的部分要求高的汽車板件。鍍銅周期為70分鐘與90分鐘,跳缸生產(chǎn)可按以上鍍銅周期的任意倍數(shù)生產(chǎn),對(duì)孔銅要求高需要長(zhǎng)周期鍍銅的板件最適合在該線生產(chǎn)。該線采用羅門哈斯125系列添加劑,鍍層耐冷熱循環(huán)次數(shù)高,適合生產(chǎn)高物理性能的板件。除薄板由于容易掉板和擦花,一般可調(diào)整到圖形C線生產(chǎn)外,其他板件均可在該線生產(chǎn)。 各線的能力一覽表:圖形B線脈沖電鍍圖形C線圖形BII線整流器輸出電流300A600 A500 A800 A建議最大電流密度2.6ASD3.5ASD2.6ASD2.0ASD備注板厚孔徑比少于4.6:1,孔徑公差&#

28、177;2mil板件及板厚超過2.5mm板件一般不生產(chǎn),面積超過50%的板件要求使用長(zhǎng)周期電鍍。線寬/間距大于4mil,孤立線容易出現(xiàn)夾膜,板厚<0.8mm的薄板不生產(chǎn)。無限制,但板厚<0.8mm的薄板需使用專用夾具或加支撐。無限制,但板厚小于0.8mm的板件不建議生產(chǎn)五. 常見問題分析處理:1. 孔銅不足:按以下次序檢查問題所在:Ø 通過切片確認(rèn)是否為圖形層鍍不足,會(huì)否出現(xiàn)漏平板加厚Ø 檢查電流值是否設(shè)計(jì)錯(cuò)誤,對(duì)照前面最小孔壁銅厚設(shè)定方式重新計(jì)算,如果設(shè)計(jì)正常,檢查孔內(nèi)面積,展開計(jì)算確認(rèn)其對(duì)真實(shí)電鍍面積的影響Ø 查看當(dāng)時(shí)電流參數(shù)有無按照電流指示進(jìn)行輸

29、入,包括每掛板件數(shù)、電流密度、電鍍時(shí)間等,查看是否有操作出錯(cuò)可能,也查看是否為不滿缸的散板,估算邊條的添加對(duì)電鍍面積的影響Ø 查看當(dāng)時(shí)有無設(shè)備故障記錄,并查詢電腦界面實(shí)際輸入的電流與設(shè)計(jì)值有否異常,是否因突發(fā)事故引起電流異常Ø 檢查各整流器輸出是否正常,陰陽(yáng)極電流與理論相差在10%以內(nèi)Ø 檢查夾具是否上銅、上錫Ø 當(dāng)通過以上確認(rèn)無誤,而仍有個(gè)別板件孔銅不足時(shí),則可能是夾點(diǎn)未能上緊或個(gè)別陽(yáng)極鈍化導(dǎo)致該處電力線偏弱造成,應(yīng)進(jìn)一步測(cè)試確認(rèn)已鍍好板件未蝕刻可退錫補(bǔ)鍍處理,已蝕刻好由QE確認(rèn)或報(bào)廢2. 夾膜:試鍍蝕刻后出現(xiàn)夾膜的未鍍板件處理:Ø 輕微夾膜

30、:進(jìn)一步確認(rèn)孔壁銅厚,若孔銅過厚可通過降低電流密度或延長(zhǎng)電鍍時(shí)間來解決,因脈沖電鍍?nèi)菀壮霈F(xiàn)夾膜可改為直流電鍍。Ø 夾膜較嚴(yán)重板件處理如下:l 出特殊菲林進(jìn)行試產(chǎn),如采用增加平衡銅點(diǎn)、平衡銅條、移線或增大孤立線間距,拼板外可直接修改,拼板內(nèi)的修改資料應(yīng)征得客戶同意l 采用平板加厚進(jìn)行生產(chǎn)(一般適用于線寬/間距大于5mil的板件,同時(shí)需考慮線寬補(bǔ)償量)l 鉆孔前采用減銅后進(jìn)行平板加厚(防止蝕刻出現(xiàn)蝕不凈或線細(xì))l 修改生產(chǎn)資料采用酸性蝕刻制程已鍍好夾膜板件試放慢速度退膜后,由QE確認(rèn)修理或報(bào)廢。3. 鍍層不良:(1)銅面銅點(diǎn)銅粒:Ø 檢查是否為手印手跡引起的團(tuán)狀突起,檢查上板方

31、式和手套潔凈程度Ø 檢查是否為雜物引起,檢查過濾棉芯情況和陽(yáng)極袋有無破損,液位是否高于陽(yáng)極袋開口位置Ø 檢查銅缸各組分是否在控制范圍,重點(diǎn)檢查光亮劑、整平劑和氯離子Ø 檢查是否電流過大出現(xiàn)板面燒焦,檢查銅缸液位和夾具有無上銅,如有可做中高電流密度的適當(dāng)拖缸,必要時(shí)進(jìn)行倒缸洗缸處理板面出現(xiàn)銅點(diǎn),可在蝕刻后于去毛刺磨板處磨板,局部銅點(diǎn)可以通過砂紙小心磨去,并在感光工序試印綠油觀察外觀是否允收。(2)鍍層凹陷:Ø 通過切片確認(rèn)是否為圖形層凹陷Ø 檢查是否為發(fā)花狀大片凹陷,如是,檢查除油和除油后的水洗是否正常,檢查當(dāng)板件在除油后進(jìn)入水洗時(shí)有無吊車故障而

32、水洗不足Ø 檢查銅缸各組分是否在控制范圍,重點(diǎn)檢查整平劑和氯離子Ø 檢查顯影線狀況,確認(rèn)其顯影情況是否良好出現(xiàn)鍍層凹陷的板件試走去毛刺磨板,嚴(yán)重的未能磨平則由QE確認(rèn)或報(bào)廢,線路簡(jiǎn)單板件可試外協(xié)砂帶磨板,物理室確認(rèn)孔口磨損情況。4. 鍍層燒焦:Ø 確認(rèn)燒焦部位為板角、板邊、孔邊或整板,板件圖形分布是否極不均勻,是否為滿缸生產(chǎn),不滿缸有否按正常條件添加邊條Ø 檢查電流設(shè)計(jì)是否過大,資料是否與板件相符(電鍍面積、尺寸、板邊等)Ø 檢查當(dāng)時(shí)電鍍參數(shù)的輸入(包括板件編號(hào)、電流密度、電鍍面積)是否有誤Ø 檢查系統(tǒng)當(dāng)時(shí)電流輸出有無問題,整流機(jī)工作是否正常(實(shí)鉗與顯示誤差應(yīng)在10%以內(nèi))Ø 檢查攪拌是否正常(打氣、噴流等),檢查搖擺是否正常,銅缸溫度是否過低,加熱筆和冷卻水工作是否正常Ø 檢查銅缸各組分的濃度是否正常,重點(diǎn)檢查銅離子含量會(huì)否過低,光亮劑的濃度是否偏低板件燒焦不嚴(yán)重,則在去毛刺磨板機(jī)磨板后(不超過2次)檢查孔邊磨損情況(一般只開針?biāo)ⅲ€路細(xì)密的需要檢查線路情況,磨板2次需經(jīng)物理室做熱沖擊確認(rèn),燒焦嚴(yán)重的板件一般做報(bào)廢處理。5. 孔小:與試鍍確認(rèn)孔徑的步驟相似:Ø

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