玻璃深加工設(shè)備

1、玻璃深加工設(shè)備玻璃深加工設(shè)備內(nèi)容提要1 玻璃深加工概述2 平板玻璃深加工工藝的分類3 平板玻璃深加工前處理設(shè)備4 玻璃熱彎設(shè)備5 玻璃鋼化設(shè)備6 玻璃的表面處理設(shè)備7 利用連接技術(shù)加工平板玻璃設(shè)備1 玻璃深加工概述玻璃深加工玻璃深加工是指有可能改變玻璃的性能并賦予它新的或不同的功能的技術(shù)。尤其對(duì)平板玻璃，深加工就是提升平板玻璃的附加值。隨著新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和新市場(chǎng)的拓展，它的附加值也越來(lái)越來(lái)高。深加工玻璃產(chǎn)品將成出口主流深加工玻璃產(chǎn)品將成出口主流玻璃深加工產(chǎn)品玻璃深加工產(chǎn)品 鋼化玻璃鋼化玻璃 中空玻璃中空玻璃 夾膠玻璃夾膠玻璃 防火玻璃防火玻璃 光學(xué)玻璃光學(xué)玻璃 汽車玻璃汽車玻璃 鍍膜玻璃鍍膜玻璃

2、 防彈玻璃防彈玻璃 家電玻璃家電玻璃彩繪、噴雕、鑲嵌、家具玻璃是賓館、飯店、商場(chǎng)、家庭等場(chǎng)所裝飾、裝修不可缺少的工藝玻璃產(chǎn)品。它們具有豪華靚麗、造型別致，款式多樣、富有藝術(shù)特色，與周圍環(huán)境交相輝映；中空玻璃、立體雕刻、彩繪玻璃、噴砂玻璃、夾絲玻璃、乳化玻璃、防彈玻璃以及無(wú)框門(mén)窗等深加工產(chǎn)品，具有光潔度好，色彩鮮艷、立體感強(qiáng)等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于賓館、商場(chǎng)、家庭的屏風(fēng)及裝飾等。鑲嵌玻璃鑲嵌玻璃它是一種不用制版，不用貼保護(hù)膜，無(wú)污染，用廉價(jià)的玻璃生產(chǎn)出的高檔次、高品位工藝裝飾品。隨著人們生活水平的提高，裝飾裝修已成為現(xiàn)代主流。鑲嵌玻璃裝飾畫(huà)已成為主要裝飾產(chǎn)品之一，可在玻璃上鑲嵌各種山水、化合物、花鳥(niǎo)等

3、圖案，產(chǎn)品典雅別致，曲線流暢，單體感強(qiáng)，栩栩如生。廣泛應(yīng)用于賓館、商場(chǎng)、家庭等大型壁畫(huà)、屏風(fēng)、隔斷、天花板等。雕刻玻璃雕刻玻璃晶瑩剔透，清新高雅、層次分明、活靈活現(xiàn)，廣泛用于屏風(fēng)、隔斷、裝飾畫(huà)、工藝品等。 中空玻璃中空玻璃中空玻璃又稱隔熱玻璃，是由兩層玻璃板組成的，玻璃板中間有用隔框形成的空隙，所以通稱中空玻璃。中空玻璃的空隙分為6、9、12、15和18mm等幾種。制造中空玻璃的原片已從用單一的普通平板玻璃發(fā)展為鍍膜夾絲、夾層玻璃等，用有低輻射膜玻璃制造的中空玻璃，其隔熱性能更好。優(yōu)質(zhì)的中空玻璃使用壽命可長(zhǎng)達(dá)25年。中空玻璃最優(yōu)良的性能是保溫隔熱性能，既能減少傳導(dǎo)熱，又能減少對(duì)流熱和輻射傳熱，

4、還具有減少冷輻射、降低噪音、防止結(jié)霜、結(jié)露等等性能。夾層玻璃：夾層玻璃：夾層玻璃由兩層或多層玻璃之間夾以特殊薄膜，經(jīng)高溫高壓處理而成。其最大的特點(diǎn)是受沖擊時(shí)不會(huì)碎散。廣泛應(yīng)用于建筑及各種保安場(chǎng)所。2 平板玻璃深加工工藝的分類一般分為以下四類： 1.改變玻璃形式的工藝，例如熱彎、鉆孔、磨邊工藝； 2. 改變玻璃的晶格結(jié)構(gòu)的工藝，例如熱鋼化或化學(xué)強(qiáng)化； 3.表面處理工藝，包括減（研磨或刻蝕）工藝或增（沉積）工藝。鍍膜工藝屬于后一個(gè)子分類； 4.利用連接技術(shù)加工的平板玻璃結(jié)構(gòu)，例如中空玻璃（IGU）、表面元件、LCD顯示器、光電模塊等?，F(xiàn)在，越來(lái)越多的簡(jiǎn)單產(chǎn)品開(kāi)始綜合采用多種深加工工藝，所以我們把它

5、稱為“綜合深加工平板玻璃”。如，在交通工具中已經(jīng)應(yīng)用了很多年的中空玻璃就是深加工最經(jīng)典的范例，前面已經(jīng)提到的四種深加工技術(shù)在這里都必須采用：第一，玻璃需要彎曲；第二，他們需要被強(qiáng)化；第三，為了防止邊緣密封受到紫外線輻射，他們的邊緣需要鍍上釉質(zhì)；最后，利用粘著劑把一對(duì)玻璃片逐步加工成為中空玻璃。3 平板玻璃深加工前處理設(shè)備目前，為了提高生產(chǎn)效率，某些加工玻璃品種的規(guī)格趨于大型化，如鍍膜玻璃，建筑夾層玻璃，其規(guī)格一般為2000mm3000mm- 3300mm 6100mm。將如此大規(guī)格的玻璃原片裝到生產(chǎn)線上及從生產(chǎn)線卸下成品，通常采用裝片機(jī)和綁片機(jī)來(lái)完成，某些加工玻璃在進(jìn)行工藝加工之前，要對(duì)玻璃原

6、片進(jìn)行研磨拋光、切割、磨邊、鉆孔、洗滌干燥等處理，如鋼化玻璃，夾層玻璃等。還有一些加工玻璃，經(jīng)洗滌干燥便進(jìn)行工藝加工，然后根據(jù)使用的玻璃原片也是大規(guī)格的，將這些玻璃裝到生產(chǎn)線或切割機(jī)上也需要采用裝片機(jī)。因此，我們簡(jiǎn)要介紹國(guó)內(nèi)外加工玻璃生產(chǎn)線常用的研磨拋光、裝片及卸片、玻璃的切割、磨邊、鉆孔及洗滌干燥的工藝方法工藝方法和設(shè)備設(shè)備?！坝枞艘贼~(yú)，受惠一時(shí)；授人以漁，獲益一世予人以魚(yú)，受惠一時(shí)；授人以漁，獲益一世” 3.1 研磨拋光玻璃的機(jī)械研磨是使用磨料在磨盤(pán)壓力和對(duì)玻璃表面而作相對(duì)運(yùn)動(dòng)下，將玻璃的不平處磨去，但玻璃表面變毛。粗顆粒磨料，研磨速度快，毛面較粗糙，故常用多級(jí)磨料，用拋光盤(pán)加入拋光液，對(duì)

7、玻璃表面作相對(duì)運(yùn)動(dòng)，得到光滑表面的玻璃，此即為拋光。平板毛玻璃是不透明的毛面玻璃，作采光而不讓透明之用，其毛面即用粗磨獲得，玻璃研磨也可用非自由磨料的砂輪進(jìn)行，砂輪可由剛玉、碳化硅、金剛石等磨料制成，研磨玻璃時(shí)加水即可。儀器玻璃的磨砂接頭、活塞等就是在磨床或車床上用各種砂輪進(jìn)行研磨的。磨盤(pán)材料：磨盤(pán)材料：磨盤(pán)材料硬度大，能提高研磨效率。鑄鐵材料的研磨效率為1，有色金屬則為0.6，塑料僅為0.2。但硬度大的研磨盤(pán)使研磨表面的凹陷深度也較深，面硬度較小的塑料盤(pán)，可使玻璃凹陷深度比鑄鐵盤(pán)降低30。因此，如最后一級(jí)粒度的磨料用塑料盤(pán)，就可以大大縮短拋光時(shí)間。拋光盤(pán)材質(zhì)：拋光盤(pán)材質(zhì)：一般拋光盤(pán)都用毛氈制

8、作，也有用呢絨、馬蘭草根等，粗毛氈或半羊毛氈的拋光效率高，細(xì)毛氈或呢絨的拋光效率低。裝飾器皿玻璃表面的刻花、磨琢線條、花紋也是用研磨方法，但它是用小尺寸的鐵輪、銅輪加磨料和水進(jìn)行的，或砂輪加水進(jìn)行。玻璃制品表面深刻，常用粗磨和細(xì)磨再進(jìn)行拋光。研磨與拋光材料：由于玻璃研磨時(shí)，機(jī)械作用是主要的，所以磨料的硬度必須大于玻璃的硬度，常用的研磨材料性能見(jiàn)下表：光學(xué)玻璃和日用玻璃研磨加工余量大，所以一般用剛玉或天然金剛砂研磨效率高，平板玻璃的研磨加工余量大，但面積大，用量多，一般采用廉價(jià)的石英砂。常用拋光材料有紅粉（氧化鐵）、氧化鈰、氧化鉻等，日用玻璃加工也有采用長(zhǎng)石粉的。各種拋光材料的性能見(jiàn)表紅粉是為玻

9、璃拋光材料中使用最早最廣泛的材料。氧化鈰和氧化鋯的拋光能力比紅粉高，由于他們的價(jià)格比紅粉高，應(yīng)用上沒(méi)有紅粉廣泛，對(duì)拋光材料的要求，除了必須有較高的拋光能力外，必須不含硬度大、顆粒大的雜質(zhì)，以免玻璃表面造成劃傷。玻璃研磨作業(yè)的不同階段，需要不同顆粒的磨料，統(tǒng)統(tǒng)需要進(jìn)行分級(jí)處理?；厥盏膹U磨料經(jīng)分級(jí)處理后也可再用，對(duì)顆粒較粗的粒級(jí)，可用篩分法分級(jí)，較細(xì)的粒級(jí)則需用水分級(jí)法進(jìn)行分級(jí)。最大工件尺寸 700拋光盤(pán)轉(zhuǎn)數(shù) 60Hz / 50Hz 上拋光盤(pán)轉(zhuǎn)數(shù) 0 26 R.P.M 上拋光盤(pán)轉(zhuǎn)數(shù) 0 35 R.P.M 電源：3相380V，50Hz 設(shè)備尺寸E：2310Wx1560Lx2750 控制方式：觸摸屏P

10、LC控制器 氣壓：5Kg 拋光盤(pán)尺寸：1130 x355x55t 主電機(jī)（MAINMOTOR）： 15Kwx4P 下拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速： Max.60R.P.M 變頻驅(qū)動(dòng) 上拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速： Max.20R.P.M 變頻驅(qū)動(dòng) 內(nèi)嚙合齒輪轉(zhuǎn)速：Max.18R.P.M 變頻驅(qū)動(dòng) 太陽(yáng)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)：1.5Kwx4P 太陽(yáng)輪轉(zhuǎn)速：Max.20R.P.M 變頻驅(qū)動(dòng) 游星輪尺寸：DP12，Z200，PCD423.3 內(nèi)嚙合齒輪尺寸 ：DP12，Z554，PCD1172.6 太陽(yáng)輪尺寸：DP12，Z154，PCD325.9 拋光液供應(yīng)箱： 403.2切割玻璃自動(dòng)切割機(jī)由切桌、切割橋、電腦控制箱、掰板臺(tái)、供電柜等主要部件組

11、成。3.3磨邊機(jī)根據(jù)玻璃的外形、邊部形狀、邊部光滑程度要求的不同，加工玻璃生產(chǎn)過(guò)程的磨邊可根據(jù)實(shí)際需求選用。磨邊機(jī)由玻璃支撐架、運(yùn)輸帶、磨頭機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)裝置、噴水系統(tǒng)、保護(hù)網(wǎng)等組成。3.4清洗設(shè)備機(jī)械過(guò)程包括：超聲波清洗、刷洗、高壓噴洗?；瘜W(xué)清洗過(guò)程：水預(yù)洗、稀堿或酸溶液、各種清潔劑、高純水浸泡。3.4.1超聲波清洗設(shè)備超聲波清潔技術(shù)的基本做法就是將待清潔的物質(zhì)放在振蕩的液體中。一般允許使用的振蕩頻率是25kHz和40kHz，所以不會(huì)與無(wú)線電波發(fā)生干擾。振蕩液體的能量可以把雜質(zhì)從表面上松動(dòng)下來(lái)。用于平板玻璃片的典型超聲波清洗設(shè)備如圖。該設(shè)備由排成一行的幾個(gè)清洗缸構(gòu)成。玻璃片垂直地排列并侵泡在清洗缸中

12、。1和3清洗缸中裝配著振蕩器5。為了在清洗的同時(shí)對(duì)玻璃的腐蝕產(chǎn)生影響，在1清洗缸中放置了酸性溶液。酸液能斷開(kāi)玻璃表面的Si-O-Si鍵，并產(chǎn)生具有反應(yīng)活性很高的羥基族（ Si-OH ）。由于超聲波會(huì)在清洗缸中產(chǎn)生靜波，為了確保整個(gè)玻璃表面都得到完全清洗，應(yīng)在清洗過(guò)程中不斷晃動(dòng)玻璃。3.4.2刷洗設(shè)備刷洗的原理是用毛刷通過(guò)機(jī)械的手段把平板玻璃表面上的灰塵分離開(kāi)，再利用噴嘴把水或其他清洗液噴到玻璃上以便去除灰塵顆粒。在平板玻璃的清潔中可以使用滾刷和盤(pán)刷，最常見(jiàn)的是成對(duì)排列的滾刷。兩個(gè)毛刷相對(duì)旋轉(zhuǎn)，玻璃從他們中間通過(guò)。滾刷的長(zhǎng)度應(yīng)當(dāng)略大于玻璃片的最大寬度。刷毛的直徑在0.250.95mm之間，旋轉(zhuǎn)速

13、度大約為680r/min。如圖。該設(shè)備包括一排清洗區(qū)。每個(gè)清洗區(qū)都裝備著一對(duì)滾刷和一些噴嘴，這些噴嘴分布在位于玻璃上下表面處的兩個(gè)水管上。同樣，噴淋寬度也應(yīng)該略大于玻璃片的寬度。玻璃片由傳動(dòng)輥來(lái)傳送：在垂直傳送設(shè)備中垂直地成對(duì)排列，水平傳送設(shè)備中則水平地成行排列。4 玻璃熱彎設(shè)備平板玻璃彎曲工藝比較簡(jiǎn)單：把切割好尺寸大小的玻璃，放置在根據(jù)彎曲弧度設(shè)計(jì)的模具上，放入加熱爐中，加熱到軟化溫度，使玻璃軟化，然后退火，即可制成熱彎玻璃。熱彎玻璃的生產(chǎn)可以是半連續(xù)生產(chǎn)或間歇生產(chǎn)；半連續(xù)生產(chǎn)一般是在隧道式窯爐中進(jìn)行：帶滾輪的模具放置在鋼軌上，把切好的平板玻璃放在模具上，推進(jìn)隧道窯預(yù)熱（預(yù)熱時(shí)間以玻璃不炸裂

14、為準(zhǔn)），后面的模具把前面的推入軟化區(qū)（溫度為800900 ），依次進(jìn)入退火（ 550570 ）、冷卻、最后作為成品（ 4050 ）從另一端推出，隧道窯產(chǎn)量大，但退火質(zhì)量較差，再處理時(shí)破碎率高；間歇式生產(chǎn)一般在間歇式窯爐內(nèi)進(jìn)行：把切好的原片放置到模具上，然后灑上一層隔離劑，再放上另一片玻璃，依次可放上其他原片（最多10片），放入間歇窯中，封閉窯門(mén)，開(kāi)始升溫至900 左右，停止加熱，讓玻璃隨爐冷卻，同時(shí)進(jìn)行退火。一個(gè)周期一般要24h。間歇式生產(chǎn)產(chǎn)量小，玻璃表面可能出現(xiàn)麻點(diǎn)（隔離劑引起的），但玻璃的應(yīng)力較小，再處理時(shí)破碎率低。熱彎玻璃可以使用電加熱熱彎玻璃可以使用電加熱5 玻璃鋼化設(shè)備 采用將玻璃加

15、熱，然后迅速冷卻的方法，以增加玻璃的機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性的方法稱為物理鋼化法。由于采用了加熱及吹風(fēng)冷卻，通常稱之為熱鋼化法或風(fēng)鋼化法。 用化學(xué)方法改變玻璃表面組分，以增加玻璃的機(jī)械強(qiáng)度和熱穩(wěn)定性的方法稱為化學(xué)鋼化法。由于它是通過(guò)離子交換使玻璃增強(qiáng)，又稱為離子交換法。 物理鋼化法根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程中玻璃的支撐辦法又可分為垂直吊掛法垂直法)、水平法、水平支持法(自重法、氣墊法等。 化學(xué)鋼化法根據(jù)變換離子的類型及離子交換處理的溫度又可分為低于轉(zhuǎn)變點(diǎn)溫度的離子交換法及高于轉(zhuǎn)變點(diǎn)溫度的離子交換法。 水平法是玻璃在水平狀態(tài)進(jìn)行輸送、加熱、成型、淬冷等工藝過(guò)程生產(chǎn)鋼化玻璃的方法。根據(jù)配備的設(shè)備，可生產(chǎn)平面、單彎、雙

16、曲面彎、雙折板等品種的鋼化玻璃。本法有多種類型的生產(chǎn)線。常用的為水平輥道往復(fù)式平鋼化玻璃生水平輥道往復(fù)式平鋼化玻璃生產(chǎn)線。產(chǎn)線。生產(chǎn)能力計(jì)算鋼化玻璃生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力取決于加熱爐的生產(chǎn)能力，加熱爐的生產(chǎn)能力按下式計(jì)算:式中A加熱爐爐膛面積s所生產(chǎn)玻璃的厚度，以mm計(jì)，因次不計(jì)入計(jì)算結(jié)果;n1每天工作班數(shù)(班);n2每年工作天數(shù)(d);1裝載系數(shù)，垂直法為50% -70%，水平法為50% -70%; 2-時(shí)間利用系數(shù)(%)。 根據(jù)各種加熱爐長(zhǎng)期生產(chǎn)實(shí)際經(jīng)驗(yàn)的總結(jié)，每1 mm厚度玻璃所需的加熱時(shí)間為40s。每班工作8h，當(dāng)一班或兩班生產(chǎn)時(shí)，上班后需將加熱爐從保溫溫度升至工作溫度，要除去這些非生產(chǎn)時(shí)間

17、。6 玻璃的表面處理設(shè)備（鍍膜玻璃）w如果在平板玻璃上鍍膜，這種膜必須具有以下如果在平板玻璃上鍍膜，這種膜必須具有以下特點(diǎn)：特點(diǎn)：w與平板玻璃的性能兼容；w膜層材料的可用性以及實(shí)現(xiàn)工業(yè)規(guī)模的鍍膜設(shè)備所要求的工藝過(guò)程的可能性；w在大面積表面上形成足夠平坦的膜層的可行性；w控制膜層厚度的可操作性；w達(dá)到適當(dāng)?shù)腻兡に俣鹊哪芰?；w經(jīng)濟(jì)生存能力；w環(huán)保性。這些要求在很大程度上限制了可使用的鍍膜技術(shù)的數(shù)量。當(dāng)前，在平板玻璃上采用的薄膜技術(shù)可以分為：真空工藝，也就是平常所說(shuō)的物理氣相沉積。Physical Vapor Deposition 化學(xué)工藝，也就是平常所說(shuō)的化學(xué)氣相沉積。Chemical vapor

18、 deposition 化學(xué)鍍膜法是將銀氨溶液和還原液噴灑到玻璃表而后產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成膜層，膜都是金屬膜;其化學(xué)沉積法產(chǎn)品的類型是硅膜，凝膠法是氧化物膜和金屬膠體膜。磁控濺射 濺射原理如下:磁控濺射是在濺射裝置中設(shè)置磁場(chǎng)以控制電子運(yùn)動(dòng)方向，束縛電子運(yùn)動(dòng)軌跡，從而提高工作氣體的電離幾率和有效地利用電子能量，提供大量的轟擊靶材的正離子，形成高密度的等離子區(qū)，由于正離子轟擊靶材而產(chǎn)生濺射，濺射粒子的中性靶原子在基片上沉積成膜，而其中的二次電子進(jìn)人等離子區(qū)參與電離碰撞，不斷地補(bǔ)充大量的正離子，二次電子在其能量將耗盡時(shí)，被陽(yáng)極吸引而導(dǎo)出真空室。磁控濺射的生產(chǎn)，需要使用下面兩類材料磁控濺射的生產(chǎn)，需要使用

19、下面兩類材料:1.濺射氣體：濺射氣體：有工作氣體及反應(yīng)氣體兩大類。工作氣體通常采用氬氣； 為了產(chǎn)生氧化物、氮化物、硫化物和碳化物膜層，在進(jìn)行濺射時(shí)，濺射室分別加人氧氣、氮?dú)?、硫化氫、甲烷氣體，純金屬靶材濺射出來(lái)的原子與這些氣體進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成氧化物或氮化物、硫化物、碳化物，然后沉積在基片表而而形成氧化物、氮化鋇、硫化物或碳化物膜層。這些氣體稱為反應(yīng)氣體反應(yīng)氣體。工業(yè)生產(chǎn)制備氧化物、氮化物的膜層較多，所以常用的反應(yīng)氣體多為氧氣和氮?dú)狻?(2)濺射材料 濺射材料靶材)通常制成矩形板、圓形板、輥形。小型濺射裝置的靶材也有做成圓盤(pán)形或棒形。金屬、半導(dǎo)體、合金、鹵化物(通常是氟化物)、氧化物、硫化物、

20、硒化物、元素周期表中 V族單質(zhì)和 族化合物及金屬陶瓷都適于做靶材。經(jīng)常使用的是金屬、合金、半導(dǎo)體和氧化物，有時(shí)也使用氮化物、硅化物、碳化物和硼化物。 制造陽(yáng)光控制鍍膜玻璃、玻璃鏡、導(dǎo)電膜玻璃的靶材，采用非磁性導(dǎo)電材料鉻、錫、鋅、銅、鋁、鉍、不銹鋼、銦錫合金等。制造低輻射鍍膜玻璃則采用金、銀，銅或鉛等靶材。濺射室 濺射室是一個(gè)圓柱形或矩形的臥式釜，如圖所示者為圓柱形，一端有釜門(mén)，釜內(nèi)有裝片框吊掛軌道、移動(dòng)式陰極吊掛軌道、移動(dòng)式陰極及驅(qū)動(dòng)裝置、預(yù)濺射擋板、裝片框下部導(dǎo)槽、陰極下部導(dǎo)槽。釜的末端有接真空系統(tǒng)的管道及通工作氣體、反應(yīng)氣體的管道口釜首端頂部有開(kāi)門(mén)機(jī)構(gòu)。真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)設(shè)有兩組真空泵、自控

21、閥門(mén)、儀表及管道。油泵、供油雄及壓縮空氣系統(tǒng) 此油泵及供油罐是向移動(dòng)式陰極驅(qū)動(dòng)所用的氣動(dòng)、氣液聯(lián)動(dòng)裝置供給高壓油，無(wú)油壓縮空氣用管道接至鍍膜機(jī)附近，經(jīng)再過(guò)濾及去水后接至氣動(dòng)、氣液聯(lián)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，油、氣經(jīng)自動(dòng)閥門(mén)通過(guò)程序自控裝置的指令開(kāi)關(guān)閥門(mén)，最終實(shí)現(xiàn)陰極按預(yù)定方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。 裝片機(jī) 玻璃基片自集裝架或木箱一片片地裝到水平連續(xù)式磁控濺射玻璃鍍膜生產(chǎn)線，由裝片機(jī)完成。通常采用吊車一真空吸盤(pán)組合裝置及自動(dòng)裝片機(jī)為本生產(chǎn)線的配套設(shè)備。當(dāng)生產(chǎn)小規(guī)格鍍膜玻璃時(shí)，可采用人工將玻璃基片裝到生產(chǎn)線。 入口洗滌干燥機(jī)用來(lái)鍍膜的玻璃基片，表面嚴(yán)格要求潔凈干燥，選用強(qiáng)力玻璃洗滌干燥機(jī)。濺射室 濺射室是對(duì)玻璃基片進(jìn)行濺射

22、的真空室，它需要具有高度的氣密性及嚴(yán)格控制氣流的功能;陰極除需具備濺射各種膜層的功能外，對(duì)設(shè)備其他部件還需具有電絕緣及冷卻水的密封性能。一般設(shè)15個(gè)濺射室。 每個(gè)濺射室通常分為35個(gè)區(qū)，根據(jù)濺射膜層的不間，確定安裝陰極的數(shù)量及其位置，每個(gè)配備陰極的區(qū)。在其室蓋開(kāi)孔處安裝一個(gè)陰極。其他區(qū)則為抽氣區(qū)，其室蓋開(kāi)孔處配備一個(gè)矩形頂蓋。 室內(nèi)也裝有輥道輸送機(jī)，室壁設(shè)有各種孔口，分別與真空系統(tǒng)、送氣系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)的管道及各種線路相連，也設(shè)有觀察孔。平面磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)設(shè)備平面磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)設(shè)備 化學(xué)氣相沉積定義：利用氣相物質(zhì)通過(guò)化學(xué)反應(yīng)在基定義：利用氣相物質(zhì)通過(guò)化學(xué)反應(yīng)在基體表面上形成固態(tài)薄膜的一種成膜技術(shù)。體表面上形成固態(tài)