真空泵的工作原理

1、Company nameCompanyLOGO真真空空泵泵的工作原理的工作原理高新高新區(qū)區(qū)工程裝一工程裝一車(chē)間車(chē)間工工藝組藝組凌碧慧凌碧慧Company name目錄真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件1真空泵的工作原理真空泵的工作原理2真空泵的常見(jiàn)故障真空泵的常見(jiàn)故障3快速接頭的構(gòu)造與密封原理快速接頭的構(gòu)造與密封原理5真空計(jì)校準(zhǔn)真空計(jì)校準(zhǔn)4Company name一、真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵的簡(jiǎn)介真空泵的簡(jiǎn)介油封式真空泵分為定片式、旋片式、滑閥式和余擺線式四種類(lèi)型。旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。旋片

2、泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。 旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.3310-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。 我司選用的萊寶泵即為雙級(jí)旋片式真空泵。Company name基本概念： 1、壓強(qiáng)：?jiǎn)挝幻娣e上的壓力稱為壓強(qiáng)。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)單位為牛頓/米2，即帕斯卡。 2、真空：是指在給定的空間內(nèi)，壓強(qiáng)低于101325帕斯卡(也即一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng))的氣體狀態(tài)。又可分為

3、高真空、中真空和低真空，它的氣體稀薄程度用真空計(jì)測(cè)定。 3、真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。實(shí)際是一種氣體壓強(qiáng)概念。Company name 各種壓強(qiáng)單位之間的換算 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=1.01325105 Pa（帕斯卡） 1 MPa（兆帕）=1106Pa（帕斯卡） 1bar（巴）=0.1兆帕=1105帕斯卡 1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕） 1inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa（百帕） 1mbar（巴）=100帕斯卡 1Torr（托）= l/760標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=133.322帕 1kg

4、/cm2（公斤力）=0.98105帕斯卡 可以 簡(jiǎn)化記：1巴（bar）=1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=1公斤/平方厘米=100千帕（KPa)=0.1兆帕（MPa） Company name一、真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵的主要構(gòu)成部件真空泵的主要構(gòu)成部件控制開(kāi)關(guān)控制開(kāi)關(guān)真空計(jì)真空計(jì)真空泵體真空泵體電機(jī)電機(jī)真空管法蘭卡箍硅管導(dǎo)電軌碳刷Company name一、真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵體的主要構(gòu)成部件真空泵體的主要構(gòu)成部件Company name一、真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵體的主要構(gòu)成部件真空泵體的主要構(gòu)成部件密封片前腔后腔前泵頂蓋前級(jí)泵二級(jí)泵二級(jí)泵頂蓋泵支架Company name一、真空

5、泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵體的主要構(gòu)成部件真空泵體的主要構(gòu)成部件缸體缸體轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)子旋片旋片法蘭、離心開(kāi)關(guān)法蘭、離心開(kāi)關(guān)軸、鍵軸、鍵支架支架風(fēng)扇、法蘭、彈性聯(lián)軸體風(fēng)扇、法蘭、彈性聯(lián)軸體Company name一、真空泵的簡(jiǎn)介和主要構(gòu)成部件真空泵各閥門(mén)分解真空泵各閥門(mén)分解防返油閥防返油閥堵帽堵帽離心開(kāi)關(guān)離心開(kāi)關(guān)排氣閥排氣閥單向排氣閥單向排氣閥彈簧片彈簧片Company name二、真空泵的工作原理真空泵的進(jìn)氣及前級(jí)壓縮工作原理真空泵的進(jìn)氣及前級(jí)壓縮工作原理氣體從進(jìn)氣口被吸入，通過(guò)通氣/隔離閥進(jìn)入前級(jí)泵的泵腔中，在泵中，氣體被傳送，當(dāng)入口處被葉片封閉后氣體被傳送和壓縮，在轉(zhuǎn)到過(guò)程中油從注油口被吸入缸

6、體內(nèi)；一方面，油起到缸壁與葉片端面間的密封與潤(rùn)滑作用，另一方面還起到葉片在轉(zhuǎn)子中的密封與潤(rùn)滑作用。在缸體中，氣體被壓縮后通過(guò)前級(jí)泵與二級(jí)泵之間支架通道進(jìn)入二級(jí)泵。注油口注油口Company name二、真空泵的工作原理真空泵的二級(jí)壓縮及排氣工作原理真空泵的二級(jí)壓縮及排氣工作原理當(dāng)氣體被從支架通道吸入二級(jí)泵缸體后，氣體又被如同前級(jí)泵一樣傳送和壓縮（即容積的大小轉(zhuǎn)換壓縮），最終通過(guò)排氣閥排入排氣通道然后排出大氣外，其中壓縮的氣體夾帶的油將被過(guò)濾器收集。通常在泵運(yùn)轉(zhuǎn)于極限壓強(qiáng)下會(huì)出現(xiàn)油撞擊聲，這種噪音可由二次空氣來(lái)消音。二次空氣注入口二次空氣注入口Company name二、真空泵的工作原理真空泵的

7、氣振真空泵的氣振我們的冰箱系統(tǒng)中除了存在空氣，可能還有水蒸汽，蒸汽會(huì)溶解于油中，這將有損于泵油的性能，或?qū)⒈糜腿榛鸨玫母g。為此，在抽氣過(guò)程終止后，打開(kāi)氣振閥繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)至少運(yùn)轉(zhuǎn)30分種，當(dāng)全部蒸汽被抽除，能改善可達(dá)到的極限壓強(qiáng)。氣振的工作原理：進(jìn)氣-壓縮-排氣。氣振閥帽加強(qiáng)板油過(guò)濾器氣振閥體彈簧Company name三、真空泵的常見(jiàn)故障故障可能的原因檢修泵無(wú)法啟動(dòng)電源線連接不正確；檢查、維修電源線供給電機(jī)的電源電壓與電機(jī)不匹配；更換電機(jī)電機(jī)發(fā)生故障；更換電機(jī)泵油溫度低于10攝氏度；加熱泵和泵油或使用別的類(lèi)型的泵油泵油太粘稠；換油排氣過(guò)濾器或排氣管道被堵塞清洗過(guò)濾器或排氣管道泵被卡死維修泵

8、泵達(dá)不到極限壓強(qiáng)測(cè)量方式或規(guī)管不合適使用正確的測(cè)量方法及規(guī)管/在泵的進(jìn)氣口處直接測(cè)量真空度外部泄漏放返油閥失效維修防返油閥排氣閥故障維修排氣閥泵油不合適換油（必要時(shí)對(duì)油脫氣）進(jìn)氣口被污染清洗抽氣管道泵的抽速太小確認(rèn)系統(tǒng)參數(shù)，必要時(shí)換泵Company name三、真空泵的常見(jiàn)故障故障可能的原因檢修泵的抽速太慢進(jìn)氣口或進(jìn)氣管道被堵塞清洗進(jìn)氣管道（預(yù)防：在進(jìn)氣口前安裝一個(gè)雜物過(guò)濾器）排氣過(guò)濾器被堵塞更換過(guò)濾器連接的真空管直徑太小或管道太長(zhǎng)使用直徑足夠大的管道或短的連接管道停泵以后，被抽容器中的壓強(qiáng)上升過(guò)快真空系統(tǒng)有泄漏對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢查防返油閥故障維修防返油閥泵在運(yùn)行中溫度過(guò)高冷卻泵所需的風(fēng)受阻正確的安

9、裝（電機(jī)后部應(yīng)留足夠的空間）泵工作的環(huán)境溫度太高降低環(huán)境溫度、最高允許環(huán)境溫度40度所抽氣體的溫度太高改變工藝油位太低加油油不適合換油泵油的循環(huán)受阻清洗或維修進(jìn)油嘴排氣過(guò)濾器或排氣管道被堵塞更換過(guò)濾芯、清洗排氣管道排氣閥故障維修排氣閥泵腔被磨損更換泵腔部件Company name三、真空泵的常見(jiàn)故障故障可能的原因檢修在真空管道中或被抽容器中發(fā)現(xiàn)油油來(lái)自真空系統(tǒng)檢查真空系統(tǒng)防返油閥失效清洗或維修防返油閥防返油閥的密封面磨損或太臟清洗或維修進(jìn)氣口和防返油閥油位過(guò)高放掉多余的泵油泵油混濁、乳化可凝性氣體凝結(jié)對(duì)油進(jìn)行脫氣或換油并沖洗泵腔；預(yù)防：打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥泵的噪音過(guò)大油位太低（觀察窗內(nèi)已經(jīng)看不到油）加油

10、消音孔被堵塞清洗或更換消音孔部件進(jìn)氣口壓強(qiáng)太高降低進(jìn)氣口壓強(qiáng)內(nèi)部油霧過(guò)濾器被堵塞清洗或更換油霧過(guò)濾器彈性聯(lián)軸體磨損更換一個(gè)新的彈性聯(lián)軸體葉片或軸承損壞維修泵Company name四、真空計(jì)校準(zhǔn)真空計(jì)現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)真空計(jì)現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)打開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)中原接入真空計(jì)規(guī)管接頭處,接入三通。三通的另兩關(guān)分別接入被校真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)；打開(kāi)真空泵，觀察標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)顯示的真空下降的速度，以便確認(rèn)整個(gè)抽真空系統(tǒng)是否有泄漏；觀察兩真空計(jì)數(shù)值下降的一致程度，并記錄10 Pa和6 Pa時(shí)被校真空計(jì)的數(shù)值，計(jì)算被校真空計(jì)在每一點(diǎn)的相對(duì)誤差值，對(duì)于超過(guò)50%，先進(jìn)行基準(zhǔn)電流的調(diào)試。如實(shí)在無(wú)法調(diào)整過(guò)來(lái)，更換規(guī)管，如更換規(guī)管后，誤差還是無(wú)法

11、調(diào)整，則判為不合格。通知設(shè)備維修部門(mén)更換真空計(jì)。Company name四、真空計(jì)校準(zhǔn) 54DB（59C4）真空計(jì)現(xiàn)場(chǎng)定點(diǎn)調(diào)整方法）真空計(jì)現(xiàn)場(chǎng)定點(diǎn)調(diào)整方法調(diào)整規(guī)管電流值11看清規(guī)管上標(biāo)注的電流值；12按下真空計(jì)電流按鍵，一直按著不要松開(kāi)，然后調(diào)整校準(zhǔn)旋鈕，將電流值調(diào)到與規(guī)定標(biāo)注相同的電流值。（刻度盆下面一圈為電流值）；13調(diào)準(zhǔn)確后，松開(kāi)電流按鍵。2、調(diào)整定點(diǎn)值21按下模擬按鍵，不要松開(kāi)；22調(diào)整定點(diǎn)旋鈕，將指針調(diào)到所要求的真空值；23調(diào)準(zhǔn)確后，松開(kāi)模擬按鍵。3、調(diào)整切換點(diǎn)31按下模擬按鍵，不要松開(kāi)；32調(diào)整切換旋鈕，將紅綠點(diǎn)中綠燈的亮，調(diào)到真空值以下為綠燈，超過(guò)真空值為紅燈；33注意紅綠燈在真

12、空臨界值附近切換的控制；34調(diào)準(zhǔn)確感覺(jué)滿足要求后，松開(kāi)模擬按鍵。Company name四、真空計(jì)校準(zhǔn)如何將真空計(jì)在如何將真空計(jì)在10Pa和和6Pa時(shí)的相對(duì)誤差調(diào)到時(shí)的相對(duì)誤差調(diào)到20%以下以下一、當(dāng)系統(tǒng)穩(wěn)定時(shí)，對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的示值，按下54DB真空計(jì)的校準(zhǔn)鍵，將電流值調(diào)小；二、松開(kāi)校準(zhǔn)鍵，觀察在被校真空計(jì)的示值的相對(duì)誤差是否減少，若減小，則證明將電流值調(diào)小為正確的。反之則將電流值調(diào)大；三、反復(fù)調(diào)整直至將被校真空計(jì)的示值調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)一致；四、關(guān)閉真空泵，當(dāng)真空度回升后50Pa左右后，再開(kāi)啟真空泵，觀察被校真空計(jì)在10Pa和6Pa時(shí)的相對(duì)誤差；五、反復(fù)調(diào)整，直到將相對(duì)誤差值調(diào)到可接受的程度。Company name五、快速接頭的構(gòu)造及密封原理快速接頭的鎖緊部分快速接頭的鎖緊部分套桶卡扣鎖緊環(huán)接頭密封圈卡扣鉸鏈結(jié)構(gòu)，一端固定在接頭上，另外一端卡在套桶上，當(dāng)卡扣被推向快速接頭的接口時(shí)，帶動(dòng)接頭、鎖緊環(huán)向前推進(jìn)，使得卡簧收緊鎖住工藝管，接