gb50073-2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

1、潔凈廠房設(shè)計規(guī)范中華人民共和國國家標準潔凈廠房設(shè)計規(guī)范CodefordesignofcleanroomGB50073-2013主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部批準部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期：2013年9月1日中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告第1627號住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標準潔凈廠房設(shè)計規(guī)范的公告現(xiàn)批準潔凈廠房設(shè)計規(guī)范為國家標準，編號為GB50073-2013，自2013年9月1日起實施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、

2、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條(款)為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。原國家標準潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001同時廢止。本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出

3、版社出版發(fā)行。2潔凈廠房設(shè)計規(guī)范54中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部2013年1月28日本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部關(guān)于印發(fā)2002-2003年度工程建設(shè)國家標準規(guī)范制訂、修訂計劃的通知（建標函2003102號）的要求，由中國電子工程設(shè)計院會同有關(guān)單位共同對潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001修訂而成。本規(guī)范在修訂過程中，修訂組結(jié)合我國潔凈廠房設(shè)計建造和運行的實際情況進行了廣泛的調(diào)查研究和測試，認真總結(jié)了潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001多年來實施的經(jīng)驗，廣泛征求了全國有關(guān)單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。本規(guī)范共9章和3個附錄，主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語、空氣潔凈度等級、總體設(shè)計、建筑、給水排水、工

4、業(yè)管道、電氣等。本規(guī)范主要的修訂技術(shù)內(nèi)容是：修改了第2章術(shù)語；對第3章空氣潔凈度等級的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補充；修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”；修改了部分“強制性條文”為“非強制性條文”。本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。），以便今后修訂時參考。本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負責(zé)管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責(zé)日常管理，由中國電子工程設(shè)計院負責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設(shè)計院（地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：主編單位：中國電子工程設(shè)計院參編單位

5、：信息產(chǎn)業(yè)部第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計院中國建筑科學(xué)研究院主要起草人：陳霖新張利群王一國繆德驊晁陽趙海俞渭雄周春海秦學(xué)禮譚易和賀繼行肖紅梅樊勖昌張彥國黃德明牛光宏冷捷敏馮佩明主要審查人：涂光備薛長立王宗存張洪雁施紅平李兆堅葉鳴孫志華萬梓良條文說明修訂說明潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2013,經(jīng)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部2013年1月28日以第1627號公告批準發(fā)布。本規(guī)范是在潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001的基礎(chǔ)上修訂而成，上一版的主編單位是中國電子工程設(shè)計院,參編單位是信息產(chǎn)業(yè)部第十一設(shè)計研究院中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計院、中國建筑科學(xué)研究院

6、，主要起草人員是劉存宏、陳霖新、張利群、王唯國、繆德驊、郝錫澤、趙海、俞渭雄、周春海、晁陽、賀繼行、陸原、肖紅梅、樊勖昌、譚易和、黃德明、郭興周、冷捷敏、馮佩明。本次修訂的主要內(nèi)容為：修改了第2章術(shù)語；對第3章空氣潔凈度等級的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補充；修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”；修改了部分“強制性條文”為“推薦性條文”。為便于廣大設(shè)計、施工、科研、學(xué)校等單位有關(guān)人員在使用本規(guī)范時能正確理解和執(zhí)行條文規(guī)定，潔凈廠房設(shè)計規(guī)范編制組按章、節(jié)、條順序編制了本規(guī)范的條文說明，對條文規(guī)定的目的、依據(jù)以及執(zhí)行中需注意的有關(guān)事項進行了說明。但是，本條文說明不具備與規(guī)范正文同等的法律效力，僅供使用者作為理解

7、和把握規(guī)范規(guī)定的參考。1總則1.0.1為了使?jié)崈魪S房設(shè)計符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟適用、安全可靠，確保潔凈廠房設(shè)計質(zhì)量，制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設(shè)計。1.0.3潔凈廠房設(shè)計應(yīng)是施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行的基礎(chǔ)。1.0.4潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定條文說明1總則本規(guī)范是全國通用的潔凈廠房設(shè)計的國家標準，適用于各種類型工業(yè)企業(yè)新建、擴建和改建潔凈廠房的設(shè)計。由于各類工業(yè)企業(yè)的潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品及其生產(chǎn)工藝各不相同，它們對生產(chǎn)環(huán)境控制會有一些特殊要求，本規(guī)范不可能將這些要求逐一地進行規(guī)

8、定，因此各行業(yè)可依據(jù)本規(guī)范按各自的特點制訂必要的本行業(yè)的標準、規(guī)定，以利于準確、完整地執(zhí)行潔凈廠房設(shè)計規(guī)范的各項規(guī)定。目前已有現(xiàn)行國家標準醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50457、電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50472相繼發(fā)布實施。2術(shù)語2.0.1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。2.0.2潔凈區(qū)cleanzone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。2.0.

9、3移動式潔凈小室mobilecleanbooth可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。2.0.4人身凈化用室roomforcleaninghumanbody人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。2.0.5物料凈化用室roomforcleaningmaterial物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。2.0.6粒徑particlesize給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。2.0.7懸浮粒子airborneparticle用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1um5um的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子物理性、化學(xué)性、放

10、射性及生命性。2.0.8超微粒子ultrafineparticle具有當(dāng)量直徑小于0.1um的粒子。2.0.9微粒子microparticle具有當(dāng)量直徑大于5um的粒子。2.0.10粒徑分布particlesizedistribution粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑函數(shù)。2.0.11含塵濃度particleconcentration單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。2.0.12潔凈度cleanliness以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。2.0.13氣流流型airflowpattern對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設(shè)計。2.0.14單向流unidirectio

11、nalairflow通過潔凈室（區(qū)）整個斷面的風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。2.0.15垂直單向流verticalunidirectionalflow與水平面垂直的單向流。2.0.16水平單向流horizontalunidirectionalflow與水平面平行的單向流。2.0.17非單向流non-unidirectionalflow送入潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室（區(qū)）內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。2.0.18混合流mixedairflow單向流和非單向流組合的氣流。2.0.19潔凈工作區(qū)cleanworkingarea除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m1.5m的區(qū)域。2.0.2

12、0空氣吹淋室airshower利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。2.0.21氣閘室airlock設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。2.0.22傳遞窗passbox在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。2.0.23潔凈工作臺cleanbench能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。2.0.24潔凈工作服cleanworkinggarment為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。2.0.25空態(tài)as-built設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動力公用設(shè)施區(qū)接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的

13、狀態(tài)。2.0.26靜態(tài)at-rest設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員狀態(tài)。2.0.27動態(tài)operational設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。2.0.28已裝過濾器檢漏installedfiltersystemleakagetest為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。2.0.29高效空氣過濾器highefficiencyparticulateairfilter(HEPA)在額定風(fēng)量下，對粒徑大于或等于0.3um粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。2.0.

14、30超高效空氣過濾器ultralowpenetrationairfilter(ULPA)在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1um0.2um粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。2.0.31純水puritywater對電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。2.0.32防靜電環(huán)境antistaticenvironment能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。2.0.33表面電阻surfaceresistance在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。2.0.34體積電阻volumeresistance在材料的相

15、對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。2.0.35表面電阻率surfaceresistivity在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。2.0.36體積電阻率volumeresistivity在材料內(nèi)層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。2.0.37專用消防口fire-fightaccess消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。2.0.38自凈時間recoverytimeofcleanliness潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級所需的時間。2.0.39生物潔

16、凈室biologicalcleanroom潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。2.0.40浮游菌airborneviablebacteria懸浮在空氣中的帶菌微粒。2.0.41沉降菌settlemenbacteria降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。2.0.42U描述符Udescriptor每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。2.0.43M描述符Mdescriptor每立方米空氣中實測的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。2.0

17、.44工業(yè)管道industrialpipe潔凈廠房內(nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。3空氣潔凈度等級3.0.1潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應(yīng)按表3.0.1確定。表3.0.1潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級表3.0.1潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。2各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計算：式中：Cn大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m?)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)；N空氣潔凈度等級，數(shù)

18、字不超過9,潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量；D要求的粒徑(um)；0.1常數(shù)，其量綱為um。3當(dāng)工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。4空氣潔凈度等級的粒徑范圍應(yīng)為0.lum0.5um，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。3.0.2空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。3.0.3空氣潔凈度的測試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進行。3.0.4當(dāng)潔凈室（區(qū)）內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時，應(yīng)根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。條文說明3空氣潔凈

19、度等級3.0.1本規(guī)范修訂過程中，涉及潔凈技術(shù)的各有關(guān)單位、科技人員和專家們都強烈希望“規(guī)范應(yīng)與國際接軌”，為此，本規(guī)范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標準潔凈室及相關(guān)被控環(huán)境一一第一部分，空氣潔凈度的分級IS014644-1，在該標準中列出的空氣潔凈度整數(shù)等級（表3.0.1）及其關(guān)注的大于或等于要求粒徑的允許濃度有爭議時，可將式（3.0.1）得出的濃度Cn作為標準限值。由于空氣潔凈度等級的分級規(guī)定是潔凈廠房設(shè)計建造必須遵循的規(guī)定，所以本條的第1款第3款為強制性條文。3.0.4隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，目前在一些高科技產(chǎn)品用潔凈廠房中，不僅要求控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微粒，還要求控制各類微生物、化學(xué)污

20、染物，為此增加了本條規(guī)定。4總體設(shè)計4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置4.2 工藝平面布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)4.3 人員凈化和物料凈化4.4 噪聲控制4.5 微振控制4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置4.1.1 潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定：1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠離嚴重空氣污染源時，應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對于兼

21、有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。4.1.5潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進行綠化?？射佒膊萜?，不應(yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。條文說明4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置4.1.1 潔凈廠房與其他工業(yè)廠房的區(qū)別在于潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝有空氣潔凈度要求。因此，設(shè)有潔凈廠房的工廠廠址宜選在大氣含塵濃度較低的地區(qū)

22、，如農(nóng)村、城市遠郊、水域之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風(fēng)沙地區(qū)或有嚴重空氣污染的城市工業(yè)區(qū)。根據(jù)國內(nèi)外測試資料，農(nóng)村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當(dāng)于城市含塵濃度的幾分之一，甚至低一個數(shù)量級。而城市工業(yè)區(qū)的含塵濃度又遠高于城市市區(qū)及市郊。不同地區(qū)含塵濃度也不同，如表1表3所示。不同季節(jié)的含塵濃度也不相同，表4所列是天津市某地段不同季節(jié)室外含塵濃度的實測值。表1大氣中含塵濃度表1大氣中含塵濃度表2天津地區(qū)的大氣含塵計重濃度表2天津地區(qū)的大氣含塵計重濃度從表1、表2中可以看出，各地區(qū)、場所大氣環(huán)境質(zhì)量差別較大，若在環(huán)境質(zhì)量較差的地區(qū)建廠，設(shè)計中應(yīng)采取有效的技術(shù)措施以確保潔凈廠房的技術(shù)要求。表

23、3大氣含塵濃度平均值（大于或等于0.5um）（pc/L）表3大氣含塵濃度平均值（大于或等于0.5um）（pc/L）表4不同季節(jié)室外大氣含塵濃度的實測值表4不同季節(jié)室外大氣含塵濃度的實測值4.1.2 潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法。因此，應(yīng)立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測

24、，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。4.1.3 本條規(guī)定仍以規(guī)范編制組的科研成果報告環(huán)境塵源影響范圍研究為依據(jù)。根據(jù)上述報告,道路灰塵“嚴重污染區(qū)”位于道路下風(fēng)側(cè)50m范圍之內(nèi)，100m以外為“輕污染區(qū)”。潔凈廠房最好離開車輛頻繁的干道100m以外，但考慮到廠區(qū)總平面布置的可能性以及廠區(qū)圍墻或廠內(nèi)路沿綠化的阻塵作用等因素，本條規(guī)定潔凈廠房與車輛頻繁的干道之間的距離宜大于50m。在潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50073-2001（以下簡稱原規(guī)范）實施中，各地區(qū)、各設(shè)計單位認為本條規(guī)定距離的界定不明確，且考慮到道路的

25、污染物對潔凈廠房的影響主要是影響凈化空調(diào)系統(tǒng)新鮮空氣的質(zhì)量，而潔凈室（區(qū)）圍護結(jié)構(gòu)氣密性較好的特點，本次修改為“新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m”。4.1.6綠化有良好的吸塵、阻塵作用。潔凈廠房周圍場地綠化應(yīng)以種植草坪為主，小灌木為輔，不宜種植觀賞花卉及高大喬木。因為觀賞花多為季節(jié)性一年生植物，需經(jīng)常翻土、播種、移植，從而破壞植被，反而使塵土飛揚；而高大喬木樹冠覆蓋面積大，其下部難以形成植被，也易產(chǎn)生揚塵。潔凈廠房外圍宜種植枝葉茂盛的常綠樹種。潔凈廠房周圍綠化樹種應(yīng)選用不產(chǎn)生花絮、絨毛、粉塵等對大氣有不良影響的樹種。4.2 工藝平面布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)4.2.1工藝平面布置應(yīng)符合下列規(guī)

26、定：1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時，宜設(shè)有防止污染的措施，如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進入潔凈室（區(qū)）之前應(yīng)進行清潔處理。4.2.2 潔凈廠房的平面和

27、空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置，并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間，但在下列情況下應(yīng)進行分隔：1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下，潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置，應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。條文說明

28、4.2 工藝平面布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計得過高是不經(jīng)濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設(shè)計和確定技

29、術(shù)夾層層高時，應(yīng)進行技術(shù)經(jīng)濟比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟上合理。通過原規(guī)范實施以來反饋的信息，雖然本條具有確保潔凈廠房安全可靠的作用，但主要還是影響產(chǎn)品質(zhì)量的提高、成品率高低和經(jīng)濟性問題，因此本次修訂修改為推薦性條文。4.2.3 隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)自動化程度的提高和改進，近年來潔凈廠房建設(shè)中大都采用大開間，以滿足生產(chǎn)工藝要求。潔凈廠房內(nèi)除考慮生產(chǎn)安全性需增設(shè)隔斷外，一般不設(shè)隔斷。由于本條第2款、第3款的內(nèi)容只是為了有利于運行管理作出的規(guī)定，故本次修訂修改為推薦性條文。4.3人員凈化和物料凈化4.3.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用

30、室。4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室

31、一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。6嚴于5級的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。4.3.4人流路線應(yīng)符合下列規(guī)定：1人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。2人員凈化用室和生活用室的布置應(yīng)按人員凈化程序（圖4.3.4）進行布置。圖4.3.4人員凈化程序圖4.3.4人員凈化程序4.3.5根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定，并宜按潔凈區(qū)設(shè)計人數(shù)平均每人24計算。4.3.6潔凈工作服更衣室、洗滌室的空氣凈化要求宜根據(jù)產(chǎn)品工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級確定。4.3.7潔凈室內(nèi)設(shè)備和物料出入口應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等

32、特征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。條文說明4.3 人員凈化和物料凈化4.3.1、4.3.2人員與物料進入潔凈室會把外部污染物帶入室內(nèi)，特別是人員本身就是一個重要的污染源，不同衣著、不同動作時的人體產(chǎn)塵量見表5。從表5中數(shù)據(jù)可見，身著普通服裝的人走動時的產(chǎn)塵（大于或等于0.5um）量可達近300X104pc/（min人）根據(jù)國外有關(guān)資料報道，潔凈室中的灰塵來源分析見表6,來源于人員因素的占35%。對潔凈室空氣抽樣分析也發(fā)現(xiàn)，主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質(zhì)的微粒。由此可見，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度，人員與物料

33、的凈化是十分必要的。存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服用室是人員凈化用室的基本組成部分，也是人員凈化用室的必要部分。生活用室應(yīng)視車間所在地區(qū)的自然條件、車間規(guī)模及工藝特征等具體情況，根據(jù)實際需要設(shè)置。如車間規(guī)模較大、人員集中或工藝為暗室操作的潔凈室應(yīng)設(shè)必要的休息室。鑒于第4.3.1條、第4.3.2條僅為原則性通用規(guī)定，本次修訂修改為推薦性條文。表5不同衣著、不同動作時的人體產(chǎn)塵表5不同衣著、不同動作時的人體產(chǎn)塵表6潔凈室內(nèi)粒子來源分析表6潔凈室內(nèi)粒子來源分析4.3.3本條對人員凈化用室和生活用室的設(shè)計作出規(guī)定。1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口

34、處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，最徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去換上清潔鞋或鞋套?，F(xiàn)有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。2、3外出服在家庭生活及戶外活動中積有大量微塵和不潔物，服裝本身也會散發(fā)纖維屑，更衣室將外出服及隨身攜帶的其他物品存放于專用的存外衣柜內(nèi)?？紤]到國內(nèi)潔凈廠房當(dāng)前的管理方式和習(xí)慣，外出服一般由個人閉鎖使用，按在冊人數(shù)每人一柜計算是必要的；潔凈工作服柜

35、一般也可按每人一柜設(shè)計，但也有集中將潔凈工作服存放于潔凈柜中的，置于潔凈柜中更為理想。為避免外出服污染潔凈工作服，為此本條明確規(guī)定存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。4手是交叉污染的媒介，人員在接觸工作服之前洗手十分必要。操作中直接用手接觸潔凈零件、材料的人員可以戴潔凈手套或在潔凈室內(nèi)洗手。洗凈的手不可用普通毛巾擦抹，因為普通毛巾易產(chǎn)生纖維塵，最好的辦法是熱風(fēng)吹干，電熱自動烘手器就是一種較好的選擇。由于人員凈化的凈鞋措施、存外衣和更換潔凈工作服房間的分隔以及洗手設(shè)施的設(shè)置，均為了減少甚至消除潔凈室工作人員帶入的污染物對產(chǎn)品質(zhì)量的影響，所以本次修訂將本條第1款、第2款、第4款改為推薦性條文。

36、5工業(yè)潔凈室設(shè)置空氣吹淋室的理由是：1) 在一定風(fēng)速、一定吹淋時間的條件下，空氣吹淋室對清除人員身上的灰塵有明顯效果。本規(guī)范編制組進行了“吹淋室效果的測定”的科研項目，對于經(jīng)吹淋與不經(jīng)吹淋兩種情況的人員散塵量作了大量的測試對比。結(jié)果表明，吹淋室的吹淋效果，對大于或等于0.5um的塵粒約為10%30%,對大于或等于5um的塵粒約為15%35%。2) 吹淋室具有氣閘的作用，能防止外部空氣進入潔凈室，并使?jié)崈羰揖S持正壓狀態(tài)。3) 吹淋室除了有一定凈化效果外，它作為人員進入潔凈區(qū)的一個分界，還具有警示性的心理作用，有利于規(guī)范潔凈室人員在潔凈室內(nèi)的活動。4) 國內(nèi)潔凈廠房的現(xiàn)狀是：在統(tǒng)計的38個潔凈廠房

37、中，約80%設(shè)有空氣吹淋室。關(guān)于吹淋室的使用人數(shù)，主要取決于每人吹淋所需時間和上班前人員凈化的總時間。參考計算方法：假定潔凈室自凈時間為30min，換鞋、更衣占去10min，上班人員總吹淋時間為20min。設(shè)每人吹淋30s，另加準備時間10s，則一臺單人吹淋室可供30人使用。當(dāng)最大班使用人數(shù)超過30人時，可將兩臺或多臺單人吹淋室并聯(lián)布置。垂直單向流潔凈室由于自凈能力強，無紊流影響，人員產(chǎn)塵能迅速被回風(fēng)帶走而不致污染產(chǎn)品，鑒于這種有利條件，也可不設(shè)吹淋室而改設(shè)氣閘室。吹淋室旁設(shè)通道，可使下班人員和衛(wèi)生清掃或檢修人員的進出不必通過吹淋室，起到保護吹淋設(shè)備的作用，同時也方便檢修期間設(shè)備、工具等進出。

38、潔凈室（區(qū)）是否設(shè)置空氣吹淋室，各潔凈廠房做法不一，但在原規(guī)范中規(guī)定：“空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰?！币驗楸究钭鳛閺娭菩詶l款，在實施過程中，一些單位以為“所有潔凈室均應(yīng)設(shè)置空氣吹淋室”。實際上本款規(guī)定并不是要求所有潔凈室均應(yīng)設(shè)置空氣吹淋室，只是要求當(dāng)需設(shè)置空氣吹淋室時，應(yīng)如何設(shè)置。為此，本次修訂將本款改為推薦性條款。7潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)置廁所不僅容易使?jié)崈羰沂艿轿廴?，還會影響潔凈區(qū)的壓力控制。原規(guī)范規(guī)定潔凈區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所，為了強調(diào)潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所的要求，本次修訂將“不宜”改為“不得”，但該款條文仍為推薦性。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)在盥洗室之前，廁所設(shè)前室作為緩沖，前室

39、還應(yīng)放置供人員入廁穿用的4.3.4人員凈化應(yīng)當(dāng)循序漸進，有一個合理的程序，在凈化過程中，避免已清潔部分被臟的部分所污染。根據(jù)目前國內(nèi)潔凈廠房常用的人員凈化程序，本規(guī)范提出了一次更衣（盥洗前存外衣）、一次吹淋的人員凈化程序。由于本條第1款只是對潔凈廠房中人流路線的原則性規(guī)定，本次修訂改為推薦性條文。4.3.5、4.3.6關(guān)于人員凈化用室建筑面積控制指標，主要參考了有關(guān)資料提出的面積指標和部分潔凈廠房實際采用的指標，并進行統(tǒng)計后得出的。人員較多時，面積指標采用下限；人員較少時，面積指標采用上限。近年來，國內(nèi)設(shè)計、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室(區(qū))的潔凈

40、度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求，但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引入更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區(qū)1級2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級確定”。不再規(guī)定具體的“等級”或“等級范圍”4.3.7鑒于本條有關(guān)物料凈化的規(guī)定主要涉及影響空氣潔凈度或產(chǎn)品生產(chǎn)過程

41、的可能被污染，且在原規(guī)范實施過程中一些行業(yè)的潔凈廠房設(shè)計、建造中執(zhí)行本條規(guī)定難度較大，為此本次修訂改為推薦性條文。4.4 噪聲控制4.4.1潔凈室內(nèi)的空態(tài)噪聲級，非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A),單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB(A)。4.4.2潔凈室的噪聲頻譜限制應(yīng)采用倍頻程聲壓級，空態(tài)噪聲頻譜的限制值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。表4.4.2空態(tài)噪聲頻譜的限制值表4.4.2空態(tài)噪聲頻譜的限制值4.4.3潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使其各部分隔聲量相接近。4.4.4潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允

42、許值的設(shè)備，宜設(shè)置專用隔聲或消聲設(shè)施。4.4.5凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外，潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)進行減噪設(shè)計。4.4.6根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜符合下列規(guī)定1總風(fēng)管風(fēng)速宜為6m/s10m/s。2無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為4m/s6m/s。3有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為2m/s5m/s。條文說明4.4 噪聲控制4.4.1潔凈室的噪聲一般不算高，但數(shù)據(jù)差額較大，相差近10dB(A)。國內(nèi)關(guān)于噪聲對健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語言

43、通訊干擾和對工作效率的影響。國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準潔凈室環(huán)境控制要求209a和1974年修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第四部分，設(shè)計、施工和啟動IS014644-4-2001標準中規(guī)定：“應(yīng)依據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其他設(shè)備)的背景聲壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為4065dB(A)”。從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件

44、主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65dB(A)70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數(shù)標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。根據(jù)“潔凈廠房噪聲評價與標準的研究”所得到的成果，我國59個潔凈廠房平均噪聲級的分布，電子工業(yè)216個潔凈室的噪聲分布狀況和不同聲級下各種效應(yīng)的主觀評價指標如圖1所示：由圖1可見，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率低于30，對集中

45、精神感到有較高影響的百分率不到10，而對工作速度、動作準確性的影響則可忽略，從主觀評價調(diào)查看，語言通訊干擾可以屬于輕微的等級。如按這一限值來衡量現(xiàn)有潔凈室的噪聲，則有75超過標準，就電子工業(yè)而言，也有47的潔凈室超過標準。近年來，我國的潔凈室環(huán)境技術(shù)有了一定的發(fā)展，但對噪聲的控制技術(shù)還相對滯后，從1996-1997年對國內(nèi)部分行業(yè)的部分潔凈室進行的調(diào)研結(jié)果來看，還有相當(dāng)一部分的潔凈室噪聲在65dB(A)以上，就電子工業(yè)而言，還有約35%的潔凈室超過標準。圖1潔凈廠房噪聲分布與評價圖圖1潔凈廠房噪聲分布與評價圖159個潔凈廠房超過某一聲級的百分率；2電子工業(yè)216個潔凈室超過某一聲級的百分率；3

46、高煩惱率,4準確性高影響率；5工作速度高影響率；6集中精神高影響率；7交談及電話通訊高干擾率同樣由圖1得知，若以70dB(A)為噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率將達到39%，對于集中精神感到有較高影響的百分率為12.4%，對工作速度和動作準確性影響仍不顯著，對語言通訊的干擾則屬于較高的等級。如按70dB(A)的限值來衡量現(xiàn)有潔凈廠房的噪聲，則多數(shù)可以滿足標準。目前國內(nèi)的相當(dāng)一部分潔凈室的隔墻使用的是進口或國產(chǎn)的金屬壁板，由于壁板的隔聲量存在著某些薄弱環(huán)節(jié)而造成隔聲不理想，且室內(nèi)的噪聲仍過高如上海某公司使用的是進口壁板，其室內(nèi)噪聲平均值達69dB(A)；上海某公司使用的也是進口壁板光刻間，

47、測得其室內(nèi)平均噪聲值為70dB(A),其他一些潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境的噪聲也偏高，也就是說，從噪聲的效應(yīng)來看，標準低于65dB(A)為好。對國內(nèi)幾個行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在4ldB(A)64dB(A)范圍內(nèi)，平均為54dB(A)；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51dB(A)75dB(A)范圍內(nèi)，平均為65dB(A)。非單向流潔凈室比單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低lldB(A)。由于噪聲控制要求是確保人員健康的重要條件，本條為強制性條文。4.4.34.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計時

48、應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟上的原因而難以做到時，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國內(nèi)外有關(guān)資料提出了一些有

49、效的措施：如現(xiàn)代潔凈室概念一文中強調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說：“管道消聲器在中頻和高頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長度在50ft以內(nèi)時，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中又說：“通風(fēng)機和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風(fēng)機外殼、靜壓箱和管道等加上襯里”。如北京某大學(xué)微電子研究所回風(fēng)管道在未處理前噪聲高達83.5dB(A),經(jīng)過加設(shè)襯墊處理后噪聲降到66.2dB(A),使光刻間的室內(nèi)環(huán)境噪聲平均下降了7dB(A)9dB(A)。由此可見，只要對風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔凈

50、室噪聲可以大幅度降低。國內(nèi)還有不少潔凈室，由于系統(tǒng)設(shè)計合理，并采取了降噪措施，室內(nèi)噪聲得到有效控制。排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來，潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)的噪聲治理日益受到重視，要注意選用低噪聲風(fēng)機等。由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，潔凈室的密封性能較好，噪聲不易衰減。按規(guī)定限制風(fēng)管風(fēng)速，既減小了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機的噪聲，又防止了風(fēng)速過大而產(chǎn)生附加噪聲。如上所述，第4.4.3條第4.4.6條的規(guī)定均為潔凈廠房設(shè)計中，從平面和空間設(shè)計到各類設(shè)備、系統(tǒng)及其附屬設(shè)備等的選擇都應(yīng)充分

51、考慮噪聲控制措施，以確保達到潔凈廠房要求的噪聲控制值。原規(guī)范中將第4.4.3條、第4.4.4條規(guī)定為強制性條文，但在實施中各單位認為規(guī)定過嚴，可操作性也不強，為此本次修訂改為推薦性條文。4.5 微振控制4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。3應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)

52、工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時，可按現(xiàn)行國家標準隔振設(shè)計規(guī)范GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。4.5.3精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)具備下列條件：1周圍振源對其綜合影響的振動數(shù)據(jù)。2設(shè)備、儀器儀表的型號、規(guī)格及輪廓尺寸圖。3設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。4設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。5設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。6設(shè)備、儀器儀表的容許振動值。7所選用或設(shè)計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件4.5.4精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1隔振臺座應(yīng)具有足夠的剛度。2隔振臺座應(yīng)采

53、取傾斜校正措施。3隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。4隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。4.5.5 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進行凈化處理。條文說明4.5 微振控制4.5.1 有微振控制要求的潔凈廠房，設(shè)計應(yīng)考慮建筑結(jié)構(gòu)的選型及地面（樓面）的構(gòu)造做法，如增加基礎(chǔ)及上部結(jié)構(gòu)垂直及橫向剛度，增加地面（樓面）剛度，能有效減小振動影響。此外，還應(yīng)考慮隔振縫設(shè)置及其有效的構(gòu)造措施，壁板與地面及頂棚采用柔性連接等，均能減小振動傳遞。即減小了對精密設(shè)備、儀器儀表的振動影響。在潔凈廠房設(shè)計中，應(yīng)首先考慮對強振源采取隔振措施，以減小強

54、振源對精密設(shè)備、儀器儀表的振動影響，在此基礎(chǔ)上，精密設(shè)備、儀器儀表再根據(jù)各自的容許振動值采取被動隔振措施，就大致能夠達到預(yù)定目的。在原規(guī)范中，本條為強制性條文，雖然明確規(guī)定本條只用于有微振控制要求的潔凈廠房，但由于沒有量化的規(guī)定，容易引起執(zhí)行不準確的問題，實施以來確有此種情況發(fā)生，為此本次修訂將本條改為推薦性條文。4.5.4精密設(shè)備、儀器儀表的被動隔振措施，由隔振臺座及隔振器（或隔振裝置）組成。根據(jù)隔振設(shè)計計算需要，設(shè)定隔振臺座為不變形剛體，為此應(yīng)對隔振臺座的形狀、幾何尺寸及材質(zhì)選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。某些精密設(shè)備、儀器儀表在運行時，由于移動部件位置變化或加工、測試件的質(zhì)量及質(zhì)

55、心位置變化，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺座發(fā)生傾斜，導(dǎo)致精密設(shè)備、儀器儀表難以正常工作。為此，應(yīng)設(shè)置校正傾斜裝置，使隔振臺座保持原有的水平度，以保證精密設(shè)備、儀器儀表的正常運行。隔振系統(tǒng)阻尼過小，會產(chǎn)生較大的自振，以及受外界突發(fā)干擾（如對隔振臺座的沖擊、室內(nèi)氣流的擾動影響等），造成隔振臺座晃動，這種振動值有時會大于精密設(shè)備、儀器儀表的容許振動值，影響其正常運行。為此應(yīng)增大隔振系統(tǒng)阻尼值，才能減小此類振動。通過多項工程實踐表明，隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0.15是比較恰當(dāng)?shù)摹?.5.5 空氣彈簧的垂直向、橫向剛度很低，使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動頻率，同時它具有可調(diào)節(jié)阻尼值的特性，隔振系統(tǒng)可獲得需

56、要的阻尼，因此，隔振系統(tǒng)具有良好的隔振效果。當(dāng)配用高精度控制閥時，可自動校正隔振臺座的傾斜。由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性，已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設(shè)備、儀器儀表的隔振元件。用于被動隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時會排出氣體（如壓縮空氣、氮氣等），因此對氣源應(yīng)進行凈化處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級，才能保證排出的氣體不致對潔凈室造成污染。5建筑5.1 一般規(guī)定5.2 防火和疏散5.3 室內(nèi)裝修5.1 一般規(guī)定5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體

57、結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2 潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)5.1.3 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。5.1.4 送、回風(fēng)管和其他管線暗敷時，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)符合風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。5.1.5 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。條文說明5.1一般規(guī)定5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性，為生產(chǎn)工藝的調(diào)整創(chuàng)造條件。本條規(guī)定是指在不增加面積、高度的情況下，進行局部的工藝和生產(chǎn)設(shè)備調(diào)整，在這種情況下，廠房內(nèi)墻的可變性就是一個重要的措施，為此，本條規(guī)定不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.3 主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應(yīng)的等級水平。若室內(nèi)裝備