SCHMID去磷硅玻璃與單邊刻蝕_第1頁(yè)
SCHMID去磷硅玻璃與單邊刻蝕_第2頁(yè)
SCHMID去磷硅玻璃與單邊刻蝕_第3頁(yè)
SCHMID去磷硅玻璃與單邊刻蝕_第4頁(yè)
SCHMID去磷硅玻璃與單邊刻蝕_第5頁(yè)
已閱讀5頁(yè)，還剩89頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

在這個(gè)生產(chǎn)工藝過(guò)程中按照工作區(qū)域可分為9個(gè)模組(M1M9)。硅片進(jìn)M2模組時(shí)，它與液面保有一定的距離，然后通過(guò)骨輪帶動(dòng)藥液進(jìn)行硅片的單邊刻蝕。另外還通過(guò)一套升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)對(duì)其它兩邊進(jìn)行刻蝕。M模組有兩個(gè)單獨(dú)藥缸，升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在它們中間。藥液通過(guò)骨輪只對(duì)背面硅片進(jìn)行化學(xué)腐蝕，其目的就是完全打斷硅片正反的聯(lián)系，移走磷酸鹽玻璃增強(qiáng)抗反射膜，使背結(jié)吸收的光更好。M2硝酸濃度為63%、氫氟酸為50%進(jìn)行刻蝕。藥缸濃度采用樣品滴定控制。藥液一直保持不斷循環(huán)，藥液通過(guò)熱交換器進(jìn)行冷卻。左邊圖形是一個(gè)控制開關(guān)，它是用來(lái)控制設(shè)備上滑動(dòng)門窗的。當(dāng)鑰匙方向指向1時(shí)，通過(guò)門窗邊緣的傳感器給PC指令，使門窗上定位銷通過(guò)氣缸的作用撤出，這時(shí)門窗就可以打開但不影響機(jī)器正常運(yùn)轉(zhuǎn)。如按下機(jī)器按鈕，右邊輔助菜單我們可以接受使用的文件。按下右所需邊按鈕就可獲取機(jī)器信息。如果按下F3按鈕，那么維護(hù)開關(guān)是打開的，其余開關(guān)是受約束的。如果按下F4按鈕，那么恢復(fù)信息，復(fù)位信號(hào)。 如果按下F6，在這菜單中能準(zhǔn)確反應(yīng)一星期的工作情況的時(shí)間。 如果按下F7，在這菜單中顯示不同測(cè)試數(shù)據(jù)及管理信息系統(tǒng)。如果按下F9,在這菜單中顯示機(jī)器全部預(yù)警和警告菜單如果按下F10,在這菜單中顯示機(jī)器控制的單元參數(shù)診斷說(shuō)明。7在F1 Sta

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫(kù)網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論