潔凈室和潔凈區(qū)的環(huán)境控制要求

1、.：.；干凈室和干凈區(qū)的環(huán)境控制要求 -美國聯(lián)邦規(guī)范E發(fā)布時間： - : 被閱覽數(shù)： 次 來源： 科泰瑞凈化 干凈室和干凈區(qū)的環(huán)境控制要求-美國聯(lián)邦規(guī)范E年月日發(fā)布，取代年月日發(fā)布的FED-STD-E本規(guī)范經(jīng)聯(lián)邦政府效力總局、聯(lián)邦供應(yīng)效力司專員同意，供聯(lián)邦政府各機構(gòu)運用。目錄. 范圍及局限. 范圍. 局限. 參考文獻. 定義. 懸浮粒子干凈分級. 非動態(tài)采樣. 標(biāo)定. 干凈區(qū). 干凈室. 空態(tài)干凈室設(shè)備. 靜態(tài)干凈室設(shè)備. 動態(tài)干凈室設(shè)備. 凝結(jié)核計數(shù)器CNC. 離散粒子計數(shù)器DPC. 入口平面. 同軸性. 均動態(tài)采樣. 監(jiān)測. 非單向流. 粒子. 粒子濃度. 粒子尺寸. 學(xué)生分布. U描畫.

2、 超微粒子. 單向流. 置信上限UCL. 鑒定. 懸浮粒子干凈室分級和U描畫. 表I中列出的干凈度分級. 丈量表I中所列粒子尺寸. 其它粒子尺寸的丈量. 其它懸浮粒子干凈度分級替代確實定原那么. 描畫超微粒子濃度的規(guī)定U描畫. 懸浮粒子濃度的命名. 懸浮粒子干凈度分級的格式. U描畫的格式. 懸浮粒子干凈度的鑒定和監(jiān)測. 懸浮粒子干凈度的鑒定. 頻度. 環(huán)境測試條件. 鑒定過程中干凈室或干凈區(qū)的形狀. 環(huán)境參數(shù). 粒子計數(shù). 采樣點和數(shù)量：單向流. 采樣點和數(shù)量：非單向流. 采樣點的限定. 采樣量和采樣時間. 表I各級別的單一采樣方案. 其它級別或粒徑的單一采樣方案. U描畫的單一采樣方案.

3、延續(xù)采樣方案. 數(shù)據(jù)處置. 懸浮粒子干凈度的監(jiān)測. 監(jiān)測方案. 監(jiān)測用的粒子計數(shù). 丈量懸浮粒子濃度的方法和安裝. 大于等于微米的粒子的計數(shù). 小于微米的粒子的計數(shù). 超微粒子的計數(shù). 粒子計數(shù)方法的局限. 粒子計數(shù)方法的標(biāo)定. 統(tǒng)計分析. 鑒定的驗收原那么. 決議驗收的計算. 采樣點的平均粒子濃度. 平均值的中值. 平均值的規(guī)范偏向. 平均值的規(guī)范誤差. 置信上限UCL. 采樣計算. 變卦引薦. 與參考文獻的矛盾. 涉及的聯(lián)邦政府機構(gòu)附錄A運用光學(xué)顯微鏡對懸浮粒子進展計數(shù)和丈量附錄B離散粒子計數(shù)器操作法附錄C勻速及非勻速采樣附錄D超微粒子濃度丈量方法附錄EFED-STD-E規(guī)范所采用的統(tǒng)計原

4、理推論附錄F延續(xù)采樣：一種鑒定空氣干凈度的可選方法附錄G補充信息的來源注：本翻譯尚未包含一切附錄. 范圍及局限. 范圍本文件建立了由懸浮粒子含量來規(guī)定空氣干凈室和干凈區(qū)的空氣干凈度的規(guī)范分級，并且提供了其他可供選擇的分級方式。描畫了鑒定空氣干凈度的方法以及建立空氣干凈度監(jiān)測方案的要求。也提供了確定和描畫超微粒子濃度的方法U描畫法。. 局限本文件技術(shù)要求不適用于干凈室和干凈區(qū)內(nèi)運用的設(shè)備、物品，除懸浮粒子的大小分級和數(shù)量外，本文件對懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射性或生命特征將不作描畫。在懸浮粒子濃度與有生命的懸浮粒子量之間沒有確定的關(guān)系。為了監(jiān)測及控制其他方式的污染，除了對干凈空氣供應(yīng)要監(jiān)測全部粒子

5、污染物并滿足所確定的限值外，還須有其他專門要求。. 參考文獻. Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart編著，John Wileg&Sons出版，New York (). Hinds, W. C.編著，John Wileg&Sons出版，New York (). FED-STD-，引薦運用國際單位制SI，在國際單位與美國慣用單位相抵觸時，國際單位制優(yōu)先。. 定義.懸浮粒子的干凈度分級 干凈度是由每立方米每立方英尺空氣中所含有最大允許微粒子數(shù)量來確定的，其分級明確見表I，其測定見.節(jié)中的概率方法。國際單位制中分級稱號是由每立方米空氣中含有.m或更大微

6、粒的最大允許數(shù)之常用對數(shù)來表示的，而英制單位美國慣用分級稱號那么取自每立方英尺空氣中含有.m或更大微粒的最大允許數(shù)。.非動態(tài)采樣 在挪動空氣流的平均速度不同于空氣進入取樣器入口平均速度的采樣形狀下，由于粒子慣性，非動態(tài)采樣會使樣品中的粒子濃度不同于所采樣空氣中的粒子濃度。.標(biāo)定 將準(zhǔn)確度未知的丈量規(guī)范或儀器與另一準(zhǔn)確度知的丈量規(guī)范或儀器相比較，用來檢測、修正、報告或經(jīng)過調(diào)整來消除準(zhǔn)確度未知的規(guī)范或儀器在準(zhǔn)確度上的偏向。.干凈區(qū)指其內(nèi)懸浮粒子濃度被控制在某一特定的干凈等級內(nèi)的某一限定空間。.干凈室 制其內(nèi)懸浮粒子濃度被控制的房間，它可包含一個或多個干凈區(qū)。.空態(tài)干凈室設(shè)備 指已建成并預(yù)備投運的干

7、凈室，其中一切效力設(shè)備均已接通并到達功能要求，但室內(nèi)沒有消費設(shè)備和操作人員。.靜態(tài)干凈室設(shè)備 指已建成并安裝好一切效力設(shè)備及消費設(shè)備，可以或正在運轉(zhuǎn)的干凈室，但室內(nèi)無操作人員。.動態(tài)干凈室設(shè)備 指正常運轉(zhuǎn)的干凈室，亦即室內(nèi)一切效力設(shè)備、消費設(shè)備及任務(wù)人員正在正常運轉(zhuǎn)時的干凈室。. 凝結(jié)核計數(shù)器CNC 一種用于對大于或等于.m的小懸浮微粒計數(shù)的儀器，它借助于光學(xué)方法來丈量由蒸氣凝結(jié)在微粒子上而構(gòu)成的液滴。. 離散粒子計數(shù)器DPC 一種可以分辯離散粒子的儀器，它類似于光學(xué)粒子計數(shù)器和凝結(jié)核計數(shù)器。. 入口平面 指垂直于單向氣流的平面，這個平面就在于他們感興趣的區(qū)域無特別闡明即特指任務(wù)區(qū)的上升氣流內(nèi)

8、，且這個平面與垂直于這個氣流方向的干凈區(qū)橫斷面具有一樣的面積。. 同軸性 指采樣器入口的氣流方向與被采樣單向氣流的方向一樣的采樣形狀。. 均動態(tài)采樣 指在同軸采樣形狀下，進入采樣器入口氣流的平均度與所測單向氣流的平均速度一樣的形狀。. 監(jiān)測 指在干凈室或干凈區(qū)內(nèi)對懸浮粒子濃度及其他相關(guān)情況的例行測定。. 非單向流 指與單向流定義不符的氣流，以前稱為“亂流或“非層流。. 粒子 普通尺寸為.m的固體、液體或固液混合物質(zhì)。. 粒子濃度 單位體積空氣中所含有的離散粒子的數(shù)量。. 粒子尺寸運用顯微鏡察看時，在察看平面上看到的粒子視在最大線性長度，或由自動儀器測得的粒子的當(dāng)量直徑。當(dāng)量直徑是指對感受器詳細

9、和被測粒子一樣反映的知特性的參考球體直徑。. 學(xué)生分布 分布函數(shù)為：t=樣本均值-總體均值/樣本均值的規(guī)范誤差 該式是從正態(tài)高斯分布抽樣得到的，臨界值表可從統(tǒng)計學(xué)教科書中找到見.節(jié). U描畫 指超微粒子的最大允許濃度每立方米空氣中粒子數(shù)，U描畫可適當(dāng)?shù)赜米鳛橹眯派舷蕖F(xiàn)場平均值的上限或是同樣作為現(xiàn)場平均值與置信上限。U描畫不受懸浮粒子干凈級別的限制，它適用于單個干凈等級的懸浮粒子也可用于多個干凈等級相混合的懸浮粒子。. 超微粒子 指尺寸范圍大約從.m到附錄D中描畫的離散粒子計數(shù)器DPC的測定值上限之間的粒子，超微粒子在計算上是經(jīng)過計數(shù)器效率與附錄D中的粒子尺寸之比來確定的。. 單向流 指通常具

10、有平行的氣流線以單一方向運動并勻速經(jīng)過其橫斷面的氣流。以前稱為“層流。. 置信上限UCL 假設(shè)均值是從正態(tài)高斯分布中抽樣得到的，而按給定值信度本規(guī)范中取%下計算所得的估計上限將大于實踐均值，那么稱這一均值估計上限為置信上限。. 鑒定 指在干凈室或干凈區(qū)內(nèi)按懸浮粒子干凈度分布界限、U描畫或其他有關(guān)規(guī)定，確定空氣的干凈度的過程。. 懸浮粒子干凈室分級和U描畫 空氣干凈度的鑒定按本規(guī)范第節(jié)運用一個特別限定的分級系統(tǒng)。 本部分確定了空氣干凈度的分級規(guī)范，每一干凈度等級對懸浮粒子尺寸范圍和濃度均有限定見表I。同時，為了確定基于粒子尺寸變化的規(guī)范分級和其它替代的非規(guī)范分級，也制定了規(guī)定。此外，還提供了運用

11、超微粒子濃度U描畫描畫空氣干凈度的根本原理。 給定的公用名詞系統(tǒng)適宜描畫一切干凈度分級和U描畫。. 表I中列出的干凈度分級 懸浮粒子干凈度分級列于表I中，空氣干凈度的鑒定那么經(jīng)過對表I中的一種或多種粒子尺寸或其它規(guī)定粒子尺寸的測定來完成，詳述如下：. 丈量表I中所列粒子尺寸 經(jīng)過丈量表I中的某一級別所列的一種或多種粒子尺寸來完成鑒定，并運用.中所述的格式書寫報告。假設(shè)測得的粒子濃度是按.節(jié)的統(tǒng)計分析確定的，并在表I所列對應(yīng)級規(guī)定的任一粒子濃度的界限內(nèi)，那么以為懸浮粒子干凈度滿足該級。. 其它粒子尺寸的丈量 也可經(jīng)過測定表I中所列之外的其他粒子的尺寸來完成鑒定，并按以下限制條件來進展：其他粒徑或

12、尺寸選擇必需在表I所標(biāo)明級別的尺寸范圍內(nèi)。假設(shè)測得的粒子濃度是按.節(jié)的統(tǒng)計分析確定的，并且每一選定的其他粒子的粒徑都不超越表I中給出的下一級較大粒徑的界限，那么以為懸浮粒子干凈度滿足該級。. 其它懸浮粒子干凈度分級替代確實定原那么 在特殊用途的情況下也可以定義不同于表I中所列干凈度分級的其他級別如M.級、M.級及M.級級。與表I中所列的干凈度等級一樣，其他等級的分級稱號確定也是建立在對.m及以上粒子濃度的界限上。其他尺寸粒子的濃度界限可在表I中按相鄰的干凈度級別濃度界限同樣的比例得到，此界限也可以經(jīng)過表I腳注內(nèi)的近似方程式計算出來。同樣，對于干凈度等級超越M或級的情況。粒子尺寸不同于.m的粒子

13、濃度界限與M或級的濃度界限具有一樣的比例。表I 懸浮粒子干凈度分級 對每一分級稱號均給出了其分級界限，此界限指出的特定懸浮粒子濃度單位體積粒子數(shù)均大于等于表中所列出的粒子尺寸。分級稱號分級界限.m.m.m.m.m單位體積單位體積單位體積單位體積單位體積SI英制MFtMFtMFtMFtMFtM.-M.-M.-M.-M.-M.-M-M.-.M-.M.-.M-M.-M-表I所示干凈度分級界限只為分級定義的目的而確定，在任何特殊情況下不表示由此所建立的粒徑尺寸分布。中間級別的濃度界限可近似經(jīng)過下式計算：離子數(shù)/m=M(./d).式中M為國際單位SI制中分級的特定數(shù)字稱號，d是粒子尺寸單位為微米?；?離

14、子數(shù)ft=Nc(./d).式中Nc為英制單位中分級的特定數(shù)字稱號，d是粒子尺寸單位為微米。命名和描畫干凈度分級時引薦運用國標(biāo)單位SI制的稱號和單位，但英制美國慣用單位也可運用。當(dāng)用國際制單位表示時，分級的特定數(shù)字稱號是由每立方米空氣中含有的.m及以上粒子的最大允許數(shù)之常用對數(shù)值以為底，尾數(shù)取整到第一位小數(shù)得到的，當(dāng)用英制美國慣用單位表示時，分級的特定數(shù)字稱號那么由每立方英尺空氣中所含有的大于或等于.m粒子的最大允許值得到的。(a) 對于干凈度分級小于M.級級的其他級別，其濃度可經(jīng)過丈量以下粒子尺寸范圍內(nèi)的粒子來確定，按規(guī)定此粒子尺寸范圍即可是大于或等于.m又可是大于或等于m或二種均可。(b)

15、對于干凈度分級大于M.級級又小于.級級的其他級別，其確定可以經(jīng)過丈量以下粒子尺寸范圍內(nèi)的一種或多種得到的，按規(guī)定此粒子尺寸范圍可以是大于或等于.m、大于或等于.m、大于或等于.m。(c) 對于干凈度分級小于M.級級的其他級別，其確定可以經(jīng)過丈量以下粒子尺寸范圍內(nèi)的一種或多種得到的，按規(guī)定此粒子尺寸范圍可以是大于或等于.m、大于或等于.m、大于或等于.m及大于或等于.m。. 描畫超微粒子濃度的規(guī)定U描畫 按規(guī)定，U描畫用來表示超粒子濃度時可按.節(jié)的規(guī)定。U描畫可用來補充干凈度分級的定義，也可單獨運用。U描畫的格式將在.節(jié)中闡明。. 懸浮粒子濃度的命名.懸浮粒子干凈度分級的格式 各干凈度分級可運用

16、“X級在Y微米的格式來表示，此時X代表懸浮粒子干凈度分級的特定數(shù)自稱號，Y代表粒子尺寸或與規(guī)定濃度分級界限相對應(yīng)的粒子尺寸。 例如：“M.級在.m和.m即指每立方米空氣中含有.m以上的粒子不超越個，.m以上的粒子不超越個。 “級在.m即指每立方英尺空氣中含有.m以上的粒子不超越個。 .U描畫的格式 U描畫可單獨運用或作為懸浮粒子干凈度分級確定的補充。由于超微粒子的下限曾經(jīng)為運用的設(shè)備所決議，所以對U描畫不用規(guī)定粒子尺寸參見.節(jié)及附錄D。 U描畫可運用格式“UX來表示。這里X為每立方米空氣中超微粒子的最大允許濃度。 例如“U表示每立方米空氣中超微粒子不超越個。“M.級在.m,U()那么表示每立方

17、米空氣中.m粒子不超越個，超微粒子不超越個。. 懸浮粒子干凈度的鑒定和監(jiān)測. 懸浮粒子干凈度的鑒定 根據(jù)節(jié)定義，鑒定是確定一個干凈室或干凈區(qū)內(nèi)的空氣能否滿足懸浮粒子干凈度分級界限或U描畫或二者均滿足的過程。應(yīng)在.節(jié)中所述的條件下，經(jīng)過對懸浮粒子濃度的丈量來完成鑒定。粒子尺寸或為鑒定而進展丈量的粒子尺寸該當(dāng)按規(guī)定運用.節(jié)中所描畫的近似格式表示。. 頻度 鑒定測試應(yīng)在初試以后按一定間隔或其他規(guī)定定期進展。. 環(huán)境測試條件 干凈度分級的鑒定應(yīng)在包括以下規(guī)定的操作條件下經(jīng)過丈量粒子濃度來完成。. 鑒定過程中干凈室或干凈區(qū)的形狀 鑒定過程中干凈室或干凈區(qū)的形狀應(yīng)標(biāo)明“空態(tài)、“靜態(tài)、“動態(tài)或其他規(guī)定形狀。

18、. 環(huán)境參數(shù) 應(yīng)該記錄在鑒定過程中與干凈室和干凈區(qū)有關(guān)的丈量及察看的實踐環(huán)境參數(shù)，此類參數(shù)可以包括但不僅限于此空氣流速、換氣次數(shù)、室內(nèi)氣壓、補充新風(fēng)量、單向流平行度、空氣擾度、溫度、濕度或露點、室內(nèi)振動，此外，室內(nèi)人員及設(shè)備活動情況也應(yīng)注明。. 粒子計數(shù) 鑒定干凈室和干凈區(qū)的干凈度按適當(dāng)?shù)牧Ｗ佑嫈?shù)法或.節(jié)中所述方法或按其他規(guī)定的方法進展，適當(dāng)?shù)牟蓸拥攸c和采樣方案應(yīng)該從以下闡明中選擇。. 采樣點和數(shù)量：單向流 對單向流，采樣點應(yīng)在整個干凈區(qū)的入口平面上均勻分布，干凈區(qū)內(nèi)受設(shè)備限制或有特殊規(guī)定的除外。對單向流干凈區(qū)的鑒定所要求的最小采樣點數(shù)量應(yīng)為以下a、(b)中的小者。 a、國際單位SI制：A/.

19、 這里A是指入口平面的面積單位為平方米。 英制單位美國慣用：A/ 這里A是指入口平面的面積單位為平方英尺。 b、國際單位SI制：A*M. 這里A是指入口平面的面積單位為平方米,M是表I中所列國際單位制干凈度分級的特定數(shù)字稱號。英制單位美國慣用：A/Nc. 這里A是指入口平面的面積單位為平方英尺，M是表I中所列國際單位制干凈度分級的特定數(shù)字稱號。 采樣點數(shù)量通常取整到下一個高位整數(shù)。.采樣點和數(shù)量：非單向流對非單向流，采樣點應(yīng)在干凈區(qū)程度方向均布，但特殊規(guī)定的可在垂直方向布置，干凈區(qū)內(nèi)受設(shè)備限制的除外。 對非單向流干凈區(qū)的鑒定所要求的最小采樣點數(shù)量應(yīng)等于： 國際單位SI制：A*/M. 這里A是指

20、干凈區(qū)的地面面積單位為平方米，M是表I中所列國際單位SI制干凈度分級的特定數(shù)字稱號。 英制美國慣用：A/Nc.這里A是指干凈區(qū)的地面面積單位為平方米，Nc是表I中所列英制單位干凈度分級的特定數(shù)字稱號。 采樣點熟練通常取整到下一個高位整數(shù)。.采樣點的限定 任何干凈區(qū)的采樣點不少于個，除在干凈區(qū)內(nèi)受設(shè)備限制外，采樣點應(yīng)在干凈區(qū)域內(nèi)均勻分布，每一個采樣點至少采樣一次見.節(jié)或.節(jié)，每個采樣點采樣可多于一次，且不同的采樣點可有不同的采樣次數(shù)。但每個干凈區(qū)內(nèi)總采樣次數(shù)不少于次。 在適當(dāng)?shù)臅r候，采樣位置多于所要求的最少采樣點的采樣將添加平均數(shù)和其置信上限均值的準(zhǔn)確度。.采樣量和采樣時間 采樣的空氣量和采樣時

21、間根據(jù)以下適當(dāng)?shù)墓?jié)段確定。.表I各級別的單一采樣方案 假設(shè)對每一個規(guī)定的粒子尺寸，粒子濃度均在該干凈度分級的界限內(nèi)，那么對每一個采樣點每一次采樣的被測空氣量必需是最少可測到個粒子的有效空氣量。 下面的公式提供了一個被采樣的最小空氣量的平均計算公式，此公式可作為表I中所列的每單位體積粒子數(shù)量的相關(guān)附屬部分。 V=個粒子/表I中的分級界限粒子數(shù)量/體積 空氣的采樣體積應(yīng)不少于.m.立方英尺，此外，采樣體積的計算結(jié)果不得取整。 較大的采樣體積將會減少各采樣值之間的差別，但采樣體積不能大到使采樣時間變得不真實踐。采樣體積不用在一切采樣點都一樣。但是粒子濃度應(yīng)以每立方米立方英尺空氣中的粒子數(shù)量記錄報告，

22、而與采樣體積無關(guān)。采樣體積也應(yīng)記錄。在采樣體積大于最小采樣體積時將提高采樣平均數(shù)與其置信上限均值的準(zhǔn)確度。 采樣時間可經(jīng)過采樣體積除以采樣速率來計算得到。.其它級別或粒徑的單一采樣方案 按.節(jié)規(guī)定，為了鑒定空氣能否滿足其他干凈度分級界限所需的最小采樣體積，必需根據(jù).節(jié)所述的方法，由表I中所列的相鄰干凈度分級的采樣體積所決議。 按.節(jié)所述，對其他粒子尺寸丈量的鑒定所需的最小采樣體積，必需根據(jù).節(jié)所述的方法，由表I中所列的相鄰干凈度分級的采樣體積所決議。 采樣時間可經(jīng)過采樣體積除以采樣速率來計算得到。 對有關(guān)采樣體積的其他思索，同樣適用于上述情況，詳見.節(jié)所述。.U描畫的單一采樣方案 鑒定超微粒子

23、濃度所需的采樣體積是在規(guī)定U描畫條件下可測得最少個粒子的有效空氣體積，最小體積立方米由/U(x)計算得到，計算結(jié)果無須取整，但任何條件下都不得小于.立方米。 采樣時間可經(jīng)過采樣體積除以采樣速率來計算得到。.延續(xù)采樣方案 鑒定干凈度等級在M.級及以上級以上的空氣的另一種方法是運用附錄F中所述的延續(xù)采樣方法延續(xù)采樣是鑒定干凈度等級在M.級及以上的空氣的一種可選方法，延續(xù)采樣的優(yōu)點是它有能夠顯著地減少每一個采樣點的采樣體積，同時也減少采樣時間。. 數(shù)據(jù)處置 . 懸浮粒子干凈度的監(jiān)測 鑒定之后，假設(shè)有規(guī)定，那么應(yīng)在運轉(zhuǎn)期間對干凈室或干凈區(qū)內(nèi)懸浮粒子的干凈度進展監(jiān)測。為了闡明懸浮粒子干凈度的變化趨向，對

24、.節(jié)中所列的其他環(huán)境參數(shù)也可按規(guī)定進展監(jiān)測。. 監(jiān)測方案 監(jiān)測方案應(yīng)根據(jù)懸浮粒子干凈度級別和消費過程及產(chǎn)品維護對污染控制的需求程度來制定，監(jiān)測方案應(yīng)規(guī)定監(jiān)測頻度、操作條件、粒子記數(shù)方法、采樣點及其數(shù)量、采樣體積及其數(shù)據(jù)處置方法。. 監(jiān)測用的粒子計數(shù) 按規(guī)定，監(jiān)測方案中的粒子記數(shù)應(yīng)采用.節(jié)的一種方法進展，粒子濃度的丈量應(yīng)在整個干凈區(qū)內(nèi)，或在干凈度要求特別關(guān)鍵的地方，或者在測定鑒定測試中發(fā)現(xiàn)粒子濃度較高的地方進展。. 丈量懸浮粒子濃度的方法和安裝丈量懸浮粒子濃度的方法和安裝應(yīng)根據(jù)粒子尺寸和要求的粒徑來選擇，除了有其他規(guī)定的，下面的方法適用于鑒定空氣中懸浮粒子的干凈度和U描畫，同樣也適用于空氣干凈度

25、的監(jiān)測。假設(shè)證明其他的粒子記數(shù)方法或設(shè)備以及其他的方法和設(shè)備的組合的準(zhǔn)確度和反復(fù)性等于或優(yōu)于以下方法和設(shè)備的，那么也可以采用。用來確定懸浮粒子濃度的設(shè)備應(yīng)按規(guī)定根據(jù)制造廠家的闡明正確維護并定期效驗。. 大于等于微米的粒子的計數(shù) 對于大于等于m的粒子，其濃度確定應(yīng)運用附錄A中的方法運用光學(xué)顯微鏡對懸浮粒子進展計數(shù)和丈量。 另外，假設(shè)下面所述的樣本搜集、傳送和丈量過程都滿足規(guī)定要求，那么可以運用離散粒子記數(shù)器。根據(jù)附錄B中的方法離散粒子記數(shù)器操作法，對于大于m的粒子，離散粒子計數(shù)器的計數(shù)效率是可確定的。離散粒子記數(shù)器只需在大于m的粒子計數(shù)時才干運用。 無論運用何種方法，取樣口尺寸、取樣速率及取樣口

26、定位的選擇應(yīng)允許勻速采樣搜集。勻速采樣是應(yīng)優(yōu)先采用的，但是假設(shè)勻速采樣不能實現(xiàn)時，采樣偏向的估算可經(jīng)過運用附錄C勻速及非勻速采樣中的方法得到。即使在采樣器入口直接面對流入氣流同軸采樣的時候，假設(shè)入口氣流速度不同于采樣器附近的氣流速度，也將人為地呵斥在入口處周圍的粒子濃度的添加或減少。其公式也適用于計算此種非均勻采樣在察看丈量粒子濃度時所帶來的影響參見例.和附錄C。對于大于等于.m的粒子，當(dāng)這種人為呵斥的濃度增減小于%時，可以忽略不計。但對于大于等于m的粒子，當(dāng)預(yù)見到這種人為呵斥的濃度變化超越%時，那么應(yīng)記錄這一突變的增減量，在同懸浮粒子干凈度分級界限比較前，必需校正這一數(shù)值。. 小于等于微米的

27、粒子的計數(shù)小于等于微米粒子的濃度根據(jù)附錄B中的方法運用離散粒子計數(shù)器來確定。粒徑大小數(shù)據(jù)應(yīng)按用規(guī)范粒子標(biāo)定的當(dāng)量直徑記錄。前面提到見.節(jié)對小于等于.微米的粒子,由非均勻采樣產(chǎn)生的偏向小于%，但是對大于等于微米的粒子那么會產(chǎn)生顯著的偏向。假設(shè)要對粒子尺寸在.m到m范圍內(nèi)的一種或多種粒子進展鑒定，那么由非均勻采樣產(chǎn)生的偏向那么會隨粒子尺寸的增大而添加，此時需求對非均勻采樣進展校正。. 超微粒子的計數(shù) 超微粒子濃度由附錄D中的方法超微粒子濃度丈量方法來確定。. . 粒子計數(shù)方法的局限 在同一采樣點運用離散粒子計數(shù)器進展空氣采樣計數(shù)時，不同設(shè)計構(gòu)造或任務(wù)原理的計數(shù)器會產(chǎn)生不同的數(shù)據(jù)，甚至剛剛經(jīng)過標(biāo)定的

28、一樣設(shè)計的儀器對同樣的空氣進展采樣時，也會產(chǎn)生較大的差別。所以在比較不同儀器的丈量結(jié)果時應(yīng)留意這一點。 運用離散粒子計數(shù)器時，不得超越制造廠家所規(guī)定的粒子濃度或粒子尺寸的上限。 由于光學(xué)顯微鏡計數(shù)和丈量的粒子尺寸是基于粒子的視覺最大線性尺寸，而離散粒子計數(shù)器所測得的粒子尺寸是基于對比規(guī)范粒子直徑的當(dāng)量直徑。所以由這兩種方法測得的粒子濃度數(shù)據(jù)是不同的，因此不能混同運用。. 粒子計數(shù)方法的標(biāo)定 一切的儀器應(yīng)按規(guī)定，用知的參考規(guī)范，經(jīng)過允許的程序進展標(biāo)定。標(biāo)定應(yīng)包括但不僅限于此流速和粒徑等，在鑒定中的每一次粒徑丈量都應(yīng)進展有關(guān)粒徑方面的標(biāo)定。. 統(tǒng)計分析 為鑒定空氣懸浮粒子干凈度界限或U描畫所進展的

29、懸浮粒子濃度數(shù)據(jù)的搜集和統(tǒng)計分析應(yīng)按下面要求進展。該統(tǒng)計分析僅與隨機誤差缺乏精細度有關(guān)而非隨機性誤差偏向，如錯誤標(biāo)定。 此規(guī)范中的統(tǒng)計方法原理在附錄E中給出。. 鑒定的驗收原那么 在每一個采樣點測出的粒子濃度平均值落在或優(yōu)于干凈度分級界限或U描畫的時候，那么干凈室或干凈區(qū)內(nèi)空氣滿足懸浮粒子干凈度分級的驗收原那么。此外，假設(shè)現(xiàn)場采樣點總數(shù)少于個，這些平均值的均值之%置信上限必需落在或優(yōu)于干凈度分級界限或U描畫。. 決議驗收的計算.采樣點的平均粒子濃度 在某采樣點處，粒子濃度的平均值A(chǔ)為該采樣點初各次采樣的粒子濃度Ci之和，除以該點的采樣次數(shù)N，或如式-所示。只需在采樣一次時，平均粒子濃度才與所測

30、出的粒子濃度一樣。 A =C+C+CN/N 式-.平均值的中值 平均值的中值M為單個平均值A(chǔ)i之和除以采樣點數(shù)L，如式-所示。一切采樣點的權(quán)數(shù)一樣，不思索各采樣點的采樣次數(shù)多少。 M =A+A+AL/L 式-.平均值的規(guī)范偏向 平均值的規(guī)范偏向SD等于各單個平均值與中值的差的平方和Ai-M，除以采樣點數(shù)L減去的商的平方根，如式-所示。 SD =(A-M)+(A-M)+(AL-M)/ 式-.平均值的規(guī)范誤差 平均值均值的規(guī)范誤差SE等于規(guī)范偏向SD除以采樣點數(shù)的平方根，如式-所示。 SD=SD/L/ 式-.置信上限 平均值之均值M的%置信上限由M加上適當(dāng)?shù)闹眯派舷轚CL系數(shù)見表II與規(guī)范誤差的乘積來確定，如式-所示。UCL=M+UCL系數(shù)+SE 式-表II %置信上限的置信系數(shù)采樣系數(shù)L*%置信系數(shù).NA*當(dāng)采樣點數(shù)超越時，置信上限的計算已不再要求見.節(jié)。.采樣計算 采樣計算由附錄E給出。. 變卦引薦 當(dāng)某聯(lián)邦機構(gòu)以為此規(guī)范不能滿足其根