日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑_第1頁
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1、Word文檔 日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑 日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑 日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑日本SMC氟樹脂氣管由含氟原子的單體通過均聚或共聚反應(yīng)而成，目前使用中的氟樹脂品種主要有聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯四氟乙烯共聚物（ETFE）和四氟乙烯全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用的氟樹脂主要為PTFE和PFA。PTFE樹脂占全部氟塑材料應(yīng)用的70%左右，由于其的分子結(jié)構(gòu)，使材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性，耐酸抗堿、抗

2、大部分溶劑的特點。同時，PTFE具有耐低溫柔相對高溫的特點，工作溫度范圍可達(dá)到-80200。PFA為四氟乙烯和全氟丙基乙烯基醚（FVE）的共聚物，分子結(jié)構(gòu)與PTFE非常接近，許多性能也特別接近。最大的不同是，PFA可以熔融加工、注塑、擠出等，所以PFA又稱為可熔性PTFE。日本SMC氟樹脂氣管在與高純化學(xué)試劑接觸時，幾乎沒有不純物質(zhì)的溶出，且耐腐蝕性優(yōu)異，具備長期使用也能保持純度的優(yōu)異特性。在應(yīng)用于超凈高純化學(xué)試劑的氟樹脂中，尤其以PTFE與PFA最為廣泛，其耐腐蝕性更加優(yōu)異，耐蝕高純化學(xué)試劑的品種更加廣泛。對于日本SMC氟樹脂氣管（PTFE和PFA）的指標(biāo)要求主要包括樹脂使用和制造的技術(shù)要求。1.樹脂使用技術(shù)要求金屬離子的析出：SEMI3及以上的超凈高純化學(xué)品中，其產(chǎn)品在包裝儲運和使用過程中，單項金屬離子要求保持在ppb甚至ppt級的水平。因此，對預(yù)期接觸的全部材料必需也保持相應(yīng)技術(shù)水平，保證無過量金屬離子析出。顆粒數(shù)持續(xù)增長：若樹脂材料的在分子水平上消失過量的分子斷裂或者溶出，會導(dǎo)致在電路濕制程當(dāng)中引起大量產(chǎn)品污染和線路缺陷。小分子滲透：超凈高純化學(xué)試劑分子量一般相對較小，滲透性強(qiáng)。而樹脂在生產(chǎn)中簡單消失大分子間隙，導(dǎo)致分子溢出，可能會對儲運設(shè)施外層金屬產(chǎn)生微量腐蝕，而微量的腐蝕污染足以導(dǎo)致產(chǎn)品失效。日本SMC氟樹脂氣管技術(shù)要求：材質(zhì)的純潔度，保證不對產(chǎn)品造成二次污染

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