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200612.19 塊上，一個極板配置在固定的基體上。圖2所示為典型的三明治結(jié)構(gòu)的平板電容 ）， 圖6a）執(zhí)行器的力學(xué)結(jié)構(gòu)示意圖b）感 ）， 物，得到如圖7(b)所示的效果，接下來用SF6/O2來腐蝕體硅，便從襯底上得到 工藝加工后b）經(jīng)過介質(zhì)腐蝕工藝后c） 115 5 22 ），）， ）， ）， 微加速度計批量化生產(chǎn)提供工藝路線;同時，標
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