清洗工藝流程

硅片超聲波沖洗機(jī)構(gòu)造特點(diǎn)：采用三套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動(dòng)化作業(yè)????????采用第三代最新技術(shù)，全面完滿的防酸防腐舉措，保護(hù)到機(jī)器每一個(gè)角落最新全自動(dòng)補(bǔ)液技術(shù)獨(dú)到的硅片干燥前辦理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕成熟的硅片干燥工藝，多種先進(jìn)技術(shù)集于一身彩色大屏幕人機(jī)界面操作，方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式變換沖洗工藝：上料→堿腐化→純水漂洗→酸堿腐化→純水漂洗→噴淋漂洗→酸中和→純水漂洗→堿中和→純水漂洗→烘干→下料?合用范圍：各樣規(guī)格的單晶硅、多晶硅太陽能電池硅片的制絨沖洗XT-1300SG太陽能硅片制絨超聲波沖洗機(jī)■采用三套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動(dòng)化作業(yè)■采用第三代最新技術(shù)，全面完滿的防酸防腐舉措，保護(hù)到機(jī)器每一個(gè)角落■最新全自動(dòng)補(bǔ)液技術(shù)■獨(dú)到的硅片干燥前辦理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕■成熟的硅片干燥工藝，多種先進(jìn)技術(shù)集于一身■彩色大屏幕人機(jī)界面操作，方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式變換沖洗工藝：上料→堿腐化→純水漂洗→酸堿腐化→純水漂洗→噴淋漂洗→酸中和→純水漂洗→堿中和→純水漂洗→烘干→下料沖洗工件：各樣規(guī)格的單晶硅、多晶硅太陽能電池硅片的制絨沖洗沖洗溶劑：水基沖洗劑產(chǎn)品特點(diǎn)：?jiǎn)螜C(jī)械手或多機(jī)械手組合，實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。自動(dòng)上下料臺(tái)，正確上卸工件。凈化烘干槽，獨(dú)到的烘干前辦理技術(shù)，工作干燥無水漬。全關(guān)閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，保證優(yōu)秀工作環(huán)境。具備拋動(dòng)沖洗功能，保證沖洗平均。全關(guān)閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，保證優(yōu)秀工作環(huán)境。1）適合單晶硅片研磨、切割后的批量沖洗，多晶硅片線劇切片后的大批量沖洗。沖洗工藝流程：自動(dòng)上料→去離子水→超聲波沖洗→堿液超聲波沖洗→去離子水超聲波沖洗→堿液超聲波沖洗→去離子水超聲波沖洗→去離子水超聲波沖洗→去離子水超聲波沖洗→自動(dòng)下料標(biāo)準(zhǔn)工藝下產(chǎn)量：硅片1000片/小時(shí)。（2）沖洗工藝流程自動(dòng)上料→去離子水＋超聲波沖洗＋振動(dòng)篩拋動(dòng)→堿液＋超聲波沖洗＋拋動(dòng)→去離子水＋超聲波沖洗＋拋動(dòng)→堿液＋超聲波沖洗＋拋動(dòng)→堿液＋超聲波沖洗＋拋動(dòng)→去離子水＋超聲波沖洗＋拋動(dòng)＋溢流→去離子水＋超聲波沖洗＋拋動(dòng)＋溢流→自動(dòng)下料【綱領(lǐng)】半導(dǎo)體/LED/LD硅片沖洗加工設(shè)施，可寬泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)施可有效去除晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不損壞晶片表面特點(diǎn)。半導(dǎo)體/LED/LD硅片沖洗加工設(shè)施，可寬泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)施可有效去除晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不損壞晶片表面特點(diǎn)。用途爐前（RCA）沖洗：擴(kuò)散前沖洗。光刻后沖洗：除掉光刻膠。氧化前自動(dòng)沖洗：氧化前去掉硅片表面全部的沾污物。拋光后自動(dòng)沖洗：除掉切、磨、拋的沾污。外延前沖洗：除掉埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。合金前、表面鈍化前沖洗：除掉鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?。離子注入后的沖洗：除掉光刻膠，SiO2層。擴(kuò)散預(yù)淀積后沖洗：除掉預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。CVD后沖洗：除掉CVD過程中的顆粒。附件及工具的沖洗：除掉表面全部的沾污物。硅片沖洗設(shè)施可用于完成擴(kuò)散前、光刻后、CMP后及氧化前等工藝的沖洗工作。好似：RCA沖洗、SPM清洗、SC沖洗、金屬離子及雜物去除沖洗等。全自動(dòng)硅片沖洗機(jī)手動(dòng)硅片沖洗機(jī)附件及工具沖洗設(shè)施石英管沖洗機(jī)酸堿沖洗臺(tái)有機(jī)化學(xué)超凈工作臺(tái)零件沖洗臺(tái)氮?dú)赓A備柜硅片沖洗設(shè)施特點(diǎn)手動(dòng)硅片沖洗設(shè)施特點(diǎn)：可依照不同樣的沖洗工藝配置各樣相應(yīng)的沖洗功能槽。功能槽包括：加熱酸缸、HF腐化、BHF（HF恒溫緩沖腐化）、超聲沖洗槽、恒溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。沖洗功能槽模塊化，各部分有獨(dú)立的控制單元，可隨意組合。重點(diǎn)件采用入口零件，提高設(shè)施的可靠性及使用壽命。采用入口耐腐化PP板材，防酸、防腐，有效預(yù)防酸液的傷害。控制系統(tǒng)的元器件具備防腐、防潮功能，保證安全的工作環(huán)境。構(gòu)造緊湊，凈化占地面積小，造型雅觀、合用。操作切合人機(jī)工程原理，擁有優(yōu)秀的操作界面，使用方便、靈便。閉式?jīng)_洗，有效改良工作環(huán)境，保障操作人員安全。全自動(dòng)硅片沖洗設(shè)施特點(diǎn)：入口伺服驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及機(jī)械手臂，沖洗過程中無需人工操作。經(jīng)過PLC實(shí)現(xiàn)控制，全部操作經(jīng)過觸摸屏界面一次完成?？善鸪踉O(shè)制多條沖洗工藝，可同時(shí)運(yùn)行多條工藝。自動(dòng)化程度高，合用于批量生產(chǎn)，保證沖洗質(zhì)量的一致性。自動(dòng)氮?dú)夤呐菅b置可有效提高產(chǎn)質(zhì)量量，縮短沖洗時(shí)間?？蛇x裝層流凈化系統(tǒng)及自動(dòng)配酸裝置。石英管沖洗機(jī)合用工藝由于化學(xué)和物理作用，對(duì)石英管吸取層進(jìn)行腐化沖洗，并且經(jīng)過石英管的旋轉(zhuǎn)作用，使石英管腐蝕層平均，經(jīng)過在水槽中的沖洗，使石英管表層污物沖洗干凈。酸洗→排液→注純水→溢流→注水→水洗→排液石英管沖洗機(jī)特點(diǎn)采用浸泡、旋轉(zhuǎn)式?jīng)_洗；酸沖洗為轉(zhuǎn)動(dòng)浸泡式；水沖洗為溢流式。采用多點(diǎn)支撐式工件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，牢固、可靠。操作切合人機(jī)工程原理，擁有優(yōu)秀的操作界面，使用方便、靈便?？膳渲米詣?dòng)氮?dú)夤呐菹到y(tǒng)，有效提高產(chǎn)質(zhì)量量，縮短沖洗時(shí)間。構(gòu)造緊湊，凈化占地面積小，造型雅觀、合用。重點(diǎn)件采用入口件，提高了設(shè)施的可靠性。采用入口耐腐化PP板材，防酸、防腐，有效預(yù)防酸霧的傷害。關(guān)閉式?jīng)_洗，有效改良工作環(huán)境，保障操作人員安全。控制系統(tǒng)同時(shí)具備完滿防腐、防潮功能，保證安全的工作環(huán)境化學(xué)濕臺(tái)化學(xué)濕臺(tái)合用于半導(dǎo)體行業(yè)中基片的制造、集成電路芯片的制造等沖洗工藝過程。合用于2"～6"基片的半導(dǎo)體沖洗過程中，去除工件表面的油污及其余有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。可依照不同樣沖洗工藝配置相應(yīng)的沖洗單元。各部分有獨(dú)立的控制單元，可隨意組合；配有在線方式的去離子水加熱系統(tǒng)。構(gòu)造緊湊，凈化占地面積小，造型雅觀、合用，操作切合人機(jī)工程原理?？梢勒湛蛻艄に嚩ㄖ?。外形尺寸(mm)1600×1100×1900氣源壓力4.2～7kg/cm2排風(fēng)量20m3/min功能單元SC1～SC3FH(FH腐化)BHF（HF恒溫緩沖腐化）QDR（快排沖水）化學(xué)操作實(shí)驗(yàn)臺(tái)合用于2"～6"硅片的沖洗及濕法腐化。可以有效的去除硅片表面的油污及其余有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。沖洗槽部分包括化學(xué)槽、加熱槽和快排槽設(shè)施的電氣、管路、循環(huán)系統(tǒng)，均采用入口零件；入口PLC控制，沖洗時(shí)間可調(diào)。設(shè)施組成：在線加熱、沖洗槽、伺服系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架等?？梢勒沼脩粢笈渲玫?dú)鈽?、DI水槍、恒溫水浴、熱臺(tái)、超聲沖洗、DI水在線加熱裝置、DI水電導(dǎo)率測(cè)試儀等石英管沖洗機(jī)沖洗機(jī)特點(diǎn)：◆本設(shè)施為浸泡式?jīng)_洗機(jī)，用于半導(dǎo)體行業(yè)擴(kuò)散爐石英管沖洗◆槽體資料為入口聚丙烯（PP）塑料或PVDF資料，支架采用不銹鋼，耐腐化性能好◆管件、泵、電磁閥均采用的是入口產(chǎn)品，性能牢固可靠◆觸摸屏PLC控制，流量及溫度，超純凈泵的壓力、流量可設(shè)置◆選配氣體噴槍◆可依照用戶要求訂制技術(shù)參數(shù)：◆外形尺寸(L×W×H):1300mm×700mm×1700mm◆槽內(nèi)尺寸(L×W×H):700mm×500mm×300mm◆噴嘴出水壓力:1.5～2.5(bar)（可調(diào)）◆DI水加熱溫度：75℃～85℃◆排風(fēng)量：15m3/minJTA-3916硅片沖洗機(jī)沖洗對(duì)象是2～8英寸的硅研磨片。設(shè)施整體采用入口PLC

控制，經(jīng)過設(shè)定工作節(jié)拍傳達(dá)籃具依次經(jīng)過各個(gè)工序，由上料開始到下料均自動(dòng)完成。設(shè)施工作節(jié)拍，各項(xiàng)參數(shù)設(shè)定采用觸摸屏完成。設(shè)施整體為密閉構(gòu)造，擁有排風(fēng)裝置。獨(dú)有的機(jī)械手設(shè)計(jì)使抓取定位更正確。重視人性化設(shè)計(jì)，可依照用戶要求定制。設(shè)施整體尺寸沖洗有效尺寸

6000mm×1600mm×(L×W×H)350mm×

2500mm350mm×

電源280mm

380V、50Hz額定電流50A

以下槽體資料

不銹鋼和優(yōu)秀特種塑料

去離子水流量

30L/min溫控儀溫度

30℃～90

℃可調(diào)溫度精準(zhǔn)到±3℃

并有狀態(tài)顯示

壓縮空氣入口壓力

0.7MPaJTA-3915液晶生產(chǎn)光刻前沖洗機(jī)JTA-3915合用于ITO玻璃的光刻前沖洗，去除ITO玻璃表面殘留物。設(shè)施總合9個(gè)工位，分別是：上料、NaOH超聲搖動(dòng)沖洗、NaOH超聲搖動(dòng)沖洗、純水搖動(dòng)沖洗、超聲波純水搖動(dòng)沖洗、超聲波純水搖動(dòng)沖洗、純水搖動(dòng)沖洗、下料、離心脫水。其中NaOH搖動(dòng)沖洗水溫為室溫至50℃可調(diào)，純水為常溫沖洗。部分技術(shù)指標(biāo)

：外寸(mm)7000*1500*2000超聲功率電壓380VAC?50Hz～60Hz三相四線功率10kW供水純凈水100L/Min氣源壓力：4-6kgf/cm2JTA-3835液晶封盒后沖洗機(jī)

1.5kW超聲頻次

40kHz合用于液晶生產(chǎn)后工序的沖洗，以去除液晶灌入后節(jié)余及前道工序殘留物，實(shí)現(xiàn)雅致沖洗。沖洗工序?yàn)椋荷狭稀暃_洗→超聲沖洗→噴淋沖洗→溢流超聲漂洗→溢流超聲漂洗→噴淋漂洗→慢提拉脫水→熱風(fēng)烘干（2槽）→下料部分技術(shù)指標(biāo)：外寸(mm)9000*1500*2000

超聲功率

600W腔寸(mm)500*600*500氣源壓力：4-6kgf/cm2

（沖洗噴淋槽）干凈度1000級(jí)

900*600*300（烘干槽）加熱功率18KW

超聲頻次

40kHz電壓

380VAC?50Hz

～60Hz

三相四線

溫度室溫至

100℃溫控精度

±2℃空載升溫時(shí)間室

溫至

45℃≤30min

噴淋壓力

JTA-180

液晶玻璃沖洗烘干機(jī)JTA-180液晶玻璃沖洗烘干機(jī)是對(duì)液晶玻璃進(jìn)行沖洗、烘干的設(shè)施。其工作流程是由膠輥傳達(dá)液晶玻璃片，經(jīng)過噴淋、毛洗刷漱、海綿吸水及熱風(fēng)烘干，最后達(dá)到?jīng)_洗液晶玻璃表面污垢及雜質(zhì)的目的。特點(diǎn)：◆上下膠輥傳達(dá)速度同步伐整，無級(jí)可調(diào)?！艉娓山M件對(duì)玻璃片的烘干溫度可調(diào)?！舸碉L(fēng)風(fēng)量無級(jí)可調(diào)，保證玻璃片烘干所需合理溫度?！舨Ａ穸日{(diào)整采用絲桿傳動(dòng)和雅致導(dǎo)軌導(dǎo)向精準(zhǔn)調(diào)治，詳細(xì)調(diào)治量由百分表指示?！魧?dǎo)軌、電機(jī)控制元件等均采用入口產(chǎn)品，質(zhì)量可靠。◆機(jī)械重點(diǎn)零件均采用不銹鋼資料。主要性能規(guī)格指標(biāo)：◆外形尺寸（約）：720mm×1726mm×1290mm◆電源：AC220V50HZ◆工作高度：750mm～800mm◆膠輥?zhàn)羁燹D(zhuǎn)動(dòng)速度：約５m/min(速度可調(diào))◆毛刷輥轉(zhuǎn)動(dòng)速度：360r/min(速度可調(diào))◆沖洗玻璃尺寸范圍：300mm≥長度＞25mm150mm≥寬度＞10mm5.08mm≥厚度＞0.4mmJTA-180液晶玻璃沖洗烘干機(jī)JTA-180液晶玻璃沖洗烘干機(jī)是對(duì)液晶玻璃進(jìn)行沖洗、烘干的設(shè)施。其工作流程是由膠輥傳達(dá)液晶玻璃片，經(jīng)過噴淋、毛洗刷漱、海綿吸水及熱風(fēng)烘干，及雜質(zhì)的目的。

最后達(dá)到?jīng)_洗液晶玻璃表面污垢特點(diǎn)：◆上下膠輥傳達(dá)速度同步伐整，無級(jí)可調(diào)。◆烘干組件對(duì)玻璃片的烘干溫度可調(diào)?！舸碉L(fēng)風(fēng)量無級(jí)可調(diào)，保證玻璃片烘干所需合理溫度。◆玻璃片厚度調(diào)整采用絲桿傳動(dòng)和雅致導(dǎo)軌導(dǎo)向精準(zhǔn)調(diào)治，詳細(xì)調(diào)治量由百分表指示。◆導(dǎo)軌、電機(jī)控制元件等均采用入口產(chǎn)品，質(zhì)量可靠。◆機(jī)械重點(diǎn)零件均采用不銹鋼資料。主要性能規(guī)格指標(biāo)：◆外形尺寸（約）：720mm×1726mm×1290mm◆電源：AC220V50HZ◆工作高度：750mm～800mm◆膠輥?zhàn)羁燹D(zhuǎn)動(dòng)速度：約５m/min(速度可調(diào))◆毛刷輥轉(zhuǎn)動(dòng)速度：360r/min(速度可調(diào))◆沖洗玻璃尺寸范圍：300mm≥長度＞25mm厚度＞0.4mmSMT網(wǎng)板/PCB沖洗機(jī)SMT網(wǎng)板/PCB板沖洗機(jī)：

150mm≥

寬度＞

10mm

5.08mm≥產(chǎn)品型號(hào)：

JTA-100SMT原產(chǎn)地：深圳一、主要特點(diǎn)

:1．可迅速?zèng)_洗

29”*29

及”以下尺寸的

SMT

鋼網(wǎng)板及

PCB

板。沖洗加熱烘干僅需

10~15

分鐘。．采用高效超聲波沖洗方式，沖洗收效佳，效率高。3．系統(tǒng)采用沖洗池粗/精