潔凈管道測試流程課件

QC流程及注意事項(xiàng)周科QC流程及注意事項(xiàng)周科

目錄：一、外觀檢查及管路確認(rèn)二、氣密測試三、氦測漏檢驗(yàn)四、微粒子測試五、含水量測試六、含氧量測試七、機(jī)臺復(fù)歸目錄：一、外觀檢查及管路確認(rèn)一、外觀檢驗(yàn)及管路確認(rèn)：1、外觀檢驗(yàn)程序：一、外觀檢驗(yàn)及管路確認(rèn)：1、外觀檢驗(yàn)程序：a.所有管路是否依PID圖設(shè)計(jì)排列施工，并予標(biāo)示氣體種類。b.所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料（閥件、管材等）。c.管路是否角度不正、傾斜、歪曲。d.管路是否有污物殘留。e.管路是否有凹陷、龜裂等不良缺陷，焊道是否已清潔且無破洞、砂孔？f.Gasket是否正確放置（無重復(fù)使用Gasket）？g.確定支撐管線的支架安置無誤。h.確定配管的工作不會妨礙本身維護(hù)保養(yǎng)及美觀程度。超高純氣體管路裝配完成后，須做管路之外觀檢驗(yàn)，其檢驗(yàn)項(xiàng)目為：a.所有管路是否依PID圖設(shè)計(jì)排列施工，并予標(biāo)示氣體種類。2.對氣,管路確認(rèn)a.管路之入口（源頭）接上氣源。b.送氣測試，管路正確，管路的終點(diǎn)則有氣體流出。c.復(fù)原管路，檢查標(biāo)示是否正確。d.多管路氣體測試，逐管檢查，以免混淆。e.執(zhí)行檢查時(shí)若發(fā)現(xiàn)有不符合事項(xiàng)時(shí)，品保人員應(yīng)通知工程部監(jiān)工進(jìn)行改善。2.對氣,管路確認(rèn)a.管路之入口（源頭）接上氣源。二.氣密測試使用氣體：廠內(nèi)PN2系統(tǒng)或particle小于0.1um的惰性氣體做壓力測試。測試項(xiàng)目規(guī)定氣體測試壓力測試時(shí)間壓力測試N28kg/cm212小時(shí)（或依業(yè)主規(guī)定）1、保壓測試：測試壓力及時(shí)間設(shè)計(jì)值:a.封住出氣：管路上留一道進(jìn)氣口，其余進(jìn)出氣口都封住。b.銜接管路：將管路進(jìn)氣口接氣源，出氣口接上Gauge或圓盤壓力計(jì)，c.圓盤壓力計(jì)歸零：于使用前需做歸零的動作。d.充入氣體：進(jìn)氣口氣源或出氣口Gauge或圓盤壓力計(jì)，盤面管路上所形成封閉的空間。

有閥件必須全開。二.氣密測試測試項(xiàng)目規(guī)定氣體測試壓力測試時(shí)間壓力測試N28e.Snoop測試：用Snoop測試盤面管上之接頭是f.測試：用Gauge或圓盤壓力記錄器來測試盤面g.測試時(shí)間：12小時(shí)或依業(yè)主要求之測試時(shí)間。h.測試溫度：盡量維持開始測試溫度（無塵室溫否有漏氣現(xiàn)象。（若有漏的現(xiàn)象，會有起泡的狀況）。管路上壓力狀況，并隨時(shí)間的流逝，記錄下每一時(shí)刻的實(shí)時(shí)壓力值。度23°C）至測試結(jié)果（因?yàn)闇囟葧绊憸y試設(shè)備壓力）。g.測試時(shí)間：12小時(shí)或依業(yè)主要求之測試時(shí)間。否有漏氣現(xiàn)象i.在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，管路的壓力應(yīng)沒有下降。如果壓力值有出入，但測試開始和完成時(shí)的溫度不同，則須再考慮溫度校正公式，以決定此壓力測試是否通過。溫度校正公式：（1）計(jì)算公式： P1：起始絕對壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2：理論最終絕對壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2’：最終絕對壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 T1：起始絕對溫度

(℃＋273＝oK) T2：最終絕對溫度

(℃＋273＝oK)P2＝P1×T2/T1（2）判定：｜P2’－

P1｜/P2≦3﹪i.在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，管路的壓力應(yīng)沒有下降。如果壓力值有出入，j.結(jié)束/記錄：在開始記錄壓力前及完成測試后，將測試管路名稱、起始及結(jié)束的壓力值、時(shí)間日期等務(wù)必詳實(shí)紀(jì)錄。的壓力值、時(shí)間日期等務(wù)必詳實(shí)紀(jì)錄。注意事項(xiàng)：a.所有測試均須以最有效率的方式進(jìn)行，譬如以幾個(gè)鄰近的管線為一組搭b.改善措施：針對有漏的地方進(jìn)行維修及重工之改善措施。c.測試時(shí)，管路充入測試氣體后10分鐘或更久，才開始做記錄，以免產(chǎn)生d.未接受試壓部份，如安全閥、控制閥、壓力計(jì)等，均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。配一壓力記錄儀進(jìn)行測試工作。誤差。氣密試驗(yàn)的壓力不可超過該組件的最大壓力范圍。

e.試驗(yàn)時(shí)須確定通風(fēng)良好。

f.試壓后排放管內(nèi)壓力，并保持吹凈狀態(tài)，或使管內(nèi)保持0.5㎏/㎝2以上壓力，并注意安全防止排放環(huán)境缺氧。注意事項(xiàng)：配一壓力記錄儀進(jìn)行測試工作。誤差。氣密試驗(yàn)的壓力不三.氦測漏檢驗(yàn)氦氣的特點(diǎn)是分子比較小，在空氣中無毒害作用，又不易吸附到管路上以至殘留。當(dāng)封閉的管路在泵的作用下成真空狀態(tài)時(shí)，在焊道周圍和接口處噴以氦氣，如有泄漏時(shí)氦氣分子即可通過微小的縫隙進(jìn)入管路從而進(jìn)入氦測漏機(jī)。氦測漏機(jī)中的質(zhì)譜儀，它能從通過測量氦分子的數(shù)量得出漏率的相應(yīng)數(shù)值。三.氦測漏檢驗(yàn)氦測漏測試程序：a.設(shè)備抽真空：先將He測漏儀設(shè)備內(nèi)部真空值到1*10-9atm.cc/secb.檢驗(yàn)管路：檢查管路、盤面上之每個(gè)焊接點(diǎn)VCR接頭是否有組裝好。c.銜接管路：將要測試管路之所有進(jìn)氣口封起來，只留下一個(gè)測試孔，d.抽真空：測試的管路抽真空數(shù)值必須達(dá)到1*10-9atm.cc/sec,且數(shù)值與氦測漏儀設(shè)備銜接。穩(wěn)定后才可進(jìn)行測試動作。氦測漏測試程序：a.設(shè)備抽真空：先將He測漏儀設(shè)備內(nèi)部真空值e.測試：用氦氣噴槍噴要測試之管路、盤面上之每個(gè)焊接點(diǎn)及VCR接頭,噴氦f.結(jié)束/記錄：將測試結(jié)果數(shù)值記錄于氦測漏測試記錄表上。開、關(guān)機(jī)程序：開機(jī)：a.打開電源開關(guān),VENT燈亮,約3分鐘，Pump到達(dá)極速,面板有

b.Vent燈亮后，在測試儀控制面板上即可看出漏率顯示，此時(shí)系關(guān)機(jī)程序：a.關(guān)閉主要電源前,須將測漏儀面按到Vent處.b.待Vent燈亮后才可關(guān)機(jī)。

c.關(guān)機(jī)后因內(nèi)部Pump仍高速運(yùn)轉(zhuǎn)，必須等待3-5分鐘才可移動。

d.關(guān)機(jī)后須將測試口封住，以保持測漏儀內(nèi)部的清潔。屬剛開機(jī)，機(jī)器內(nèi)部仍殘留氣體存在，此時(shí)須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec,等待漏率數(shù)值穩(wěn)定后，即可銜接要測試之管路、盤面。氣時(shí)要遵循由近及遠(yuǎn)，由高到低的原則，監(jiān)控氦測漏儀控制面板上數(shù)值顯示。測試數(shù)值規(guī)格：1*10-9atm.cc/sec以下。數(shù)值顯示，即表示氦測漏儀已準(zhǔn)備完成。開、關(guān)機(jī)程序：屬剛開機(jī)，機(jī)器內(nèi)部仍殘留氣體存在，此時(shí)須內(nèi)部抽氦測漏儀操作注意事項(xiàng)：a.氦測漏儀于開機(jī)后，應(yīng)平穩(wěn)放置，不可有傾斜。b.本機(jī)內(nèi)部抽氣系統(tǒng)屬特之渦輪分子泵，在關(guān)機(jī)3-5分鐘后，即Pump確實(shí)c.在測試工作結(jié)束后，因內(nèi)部含有大量的氦氣，故于管路盤面分離后，測d.氦測漏儀工作電壓系分為220V在送電前，須確定電壓是否正確。e.因本機(jī)器設(shè)備系屬精密電子儀器設(shè)備，故必須使用有接地式插頭。f.本機(jī)器設(shè)備長期不使用時(shí)，每周必須開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)一小時(shí)，可保持測漏儀更好停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，始可移動或重新開機(jī)。漏儀必須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec待漏率數(shù)值穩(wěn)定后即可關(guān)機(jī)。的靈敏度。氦測漏儀操作注意事項(xiàng)：停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，始可移動或重新開機(jī)。漏儀必四.微粒子分析

Particle有一激光管，當(dāng)微粒子在氣流的作用下，通過激光管發(fā)出的激光束時(shí)發(fā)生折射作用。微粒子大小不同，折射光的強(qiáng)度也不同。不同的折射光通過光電轉(zhuǎn)換，即得到強(qiáng)度不同的電流。而電流的變化可以對微粒子大小及數(shù)量進(jìn)行測量。測試流程：四.微粒子分析測試流程：1.選用氣體：

a.使用氣體必須經(jīng)過0.01um過濾器過濾之惰性氣體（氮?dú)獾龋?/p>

b.氣體來源純凈值必須小于小于0.1um2.管路吹掃：

a.將測試管路之入口或盤面進(jìn)氣口接上氣源，來Purge所要測試的管路。

b.管路盤面之氣體的出口必須單獨(dú)測試。

c.測試時(shí)如果不斷出現(xiàn)Particle時(shí)可用橡膠榔頭或手輕拍所要測試的管路；所有閥門都要做“開”“關(guān)”動作，以使管內(nèi)微粒子隨Purge氣體排出。此

Purge程序需維持30分鐘以上。3.測試：

a.將管路之氣體出口接到ParticleCounter取樣口。

b.若管路為多氣體出口時(shí)，每支管路氣體出口必須做單獨(dú)測試。

c.測試壓力：45~150psi。

d.測試時(shí)間：測試十分鐘取樣一次并記錄，連續(xù)測試三次。

e.測試標(biāo)準(zhǔn)：小于等于0.1um。潔凈管道測試流程課件測試儀器使用注意事項(xiàng)：a.電源啟動前，必須確定使用電源為220V，頻率為60Hz。b.開機(jī)后，不可移開進(jìn)氣端，以免鐳射管損壞。c.本測試機(jī)臺為非防爆型，故測試氣體僅可使用Air、Ar、CO2、He、Ne、N2。4.結(jié)束需將測試結(jié)果記錄于微粒子分析測試記錄表，以作日后追溯與識別使用。4.結(jié)束五、含水量測試

TRACER水分分析儀的基本原理：CELL是一特殊電元件，其內(nèi)部表面有P2O5層，當(dāng)含有水分的氣體通過CELL時(shí)，CELL表面的P2O5層吸收水分并電解。水電解后形成帶電的離子，帶電離子形成電流，通過測量電流變化可以得知水分多少。

測試程序：五、含水量測試1.選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮?dú)饣蚋呒兌鹊亩栊詺怏w。2.管路吹掃：

a.將測試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源。

b.將測試管路盤面上所有閥件全部打開。

c.使用設(shè)計(jì)壓力氣源來Purge所要測試之管路,此Purge程序需維持30分鐘以上。3.測試：

a.氣體管路于銜接水分分析儀前，必須將銜接測試管路Purge5分鐘，讓銜接管

b.并聯(lián)氣體管路之出氣口至水份分析進(jìn)氣口。

c.測試時(shí)依水份分析儀測試數(shù)據(jù)值的狀況，同時(shí)進(jìn)行測試與Purge直到水份分析

d.測試標(biāo)準(zhǔn)值為：20ppb以下或依業(yè)主要求。路內(nèi)之水份隨Purge氣體流出。儀測試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值以下。1.選用氣體：路內(nèi)之水份隨Purge氣體流出。儀測試值達(dá)到標(biāo)4.結(jié)束：將測試結(jié)果記錄于水份分析測試記錄表，以作日后追溯與識別使用。潔凈管道測試流程課件六、含氧量測試

CELL電流元件結(jié)合了一個(gè)包含在多孔管里的銀電極與鎘電極和鉑電極共同包含在氫氧化鉀溶液中。當(dāng)含有氧分的氣體通過氫氧化鉀溶液時(shí)，氧在銀電極上還愿為氫氧根離子，通過溶液的移動，在鎘陽極產(chǎn)生負(fù)電荷形成電流，電流在微處理器控制下測量出相對應(yīng)的樣品氧濃度。測試程序：選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮?dú)饣蛲燃兌鹊亩栊詺怏w。六、含氧量測試選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮?dú)饣蛲?.管路吹掃：

a.將測試管路或接上氣源。

b.將測試管路盤面上所有閥件全部打開。

c.使用設(shè)計(jì)壓力之氣源來Purge所要測試之管路。

d.此Purge程序需維持30分鐘以上。2.測試：

a.氣體于接上設(shè)備前必須先將銜接測試管Purge5分鐘以上。

b.經(jīng)過Purge的銜接測試管路，銜接上微氧分析儀后，打開微氧分析儀電源進(jìn)行測試。

c.測試時(shí)依微氧分析儀測試數(shù)據(jù)的狀況，同時(shí)進(jìn)行測試與Purge直到測試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值以下才合格。3.結(jié)束：將測試結(jié)果記錄于微氧分析測試記錄表，以作日后追溯與識別用。注意事項(xiàng)：

a.所有測試銜接管必須使用不銹鋼316L以上之材質(zhì)。

b.氣體于接上設(shè)備前必須先將銜接測試管Purge5分鐘以上。

c.測試規(guī)格：50PPB以下（或依客戶要求之規(guī)格）。潔凈管道測試流程課件七、機(jī)臺復(fù)歸1.復(fù)歸程序：

a.準(zhǔn)備相應(yīng)的工具：扳手，Gasket，易碎標(biāo)簽等

b.拆卸接頭，理順管路，管路不可有歪斜或交叉

c.將新的gasket裝于公頭一端，與設(shè)備端所對應(yīng)的管路銜接，用手旋緊后，兩只扳手呈45°鎖緊。

d.檢查各接頭確實(shí)鎖緊，管路銜接正確，氣體標(biāo)簽掛牌正確無誤，并沒有遺漏，在接頭處貼上易碎標(biāo)簽。注意事項(xiàng)：

a.Gasket有無重復(fù)放置。

b.須再次與PID圖確認(rèn)，管路正確無誤。

c.支架是否穩(wěn)固，標(biāo)示準(zhǔn)確無誤。

d.管路無歪斜等影響美觀。七、機(jī)臺復(fù)歸注意事項(xiàng)：QC流程及注意事項(xiàng)周科QC流程及注意事項(xiàng)周科

目錄：一、外觀檢查及管路確認(rèn)二、氣密測試三、氦測漏檢驗(yàn)四、微粒子測試五、含水量測試六、含氧量測試七、機(jī)臺復(fù)歸目錄：一、外觀檢查及管路確認(rèn)一、外觀檢驗(yàn)及管路確認(rèn)：1、外觀檢驗(yàn)程序：一、外觀檢驗(yàn)及管路確認(rèn)：1、外觀檢驗(yàn)程序：a.所有管路是否依PID圖設(shè)計(jì)排列施工，并予標(biāo)示氣體種類。b.所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料（閥件、管材等）。c.管路是否角度不正、傾斜、歪曲。d.管路是否有污物殘留。e.管路是否有凹陷、龜裂等不良缺陷，焊道是否已清潔且無破洞、砂孔？f.Gasket是否正確放置（無重復(fù)使用Gasket）？g.確定支撐管線的支架安置無誤。h.確定配管的工作不會妨礙本身維護(hù)保養(yǎng)及美觀程度。超高純氣體管路裝配完成后，須做管路之外觀檢驗(yàn)，其檢驗(yàn)項(xiàng)目為：a.所有管路是否依PID圖設(shè)計(jì)排列施工，并予標(biāo)示氣體種類。2.對氣,管路確認(rèn)a.管路之入口（源頭）接上氣源。b.送氣測試，管路正確，管路的終點(diǎn)則有氣體流出。c.復(fù)原管路，檢查標(biāo)示是否正確。d.多管路氣體測試，逐管檢查，以免混淆。e.執(zhí)行檢查時(shí)若發(fā)現(xiàn)有不符合事項(xiàng)時(shí)，品保人員應(yīng)通知工程部監(jiān)工進(jìn)行改善。2.對氣,管路確認(rèn)a.管路之入口（源頭）接上氣源。二.氣密測試使用氣體：廠內(nèi)PN2系統(tǒng)或particle小于0.1um的惰性氣體做壓力測試。測試項(xiàng)目規(guī)定氣體測試壓力測試時(shí)間壓力測試N28kg/cm212小時(shí)（或依業(yè)主規(guī)定）1、保壓測試：測試壓力及時(shí)間設(shè)計(jì)值:a.封住出氣：管路上留一道進(jìn)氣口，其余進(jìn)出氣口都封住。b.銜接管路：將管路進(jìn)氣口接氣源，出氣口接上Gauge或圓盤壓力計(jì)，c.圓盤壓力計(jì)歸零：于使用前需做歸零的動作。d.充入氣體：進(jìn)氣口氣源或出氣口Gauge或圓盤壓力計(jì)，盤面管路上所形成封閉的空間。

有閥件必須全開。二.氣密測試測試項(xiàng)目規(guī)定氣體測試壓力測試時(shí)間壓力測試N28e.Snoop測試：用Snoop測試盤面管上之接頭是f.測試：用Gauge或圓盤壓力記錄器來測試盤面g.測試時(shí)間：12小時(shí)或依業(yè)主要求之測試時(shí)間。h.測試溫度：盡量維持開始測試溫度（無塵室溫否有漏氣現(xiàn)象。（若有漏的現(xiàn)象，會有起泡的狀況）。管路上壓力狀況，并隨時(shí)間的流逝，記錄下每一時(shí)刻的實(shí)時(shí)壓力值。度23°C）至測試結(jié)果（因?yàn)闇囟葧绊憸y試設(shè)備壓力）。g.測試時(shí)間：12小時(shí)或依業(yè)主要求之測試時(shí)間。否有漏氣現(xiàn)象i.在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，管路的壓力應(yīng)沒有下降。如果壓力值有出入，但測試開始和完成時(shí)的溫度不同，則須再考慮溫度校正公式，以決定此壓力測試是否通過。溫度校正公式：（1）計(jì)算公式： P1：起始絕對壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2：理論最終絕對壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2’：最終絕對壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 T1：起始絕對溫度

(℃＋273＝oK) T2：最終絕對溫度

(℃＋273＝oK)P2＝P1×T2/T1（2）判定：｜P2’－

P1｜/P2≦3﹪i.在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，管路的壓力應(yīng)沒有下降。如果壓力值有出入，j.結(jié)束/記錄：在開始記錄壓力前及完成測試后，將測試管路名稱、起始及結(jié)束的壓力值、時(shí)間日期等務(wù)必詳實(shí)紀(jì)錄。的壓力值、時(shí)間日期等務(wù)必詳實(shí)紀(jì)錄。注意事項(xiàng)：a.所有測試均須以最有效率的方式進(jìn)行，譬如以幾個(gè)鄰近的管線為一組搭b.改善措施：針對有漏的地方進(jìn)行維修及重工之改善措施。c.測試時(shí)，管路充入測試氣體后10分鐘或更久，才開始做記錄，以免產(chǎn)生d.未接受試壓部份，如安全閥、控制閥、壓力計(jì)等，均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。配一壓力記錄儀進(jìn)行測試工作。誤差。氣密試驗(yàn)的壓力不可超過該組件的最大壓力范圍。

e.試驗(yàn)時(shí)須確定通風(fēng)良好。

f.試壓后排放管內(nèi)壓力，并保持吹凈狀態(tài)，或使管內(nèi)保持0.5㎏/㎝2以上壓力，并注意安全防止排放環(huán)境缺氧。注意事項(xiàng)：配一壓力記錄儀進(jìn)行測試工作。誤差。氣密試驗(yàn)的壓力不三.氦測漏檢驗(yàn)氦氣的特點(diǎn)是分子比較小，在空氣中無毒害作用，又不易吸附到管路上以至殘留。當(dāng)封閉的管路在泵的作用下成真空狀態(tài)時(shí)，在焊道周圍和接口處噴以氦氣，如有泄漏時(shí)氦氣分子即可通過微小的縫隙進(jìn)入管路從而進(jìn)入氦測漏機(jī)。氦測漏機(jī)中的質(zhì)譜儀，它能從通過測量氦分子的數(shù)量得出漏率的相應(yīng)數(shù)值。三.氦測漏檢驗(yàn)氦測漏測試程序：a.設(shè)備抽真空：先將He測漏儀設(shè)備內(nèi)部真空值到1*10-9atm.cc/secb.檢驗(yàn)管路：檢查管路、盤面上之每個(gè)焊接點(diǎn)VCR接頭是否有組裝好。c.銜接管路：將要測試管路之所有進(jìn)氣口封起來，只留下一個(gè)測試孔，d.抽真空：測試的管路抽真空數(shù)值必須達(dá)到1*10-9atm.cc/sec,且數(shù)值與氦測漏儀設(shè)備銜接。穩(wěn)定后才可進(jìn)行測試動作。氦測漏測試程序：a.設(shè)備抽真空：先將He測漏儀設(shè)備內(nèi)部真空值e.測試：用氦氣噴槍噴要測試之管路、盤面上之每個(gè)焊接點(diǎn)及VCR接頭,噴氦f.結(jié)束/記錄：將測試結(jié)果數(shù)值記錄于氦測漏測試記錄表上。開、關(guān)機(jī)程序：開機(jī)：a.打開電源開關(guān),VENT燈亮,約3分鐘，Pump到達(dá)極速,面板有

b.Vent燈亮后，在測試儀控制面板上即可看出漏率顯示，此時(shí)系關(guān)機(jī)程序：a.關(guān)閉主要電源前,須將測漏儀面按到Vent處.b.待Vent燈亮后才可關(guān)機(jī)。

c.關(guān)機(jī)后因內(nèi)部Pump仍高速運(yùn)轉(zhuǎn)，必須等待3-5分鐘才可移動。

d.關(guān)機(jī)后須將測試口封住，以保持測漏儀內(nèi)部的清潔。屬剛開機(jī)，機(jī)器內(nèi)部仍殘留氣體存在，此時(shí)須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec,等待漏率數(shù)值穩(wěn)定后，即可銜接要測試之管路、盤面。氣時(shí)要遵循由近及遠(yuǎn)，由高到低的原則，監(jiān)控氦測漏儀控制面板上數(shù)值顯示。測試數(shù)值規(guī)格：1*10-9atm.cc/sec以下。數(shù)值顯示，即表示氦測漏儀已準(zhǔn)備完成。開、關(guān)機(jī)程序：屬剛開機(jī)，機(jī)器內(nèi)部仍殘留氣體存在，此時(shí)須內(nèi)部抽氦測漏儀操作注意事項(xiàng)：a.氦測漏儀于開機(jī)后，應(yīng)平穩(wěn)放置，不可有傾斜。b.本機(jī)內(nèi)部抽氣系統(tǒng)屬特之渦輪分子泵，在關(guān)機(jī)3-5分鐘后，即Pump確實(shí)c.在測試工作結(jié)束后，因內(nèi)部含有大量的氦氣，故于管路盤面分離后，測d.氦測漏儀工作電壓系分為220V在送電前，須確定電壓是否正確。e.因本機(jī)器設(shè)備系屬精密電子儀器設(shè)備，故必須使用有接地式插頭。f.本機(jī)器設(shè)備長期不使用時(shí)，每周必須開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)一小時(shí)，可保持測漏儀更好停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，始可移動或重新開機(jī)。漏儀必須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec待漏率數(shù)值穩(wěn)定后即可關(guān)機(jī)。的靈敏度。氦測漏儀操作注意事項(xiàng)：停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，始可移動或重新開機(jī)。漏儀必四.微粒子分析

Particle有一激光管，當(dāng)微粒子在氣流的作用下，通過激光管發(fā)出的激光束時(shí)發(fā)生折射作用。微粒子大小不同，折射光的強(qiáng)度也不同。不同的折射光通過光電轉(zhuǎn)換，即得到強(qiáng)度不同的電流。而電流的變化可以對微粒子大小及數(shù)量進(jìn)行測量。測試流程：四.微粒子分析測試流程：1.選用氣體：

a.使用氣體必須經(jīng)過0.01um過濾器過濾之惰性氣體（氮?dú)獾龋?/p>

b.氣體來源純凈值必須小于小于0.1um2.管路吹掃：

a.將測試管路之入口或盤面進(jìn)氣口接上氣源，來Purge所要測試的管路。

b.管路盤面之氣體的出口必須單獨(dú)測試。

c.測試時(shí)如果不斷出現(xiàn)Particle時(shí)可用橡膠榔頭或手輕拍所要測試的管路；所有閥門都要做“開”“關(guān)”動作，以使管內(nèi)微粒子隨Purge氣體排出。此

Purge程序需維持30分鐘以上。3.測試：

a.將管路之氣體出口接到ParticleCounter取樣口。

b.若管路為多氣體出口時(shí)，每支管路氣體出口必須做單獨(dú)測試。

c.測試壓力：45~150psi。

d.測試時(shí)間：測試十分鐘取樣一次并記錄，連續(xù)測試三次。

e.測試標(biāo)準(zhǔn)：小于等于0.1um。潔凈管道測試流程課件測試儀器使用注意事項(xiàng)：a.電源啟動前，必須確定使用電源為220V，頻率為60Hz。b.開機(jī)后，不可移開進(jìn)氣端，以免鐳射管損壞。c.本測試機(jī)臺為非防爆型，故測試氣體僅可使用Air、Ar、CO2、He、Ne、N2。4.結(jié)束需將測試結(jié)果記錄于微粒子分析測試記錄表，以作日后追溯與識別使用。4.結(jié)束五、含水量測試

TRACER水分分析儀的基本原理：CELL是一特殊電元件，其內(nèi)部表面有P2O5層，當(dāng)含有水分的氣體通過CELL時(shí)，CELL表面的P2O5層吸收水分并電解。水電解后形成帶電的離子，帶電離子形成電流，通過測量電流變化可以得知水分多少。

測試程序：五、含水量測試1.選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮?dú)饣蚋呒兌鹊亩栊詺怏w。2.管路吹掃：

a.將測試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源。

b.將測試管路盤面上所有閥件全部打開。

c.使用設(shè)計(jì)壓力氣源來Purge所要測試之管路,此Purge程序需維持30分鐘以上。3.測試：

a.氣體管路于銜接水分分析儀前，必須將銜接測試管路Purge5分鐘，讓銜接管

b.并聯(lián)氣體管路之出氣口至水份分析進(jìn)氣口。

c.測試時(shí)依水份分析儀測