平行曝光機(jī)市公開課一等獎省賽課獲獎?wù)n件

內(nèi)層3/3線路改進(jìn)報告

平行曝光機(jī)第1頁報告內(nèi)容定義問題現(xiàn)況描述FailureMode原因分析改進(jìn)對策效果確認(rèn)后續(xù)計劃平行曝光機(jī)第2頁一:定義問題1.當(dāng)前內(nèi)層解析度最好干膜HT310干膜量產(chǎn)解析能力為2.75mil,而當(dāng)前廠內(nèi)高精密度線路等級達(dá)到2.9/2.9,加入補(bǔ)償后間距1oz為2.15mil,0.5oz為2.525mil,均超出干膜量產(chǎn)解析能力2.實際sample品質(zhì)數(shù)據(jù)來看3/3量率也大大低於4/4以及以上線路等級產(chǎn)品.所以將問題定義為線路等級提昇與製程能力矛盾問題.我們改進(jìn)方向就是提昇製程能力平行曝光機(jī)第3頁二.現(xiàn)況描述當(dāng)前內(nèi)層已經(jīng)生產(chǎn)過幾個3/3線路sample以及線路等級靠近3/3XN7料號.從當(dāng)前得到品質(zhì)數(shù)據(jù)來看,其Total缺點(diǎn)率比4/4等級高,從數(shù)據(jù)看主要差異為斷路/缺口平行曝光機(jī)第4頁三.FailureMode

平行曝光機(jī)第5頁四.原因分析從缺點(diǎn)FM來分析,有可能造成斷路/缺口/線路不規(guī)則原因有以下幾個:平行曝光機(jī)第6頁五.改進(jìn)對策針對以上原因分析提出以下對策并進(jìn)行實驗驗證降低電解脫脂線速并試用三種前處理壓膜溫度/速度DOE實驗HT310/H2140干膜對比實驗曝光能量/真空延遲時間DOE以及平行曝光機(jī)曝濕膜可行性實驗(因為理論上濕膜厚度在12um左右,只有干膜25um二分之一,所以解析能力應(yīng)該更加好,不過由於搭配7000非平行曝光機(jī)經(jīng)常會出現(xiàn)露光,所以進(jìn)行此實驗)平行曝光機(jī)第7頁顯影線速DOE實驗調(diào)整時刻均勻性下面是整個實驗數(shù)據(jù)以及Comments平行曝光機(jī)第8頁電解脫脂/SPS/Etchingbond比對平行曝光機(jī)第9頁前處理線速/干膜類型/曝光能量/真空時間/顯影速度DOE實驗平行曝光機(jī)第10頁壓膜溫度/速度DOE實驗平行曝光機(jī)第11頁7000平行曝濕膜板實驗平行曝光機(jī)第12頁Comments:從以上實驗數(shù)據(jù)我們能夠知道:前處理Etchingbond效果最好;同為電解脫脂情況下2.7m/min效果最好壓膜demo參數(shù)為120℃----1.8m/minH2140干膜效果比HT310好曝光能量HT310:18+/-1格;H2140:19+/-1格顯影速度HT310:3.7m/min;H2140:維持內(nèi)層噴壓前提下4.0m/min線速較好平行曝光機(jī)第13頁六.效果確認(rèn)在初版POR分發(fā)現(xiàn)場后,業(yè)務(wù)有發(fā)一批sample(XZ40477)test初版POR,結(jié)果以下:此板共20片,全部使用H2140干膜生產(chǎn),在L/A抽檢處報廢4片,為曝光型缺點(diǎn),后將此板退洗,抽檢OK,到A90檢驗時PCS缺點(diǎn)率為3.13%,斷路pcs缺點(diǎn)率為1.39%,缺口PCS缺點(diǎn)率為2.43%,報廢率為0此板在內(nèi)層課共退洗2次﹐第一次抽檢有線路不規(guī)則﹐且前處理線速用錯﹐第二次因抽檢有共同斷路異常且干膜用錯﹐用HT310干膜﹐兩次退洗﹐可能對斷路缺口有影響。平行曝光機(jī)第14頁七.后續(xù)計劃由於現(xiàn)在內(nèi)層前處理沒有產(chǎn)能壓力且Etchingbond成本也比較高,所以假如新增前處理線必定會造成浪費(fèi)H2140干膜單價比HT31