5、無塵室測試基準(zhǔn)SE1016

機(jī)電設(shè)備安裝工程有限公司品質(zhì)文件制（修）訂記錄表文件類別標(biāo)準(zhǔn)書文件編號(hào)IE-PE1016文件名稱無塵室測試基準(zhǔn)頁數(shù)16制（修）訂記錄版次發(fā)行日期制（修）訂要點(diǎn)A2002/8/10新制定核準(zhǔn)審核主辦制訂部門工程部IE-PM0501-03A文件編號(hào)IE-PE1016文文件編號(hào)IE-PE1016文件名稱版次A無塵室測試基準(zhǔn)頁次1/16無塵室測試項(xiàng)目與業(yè)主合約有規(guī)范者，依其規(guī)范辦理，若與業(yè)主合約無規(guī)范者，則依表一所列項(xiàng)目施行之。表一無塵室測試項(xiàng)目項(xiàng)次測試項(xiàng)目AS-BUILTATRESTOPERATION備注CLASSCLASSCALSS1,10100，1K10K，100K1，10100，1K10K，100K1，10100，1K10K，100KA濾網(wǎng)泄漏測試FILTERLEAKAGETESTOOONOleakagesB清潔度測試CLEANLINESSTESTOOOAsspecC風(fēng)俗、風(fēng)量測試AIRVELOCITYOOO±20%D氣流平衡度測試AIRFLOWPATTERNTESTO——△——△△△Offsetangleislesslessthan14°E噪音測試NOISETESTOOO———△△△AsspecF溫濕度測試TEMPERATOREANDHUMIDITYTESTOOOAsspecG溫濕度均勻度測試TEMPERANDHUMDITYUNIFORMTEST△△△AsspecH照度測試ILLUMINATIONTESTOOOAsspecI空壓測試ROOMPRESSORETESTOOO———△△△AsspecROMARKS:O:FQRAPPROVAL△:FORREFERENCEONLY一：EXCLUDE文件編號(hào)IE-PE1016文件名稱版次A文件類別測試規(guī)范無塵室測試基準(zhǔn)頁次2/16二.使用之測試儀器:無塵室測試儀器以本公司現(xiàn)有之儀器為主，若業(yè)主有要求使用特定測試儀器，且不在表二所列范圍時(shí)，可委外測試或購買業(yè)主指定之儀器測試之。表二測試儀器項(xiàng)次測試項(xiàng)目使用儀器型式儀器品牌備注01泄漏測試微塵粒子計(jì)數(shù)器LASAIR-310-1PMS（美制）02泄漏測試微塵粒子計(jì)數(shù)器03潔凈度測試微塵粒子計(jì)數(shù)器LASAIR-310-1PMS（美制）04潔凈度測試微塵粒子計(jì)數(shù)器05風(fēng)速風(fēng)量測試風(fēng)速計(jì)V-01-ANIET（日制）06風(fēng)速風(fēng)量測試風(fēng)速計(jì)AM-4202Lutron（日制）07噪音測試噪音計(jì)SM17ONSOKU（臺(tái)制）08照度測試照度計(jì)YF-1065YFE（臺(tái)制）09溫濕度測試電子式溫濕度計(jì)HT-800INS（日制）10溫濕度測試水銀干濕球溫度計(jì)7550-50SATO（日制）11溫濕度測試水銀干濕球溫度計(jì)DHM2MC（中國）文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范三.測試項(xiàng)目:（一）過網(wǎng)泄漏測試（二）潔凈度測試（三）風(fēng)速、風(fēng)量測試（文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范三.測試項(xiàng)目:（一）過網(wǎng)泄漏測試（二）潔凈度測試（三）風(fēng)速、風(fēng)量測試（四）氣流平行讀測試（五）噪音測試（六）溫濕度測試（七）照度測試（八）空壓測試(FITERLEAKAGETEST)(CLEANLINESSTEST)(AIRVELOCITYAIRVOLUMETEST)(AIRFLOWPATTERNTEST)(NOISETEST)(TEMPERATUREANDHUMDITYUNIFORMTEST)(ILLUMINATIONTEST)(ROOMPRESSURETEST)文件類別測試規(guī)范""文件類別測試規(guī)范""無塵室測試基準(zhǔn)"頁次4/16（一）過濾網(wǎng)泄漏測試（FITERLEAKAGETEST）1、測定標(biāo)準(zhǔn)：（1）FILTERSIZE2’*2’以下測定1CFFILTERSIZE2’*4’以下測定2CF（2）依照測試驗(yàn)收規(guī)范內(nèi)所指定之標(biāo)準(zhǔn)測定。2、測試方法：（1）PARTICLECOUNTER之探測棒置于HEPA下約25~50mm處，以不超過10FPM（0.05m/s）之速率及每50mm之PITCH（距離）沿著HEPA之表面做有規(guī)律之全面掃描。（2）探測棒掃描進(jìn)行中，需同時(shí)觀察PARTICLECOUNTER之顯示，當(dāng)偵測到有顯示數(shù)字時(shí)，則改已1FPM之速率重新探測，以確定是否有泄漏之正確位置。（3）HEPA（ULPA）是否有泄漏是以PARTICLECOUNTER所偵測到之?dāng)?shù)據(jù)，經(jīng)三次重新掃描均超過規(guī)范時(shí)為研判之依據(jù)。（4）每一組FILTER走查，每一組出風(fēng)口也要走查。3、判定與記錄：（1）FILTER及其周圍均無泄漏為合格。（2）FILTER之修補(bǔ)面積需小于FILTER面積之5%。（3）每一FILTER之單點(diǎn)修補(bǔ)尺寸不得大于1.5寸。（4）若有另行規(guī)定，則依要求另行判定之。（5）濾網(wǎng)泄漏測試記錄表格（如附件一所示）。

文件類別測試規(guī)范""文件類別測試規(guī)范""無塵室測試基準(zhǔn)"頁次5/16（二）潔凈度測試（CLEANLINESSTEST）1、測定粒徑：（1）指定潔凈度等級(jí)：CLASS1，10，100，1000，10000，100000

依據(jù)圖一、潔凈度等級(jí)之粒徑及粒子濃度曲線圖所示。弒彩）圖一、潔凈度等級(jí)之粒徑及粒子濃度曲線圖2、測試階段的區(qū)分：弒彩）（1）竣工（AsBuilt）階段：室內(nèi)靜態(tài)測試，無塵室內(nèi)無設(shè)備、無人。（2）制程設(shè)備進(jìn)駐（AT-Rest）階段：室內(nèi)靜態(tài)測試，無塵室內(nèi)有設(shè)備、無人，但設(shè)備未運(yùn)轉(zhuǎn)。（3）制程設(shè)備操作（Operation）階段：室內(nèi)動(dòng)態(tài)測試，無塵室內(nèi)有設(shè)備、有人，制程設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)，投入生產(chǎn)。測試階段雖分以上三階段，但AT-Rest及Operation階段，因制程設(shè)備，及操作人員等發(fā)塵因子的掌控，非承包商所能及，故除非事先特別規(guī)定，否則一般均以AsBuilt階段制測試為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范文件名稱版次A""無塵室測試基準(zhǔn)"頁次6/163、測定高度及測定點(diǎn)數(shù)：（依FED209D規(guī)定）（文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范A、測定高度：距FLOOR上1000mm。B、測定點(diǎn)數(shù)：氣流流入面積血）*10.76或25（a）氣流流入面積血）*10.76（潔凈度等級(jí)）0.5（b）選（a）、（b）兩項(xiàng)中較小者，潔凈度等級(jí)（Class）以英制值為準(zhǔn)。（2）非層流（非單一方向流）：A、測定高度：距FLOOR上1000mm。B、測定點(diǎn)數(shù)：地面面積血）*10.76~（潔凈度等級(jí)）0.5（3）不管是層流或非層流均應(yīng)遵守下列原則：A、若出現(xiàn)小數(shù)，應(yīng)使用無條件進(jìn)位法進(jìn)位。B、不管面積多小至少也要測定2點(diǎn)以上。C、測試點(diǎn)要平均分布。D、各測試點(diǎn)須一個(gè)以上之取樣數(shù)。E、全體要五個(gè)以上之取樣數(shù)。F、各測試點(diǎn)之取樣數(shù)不一定一樣也可以。

文件類別—測試規(guī)范~~無塵室測試基準(zhǔn)^次7/16文件類別—測試規(guī)范~~無塵室測試基準(zhǔn)^次7/16（1）指定潔凈度CLASS:對測定粒徑之最少取樣風(fēng)量依據(jù)表三。表三潔凈度等級(jí)與測試粒徑之最少取樣風(fēng)量表ClassName測試粒徑（口m）0.10.20.30.55VolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsslu.s.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M10.05712.020.26429.350.647222.862.000070.67--M1.510.01610.570.07552.670.18776.670.566620.00--M20.00570.200.02640.940.06472.290.20007.07--M2.5100.00280.100.00750.270.01890.670.05672.00--M30.00280.100.00280.100.00650.230.02000.71--M3.5100--0.00280.100.00280.100.00570.20--M4--0.00280.100.00280.100.00280.10--M4.51000------0.00280.100.08102.86M5------0.00280.100.03241.14M5.510000------0.00280.100.00810.29M6------0.00280.100.00320.11M6.5------0.00280.100.00280.10M7------0.00280.100.00280.10表四被指定之等級(jí)或粒徑以外之取樣風(fēng)量（FT3）CLASS測試粒徑（口m）0.10.1<<0.20.20.2<<0.30.30.3<<0.50.50.5<<5.0510.6一3一7一20一NA0.1V.V10ttttt100.1一0.3一0.7一2一NA10V.V100tttttNA一0.1一0.1一0.2一NA100<.<1,000tttttNA一NA一NA一0.1一31,000<.<10,000tttttNA一NA一NA一0.1一0.310,00<.<100,000ttttt100,000NA一NA一NA一0.1一0.3

文件類別—測試規(guī)范""無塵室測試基準(zhǔn)"頁次8/16（2）潔凈度測定之粒徑及粒子數(shù)的上限值：其標(biāo)準(zhǔn)可分為FED209E及IES-RP-CC-006-84-T兩種標(biāo)準(zhǔn)，除非特別指定，否則均以FED209E作為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。A.依文件類別—測試規(guī)范""無塵室測試基準(zhǔn)"頁次8/16表五潔凈度之粒徑及粒子濃度的上限值（FED209E）ClassName測試粒徑（〃皿）0.10.20.30.55VolumeUnitesVolumeUnitesVolumeUnitesVolumeUnitesVolumeUnitesS1U.S.（m3）(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M13509.9175.72.1430.90.087510.00.283——M1.51124035.02657.501063.0035.31.00——M2350099.175721.43098.751002.83——M2.51012400350265075.0106030.035310.0——M3350009917570214309087.5100028.3——M3.5100——26500750106003003530100——M4——7570021403090087510000283——M4.51,000——————3530010002477.00M5——————100000283061817.5M5.510,000——————35300010000247070.0M6——————1000000283006180175M6.5100,000——————353000010000024700700M7——————100000002830006180017500B.依據(jù)IES-RP-CC-006-84-T標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定（如表六所示）表六潔凈度之粒徑及粒子濃度的上限值（IES-RP-CC-006-84-T）CLASSAS-BuiltAT-RestOperation10579100710401000501002001000010010002000100000100003000050000文件類別測試規(guī)范無塵室測試基準(zhǔn)頁次9/16算出方法：（1）在J好測定之粒子濃度之平均之Aj之求法C1+C2???+C+???+CNAj=N但N二號(hào)測定點(diǎn)之取樣次數(shù)。C二計(jì)數(shù)值（2）求各測定點(diǎn)之平均之平均MA1+A2+???Aj+???+ALM=L但1=測定點(diǎn)之總數(shù)判定與記錄：（1）各單點(diǎn)測試之平均值需在規(guī)格之內(nèi)。（2）潔凈度測試記錄表格（如附件二所示）文件類別測試規(guī)范無塵室測試基準(zhǔn)頁次10/16（三）風(fēng)速、風(fēng)量測試（AIRVELOCITYAIRVOLUMETEST）測定方法：文件類別測試規(guī)范無塵室測試基準(zhǔn)頁次10/16（1）測定值以離FILTER面50mm下流之處為準(zhǔn)。FILTER下流有吹出板時(shí)應(yīng)以離吹出板50m/m下流之處測定之。一只FILTER測定3點(diǎn)，如在測定位置上有日光燈要離日光燈之邊緣50m/m之處測定之。（2）每一點(diǎn)測定5秒鐘，取其平均值為該位置之測定值。2、風(fēng)量（m3/min）：風(fēng)量二（平均風(fēng)速）m/sec*（氣流流入面積）m2*60sec/min.3、判定與記錄：（1）CLEANROOM整體之平均風(fēng)速及風(fēng)量應(yīng)在規(guī)格之+20%范圍內(nèi)。（2）因CLEANROOM上流之氣室高度及FFU排列之?dāng)?shù)量皆會(huì)影響風(fēng)車之機(jī)外靜壓，也濾網(wǎng)本身之材質(zhì)無法完全均勻出風(fēng)，所以只要每點(diǎn)之平均風(fēng)速0.25m/sec以上即可。（3）若有另行規(guī)定，則依要求條件另行測定。（4）風(fēng)速、風(fēng)量測試記錄表格（如附件三所示）。文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范文件名稱版次A""無塵室測試基準(zhǔn)"文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范（四）氣流平行度測試（AIRFLOWPATTERNTEST）測試儀器：照相機(jī)2、測試步驟：（1）本測試項(xiàng)目僅對于全面層流區(qū)（CMPPRODUTIONAREA）實(shí)施。每9m2規(guī)劃為測量一點(diǎn)。（2）每一測量取四根長1.8米之絲線以PVC膠布貼于CELLINGGRID上，每根絲線之間距為30CM。（3）測量高架地板上1.2M處絲線之偏移距離，以計(jì)算每點(diǎn)之偏移角度。3、判定與記錄：（1）99.97%之測量點(diǎn)，其偏移角度14°。（2）若有另行規(guī)定，則依要求條件另行測定。（3）氣流平行度測試記錄表格（如附件四所示）。文件編號(hào)IE-PE1016文件名稱版次A文件類別測試規(guī)范無塵室測試基準(zhǔn)頁次12/16（五）噪音測試（NOISETEST）測試方法：（1）啟動(dòng)潔凈室所有空調(diào)設(shè)備，但其它機(jī)臺(tái)設(shè)備均為停止之狀態(tài)。（2）測定位置：采地面分割為3m*3m之格子，在格子中心測定之或依指定之地點(diǎn)測定之。（3）測定高度：距FLOOR上1000mm。（4）以ARANGE（"A”SCALE）測定環(huán)境之噪音dBA值。（5）將潔凈室所有空調(diào)設(shè)備OFF，以測定環(huán)境背景噪音之dBA值。（6）實(shí)際噪音值是依環(huán)境噪音與背景噪音之差修正，修正值請參考下表：△Lp(dB)1234?55~910以上P(dB)-6.85-4.33-3-2-102、判定與記錄:（1）所有測定值應(yīng)在規(guī)定值以內(nèi)。（2）噪音測試記錄表格（如附件五所示）。文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范文件名稱版次A""無塵室測試基準(zhǔn)"文件編號(hào)IE-PE1016文件類別測試規(guī)范(四)溫濕度測試(REMPERATUREANDHUMIDITYTEST)測定方式：2、測試步驟：（1）測定前須確定空調(diào)機(jī)之試車調(diào)整已完成，且在自動(dòng)控制狀態(tài)下已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。（2）每個(gè)空調(diào)系統(tǒng)的控制區(qū)至少取一點(diǎn)作測試，且須等測試儀器之Sensor達(dá)穩(wěn)定時(shí)才可取值。（3）每6分鐘取一次數(shù)據(jù)，連續(xù)取2小時(shí)數(shù)據(jù)。2、判定與記錄：（1）所有測定值應(yīng)在規(guī)定值范圍內(nèi)。（2）溫濕度測試記錄表（如附件六所示）。文件類別測試規(guī)范無塵室測試基準(zhǔn)頁次14/16圖二：500m2以下之測定法(七)溫濕度均勻度測試(TEMPERATUREANDHUMIDITYUNIFORM圖二：500m2以下之測定法1、測試方法：一（1）CLEANROOM面積500m2以下之測定點(diǎn)采地面分割為3m*3m