真空技術(shù)基礎(chǔ)知識(shí)1

真空技術(shù)基礎(chǔ)知識(shí)真空技術(shù)發(fā)展到今天已廣泛的滲透到各項(xiàng)科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)領(lǐng)域，它日益成為許多尖端科學(xué)、經(jīng)濟(jì)建設(shè)和人民生活等方面不可缺少的技術(shù)基礎(chǔ).作為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)主要標(biāo)志的電子技術(shù)、核技術(shù)、航天技術(shù)的發(fā)展都離不開真空，反過(guò)來(lái)它們飛躍前進(jìn)正在推動(dòng)真空技術(shù)的迅速發(fā)展，成為真空科學(xué)技術(shù)發(fā)展史上的三個(gè)飛躍階段,從而使真空技術(shù)由原來(lái)主要應(yīng)用領(lǐng)域電真空工業(yè)，擴(kuò)展到低溫超導(dǎo)技術(shù)、薄膜技術(shù)、表面科學(xué)、微電子學(xué)、航海工程和空間科學(xué)等近代尖端科學(xué)技術(shù)中來(lái).全于在一般工業(yè)中應(yīng)用實(shí)在種類繁多,不勝枚舉.它涉及冶金、化工、.醫(yī)藥、制鹽、制糖、食品等工業(yè)都廣泛使用真空技術(shù).例如有機(jī)物的真空蒸餾，某些溶液的濃縮、析品、真空脫水、真空干燥等.人們還利用真空中的各種特點(diǎn),研制生產(chǎn)出真空吊車、電子管、顯像管、中子管就連人們?nèi)粘Ｉ钪惺褂玫臒艄?、暖水瓶、真空除塵器等都離不開真空技術(shù).真空與真空區(qū)域的劃分“真空”是指在給定的空間內(nèi)，氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓下的氣體分子密度的稀薄氣體狀態(tài)。不同的真空狀態(tài)有不同的氣體分子密度。在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，每立方厘米的分子數(shù)為2.6870x1019個(gè)，而在真空度為10-4帕?xí)r，每立方厘米的分子數(shù)為3.24x1010個(gè)，即使用最現(xiàn)代的抽氣方法獲得的最高真空度10-13帕?xí)r，每立方厘米中仍有3.24x10個(gè)分子。所以真空是一相對(duì)概念，絕對(duì)真空是不存在的。表1真空區(qū)域的劃分、特點(diǎn)與應(yīng)用真空區(qū)域物理特點(diǎn)主要應(yīng)用分子密度為（個(gè)/厘米3）平均自由程/（厘米）單分子層形成時(shí)間（秒）粗真空105?103帕1019?101610-6?10-3，（d為容器的線性R度,下同）粘滯流，氣體分子間碰撞為主10-9?10-6真空包裝、真空濃縮和脫色、真空成形、真空輸運(yùn)等。低真空103?10-1帕1016?101310-3?5丸~d過(guò)渡流10-6?10-3真空蒸餾、真空干燥和冷凍，真空浸漬、真空絕熱、真空焊接等。高真空10-1?10-6帕1013?1095?104丸>d分子流氣體分子與器壁碰撞為主。10-3?20真空冶金、半導(dǎo)體材料區(qū)域熔煉、電真空器件、真空鍍膜、加速器等。超高真空10-6?10-12帕<109>104刀》d氣體分子在固體表面上吸附停留為主。>20超高真空鍍膜、薄膜和表面物理、表面化學(xué)、熱核反應(yīng)和等離子物理、超導(dǎo)技術(shù)、宇宙航行等。真空狀態(tài)的主要特點(diǎn)是：真空容器所承受的大氣壓力由容器內(nèi)外壓力差所決定；與大氣相比，氣體分子密度小、分子之間相互碰撞不那么頻繁，單位時(shí)間內(nèi)碰撞容器壁的分子數(shù)減少，從而使真空狀態(tài)下熱傳導(dǎo)與對(duì)流小，絕熱性能強(qiáng)，可降低物質(zhì)的沸點(diǎn)和汽化點(diǎn)等。真空的這些特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用到生活、生產(chǎn)和科研的各個(gè)領(lǐng)域中。真空度是對(duì)氣體稀薄程度的一種客觀量度。它本應(yīng)用單位體積中的分子數(shù)來(lái)量度，但由于歷史的原因，真空度的高低仍通常用各向同性的物理量“氣體壓強(qiáng)”來(lái)表示。氣體壓強(qiáng)越低，表示真空度越高；反之，壓強(qiáng)越高，真空度就越低。在真空技術(shù)領(lǐng)域中，過(guò)去常用的壓強(qiáng)單位為托（torr），它與目前國(guó)際單位制中壓強(qiáng)單位帕斯卡的換算關(guān)系為：1帕=1牛頓/米2=1千克/米.秒2=7.50062x10-3（托）1托=1/760（標(biāo)準(zhǔn)大氣壓）=101325.0/760（帕）=133.3224（帕）為使用方便，人們根據(jù)真空技術(shù)的應(yīng)用特點(diǎn)、真空物理特性和真空機(jī)械泵、真空計(jì)的有效使用范圍，將真空劃分為不同區(qū)域及對(duì)應(yīng)的物理特點(diǎn)和主要應(yīng)用領(lǐng)域，如表1所示。真空獲得用來(lái)獲得真空的器械簡(jiǎn)稱為真空機(jī)械泵。由于真空技術(shù)發(fā)展到今天所涉及的壓強(qiáng)范圍從105?10-12帕，寬達(dá)17個(gè)數(shù)量級(jí)，所以現(xiàn)在還不能用任何一種真空機(jī)械泵來(lái)實(shí)現(xiàn)。表2列出常用各種真空機(jī)械泵的運(yùn)用范圍與抽速。表2常用真空機(jī)械泵運(yùn)用范圍與抽速泵壓強(qiáng)（帕）抽速1000010010.110-210-310-410-610-710-810-10（升/秒）1水環(huán)泵+—2旋片機(jī)械泵++++—1~1003吸附泵++++—15~400001~10004羅茨泵—++++—5噴射泵—+++—200~400005~1000006油增壓泵—+++—5?50007油擴(kuò)散泵—++++—~1000008渦輪分子泵—+++++—~50009鈦升華泵—++++—300~500010離子泵—+++++—11低溫泵—+++++真空機(jī)械泵按其抽氣機(jī)理可分為兩大類：一是壓縮型真空機(jī)械泵，它是將氣體由一方壓縮到另一方，如機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵等。二是吸附型真空機(jī)械泵，它是利用各種吸氣作用將氣體吸掉，如鈦泵、離子泵、低溫泵等。按起始工作狀態(tài)可分為前級(jí)泵（可直接從大氣壓下開始抽氣，如機(jī)械泵、吸附泵等）和次級(jí)泵（只能從比大氣壓低的某一定壓強(qiáng)下開始抽氣，使系統(tǒng)達(dá)到更高極限真空度，如擴(kuò)散泵、鈦泵等）。次級(jí)泵工作時(shí)，必須輔以一定的前級(jí)泵，提供其正常工作所需要的真空度。用以比較各種真空機(jī)械泵性能的主要基本參數(shù)是：1）最大工作壓強(qiáng)；泵能夠正常工作的最高壓強(qiáng)，如果工作壓強(qiáng)超過(guò)這一數(shù)值，泵將失去工作能力。機(jī)械泵最大工作壓強(qiáng)為1個(gè)大氣壓，擴(kuò)散泵為1帕。2）極限壓強(qiáng)：在被抽容器中漏氣和放氣可以忽略情況下，經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間的抽氣之后，泵所能達(dá)到的最低平衡壓強(qiáng)為該泵的極限壓強(qiáng)。3）抽氣速率：在泵的入氣口處，在任一給定壓強(qiáng)P1下，單位時(shí)間內(nèi)流入泵的氣體體積數(shù)為泵Av.的抽氣速率，簡(jiǎn)稱為抽速，常用S表示，則：S=^"一"［升/秒］式中△▼為泵進(jìn)氣口處At時(shí)間內(nèi)流入泵的氣體體積［升］，P1為在測(cè)定該氣體體積時(shí)的進(jìn)氣口壓強(qiáng)［帕］。抽速在泵抽氣過(guò)程中因P1是變的，所以S一般都不是常數(shù)。4）運(yùn)用范圍：指泵具有相當(dāng)抽氣能力時(shí)的壓強(qiáng)范圍。對(duì)超高真空范圍內(nèi)的泵，需附加二個(gè)主要參數(shù)是：抽氣的選擇性和殘余氣體的組成。一般實(shí)驗(yàn)室常用機(jī)械泵和擴(kuò)散泵在1.5小時(shí)內(nèi)可獲得10-4?10-5帕真空度。2.1旋片式機(jī)械真空機(jī)械泵旋片式機(jī)械泵主要有定子、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等組成，如圖1所示。

油汽節(jié)圄毫敗他閥圖1旋片式機(jī)械真空機(jī)械泵油汽節(jié)圄毫敗他閥在定子缸內(nèi)偏心的裝有圓柱形轉(zhuǎn)子，與定子在A點(diǎn)相切，轉(zhuǎn)子槽中裝有中間帶彈簧的兩塊旋片，旋轉(zhuǎn)時(shí)靠離心力和彈簧的張力使旋片的頂端與定子內(nèi)壁始終緊密接觸。定子上的進(jìn)、排氣口被轉(zhuǎn)子和旋片分為兩部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，進(jìn)氣口方面容積逐漸擴(kuò)大而吸入氣體，同時(shí)逐漸縮小排氣口方面容積將以吸入氣體壓縮從排氣孔排出。機(jī)械泵的抽氣速率主要取決于泵的工作體積^v，在抽氣過(guò)程中隨著進(jìn)氣口壓強(qiáng)的降低，抽氣速率逐漸減小。當(dāng)抽到系統(tǒng)極限壓強(qiáng)時(shí)，系統(tǒng)的漏氣與抽出氣體達(dá)到的動(dòng)態(tài)平衡，此時(shí)抽速不變,見圖2。目前生產(chǎn)的機(jī)械泵多是兩個(gè)泵腔串聯(lián)起來(lái)的，如圖3稱為雙級(jí)泵，它比單級(jí)泵具有極限真空度高（10-1?10-2帕）和在低氣壓下具有較大抽速等優(yōu)點(diǎn)。為保證機(jī)械泵的良好密封和潤(rùn)滑，排氣閥浸在密封油里以防大氣流入泵中。油通過(guò)泵體上的縫隙、油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有的運(yùn)動(dòng)表面被油膜覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。同時(shí)，油還充滿了泵腔內(nèi)的一切有害空間，以消除它們對(duì)極限真空度的影響。使用時(shí)應(yīng)注意：因被抽氣體在泵腔內(nèi)被壓縮，所以不宜用來(lái)抽蒸汽；停機(jī)后要立刻打開充氣閥，防止機(jī)械泵油返至真空系統(tǒng)內(nèi)。圖2對(duì)容器V的抽氣曲線圖3二級(jí)旋片式機(jī)械泵結(jié)構(gòu)

機(jī)械真空泵通常選用國(guó)產(chǎn)1號(hào)真空泵油，不同種類和牌號(hào)的真空泵油不得混合使用。圖2對(duì)容器V的抽氣曲線圖3二級(jí)旋片式機(jī)械泵結(jié)構(gòu)2.2油擴(kuò)散泵油擴(kuò)散泵是用來(lái)獲得高真空的常用設(shè)備，其工作壓強(qiáng)范圍為10-】?10-6帕。玻璃油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)如圖4。圖5擴(kuò)散泵工作原理圖4玻璃油擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu)圖擴(kuò)散泵油在真空中加熱到沸騰溫度（約200。。）產(chǎn)生大量的油蒸汽，油蒸汽經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出，在噴嘴出口處蒸汽流中造成低壓。如圖5所示被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到油蒸汽流中，使被抽氣體分子沿蒸汽流速的方向高速運(yùn)動(dòng)。經(jīng)幾級(jí)噴嘴連續(xù)作用將被抽氣體壓縮到出氣口由機(jī)械泵抽出。而油蒸汽在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到泵底重新被加熱，如此循環(huán)工作，就達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。圖5擴(kuò)散泵工作原理圖4玻璃油擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu)圖在使用擴(kuò)散泵時(shí)要注意的是：開擴(kuò)散泵前必須先用機(jī)械泵將系統(tǒng)包括擴(kuò)散泵本身抽至5帕的預(yù)備真空，然后先通水后通電加熱泵油。工作過(guò)程中必須保證冷卻水暢通。停機(jī)時(shí)，先斷開擴(kuò)散泵加熱電源，大約30分鐘泵油降至室溫時(shí)，再斷冷卻水，最后斷開機(jī)械泵電源。這樣操作可防止或減小泵油氧化變質(zhì)，提高真空的清潔程度，延長(zhǎng)使用壽命，保證系統(tǒng)的極限真空度。目前國(guó)內(nèi)擴(kuò)散泵大都使用礦物油中的2號(hào)油、3號(hào)油；硅油中的274油、275油。獲得高真空可用3號(hào)油，超高真空必須采用硅油！真空測(cè)量測(cè)量真空度的儀器稱為“真空計(jì)”。真空計(jì)分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。能從本身所測(cè)得的物理量直接求出系統(tǒng)中真空度的為絕對(duì)真空計(jì)，如U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)等；而相對(duì)真空計(jì)是輸出信號(hào)與其壓強(qiáng)之間的關(guān)系要用真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)或絕對(duì)真空計(jì)校準(zhǔn)標(biāo)定后，才能測(cè)定真空度。一般實(shí)驗(yàn)室常用的熱偶和電離真空計(jì)都是標(biāo)定好的相對(duì)真空計(jì)。3.1熱電偶真空計(jì)熱電偶真空計(jì)由熱電偶規(guī)管和電測(cè)線路構(gòu)成，如圖6。規(guī)管內(nèi)有一根鎢或鉑制成的加熱絲（2），另由AB、AB/兩根導(dǎo)熱系數(shù)不同金屬絲組成一對(duì)熱電偶（3），熱電偶一端（熱端）與熱絲在A點(diǎn)焊住，另兩端B、B、/分別焊于芯柱引線上，再接到毫伏表上。熱偶真空計(jì)的工作原理是利用氣體分子的導(dǎo)熱性質(zhì),通過(guò)熱電偶產(chǎn)生的熱電勢(shì)來(lái)測(cè)量真空的。使用時(shí)，調(diào)可變電阻（4）使加熱電流保持定值情況下，加熱絲的平衡溫度取決于氣體壓強(qiáng)，若壓強(qiáng)越高，氣體分子碰撞熱絲機(jī)會(huì)越多帶走的熱量越多，因而熱絲溫度越低，熱電偶所產(chǎn)生的電

動(dòng)勢(shì)也越低。反之，壓強(qiáng)越低，熱絲溫度越高，熱電動(dòng)勢(shì)越大。熱電偶真空計(jì)的測(cè)量范圍是102?10-1帕。圖7熱陰極電離規(guī)管結(jié)構(gòu)圖6熱電偶規(guī)管結(jié)構(gòu)3.2熱陰極電離真空計(jì)熱陰極電離真空計(jì)由電離規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成。規(guī)管結(jié)構(gòu)類似一只電子三極管，如圖7,測(cè)量電路原理如圖8。電離真空規(guī)管是利用氣體分子被快速電子碰撞而電離的現(xiàn)象工作的。圖7熱陰極電離規(guī)管結(jié)構(gòu)當(dāng)陰極F通電加熱后發(fā)射熱電子，這些電子被處于正電位（相對(duì)陰極為正100?150V）的螺旋柵極G加速后，電子具有一定能量與氣體分子做電離碰撞，使氣體電離為正離子和電子。所產(chǎn)生的正離子被外圍圓筒形處于負(fù)電位（相對(duì)陰極為負(fù)10?60V）的板極A吸引，在板極電路中形成正離子流I*。工作中當(dāng)陰極發(fā)射的電子流I0一定時(shí)，正離子流I*，正比于氣體壓強(qiáng)，則有I+=I0KP（1）式中K是比例系數(shù)稱為電離計(jì)的靈敏度，通常將發(fā)射電流I0保持一定值，然后用絕對(duì)真空計(jì)或標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)系統(tǒng)來(lái)校準(zhǔn)，給出I*?P的關(guān)系曲線，就可確定出K來(lái)。從（1）式可見，只要K已知，就可通過(guò)I*和I0而知壓強(qiáng)P。圖8電離真空計(jì)外控接法電路原理圖電離真空計(jì)測(cè)量范圍是10-2?10-5帕，可連續(xù)測(cè)量。他的缺點(diǎn)是陰極開始工作時(shí)有放氣現(xiàn)象，影響測(cè)量精確度。由于陰極處于高溫下發(fā)射電子，容易蒸發(fā)，低真空下陰極又易氧化，因而規(guī)管使用壽命不長(zhǎng)。故使用時(shí)被抽容器中真空度高于1X10-1帕?xí)r才能開電離真空計(jì)測(cè)量。圖8電離真空計(jì)外控接法電路原理圖熱電偶真空計(jì)和電離真空計(jì)的使用方法，請(qǐng)看儀器使用說(shuō)明書。真空系統(tǒng)與檢漏技術(shù)真空系統(tǒng)是由真空機(jī)械泵、真空計(jì)、被抽容器及其它元件如閥門、冷阱等，借助真空管道，按一定要求組合而成，并具有所需抽氣功能的抽氣裝置。它的職能是在指定時(shí)間、空間內(nèi)獲得真空，保持真空；確保系統(tǒng)內(nèi)某項(xiàng)工藝過(guò)程或物理過(guò)程的實(shí)施。真空系統(tǒng)根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求可設(shè)計(jì)成金屬真空系統(tǒng)、玻璃真空系統(tǒng)、金屬和玻璃混合真空系統(tǒng)。檢漏技術(shù)是真空技術(shù)的重要組成部分。對(duì)金屬真空系統(tǒng)的所有部件在裝配前必須做密封性能檢驗(yàn)，部件接合處最易產(chǎn)生漏氣，須經(jīng)周密的檢漏才能達(dá)到預(yù)定的真空度。檢漏一般采用分段密封法作p?t曲線，從而可判斷該段是否漏氣，如有漏氣常用加壓法、試驗(yàn)氣體指示法等確定漏孔位置。在檢查漏氣率為10-6?10-1。帕.升/秒這樣微小的漏孔時(shí)，就要用氦質(zhì)譜檢漏儀、四極場(chǎng)濾質(zhì)器等檢漏儀器。對(duì)玻璃系統(tǒng)的檢漏可用高頻火花檢漏器?；鸹z漏器實(shí)際是一小功率高頻高壓設(shè)備，它的高電壓輸出端伸出一金屬釋放電彈簧尖頭，能擊穿附近空氣。當(dāng)它的高壓放電尖端移到玻璃系統(tǒng)上的漏孔處時(shí)，因玻璃是絕緣體不能跳火，而漏孔處因空氣不斷流入，在高頻高壓作用下而行成導(dǎo)電區(qū)，在火花檢漏器尖端與漏孔之間形成一強(qiáng)烈火花線，并在漏孔處有一白亮點(diǎn)，從而可以找到漏孔位置。使用火花檢漏器時(shí)，不要在玻璃一點(diǎn)上停留過(guò)久，以免玻璃局部過(guò)熱而打出小孔來(lái)。對(duì)檢出的漏孔可選用飽和蒸汽壓低，具有足夠的熱穩(wěn)定性和一定的機(jī)械和物理性質(zhì)的真空密封物質(zhì)密封。作暫時(shí)的或半永久的密封可選用真空泥、真空封臘、真空漆等；要作永久性密封，可用環(huán)氧樹脂封膠和氯化銀封接，對(duì)玻璃系統(tǒng)可以重新燒接。真空機(jī)械泵常見問(wèn)題與解決方法5.1真空機(jī)械泵泵油的問(wèn)題5.1.1真空機(jī)械泵泵油顏色變深或渾濁是什么原因？1）泵油在骯臟工藝過(guò)程中受到污染一一更換泵油或清洗；2）泵油不合適——清洗后用規(guī)定的泵油；3）油不足加注足量泵油；4）真空漏率過(guò)大-修理泄漏處，或更換泵油；5）惰性保護(hù)氣體不足一一工藝過(guò)程中含有腐蝕性、危險(xiǎn)性或放射性氣體時(shí)必須加足量保護(hù)氣體。5.1.2泵油消耗過(guò)多怎么辦？1）出油口密封圈磨損——更換密封圈；2）油封損壞或安裝錯(cuò)誤一一更換新油封，檢查進(jìn)油管線；3）油套損壞或腐蝕一一更換油套；4）進(jìn)油口或出油口泄漏一一更換新O型圈；5）泵體與油封間墊片泄漏一一更換墊片。5.2真空機(jī)械泵工作時(shí)出現(xiàn)異常的噪音真空機(jī)械泵工作時(shí)出現(xiàn)異常噪音，應(yīng)先按照以下步驟一一檢查：首先，先檢查連接件是否損壞；是否缺油；然后查看油泵是否磨損或損壞，若是，修理或更換油泵即可；再查看油泵葉片是否損壞——拆下油泵，更換葉片；如果都沒(méi)有問(wèn)題，那可能就是排氣閥板上無(wú)濾網(wǎng)或者電機(jī)軸承出現(xiàn)問(wèn)題，加濾網(wǎng)較為容易解決，如是電機(jī)軸承出現(xiàn)問(wèn)題，則需請(qǐng)專業(yè)人士進(jìn)行修理。5.3真空機(jī)械泵真空管路或系統(tǒng)內(nèi)返油真空機(jī)械泵真空管路或系統(tǒng)內(nèi)返油的原因多半是截流閥、抽氣管路以及密封部件的問(wèn)題。1）油蒸汽返流至真空管路或系統(tǒng)中、油蒸汽壓不對(duì)——清洗泵后換符合要求的油；2）停泵時(shí)，油返流——檢查并更換截流閥；3）截流閥板上的密封件損壞一一更換截流閥板；4）抽氣管路底部密封件腐蝕或損壞一一更換抽氣管路，修理密封件。5.4真空機(jī)械泵系統(tǒng)工作時(shí)溫度過(guò)高怎么辦？導(dǎo)致真空機(jī)械泵系統(tǒng)工作時(shí)溫度過(guò)高的原因及其解決方法。缺油——加夠油即可。抽氣口與排氣口錯(cuò)誤連接。供油管線堵塞一一先斷開泵連接，清洗并更換符合要求的油。油泵出現(xiàn)問(wèn)題——修理或更換油泵。環(huán)境溫度達(dá)到或超過(guò)油蒸汽壓一一降低環(huán)境溫度并注意空氣流通。油蒸汽壓低于指標(biāo)一一更換符合要求的泵油。工作氣體溫度過(guò)高——改工藝或加冷卻系統(tǒng)。擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)常見的故障及其排除措施擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)常見的故障及其排除措施如下(同時(shí)參見表3)：如果擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)不漏氣，而系統(tǒng)的極限壓力卻一直達(dá)不到預(yù)想的結(jié)果，則可能是系統(tǒng)設(shè)計(jì)不合理，有效抽速低；或真空規(guī)電極放氣和真空規(guī)本身受光電流的限制，測(cè)不出低壓力。如果在長(zhǎng)時(shí)間使用后，擴(kuò)散泵或機(jī)組的抽氣性能逐漸變壞，即極限真空度和抽速降低，而其它情況正常，則主要是擴(kuò)散泵油逐漸氧化，質(zhì)量變壞。這時(shí)，應(yīng)更換新擴(kuò)散泵油。換油步驟為：先把擴(kuò)散泵卸下，取出泵芯，按要求將泵芯清洗烘干后正確裝配并加新油。由于特殊原因，如真空規(guī)管炸裂，誤開真空容器放氣閥或未關(guān)閉高真空閥等，使擴(kuò)散泵內(nèi)突然漏進(jìn)大氣時(shí)，應(yīng)立即關(guān)閉高真空閥門，停止擴(kuò)散泵加熱并強(qiáng)迫油鍋冷卻。消除故障后，應(yīng)作抽氣試驗(yàn)，并根據(jù)其結(jié)果判斷是否需要更換擴(kuò)散泵油。擴(kuò)散泵經(jīng)拆裝接入系統(tǒng)后，如果系統(tǒng)一切均嚴(yán)格按前述操作程序進(jìn)行抽氣的話，則應(yīng)該能達(dá)到泵原極限壓力；如果仔細(xì)反復(fù)調(diào)整各噴口間隙，真空度還應(yīng)有所提高。如果真空度抽不上去，則首先檢查該泵所在系統(tǒng)的漏氣率是否超過(guò)允許值；同時(shí)檢查擴(kuò)散泵的加熱器是否燒斷、供電電壓是否正常、泵的冷卻是否正常。如果上述方面一切均正常，則可認(rèn)為是泵芯裝配方面的問(wèn)題，如裝歪、噴嘴間隙不對(duì)、泵芯在裝配前未清洗干凈、有機(jī)溶劑未烘干、泵油不夠或裝入了質(zhì)量不好的泵油及加熱功率調(diào)整不正確等。如果擴(kuò)散泵的工作一直正常，而且也不是動(dòng)了系統(tǒng)而使某處漏氣，而使機(jī)組的抽氣性能突然變壞，則可能是擴(kuò)散泵電爐絲斷了或保險(xiǎn)絲斷了，應(yīng)及時(shí)檢查更換。如果前級(jí)泵工作不正?；虺闅馊萘坎粔?，也會(huì)使擴(kuò)散泵工作不正常。(7)環(huán)境溫度、濕度、冷卻水溫度等使用條件對(duì)擴(kuò)散泵的抽氣性能影響也較大。例如，當(dāng)環(huán)境溫度過(guò)高(超過(guò)35°C)時(shí)，擴(kuò)散泵性能即開始降低。擴(kuò)散泵加熱功率調(diào)整得不正確，也可使擴(kuò)散泵的工作狀態(tài)不正常。調(diào)加熱功率時(shí)，最好能找到返油率最低點(diǎn)的合適溫度。油蒸氣返流污染系統(tǒng)，也可使系統(tǒng)得極限壓力達(dá)不到預(yù)期結(jié)果，可參照真空技術(shù)網(wǎng)前文采取措施加以改進(jìn)。表3油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)常見故障及排除方法故障原因排除方法擴(kuò)散泵不起作用1.系統(tǒng)或擴(kuò)散泵泵體漏氣關(guān)閉泵入口高真空閥門、進(jìn)行檢漏并修復(fù)2.加熱器不工作檢查電爐電源是否接觸良好和電爐絲是否燒斷3.油溫不足，沒(méi)有形成有效射流檢查加熱電壓和功率是否符合規(guī)定4.泵出口壓力過(guò)高檢查前級(jí)管道有無(wú)漏氣，前級(jí)泵抽速是否符合要求，工作是否正常5.泵本身漏氣查前級(jí)管道與泵體焊接(熔接)處、泵底與泵體焊接處是否漏氣，應(yīng)對(duì)此二處細(xì)加檢漏6.泵底燒穿更換7.擴(kuò)散泵油量不夠加油到規(guī)定量

系統(tǒng)極限真空度降低1.系統(tǒng)