激光干涉儀作業(yè)指導書

東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD激光干涉儀作業(yè)指導書文件編號CG-QC-03-001版次A/0頁數(shù)共24頁受文單位□總經(jīng)辦□營銷中心□資材部□人力資源部□生產(chǎn)部?品質(zhì)部□研發(fā)部□工程部□財務部□ISO小組□售服部□采購部核準審核制定湯帥東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號CG-QC-03-001版本版次A/0頁碼頁次2/24文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書制訂部門品質(zhì)部制訂日期2015/11/25修改記錄次數(shù)修訂章節(jié)版本修訂內(nèi)容修訂修訂日期0全文A/0初版發(fā)行。湯帥2015/11/25東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/03/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間1儀器介紹1.環(huán)境補償裝置2.激光器3.傳感器4.三腳架5.云臺核準：復核：審核制訂：東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/04/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間儀器介紹6.控制板9.鏡組核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/05/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間儀器介紹10.氣泡水平儀11.環(huán)境補償器核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/06/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間2儀器安裝1.將三腳架放在平穩(wěn)的地面。2.將伸縮式三腳架支腳拉至必要的長度，并用支腳的伸縮扣鎖定。調(diào)整三腳架的高度，以便在安裝ML10激光器后，激光束剛好能擊中裝在待測機床上的測量鏡組。3.展開三腳架的支腳讓它站穩(wěn)固定。把三腳架的支腳拉桿拉長以展開支腳。把三腳架的中心軸拉開以展開支腳，雙腳在前，一支腳在后，也不要將三腳架支腳的伸縮扣上得太緊，以便隨時調(diào)整。4.用中心主軸旁邊的小型圓形氣泡水平儀來確定三腳架是否平穩(wěn)。視需要調(diào)整三腳架的支腳，直到氣泡浮在中央。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/07/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間儀器安裝5.確定支腳和拉桿都鎖住定位。6.完全取下云臺釋放柄。將云臺安裝在三腳架的頂部。重新裝上云臺釋放柄并把它上緊。7.將激光器放上三腳架云臺，確定把它適當?shù)丶茉谌c位置之上。為了安全起見，激光器的光閘最初應旋轉(zhuǎn)到它的閉合位置，如圖所示。i核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/08/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間儀器安裝將氣溫傳感器插口接在補償單元的空氣溫度感應器插槽接口上材料溫度傳感器接在補償單元的材料溫度感應器插槽中的任意一個接口上信號線1和2連接到電腦USB接口上信號線1連接到激光器后面的數(shù)據(jù)鏈接插孔上信號線2連接到補償單元上激光器電源接頭連線通電所有的線連接好以后，打開補償單元開關和激光器開關，開始預熱（打開時，狀態(tài)指示燈呈橘黃色，等10到15分鐘后，狀態(tài)指示燈回變成綠色，說明預熱完成）1.各信號線可靠無誤2.PC機主板漏電≥25V（交流）3.環(huán)境測量點安放可靠核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/09/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間儀器安裝1.用手大略準直激光器，讓它與機床軸垂直，并指向機床上安裝的測量鏡組。2.轉(zhuǎn)動云臺及調(diào)節(jié)器，使它們大致位于中心位置，在各方向留下充裕的調(diào)整空間。在光束準直過程中要執(zhí)行的調(diào)整如左圖所示測量鏡組安裝時避免水接觸鏡面核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/010/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間3對光為了確保獲得通過機器全軸的信號強度足夠大，必須將激光束調(diào)整到與運動軸平行。我們假定，將光學鏡設定為按照左圖所示的那樣測量角度扭擺。在該圖中，干涉鏡是固定光學鏡，角度反射鏡是移動光學鏡。鏡組安裝角度及平行度確保固定確實可靠核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/011/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間對光1.旋轉(zhuǎn)光閘，以便激光器發(fā)出圖1中所示的直徑變小的光束。圖1光束的直徑越小，越容易看出任何光路未準直。2.將角度反射鏡放在盡可能接近激光器的位置，并確保它與機器垂直.3.將目標安裝在光孔中反射鏡的前端，在它的旁邊有兩個紅點，如圖2.所示。目標應定位成白點朝上。平移激光器或機器，直到光束擊中目標上的白點。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/012/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間對光4.取出目標，并檢查從反射鏡返回的激光束是否擊中光閘上的目標中心。如果沒有，則平移激光器或機器，直到激光束擊中目標的中心。5.將干涉鏡盡可能靠近反射鏡放置。如果它們的位置離得很近，則只需調(diào)整激光頭就能完成其余部分的準直調(diào)整。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/013/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間對光6.確保干涉鏡和反射鏡的外表面互相準直并與機床垂直。如果干涉鏡放置歪斜，精度就會下降，并可能因光束被遮斷而導致檢測失敗。一般說來，在進行滾擺、俯仰和偏轉(zhuǎn)測量時，最好使干涉鏡的準直角度小于±2°，這通?？赏ㄟ^肉眼完成。7.將光靶安裝在干涉鏡的入射光孔中，使白點在上，并垂直和水平平移干涉鏡，以便光束擊中光靶。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/014/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間對光8.從線性干涉鏡取下光靶，并檢查從干涉鏡返回的激光束是否擊中從反光鏡返回的激光束上方的光閘上的中心。如果沒有，則平移干涉鏡，直到激光束擊中白色光靶的中心。注：在干涉鏡和反射鏡之間放一張卡以遮斷從反射鏡返回的光束可能會很有用。行程正負極限光束能量為滿光，對光完成。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/015/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間4鐳射軟件電腦端設置圖1打開軟件如圖1.點擊出現(xiàn)目標設定的對話框如圖2.3.設定如圖2.圖2核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/016/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間鐳射軟件電腦端設置圖34.點確定會出現(xiàn)采集數(shù)據(jù)啟動的對話框及設定如圖3.5.點擊標題信息出現(xiàn)數(shù)據(jù)標題對話框及設定如圖4.圖4核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/017/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間鐳電射腦軟端件設置圖56.設定完成點確定，出現(xiàn)自動采集數(shù)據(jù)設定對話框及設定如圖5.修改最小停止周期為0.5秒越程量大小為0毫米完成點確定。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/018/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間5呼叫程式及修改參數(shù)G291G91G28X0G00X-1G00X1G4X5M98P100201L50(段數(shù))G00X1G00X-1G4X2M98P100301L50M99%子程式G91G00X16(螺距)G4X2M99%7.呼叫程式100201（X軸）.100202（Y軸），100203（Z軸），根據(jù)行程目標設定對話框修改程式。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/019/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間呼叫程式及修改參數(shù)N04001PXN04024P4301N04002PXN04024P4301N04003P4150N04025P4330N04004P4101N04026P2N04005P4150N04027P20000N04006P2N04007P20000N04011PYN04012PYN04013P4230N04014P4201N04015P4230N04016P2N04017P20000N04021PZN04022PZN04023P43308.三菱系統(tǒng)參數(shù)設行程極限2013設-2.0，2014設2.0，其它參數(shù)如左邊設定。倍隙2011清零，機械誤差4101~4150，4201~4230，4301~4330，之間清零。核準：復核：審核:制訂::東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/020/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間呼叫程式及修改參數(shù)N03620A1P50A2P130A3P235N03621A1P1A2P101A3P201N03622A1P51A2P131A3P236N03623A1P1A2P1A3P1N03624A1P20000A2P20000A3P200009.法那科參數(shù)設定行程極限1320設2000，1321設-2000，其它參數(shù)如左邊設定，倍隙1852清零，間距1~51，101~131，201~231，清零。核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/021/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間6采集數(shù)據(jù)選擇性停止開關打開運行程式到M00停止。電腦端點擊如圖所示運行程式采集數(shù)據(jù)來回1遍電腦核準：復核：審核:制訂:東莞程工自動化科技有限公司DongguanChengGongautomationtechnologyco.,LTD文件編號：CG-QC-03-001版次頁次制訂部門制訂日期修訂日期文件名稱激光干涉儀作業(yè)指導書A/022/24品質(zhì)部2015/11/25/檢驗項目圖示檢驗步驟品質(zhì)要求工量治具作業(yè)時間7補償數(shù)據(jù)圖1運行完成之后點擊會出現(xiàn)繪所有曲線點擊菜單分析數(shù)據(jù)中的誤差補償圖表及設定如圖1.點擊繪制誤差補償圖表如圖2.將反向間隙補到參數(shù)2011（三菱系統(tǒng)需乘以2）1852（法那科按原數(shù)補），補償螺桿間隙需從后向前依次補入。圖2核準：