標準解讀

《GB/T 15871-1995 硬面光掩?；濉纷鳛橐豁楆P于硬面光掩模基板的技術標準，規(guī)定了此類基板的性能要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和儲存要求。然而，您未提供與之對比的另一個具體標準或版本，因此直接比較其變更內容是不可能完成的任務。但可以一般性地說明，當一個標準被更新或替代時，常見的變更可能涉及以下幾個方面：

  1. 技術指標的調整：新標準可能會根據行業(yè)技術進步和材料科學的發(fā)展，對基板的尺寸精度、平整度、清潔度、熱穩(wěn)定性、抗蝕性等關鍵性能指標提出更嚴格或適應新技術的要求。

  2. 測試方法的改進：隨著檢測技術的演進，新標準可能會引入更精確、更高效的測試手段來評估基板的各項性能，確保測試結果的準確性和可重復性。

  3. 環(huán)保和安全要求的增加：考慮到環(huán)境保護和生產安全的全球趨勢，更新的標準可能會加入更多關于原材料使用、生產過程控制、廢棄物處理等方面的環(huán)保和安全規(guī)范。

  4. 術語和定義的統(tǒng)一：為了與國際標準接軌或國內行業(yè)共識的變化，新標準可能會對一些專業(yè)術語進行修訂或新增，以增強標準的通用性和理解性。

  5. 包裝、運輸和儲存要求的細化：為減少運輸過程中的損壞風險和確?；宓拈L期存儲質量，新標準可能會對包裝材料、包裝方式以及儲存條件提出更細致的要求。

  6. 信息化管理要求：隨著信息技術的應用，新標準可能要求在產品標識、追溯系統(tǒng)、數據交換等方面采用電子化、信息化手段，提高管理效率。


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  • 現行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 1995-12-22 頒布
  • 1996-08-01 實施
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GB/T 15871-1995硬面光掩?；錩第1頁
GB/T 15871-1995硬面光掩模基板_第2頁
GB/T 15871-1995硬面光掩?；錩第3頁
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文檔簡介

ICs31.030L97中華人民共和國國家標準GB/T15871-1995硬面光掩?；錒ardsurfacephotomasksubstrates1995-12-22發(fā)布1996-08-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

GB/T15871-1995前本標準非等效采用SEMI標準SemiP1一92《硬面光掩模基板》。本標準基板技術要求全部按SemiP1-92中第4章至第8章制定。本標準附錄A是提示的附錄、本標準由中華人民共和國電子工業(yè)部提出。本標準由電子工業(yè)部標準化研究所歸口。本標準起草單位：長沙韶光徽電子總公司、電子工業(yè)部標準化研究所。本標準主要起草人：吳保華、王亦林、趙雨生、談仁良。

中華人民共和國國家標準GB/T15871-1995光面一板Hardsurfacephotomasksubstrates1范圍本標準規(guī)定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等內容.本標準適用于硬面光搶模用玻璃基板(以下簡稱基板)。2引用標準下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB191—90包裝儲運圖示標志GB2828—87逐批檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829—87周期檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于生產過程穩(wěn)定性的檢查)GB3102.3-93力學的量和單位GB7238-87玻璃及鉻板表面平整度的測試方法GB9622.2-88電子玻璃平均線熱膨脹系數的測試方法SJ/T10584-94微電子學光掩蔽技術術語3定義本標準采用SJ/T10584規(guī)定的定義。4要求4.1外形尺寸“.1.1方形基板的外形尺寸應符合表1和圖1的規(guī)定。表表1方形基板的外形尺寸mm邊長（L）厚度(T)格垂直度mirminmax63.5X63.562.7063.500.05/25：401.401.600.05/25.4076.201.4076X7675.401.6088.9×88.988：1088.900.05/25.401.40.601.401.60100×100100.80101.600

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