GB/T 20510-2017氧化銦錫靶材

ICS7715060

H62..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T20510—2017

代替

GB/T20510—2006

氧化銦錫靶材

Indium-tinoxidetarget

2017-10-14發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T20510—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替氧化銦錫靶材與相比主要變動(dòng)如下

GB/T20510—2006《》。GB/T20510—2006,:

刪除了失氧率的要求

———“”;

對(duì)氧化銦錫靶材的化學(xué)成分進(jìn)行了修改刪除了對(duì)雜質(zhì)元素鋅鈣鎂量的控制增加了雜質(zhì)

———,、、,

鉻鉈量的控制

、;

修改了相對(duì)密度的含量范圍

———;

增加了表面粗糙度

———“”;

增加了組織均勻性

———“”;

修改了組批的方式

———;

刪除了標(biāo)準(zhǔn)附錄失氧率的測定

———“”。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位株洲冶煉集團(tuán)股份有限公司

:。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位中國船舶重工集團(tuán)公司第研究所北京冶科納米科技有限公司

:725、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人譚儀文黃劍彭小蘇郗雨林孫振德梅方勝崔曉芳張士察

:、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T20510—2006。

Ⅰ

GB/T20510—2017

氧化銦錫靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化銦錫簡稱靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)輸與貯存質(zhì)

(ITO)、、、、、

量證明書訂貨單或合同內(nèi)容等

、()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以金屬銦錫為原料生產(chǎn)的氧化銦錫靶材用于制作透明導(dǎo)電膜

99.99%、,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬材料電阻系數(shù)測量方法

GB/T351

燒結(jié)金屬材料不包括硬質(zhì)合金可滲性燒結(jié)金屬材料密度含油率和開孔率的

GB/T5163()、

測定

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

金屬顯微組織檢驗(yàn)方法

GB/T13298

精細(xì)陶瓷線熱膨脹系數(shù)試驗(yàn)方法頂桿法

GB/T16535

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

表觀密度density

每單位體積物質(zhì)的質(zhì)量

。

32

.

相對(duì)密度relativedensity

物質(zhì)的密度與參照物的密度的比值

。

注在本標(biāo)準(zhǔn)中氧化銦錫靶材的相對(duì)密度為靶材表觀密度與理論密度的比值氧化銦錫靶材當(dāng)質(zhì)量百分比

:。

時(shí)理論密度以3計(jì)算

In2O3∶SnO2=90∶10,7.155g/cm。

33

.

開爾文電橋Kelvinbridge

開爾文電橋是一種利用電位比較的方法進(jìn)行測量的儀器具有很高的靈敏度和準(zhǔn)確性在電測技

,,,

術(shù)和自動(dòng)控制測量應(yīng)用極為廣泛而開爾文電橋又是惠斯通電橋的變形在測量小阻值電阻通常歐

。,(<1)

時(shí)具有相當(dāng)高的準(zhǔn)確度適于測量-5低阻值電阻

,