標準解讀
《GB/T 22572-2008 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 用多δ層參考物質(zhì)評估深度分辨參數(shù)的方法》是一項國家標準,主要針對使用二次離子質(zhì)譜(SIMS)技術(shù)時如何通過特定的多層結(jié)構(gòu)材料來評價儀器或方法在深度方向上的分辨能力。該標準適用于所有利用SIMS進行表面及近表面區(qū)域成分分析的研究機構(gòu)、實驗室以及相關(guān)企業(yè)。
根據(jù)此標準,多δ層參考物質(zhì)是指一種由兩個或更多個不同化學(xué)組成的薄層交替堆疊而成的人工合成樣品,這些層之間具有清晰界定的界面,并且每層厚度非常均勻,通常處于納米級別。選擇合適的多δ層參考物質(zhì)對于準確評估SIMS系統(tǒng)的深度分辨率至關(guān)重要。
標準中詳細描述了實驗步驟,包括但不限于:
- 參考物質(zhì)的選擇依據(jù)及其特性;
- 樣品制備的具體要求;
- SIMS測試條件設(shè)置建議;
- 數(shù)據(jù)采集與處理方法;
- 深度分辨率計算公式及解釋。
此外,《GB/T 22572-2008》還強調(diào)了在整個過程中需要注意的一些關(guān)鍵點,比如保持良好的真空環(huán)境以減少背景信號干擾、確保離子束能量穩(wěn)定等,這些都是影響最終測量結(jié)果準確性的重要因素。
如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標準文檔。
....
查看全部
- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2008-12-11 頒布
- 2009-10-01 實施
下載本文檔
GB/T 22572-2008表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜用多δ層參考物質(zhì)評估深度分辨參數(shù)的方法-免費下載試讀頁文檔簡介
犐犆犛71.040.40
犌04
中華人民共和國國家標準
犌犅/犜22572—2008/犐犛犗20341:2003
表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜
用多δ層參考物質(zhì)
評估深度分辨參數(shù)的方法
犛狌狉犳犪犮犲犮犺犲犿犻犮犪犾犪狀犪犾狔狊犻狊—犛犲犮狅狀犱犪狉狔犻狅狀犿犪狊狊狊狆犲犮狋狉狅犿犲狋狉狔—
犕犲狋犺狅犱犳狅狉犲狊狋犻犿犪狋犻狀犵犱犲狆狋犺狉犲狊狅犾狌狋犻狅狀
狆犪狉犪犿犲狋犲狉狊狑犻狋犺犿狌犾狋犻狆犾犲犱犲犾狋犪犾犪狔犲狉狉犲犳犲狉犲狀犮犲犿犪狋犲狉犻犪犾狊
(ISO20341:2003,IDT)
20081211發(fā)布20091001實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
書
中華人民共和國
國家標準
表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜
用多δ層參考物質(zhì)
評估深度分辨參數(shù)的方法
GB/T22572—2008/ISO20341:2003
中國標準出版社出版發(fā)行
北京復(fù)興門外三里河北街16號
郵政編碼:100045
網(wǎng)址www.spc.net.cn
電話:6852394668517548
中國標準出版社秦皇島印刷廠印刷
各地新華書店經(jīng)銷
開本880×12301/16印張0.5字數(shù)8千字
2009年3月第一版2009年3月第一次印刷
書號:155066·135762
如有印裝差錯由本社發(fā)行中心調(diào)換
版權(quán)專有侵權(quán)必究
舉報電話:(010)68533533
書
犌犅/犜22572—2008/犐犛犗20341:2003
前言
本標準等同采用ISO20341:2003《表面化學(xué)分析———二次離子質(zhì)譜———用多δ層參考物質(zhì)評估深
度分辨參數(shù)的方法》。
為便于使用,本標準對ISO20341:2003做了下列編輯性修改:
———刪除了原國際標準的前言部分;
———將本國際標準改為本標準。
本標準的附錄A為規(guī)范性附錄。
本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口。
本標準負責(zé)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心。
本標準主要起草人:馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、何秀坤。
Ⅰ
書
犌犅/犜22572—2008/犐犛犗20341:2003
引言
深度分辨是二次離子質(zhì)譜(SIMS)深度剖析的一個重要參數(shù)。然而,在SIMS分析中,影響濺射深
度剖析結(jié)果的因素很多,包括離子束誘導(dǎo)的混合和偏析、電荷驅(qū)動的擴散、基體效應(yīng)、弧坑形狀和表面微
形貌等。只有了解并盡量降低以上因素的影響,才能得到最佳的深度分辨。
獲取最佳的深度分辨通常要求特定的分析條件,包括超低的一次離子束能量、掠入射、旋轉(zhuǎn)樣品、低
溫冷卻樣品等,所有這些條件在常規(guī)的SIMS分析中都很難滿足。此外,對每一種樣品所要求的最佳分
析參數(shù)可能很不相同。進而,各種儀器因素,如弧坑的形狀、離子束的同一性、弧坑邊沿效應(yīng)的消除、質(zhì)
量干擾、記憶效應(yīng)、殘氣效應(yīng)等,也會影響深度分辨的各個方面。
因此,在常規(guī)的SIMS分析條件下,難以直接評估深度分辨。本標準闡述了前沿衰變長度、后沿衰
變長度和高斯展寬的概念,提出了每個參數(shù)的測量步驟。多δ層參考物質(zhì)就可用于評估在常規(guī)SIMS
分析條件下的深度分辨參數(shù)。
Ⅱ
犌犅/犜22572—2008/犐犛犗20341:2003
表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜
用多δ層參考物質(zhì)
評估深度分辨參數(shù)的方法
1范圍
本標準詳細說明了在SIMS深度剖析中,用多δ層參考物質(zhì)評估前沿衰變長度、后沿衰變長度和高
斯展寬三個深度分辨參數(shù)的步驟。
由于樣品表面的物理和化學(xué)態(tài)受一次入射離子影響而不穩(wěn)定,本標準不適用于近表面區(qū)域的δ層。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有
的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標準,然而,鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究
是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標準。
GB/T22461表面化學(xué)分析詞匯(GB/T22461—2008,ISO18115:2001,IDT)
3符號
犃L,犃T比例因子。
犅,犆比例系數(shù)。
犐(狕)隨深度的二次離子強度。
狕深度。
狕0表觀峰的深度。
λL
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本(可閱讀打印),因數(shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
- 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁,非文檔質(zhì)量問題。
最新文檔
- 出租房屋協(xié)議模板范本
- 2025女方離婚協(xié)議書
- 運動障礙性腦癱病因介紹
- 表皮囊腫病因介紹
- 質(zhì)量策劃方案20241219
- (案例)標準件項目立項報告
- (2024)冷渣器生產(chǎn)建設(shè)項目可行性研究報告(一)
- 2022-2023學(xué)年天津市高一(上)期末語文試卷
- 2022-2023學(xué)年天津四中高二(上)期末語文試卷
- 重慶2020-2024年中考英語5年真題回-學(xué)生版-專題07 閱讀理解之說明文
- 足部健康宣教課件
- 生產(chǎn)準備部進出口報關(guān)員關(guān)鍵業(yè)績考核指標(KPI)
- TSZSA 032-2023 SMD 塑料載帶技術(shù)規(guī)范
- 應(yīng)用文寫作《通知》課件 2023-2024學(xué)年高教版中職語文基礎(chǔ)模塊下冊
- 車險續(xù)保率分析報告
- 基于Android的天氣預(yù)報系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)
- 省級代理合同
- 精神科患者飲食健康宣教知識
- 鄉(xiāng)村小學(xué)勞動課校本教材
- 汽車行業(yè)培訓(xùn)資料-2024年自動駕駛技術(shù)和智能交通系統(tǒng)
- 皮膚科常見病學(xué)習(xí)課件
評論
0/150
提交評論